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Gebiet der
vorliegenden Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen die Herstellung integrierter
Schaltungen und betrifft insbesondere die Herstellung von Metallisierungsschichten
mit gut leitenden Metallen, etwa Kupfer, die in einem dielektrischen
Material eingebettet sind.
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Beschreibung
des Stands der Technik
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In
einer integrierten Schaltung wird eine große Anzahl an Schaltungselementen,
etwa Transistoren, Kondensatoren, Widerstände, und dergleichen, in oder
auf einem geeigneten Substrat in einer im Wesentlichen ebenen Konfiguration
ausgebildet. Auf Grund der großen
Anzahl an Schaltungselementen und der erforderlichen komplexen Anordnung
in modernen integrierten Schaltungen werden die elektrischen Verbindungen
der einzelnen Schaltungselemente im Allgemeinen nicht in der gleichen
Ebene hergestellt, in der die Schaltungselemente ausgebildet sind.
Typischerweise werden derartige elektrische Verbindungen in einer
oder mehreren zusätzlichen „Verdrahtungs"-Schichten gebildet,
die auch als Metallisierungsschichten bezeichnet werden. Diese Metallisierungsschichten
enthalten im Allgemeinen metallenthaltende Leitungen, die die ebeneninterne elektrische
Verbindung herstellen, und enthalten ferner eine Vielzahl von Zwischenebenenverbindungen, die
auch als Kontaktdurchführungen
bezeichnet werden, die mit einem geeigneten Metall gefüllt sind.
Die Kontaktdurchführungen
bilden die elektrische Verbindung zwischen zwei benachbarten gestapelten
Metallisierungsschichten, wobei die metallenthaltenden Leitungen
und die Kontaktdurchführungen
gemeinsam auch als Verbindungsstruktur bezeichnet werden.
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Auf
Grund der ständigen
Reduzierung der Strukturgrößen von
Schaltungselementen in modernen integrierten Schaltungen steigt
auch die Anzahl der Schaltungselemente für eine vorgegebene Chipfläche, d.
h. die Packungsdichte, ebenso an, wodurch ein noch größerer Zuwachs
in der Anzahl elektrischer Verbindungen erforderlich ist, um die
gewünschte Schaltungsfunktion
zu erreichen. Daher kann die Anzahl der gestapelten Metallisierungsschichten
größer werden
und die Abmessungen der einzelnen Metallleitungen und Kontaktdurchführungen
kann ggf. zu reduzieren sein, wenn die Anzahl der Schaltungselemente pro
Chipfläche
größer wird.
Die Herstellung einer Vielzahl von Metallisierungsschichten zieht äußerst herausfordernde
Aufgaben nach sich, die es zu lösen
gilt, etwa das Problem der mechanischen, thermischen und elektrischen
Zuverlässigkeit
einer Vielzahl gestapelter Schichten. In dem Maße, wie die Komplexität integrierter
Schaltungen zunimmt und Leitungen erfordert, die den moderat hohen
Stromdichten widerstehen können,
gehen Halbleiterhersteller zunehmend dazu über, das gut bekannte Metallisierungsmetall
Aluminium durch ein Metall zu ersetzen, das höhere Stromdichten ermöglicht und
damit eine Reduzierung der Abmessungen der Verbindungsleitungen
und damit der Anzahl der gestapelten Metallisierungsschichten ermöglicht.
Beispielsweise sind Kupfer und Legierungen davon Materialien, die
zunehmend verwendet werden, um Aluminium zu ersetzen, auf Grund
der besseren Eigenschaften im Hinblick auf einen höheren Widerstand
gegen Elektromigration und einen deutlich geringeren elektrischen
Widerstand im Vergleich zu Aluminium. Trotz dieser Vorteile weisen
Kupfer und Kupferlegierungen eine Reihe von Nachteilen hinsichtlich
der Bearbeitung und Handhabung in einer Halbleiterfertigungsstätte auf.
Beispielsweise kann Kupfer nicht in effizienter Weise in größeren Mengen
auf ein Substrat durch gut etablierte Abscheideverfahren, etwa die chemische
Dampfabscheidung (CVD) aufgebracht werden und kann auch nicht effizient
durch typischerweise eingesetzte anisotrope Ätzprozeduren strukturiert werden.
Daher wird bei der Herstellung der Metallisierungsschichten mit
Kupfer die sogenannte Einlege- oder Damaszener-Technik (Einzel oder
Dual) vorzugsweise eingesetzt, wobei zunächst eine dielektrische Schicht
hergestellt und anschließend strukturiert
wird, um Graben und/oder Kontaktdurchführungen zu erhalten, die nachfolgend
mit Kupfer oder Kupferlegierungen gefüllt werden.
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Es
zeigt sich, dass der Vorgang des Herstellens von Kontaktdurchführungen
und Gräben
in dem dielektrischen Material der entsprechenden Metallisierungsschicht
entsprechend dem Damaszener-Verfahren deutlich die Gesamtproduktionsausbeute
während
der Herstellung moderner Halbleiterbauelemente mit Metallisierungsschichten
auf Kupferbasis auf Grund von Problemen hinsichtlich des Ablösens und
auf Grund von mit Geometrie in Beziehung stehenden Ätzeffekten
beeinflusst.
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Mit
Bezug zu den 1a bis 1d wird nunmehr ein typischer
konventioneller Prozessablauf detaillierter beschrieben, um deutlicher
die Probleme aufzuzeigen, die bei der Herstellung äußerst größenreduzierter
Metallleitungen in einem dielektrischen Material gemäß einem
Damaszener-Verfahren, beispielsweise einem dualen Damaszener-Verfahren auftreten,
in welchem Kontaktlochöffnungen
vor den entsprechenden Gräben,
die mit den Kontaktlöchern verbunden
sind, hergestellt werden, wobei diese Vorgehensweise häufig als
Vorgehen mit „Kontaktloch zuerst,
Graben zuletzt" bezeichnet
wird.
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1a zeigt schematisch eine
Querschnittsansicht eines Halbleiterbauelements 100 mit
einem Substrat 101, das in Form eines Siliziumvollsubstrats,
eines SOI- Silizium-auf-Isolator)
Substrat, und dergleichen vorgesehen sein kann, wobei das Substrat 101 auch
eine Bauteilschicht repräsentieren
kann, die darauf ausgebildet einzelne Schaltungselemente aufweist,
etwa Transistoren, Kondensatoren, Leitungen, Widerstände, Kontaktbereiche,
und dergleichen. Der Einfachheit halber sind derartige Schaltungselemente
in 1a nicht gezeigt.
Das Bauelement 100 umfasst ein erstes Bauteilgebiet 120a und ein
zweites Bauteilgebiet 120b, wobei das erste Bauteilgebiet 120a ein „inneres" Gebiet repräsentiert,
das Kontaktleitungen und Kontaktdurchführungen erhält, wohingegen das zweite Bauteilgebiet 120b ein
Bauteilgebiet repräsentieren
kann, das eine große
Metallfläche
in der entsprechenden Metallisierungsschicht zusammen mit entsprechenden
Metallleitungen in dem ersten Bauteilgebiet 120a erhalten
soll. Beispielsweise kann ein Messgebiet oder dergleichen in dem
zweiten Bauteilgebiet 120b gebildet werden, wie dies typischerweise
zum Bewerten sogenannter Einkerbungseffekte vorgesehen wird, die während des
Entfernens überschüssigen Kupfers durch
CMP (chemisch-mechanisches Polieren) auftreten. Das Bauelement 100 umfasst
ferner eine dielektrische Schicht 102, die über dem
Substrat 101 gebildet ist, wobei die Schicht 102 ein
dielektrisches Material repräsentieren
kann, das die einzelnen Schaltungselemente umgibt, das auch als
ein Kontaktmaterial bezeichnet wird, oder die Schicht 102 kann
einen Teil einer tieferliegenden Metallisierungsschicht repräsentieren,
in der metallgefüllte
Leitungen eingebettet sind. Abhängig
von der speziellen Gestaltung des Bauelements 100 oder
der Funktion der Schicht 102 kann diese aus einem konventionellen
dielektrischen Material, etwa Siliziumdioxid, Siliziumnitrid aufgebaut
sein oder diese kann ein dielektrisches Material mit kleinem ε, etwa beispielsweise wasserstoffangereichertes
Siliziumoxikarbid (SiCOH) oder dergleichen aufweisen. Eine Metallleitung 103a ist
in dem ersten Bauteilgebiet 120a und über dem Substrat 101 und
zumindest teilweise in der Schicht 102 ausgebildet, um
eine elektrische Verbindung zu Schaltungselementen herzustellen,
die in dem ersten Bauteilgebiet 120a hergestellt sind.
Die Metallleitung 103a kann aus einem kupferenthaltenden
Metall mit leitenden Barrierenschichten (nicht gezeigt) aufgebaut
sein, um damit die Haftung der Metallleitung 103a an dem
umgebenden Material zu erhöhen
und um eine Diffusion von Kupfer in empfindliche Bauteilgebiete
zu reduzieren.
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Eine Ätzstoppschicht 104 ist
auf der dielektrischen Schicht 102 und der Metallleitung 103a gebildet,
wobei die Ätzstoppschicht 104 aus
einem Material aufgebaut sein kann, das eine hohe Ätzselektivität zu dem
Material einer dielektrischen Schicht 105 besitzt, die
auf der Ätzstoppschicht 104 gebildet
ist. Des weiteren kann die Ätzstoppschicht 104 als
eine Diffusionsbarriere zwischen der Metallleitung 103a und
benachbarten Materialien dienen, um damit die Diffusion von Metall,
etwa von Kupfer, und die Diffusion von dielektrischen Material in
die Metallleitung 103a zu reduzieren.
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Die
dielektrische Schicht 105, die aus einem dielektrischen
Material mit kleinem ε aufgebaut
sein kann, ist auf der Ätzstoppschicht 104 ausgebildet, woran
sich eine ARC-Schicht oder eine Deckschicht 106 anschließt, die
aus zwei oder mehreren Teilschichten aufgebaut sein kann, um damit
das gewünschte
Verhalten im Hinblick auf die optischen Eigenschaften, die mechanische
Festigkeit und Maskierungseigenschaften zu erreichen. Beispielsweise kann
die Deckschicht 106 als ein Stapel bereitgestellt werden,
der eine Siliziumdioxidschicht – die
dazu dient, der Schicht 105 eine höhere mechanische Festigkeit
zu verleihen, wenn die aus einem Material mit kleinem ε gebildet
ist – und
einer Siliziumoxinitridschicht zum Anpassen des optischen Verhaltens
und einer dünnen
Siliziumdioxidschicht, die als eine Stickstoffbarriere für eine Lackmaske 107 dient,
die auf der Deckschicht 106 gebildet ist, enthält. Die Lackmaske 107 enthält eine
erste Öffnung 107a über dem
ersten Bauteilgebiet 102a, die einer Kontaktlochöffnung 105a entspricht,
die zur Verbindung der Metallleitung 103a mit einer noch
in der dielektrischen Schicht 105 herzustellenden Metallleitung
dienen soll.
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Ein
typischer Prozessablauf zur Herstellung des Halbleiterbauelements 100,
wie es in 1a gezeigt
ist, kann die folgenden Prozesse umfassen. Nach der Herstellung
von Schaltungselementen in dem Substrat 101 wird die dielektrische
Schicht 102 durch gut etablierte Abscheiderezepte auf der
Grundlage einer plasmaunterstützten
CVD (chemische Dampfabscheidung) aufgebracht. Beispielsweise kann
die Schicht 102 aus Siliziumdioxid, fluordotiertem Siliziumdioxid
oder SiCOH aufgebaut sein, und daher können Abscheiderezepte auf der
Grundlage geeigneter Vorstufenmaterialien eingesetzt werden, um
die Schicht 102 zu bilden. Anschließend wird die Metallleitung 103a gemäß den Prozessen
hergestellt, wie sie nachfolgend mit Bezug zu der Schicht 105 beschrieben
sind. Danach wird die Ätzstoppschicht 104 durch
beispielsweise gut etablierte plasmaunterstützte CVD mit einer Dicke abgeschieden, die
ausreichend ist, um einen Kontaktloch- und Grabenätzprozess,
der spä ter
ausgeführt
wird, zuverlässig
anzuhalten. Als nächstes
wird die dielektrische Schicht 105 durch CVD oder Aufschleudern,
abhängig
von dem verwendeten Material, gebildet. Danach wird die Deckschicht 106 durch
plasmaunterstützte CVD-Verfahren
auf der Grundlage gut etablierter Rezepte gebildet, um damit die
gewünschten
Eigenschaften für
die weitere Bearbeitung des Bauelements 100 bereitzustellen.
Schließlich
wird die Lackmaske 107 durch moderne Photolithographie
gebildet, um damit die entsprechende Öffnung 107a zu bilden.
Anschließend
wird ein anisotroper Ätzprozess ausgeführt, wobei
in einer anfänglichen
Phase der freiliegende Bereich der Schicht 106 entfernt
und in einem nachfolgenden Prozess das dielektrische Material der
Schicht 105 entfernt wird, um die Kontatlochöffnung 105a zu
bilden.
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1b zeigt schematisch das
Bauelement 100 in einem weiter fortgeschrittenen Herstellungsstadium.
Das Bauelement 100 umfasst nun eine Lackmaske 109 mit
einem darin ausgebildeten Graben 109a über der Kontaktlochöffnung 105a mit
Abmessungen, die den Entwurfsabmessungen einer Metallleitung entsprechen,
die über
und um die Kontaktlochöffnung 105a herum
zu bilden ist. Die Lackmaske 109 umfasst ferner eine Öffnung 109b in
dem zweiten Bauteilgebiet 120b, die gemäß den Entwurfsabmessungen für ein entsprechendes
Metallgebiet gebildet ist, etwa ein Testgebiet, wobei die Abmessungen
der Öffnung 109b zumindest
in einer Richtung deutlich größer sind
als die Abmessung des Grabens 109a. Beispielsweise kann
die Öffnung 109b eine
Entwurfsabmessung von 100 μm × 100 μm in modernen
Bauelementen mit minimalen kritischen Abmessungen von 50 nm oder
sogar weniger aufweisen. Des weiteren ist ein Füllmaterial 108 unter
der Lackmaske 109 ausgebildet, wobei das Füllmaterial 108 auch
in der Öffnung 105a vorgesehen
ist. Das Füllmaterial
kann einen Photolack unterschiedlicher Art im Vergleich zu der Lackmaske 109 aufweisen, oder
das Füllmaterial 108 kann
ein anderes Polymermaterial repräsentieren,
das in einem Zustand geringer Viskosität aufgebracht werden kann,
um damit die Öffnung 105a zu
füllen,
während
gleichzeitig eine im Wesentlichen ebene Oberfläche bereitgestellt wird. Das
Füllmaterial 108 kann
auch als eine ARC-Schicht während
des Strukturierens der Lackmaske 109 dienen.
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Die
Lackmaske 109 kann gebildet werden, indem zuerst das Füllmaterial 108 durch
beispielsweise Aufschleudern eines Lackes oder eines Polymermaterials
aufgebracht wird, und anschließend
ein Photolack durch Aufschleudern aufgebracht wird, ein gut etablierter
Photolithographieprozess ausgeführt wird
und das Füllmaterial 108 auf
der Grundlage der Lackmaske 109 geätzt oder trockenentwickelt
wird. Danach wird das Bauelement 100 einer Ätzumgebung 110 auf
der Grundlage von Kohlenstoff und Fluor ausgesetzt, um durch die
Schicht 106 zu ätzen
und um einen Bereich der Schicht 105 zu entfernen, um damit
einen Graben um die Kontaktlochöffnung 105a herum
und eine Öffnung
in dem zweiten Bauteilgebiet 120b entsprechend der Öffnung 109b zu
bilden, während
das Füllmaterial 108 in
der Kontaktlochöffnung 105a einen
wesentlichen Materialabtrag darin verhindert. Ferner schützt das
Füllmaterial 108 innerhalb
der Öffnung 105a,
obwohl es während
des Ätzprozesses 110 teilweise
entfernt werden kann, die restliche Ätzstoppschicht 104 in
der Öffnung 104a,
so dass die Metallleitung 103a nicht in der Ätzumgebung 110 freigelegt
wird. Nachdem ein Graben mit spezifizierter Tiefe um die Kontaktlochöffnung 105a herum und
eine entsprechende Öffnung
in dem zweiten Bauteilgebiet 120b gebildet sind, werden
die Lackmaske 109 und das Füllmaterial 108 durch
beispielsweise einer Behandlung auf Basis eines Sauerstoffplasmas
entfernt.
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Während des Ätzprozesses 110 kann
die Abtragsrate der dielektrischen Schicht 105 deutlich
von der geometrischen Struktur der Gräben und Öffnungen abhängen, die
in der dielektrischen Schicht 105 zu bilden sind. Beispielsweise
kann die Ätzrate
an der Grabenöffnung 109a,
wenn diese beispielsweise einen isolierten Graben repräsentiert,
deutlich höher sein
im Vergleich zur Rate bei der Öffnung 109b,
die so gestaltet ist, dass diese ein Testgebiet repräsentiert.
Im Allgemeinen werden in modernen Halbleiterbauelementen im Wesentlichen
zusammenhängende
nicht unterteilte Metallplatten mit größeren Abmessungen im Vergleich
zu Metallleitungen in Produktbereichen eine Vielzahl von Test- und
Messaufgaben gewünscht.
Folglich kann auf Grund des strukturabhängigen und geometrieabhängigen Ätzverhaltens
die Ätztiefe
und damit die schließlich
erreichte Dicke der großflächigen Metallgebiete
im Vergleich zu eigentlichen Metallleitungen geringer sein, wodurch
sich möglicherweise
eine insgesamt reduzierte Stabilität der entsprechenden Metallisierungsschicht ergibt.
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Nach
dem Ätzprozess 110 werden
die Lackmaske 109 und das Material der Schicht 108 entfernt und
nachfolgend wird die Ätzstoppschicht 104 vollständig durch
einen weiteren Ätzprozess
geöffnet.
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1c zeigt schematisch das
Bauelement nach der obigen Prozesssequenz mit einem Graben 111a und
einer Öffnung 111b,
die in der Schicht 106 und der dielektrischen Schicht 105 in
dem ersten bzw. dem zweiten Bauteilgebiet 120a bzw. 120b gebildet
sind. Des weiteren unterliegt das Bauelement einem Abscheideprozess 112 zur
Herstellung einer leitenden Barrierenschicht 114 auf freiliegenden Oberflächenbereichen
und in den Öffnungen 105a, 111a und 111b.
Die Barrierenschicht 114 ist aus einem beliebigen geeigneten
Material aufgebaut, etwa Tantal, Tantalnitrid, Kombinationen davon,
oder dergleichen. Die Barrierenschicht 114 ist festgelegt,
um die Diffusion von Kupfer in das dielektrische Material der Schicht 105 zu
reduzieren und um eine Diffusion von nicht gewünschtem Material, etwa dielektrischen Material,
Sauerstoff, oder dergleichen, in das kupferbasierte Material, das
noch in die Öffnungen 105a, 111a und 111b einzufüllen ist,
zu unterdrücken.
Des weiteren soll die Barrierenschicht 114 eine verbesserte
Haftung des kupferbasierten Materials an dem umgebenden dielektrischen
Material gewährleisten, um
damit eine ausreichende mechanische Stabilität der Metallisierungsstruktur
während
der weiteren Bearbeitung und des Betriebs des Bauelements 100 sicherzustellen.
Daher können
die Materialzusammensetzung und die Prozessbedingungen, die für den Abscheideprozess 112 eingesetzt
werden, merklich das Verhalten der resultierenden Metallisierungsschicht
während
der weiteren Bearbeitung und während
des Betriebs des fertiggestellten Bauelements 100 beeinflussen.
Beispielsweise kann die Barrierenschicht 114 durch Sputter-Abscheidung
mit vordefinierten Parametern im Hinblick auf die Substrattemperatur,
den Gasdruck, die Plasmabedingungen, oder dergleichen abgeschieden
werden.
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1d zeigt schematisch das
Bauelement 100 in einem weiter fortgeschritten Herstellungsstadium,
wobei das Bauelement 100 eine metallgefüllte Kontaktdurchführung 113a aufweist,
die eine Verbindung zu dem Metallgebiet 103 und einer Metallleitung 112a herstellt,
die über
der Kontaktdurchführung 113 gebildet
ist. In dem zweiten Bauteilgebiet 120b ist ein Metallbereich 112b gebildet,
dessen Dicke im Vergleich zu der Dicke der Metallleitung 112a auf
Grund möglicher Ätzungleichförmigkeiten
während
des Ätzprozesses 110 sein
kann, wie dies zuvor erläutert
ist.
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Ein
typischer Prozessablauf zur Herstellung des Bauelements 100,
wie es in 1d gezeigt
ist, kann das Abscheiden einer Saatschicht (nicht gezeigt) aufweisen,
an das sich eine elektrochemische Abscheidung von Kupfer oder einer
Kupferlegierung anschließt,
wobei für
gewöhnlich
eine gewisse Menge an Überschussmaterial
vorgesehen wird, um die Öffnungen 105a, 111a und 111b zuverlässig zu
füllen.
Danach wird das überschüssige Material
beispielsweise durch CMP (chemisch-mechanisches Polieren) entfernt.
Da das CMP einer von mehreren Prozessschritten ist, in welchem zusätzliche
mechanische Kräfte,
beispielsweise in Form von Scherungskräften, auf das Bauelement 100 einwirken, kann
häufig
ein Ablösen
bzw. Abblättern
von Material beobachtet werden, wobei insbesondere ein Bereich an
oder unter dem Metallbereich 112b, der als 105b bezeichnet
ist, eine erhöhte
Materialablösung
aufweisen kann. Da Materialablösung
die anfängliche Phase
der Ausbildung von Rissen in der dielektrischen Schicht 105 repräsentieren
kann, die sich dann sogar in das Bauteilgebiet 120a fortsetzen
können,
kann sich ein deutlicher Ausbeuteverlust oder eine geringere Zuverlässigkeit
während
der weiteren Bearbeitung und des Betriebs des Bauelements 100 ergeben.
Angesichts dieser Situation wird in einigen Vorgehensweisen die
Gestaltung der Bauelemente so geändert,
dass die Größe des Metallbereichs 112b unterhalb
eines gewissen kritischen Wertes gehalten wird, und/oder eine Struktur
aus Platzhalterkontaktdurchführungen
unterhalb des Metallbereichs 112b vorgesehen wird. Auf
diese Weise kann eine unerwünschte
Ablösung
der Metallschicht oder innerhalb der Metallschicht deutlich reduziert
werden. Jedoch kann die Funktion des modifizierten Metallgebiets 112b im
Hinblick auf gewisse Testprozeduren und das Anzeigen ernsthafter
Probleme in Bauteileigenschaften reduziert oder nicht mehr möglich sein, da
die Größe und die
Struktur geändert
werden müssen
und Ablöseereignisse,
die möglicherweise
auf Schwierigkeiten im Prozessablauf hindeuten, nicht mehr auftreten.
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Angesichts
der zuvor beschriebenen Situation besteht ein Bedarf für eine verbesserte
Technik, die es ermöglicht,
eines oder mehrere der oben bekannten Probleme zu lösen oder
deren Auswirkungen zumindest zu reduzieren.
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Überblick über die
Erfindung
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Im
Allgemeinen richtet sich die vorliegende Erfindung an eine Technik,
die eine zerstörungsfreie Abschätzung von
Prozess- und/oder Materialeigenschaften während eines Prozessablaufs
zur Herstellung von Metallisierungsschichten von Halbleiterbauelementen
ermöglicht.
Zu diesem Zweck werden Metalllplatten mit einer geeigneten Größe gemäß einem spezifizierten
Prozessablauf in einer Metallisierungsschicht hergestellt, wobei
eine Größe der Metallplatte geeignet
gewählt
ist, um eine erhöhte
Wahrscheinlichkeit für
Ablöseereignisse
während
der Fertigungssequenz im Vergleich zu Metallgebieten in einem tatsächlichen
Bauteilbereich aufzuweisen, während
zusätzlich
die Wahrscheinlichkeit für
eine vollständige Ablösung der
Metallplatte deutlich reduziert ist, indem die Peripherie der Me tallplatte
geeignet gestaltet ist, wodurch auch die Gefahr für die Ausbildung von
Rissen geringer wird, die ansonsten die weitere Bearbeitung des
Halbleiterbauelements nachteilig beeinflussen können. Folglich können auf
der Grundlage des Ausmaßes
an Materialablösung,
die in der Metallplatte erkannt wird, Eigenschaften des Prozessablaufs
und damit des Status der Metallisierungsschicht in effizienter Weise
abgeschätzt
werden, ohne dass im Wesentlichen die weitere Bearbeitung und das
Leistungsverhalten des fertiggestellten Bauelements beeinflusst
werden.
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Gemäß einer
anschaulichen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung umfasst ein Verfahren das Bilden einer
metallenthaltenden Testplatte in einem Metallisierungsschichtstapel
eines Halbleiterbauelement, der über
einem Substrat gebildet ist, wobei die metallenthaltende Testplatte
ein Ablösetestgebiet
und ein Haftgebiet mit einer erhöhten
Haftung innerhalb des Metallisierungsschichtstapels im Vergleich
zu dem Ablösetestgebiet
aufweist. Des weiteren umfasst das Verfahren das Abschätzen eines Ausmaßes an Ablösung in
dem Ablösetestgebiet.
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Gemäß einer
noch weiteren anschaulichen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung umfasst ein Verfahren das Bilden einer
Metallplatte über einem
ersten Gebiet in einem Metallisierungsschichtstapel für ein Halbleiterbauelement,
das gemäß einer spezifizierten
Fertigungssequenz herzustellen ist, wobei die Metallplatte eine
Größe aufweist,
die eine zerstörungsfreie
Inspektion eines zentralen Gebiets der Metallplatte ermöglicht.
Das Verfahren umfasst ferner das Bilden eines Haftgebietes in dem
Metallisierungsschichtstapel, das mit der Metallplatte in Kontakt
kommen soll, wobei das Haftgebiet benachbart zu und in Verbindung
mit dem zentralen Gebiet ist und eine reduzierte Wahrscheinlichkeit
für eine Ablösung während der
spezifizierten Fertigungssequenz im Vergleich zu dem zentralen Gebiet
aufweist.
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Gemäß einer
noch weiteren anschaulichen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung umfasst eine Halbleiterstruktur ein oder
mehrere Halbleiterschaltungselemente, die über einem ersten Substratgebiet
gebildet sind. Ferner ist eine Metallplatte über einem zweiten Substratgebiet
in einem Metallisierungsschichtstapel gebildet, der über dem ersten
und dem zweiten Substratgebiet ausgebildet ist, wobei die Metallplatte
einen Rand aufweist und ein zentrales Gebiet besitzt, das für eine zerstörungsfreie
Inspektion entsprechend dimensioniert ist. Des weiteren umfasst
die Halbleiterstruktur ein Haftgebiet, das das zentrale Ge biet der
Metallplatte begrenzt, wobei das Haftgebiet ausgebildet ist, dem Rand
der Metallplatte eine erhöhte
mechanische Stabilität
im Vergleich zu dem zentralen Gebiet zu verleihen.
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Kurze
Beschreibung der Zeichnungen
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Weitere
Vorteile, Aufgaben und Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung sind in den angefügten Patentansprüchen definiert
und gehen deutlicher aus der folgenden detaillierten Beschreibung
hervor, wenn diese mit Bezug zu den begleitenden Zeichnungen studiert
wird, in denen:
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1a bis 1d schematisch
Querschnittsansichten eines Halbleiterbauelements während der Herstellung
einer Metallisierungsschicht mit Metallleitungen und einem großflächigen Metallgebiet
für Testzwecke
während
diverser Fertigungsphasen gemäß einem
konventionellen Prozessablauf zeigen;
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2a und 2b schematisch
eine Draufsicht eines Halbleiterbauelements in Form einer Schaltungsanordnung
bzw. eines Layouts zeigen, das zum Bestimmen einer Fläche einer
Metallplatte für
eine zerstörungsfreie
Inspektion im Hinblick auf Ablöseereignisse
verwendet werden kann, wobei dieser Bereich durch einen Bereich
mit erhöhter
Haftung begrenzt ist;
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2c und 2d schematisch
eine Draufsicht bzw. eine Querschnittsansicht zeigen, wobei ein Gebiet
mit erhöhter
Haftung durch zusätzliche
Platzhalterkontaktdurchführungen
gemäß der vorliegenden
Erfindung realisiert ist;
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2e und 2f eine
Draufsicht bzw. eine Querschnittsansicht zeigen, in denen das Haftgebiet in
einer Testmetallplatte in Form dielektrischer Inseln gemäß noch weiterer
anschaulicher Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung vorgesehen ist;
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2g schematisch
eine Querschnittsansicht eines Halbleiterbauelements zeigt, das
darin ausgebildet eine Vielzahl von Platzhalterkontaktdurchführungen
aufweist, die ein Haftgebiet einer Testmetallplatte definieren,
das noch herzustellen ist, gemäß noch weiterer
anschaulicher Ausführungsformen;
und
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2h schematisch
eine Testmetallplatte zeigt, in der Platzhalterkontaktdurchführungen,
die mit entsprechenden Platzhaltermetallleitungen in einer tieferliegenden
Metallisierungsschicht verbunden sind, gemäß noch weiterer anschaulicher
Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung gezeigt sind.
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Detaillierte
Beschreibung
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Obwohl
die vorliegende Erfindung mit Bezug zu den Ausführungsformen beschrieben ist,
wie sie in der folgenden detaillierten Beschreibung sowie in den
Zeichnungen dargestellt sind, sollte es selbstverständlich sein,
dass die folgende detaillierte Beschreibung sowie die Zeichnungen
nicht beabsichtigen, die vorliegende Erfindung auf die speziellen
anschaulichen offenbarten Ausführungsformen
einzuschränken,
sondern die beschriebenen anschaulichen Ausführungsformen stellen lediglich
beispielhaft die diversen Aspekte der vorliegenden Erfindung dar,
deren Schutzbereich durch die angefügten Patentansprüche definiert
ist.
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Die
vorliegende Erfindung richtet sich im Allgemeinen an eine Technik
zur Herstellung von Metallisierungsschichten gemäß einer Damaszener- oder Einlegeabfolge,
wobei zusätzlich
zu Metallleitungen und Kontaktdurchführungen auch großflächige Metallgebiete
zum Überwachen
des Status der Metallisierungsschicht und/oder zum Abschätzen spezieller Prozesseigenschaften
des Fertigungsprozesses für die
Metallisierungsschicht vorgesehen sind. In dieser Hinsicht ist eine
Metallisierungsschicht als eine dielektrische Schicht zu verstehen,
die über
einer Bauteilschicht gebildet ist, d. h. einer oder mehreren Schichten
mit darin ausgebildeten Halbleiterschaltungselementen, etwa Transistoren,
Kondensatoren, Widerstände,
und dergleichen, wobei Metallleitungen und Metallgebiete in dem
dielektrischen Metall der Metallisierungsschicht vorgesehen sind,
die für
die schichtinterne elektrische Verbindung von Schaltungselementen
sorgen, wohingegen Kontaktdurchführungen
an gewissen Positionen mit den entsprechenden Metallleitungen verbunden
sind. Folglich stellen die Kontaktdurchführungen eine elektrische Verbindung
zu einem tieferliegenden Metallgebiet her, wodurch schließlich eine
elektrische Verbindung der einen oder mehreren Halbleiterschaltungselementen
innerhalb der Bauteilebne erreicht wird. Wie zuvor erläutert ist,
werden in Halbleiterbauelementen äußerst leitende Metalle, etwa
Kupfer oder Kupferlegierungen typischerweise eingesetzt und werden
auf der Grundlage der Damaszener-Technik
aufgebracht, wobei das dielektrische Material mit entsprechenden Öffnungen
ver sehen wird, die nachfolgend mit dem Kupfer oder der Kupferlegierung
gefüllt
werden, wodurch anspruchsvolle anisotrope Ätzverfahren in Verbindung mit
modernen CMP-Prozessen und
Barrierenschichtabscheideverfahren erforderlich sind. Ferner werden
Kupfer und Legierungen davon häufig
in Verbindung mit dielektrischen Materialien mit kleinem ε verwendet,
d. h. mit Materialien mit einer dielektrischen Konstante von 3,0
oder sogar weniger, die eine reduzierte mechanische Stabilität und auch
eine geringere Haftung an das kupferbasierte Metall aufweisen können. Folglich
kann eine erhöhte Wahrscheinlichkeit
für eine
Ablösung
in den Metallisierungsschichten beobachtet werden, insbesondere wenn
Metallgebiete mit größeren lateralen
Abmessungen in einer spezifizierten Metallisierungsschicht herzustellen
sind. Die größere Ablösung in
Bereichen mit großen
Metallplatten, die für
Testzwecke verwendet werden, kann jedoch zu einer Ausbildung von Rissen
in der Metallisierungsschicht führen,
die sich auch in die Bauteilbereiche erstrecken können, wodurch
Ausbeute und Zuverlässigkeit
beeinträchtigt werden.
Obwohl eine erhöhte
Ablösung
entsprechender Metallplatten deutlich durch entsprechende Entwurfsmaßnahmen,
etwa die Verringerung der Größe einer
entsprechenden Metallplatte auf unterhalb eines gewissen kritischen
Wertes reduziert werden kann, ist dennoch ein gewisser Nachteil
mit diesen Entwurfsmaßnahmen
verbunden, etwa eine reduzierte Entwurfsflexibilität und der
Verlust an wertvollen Informationen hinsichtlich der Eigenschaften und
dem Status von Metallisierungsschichten und dem damit verknüpften Fertigungsprozessablauf.
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Gemäß einer
anschaulichen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung können
großflächige Metallplatten
dennoch in dem Halbleiterbauelement beibehalten werden, wobei trotzdem
die Gefahr einer vollständigen
Ablösung
derartiger Metallplatten verringert wird, indem ein Bereich mit
erhöhter
Haftung, der auch als ein Haftgebiet bezeichnet wird, vorgesehen
wird, der mit dem Metall der Metallplatte verbunden ist und eine
deutlich erhöhte
Haftkraft zu dem umgebenden Material, etwa dem umgebenden dielektrischen
Material aufweist, und/oder mit darunter oder darüber liegenden
Materialschichten in Bezug auf die Metallplatte verbunden ist, wodurch
die Gefahr der Ausbildung von Rissen deutlich reduziert wird. Auf
Grund des Vorsehens der großflächigen Metallplatte,
in der ein hohes Maß an „lokalisierter" Ablösung auftreten
kann, wird dennoch eine effektive Überwachungsfläche bereitgestellt,
in der das Auftreten von Ablöseereignissen
in geeigneter Weise mit Eigenschaften der Metallisierungsschicht
sowie den entsprechenden Fertigungsprozess verknüpft werden können.
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Mit
Bezug zu den 2a bis 2h werden nunmehr
weitere anschauliche Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung detaillierter beschrieben.
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2a zeigt
schematisch eine Draufsicht eines Halbleiterbauelements 200,
wobei 2a so zu verstehen ist, dass
diese die Verdrahtungsanordnung einer integrierten Schaltung repräsentieren kann,
die einen Teil des gezeigten Halbleiterbauelements 200 bildet.
In anderen Fällen
kann das Halbleiterbauelement 200 so verstanden werden,
dass es eine gewisse Art an Halbleiterbauelement mit allen funktionalen
und nicht funktionalen Komponenten repräsentiert, die für die Herstellung
einer spezifischen Art an Halbleiterbauelementen erforderlich sind.
Beispielsweise kann das Halbleiterbauelement 200 das Layout
oder eine reale Version eines Halbleiterbauelements ähnlich zu
dem in den 1a bis 1d gezeigten
Bauelement repräsentieren,
wobei zusätzlich zu
eigentlichen Schaltungselementen und der entsprechenden Verdrahtung
eine entsprechende Metallplatte für Testzwecke vorzusehen ist.
Somit kann das Halbleiterbauelement 200 oder dessen Entwurf eine
oder mehrere Metallisierungsschichten aufweisen, wovon eine in der
Draufsicht aus 2a als eine Schicht 230 gezeigt
ist. Das Bauelement 200 weist ein erstes Bauteilgebiet 220a und
ein zweites Bauteilgebiet 220b auf, die nicht notwendigerweise
in dem gleichen Chipgebiet liegen müssen, wenn das zweite Bauteilgebiet 220b ein
spezifiziertes Testgebiet repräsentieren
soll, das lediglich an einigen wenigen spezifizierten Substratpositionen
vorgesehen ist. In anderen anschaulichen Ausführungsformen sind das erste
und das zweite Bauteilgebiet 220a und 220b in den
gleichen Chipgebiet angeordnet, d. h. innerhalb eines Bereichs,
der über
einem geeigneten Substrat gebildet ist, der als eine funktionelle
Einheit nach dem Bilden des Substrats und der einzelnen Chipgebiete
fungiert. Das erste Bauteilgebiet 220a kann eine Vielzahl
an Metallleitungen aufweisen, wovon lediglich eine repräsentative
Metallleitung 212a dargestellt ist. Die Metallleitung 212a kann
mit einem darunter liegenden Metallgebiet oder Kontaktgebiet durch
eine oder mehrere Kontaktdurchführungen 213a verbunden
sein.
-
In
dem zweiten Bauteilgebiet 220b ist ein Metallgebiet 212b vorgesehen,
das eine deutlich größere Abmessung
zumindest in einer lateralen Richtung aufweist. Das Metallgebiet 212b weist
einen zentralen Bereiche 212c und einen Rand 212p auf, wobei
in einer Ausführungsform
der zentrale Bereiche 212c und der Rand 212p einen
Metallbereich repräsentieren,
der zumindest in einigen Bereichen zusammenhängend ist, so dass eine direkte
mechanische Verbindung zwischen dem Metall des zentralen Gebiets 212c und
dem Rand 212p besteht. Das zentrale Gebiet 212c und
der Rand 212p sind so ausgebildet, dass sie eine deutlich
unterschiedliche Haftung und damit eine Widerstandsfähigkeit
gegen eine Materialablösung
im Hinblick auf eine vorangegangene oder eine nachfolgende Fertigungssequenz
aufweisen. Wie zuvor erläutert
ist, kann durch das Bereitstellen einer im Wesentlichen strukturlosen
Metallplatte, wie sie beispielsweise in den 1c und 1d gezeigt
ist, das resultierende Metallgebiet eine moderat geringe Haftung
zu benachbarten Materialien aufweisen, wodurch eine hohe Wahrscheinlichkeit
für Ablöseereignisse
während
des Fertigungsprozesses zur Herstellung des Metallgebiets und während nachfolgender
Fertigungsschritte entsteht. Daher kann das zentrale Gebiet 212c ein
entsprechendes Metallgebiet repräsentieren,
wobei dessen Größe so gewählt ist,
dass eine gewisse Wahrscheinlichkeit für das Auftreten von Ablöseereignissen
im Hinblick auf eine spezifizierte Fertigungssequenz und Materialzusammensetzung
der entsprechenden Metallisierungsschicht erreicht wird. Beispielsweise
sind, wie zuvor mit Bezug zu den 1a bis 1d erläutert ist,
in vielen Fällen
im Wesentlichen nicht geteilte Metallplatten mit vergrößerter Fläche im Hinblick
auf gewisse Testprozeduren vorteilhaft, etwa das Überwachen
von CMP-Einkerbungseffekten, und dergleichen. Folglich wird die
laterale Größe des zentralen
Gebiets 212c gemäß den Entwurfserfordernissen
im Hinblick auf die Testfunktion des Metallgebiets 212b ausgewählt, wobei
jedoch in diesen Bereichen im Wesentlichen keine zusätzlichen
Entwurfsmaßnahmen
vorgenommen werden, um die Wahrscheinlichkeit für Ablöseereignisse zu reduzieren.
Vielmehr wird die laterale Größe des zentralen
Gebiets 212c, das im Bereich von ungefähr 2500 μm2 oder
größer für Halbleiterbauelemente
mit Schaltungselementen mit kritischen Abmessungen von 100 nm und
deutlich weniger liegen kann, so festgelegt, dass eine zerstörungsfreie
Inspektion des zentralen Gebiets 212c, beispielsweise im
Hinblick auf Oberflächenunregelmäßigkeiten,
eine quantitative Abschätzung
von Eigenschaften des Prozessablaufs und/oder des Status der Metallisierungsschicht 230 ermöglicht wird,
wie dies nachfolgend detaillierter beschrieben ist.
-
Andererseits
besitzt der Rand 212p eine moderat hohe Haftung, die durch
geeignetes Strukturieren des Gebiets 212p erreicht wird,
um damit dem Rand 212p eine erhöhte Haftung zu verleihen, wodurch
die Wahrscheinlichkeit für
ein vollständiges
Ablösen
des Metallgebiets 212b reduziert wird, da der Rand als
eine „Barriere" für die Ablösung dienen kann.
Durch Begrenzen des zentralen Gebiets 212c, das damit als
eine Überwachungsfläche für eine zerstörungsfreie
Kennzeichnung von Prozessablauf- und Materialeigenschaften dienen
kann, ist die Gefahr für
eine negative Beeinflussung von Schaltungselementen, etwa der Metallleitung 212a in
dem ersten Bauteilgebiet 220a deutlich reduziert. Somit
können
wertvolle Informationen über
den Prozessablauf und die Eigenschaften der Metallisierungsschicht 230 und
möglicherweise über andere
Metallisierungsschichten, die unterhalb der Schicht 230 ausgebildet
sind, gewonnen werden, indem das zentrale Gebiet 212c inspiziert
wird, das Ablöseereignissen unterliegt,
die durch den Rand 212p lokal auf das zentrale Gebiet 212c begrenzt
sind.
-
2b zeigt
schematisch eine Draufsicht des Halbleiterbauelements 200 in
Form einer tatsächlichen
Halbleiterstruktur, wobei in dem zweiten Bauteilgebiet 220b mehrere
Metallgebiete 212b ausgebildet sind, wobei zumindest einige
dieser Gebiete 212b eine unterschiedliche laterale Größe aufweisen.
In einer anschaulichen Ausführungsform
repräsentiert
die Halbleiterstruktur 200, wie sie in 2b gezeigt
ist, ein Testbauelement die mehreren darin ausgebildeten Metallgebieten 212b mit
unterschiedlicher Größe, um damit
eine geeignete laterale Abmessung des zentralen Gebiets 212c (siehe 2a) für einen
spezifizierten Prozessablauf und eine spezifizierte Art an herzustellendem
Halbleiterbauelement abzuschätzen.
D. h., in dieser Ausführungsform wird
eine spezifizierte Fertigungssequenz ausgeführt, um die Metallgebiete 212b herzustellen,
wobei das Auftreten und/oder das Maß an Ablösung auf der Grundlage einer
nachfolgenden Inspektion der mehreren Metallgebiete 212b bewertet
wird. Beispielsweise kann eine laterale Größe von 100 μm × 100 μm als eine Standardgröße festgelegt
werden, die für das
Ausführen
einer effizienten Inspektion, etwa einer optischen Inspektion durch
Mikroskop auf der Grundlage einer manuellen Bewertung oder automatisierter
Bearbeitungssysteme, oder andere geeignete Inspektionsverfahren,
etwa das Detektieren der Oberflächenreflektivität und dergleichen
geeignet sein kann, wobei auch Metallgebiete 212b mit einer größeren Größe und einer
geringeren Größe vorgesehen
werden, um eine geeignete Größe für das zentrale
Gebiet 212c zu ermitteln. Nach dem Prozessieren des Bauelements 200,
wie es in 2b gezeigt ist, gemäß einer
spezifizierten Fertigungssequenz, die in einigen anschaulichen Ausführungsformen
im Wesentlichen die gleichen Prozessschritte enthält, wie
sie auch für
tatsächliche
Produkte verwendet werden, wird das Maß und/oder die Anzahl an Ablöseereignissen
für diverse
Größen der
Metallgebiete 212b bestimmt. Beispielsweise kann eine Größe entsprechend
dem linken Metallgebiet 212b zu einem höheren Maß an Materialablösung führen, wobei
beispielsweise eine hohen Wahrscheinlichkeit besteht, dass im Wesentlichen
jedes Metallgebiet 212b mit der entsprechenden Größe ein entsprechendes
Ablöseereignis
erfährt.
Andererseits können
kleinere Metallgebiete 212b, etwa wie sie auf der rechten
Seite gezeigt sind, eine moderate Wahrscheinlichkeit für das Auftreten
von Ablöseereignissen
aufweisen, die in einigen anschaulichen Ausführungsformen die entsprechende
Größe als eine
geeignete Größe erscheinen
lassen, da eine Variation von Materialeigenschaften und/oder Prozesseigenschaften,
die zu besseren oder beeinträchtigteren
Haftungseigenschaften der Metallgebiete 212b führen, in
effizienter Weise auf der Grundlage einer Zunahme oder einer Abnahme
der entsprechenden Anzahl oder des Ausmaßes an Ablöseereignissen überwacht
werden kann. In noch anderen anschaulichen Ausführungsformen kann eine andere
geeignete Größe ausgewählt werden,
etwa eine Größe, die
im Wesentlichen zu keinen Ablöseereignissen
für einen
Prozessablauf führt,
der die Testspezifikationen erfüllt.
In noch anderen anschaulichen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
kann eine Vielzahl unterschiedlicher geeigneter lateraler Größen für die zentralen
Gebiete 212c bestimmt werden und kann während der Bearbeitung tatsächlicher
Produktsubstrate als effiziente zerstörungsfreie Testflächen für die Kennzeichnung
des Fertigungsprozesses und/oder des Status der entsprechenden Metallisierungsschicht
verwendet werden.
-
In
einer anschaulichen Ausführungsform wird
die Halbleiterstruktur 200, wie sie in 2b gezeigt
ist, auch für
das Bestimmen einer Korrelation zwischen spezifischen Materialeigenschaften und/oder
Prozesseigenschaften des betrachteten Prozessablaufs zu dem Ausmaß und/oder
Anzahl der Ablöseereignisse
verwendet. Beispielsweise können
ein oder mehrere Prozessparameter, die bei der Herstellung der Metallisierungsschicht 230 von tatsächlichen
Produktsubstraten beteiligt sind, für eine Vielzahl von Teststrukturen 200,
wie sie in 2b gezeigt sind, variiert werden,
um das Ausmaß und
die Menge an Ablöseereignissen
für eine entsprechende
Parametereinstellung zu bestimmen. Beispielsweise können CMP-Parameter variiert
werden und das sich ergebende Ausmaß und/oder die Anzahl an Ablöseereignissen
für eine
oder mehrere unterschiedlichen Größen der Metallgebiete 212b kann
aufgezeichnet und bewertet werden. In ähnlicher Weise können Prozessparameter
für die
Herstellung einer Barrieren- und Haftschicht, wie sie typischerweise
für kupferbasierte
Metallisierungsschichten vorgesehen ist, in geeigneter Weise variiert
werden, um eine Abhängigkeit
von Ablöseereignissen und
anderen Prozessparametern und Materialeigenschaften der Barrieren-
und Haftschicht zu ermitteln. In noch anderen anschaulichen Ausführvngsformen können andere
experimentelle Daten mit dem Ausmaß und der Anzahl an Ablöseereignisse
in Beziehung gesetzt werden, etwa elektrische Daten, und dergleichen.
Zu diesem Zweck weist die in 2b gezeigte
Halbleiterstruktur 200 auch mehrere tatsächliche
Schaltungselemente auf, von denen eine oder mehrere Eigenschaften
benutzt werden können, um
eine Korrelation zwischen dem Bauteilstatus und den Prozessablaufeigenschaften
und der Ablösung herzustellen.
Beispielsweise können
Elektromigrationstestergebnisse ermittelt und mit den Inspektionsergebnissen
für einen
vorgegebenen Satz an Materialparametern und Prozessablaufparametem
in Beziehung gesetzt werden. In einigen anschaulichen Ausführungsformen
werden die Metallgebiete 212b der Halbleiterstruktur 200 mit
den unterschiedlichen Größen zum
Abschätzen
einer geeigneten Größe für das zentrale
Gebiet 212c und/oder zum Abschätzen einer Korrelation zu Materialeigenschaften
und/oder Prozessablaufparametem in Verbindung mit entsprechenden
Haftgebieten, etwa dem Rand 212p (2a) vorgesehen,
um gleichzeitig die Effizienz des entsprechenden Randgebiets im
Hinblick auf seine Fähigkeit
abzuschätzen,
eine vollständige
Ablösung
zu unterdrücken
und/oder um die Ausbildung von Rissen von benachbarten Bauteilbereichen
zu unterdrücken.
Folglich kann eine geeignete Kombination aus zentralem Gebiet 212c und
Rand 212p auf der Grundlage der Inspektionsergebnisse von
der Halbleiterstruktur 200, wie sie in 2b gezeigt
ist, ausgewählt
werden.
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2c zeigt
schematisch eine Draufsicht des Halbleiterbauelements 200 oder
eines Layouts davon, wobei der Rand 212p des Metallgebiets 212b in
Form mehrerer Platzhalterkontaktdurchführungen 213b vorgesehen
ist, die unter dem Metall des Rands 212p des Metalls 212b ausgebildet
sind, wodurch eine erhöhte
Haftung auf Grund des „Anker"-Effekts der Platzhalterkontaktdurchführungen 213b erreicht wird.
In diesem Zusammenhang ist eine Platzhalterkontaktdurchführung als
ein metallgefüllter
Pfropfen zu verstehen, der sich zumindest teilweise durch das dielektrische
Material in Richtung einer darunter liegenden Materialschicht erstreckt,
wobei die Platzhalterkontaktdurchführung im Gegensatz zu funktionellen
Kontaktdurchführungen,
die in Produktbereichen eines Halbleiterbauelements vorgesehen sind,
nicht notwendigerweise elektrisch mit Halbleiterschaltungselementen
verbunden ist, die für
die Funktionsfähigkeit
einer spezifizierten Schaltungsanordnung einer integrierten Schaltung
erforderlich sind. Folglich bieten die Platzhalterkontaktdurchführungen 213b,
die mit dem Metallgebiet 212b verbunden sind, eine deutlich
vergrößerte Haftfläche zu den
benachbarten dielektrischen Materialien und verringern damit deutlich
die Wahrscheinlichkeit für
eine Ablösung im
Vergleich zu dem zentralen Gebiet 212b, in welchem die
Platzhalterkontaktdurchführungen 213b nicht
vorhanden sind, so dass dieses dann effizient entsprechende Ablöseereignisse
erfahren kann.
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2d zeigt
schematisch eine Querschnittsansicht des Layouts oder des Bauteils,
wie es in 2c gezeigt ist, entlang der
in 2c als IId gekennzeichneten Linie. Somit umfasst
das Bauelement 200 oder dessen Layout ein Substrat 201 in
und auf welchem eine Bauteilschicht 240 vorgesehen ist, die
mehrere Schaltungselemente, etwa Halbleiterschaltungselemente in
Form von Transistoren, Widerständen,
Kondensatoren, und dergleichen enthalten kann. Die entsprechenden
Schaltungselemente sind als Gesamtheit mit 241 bezeichnet,
wobei dieses Element in der dargestellten Ausführungsform einen Feldeffekttransistor
repräsentiert,
wobei der Querschnitt entlang der Transistorbreitenrichtung genommen
ist, d. h. die horizontale Richtung in 2d repräsentiert
die Breitenrichtung des Transistors 241. Des weiteren umfasst
die Bauteilschicht 240 metallenthaltende Kontaktpfropfen 242,
die in einem Zwischenschichtdielektrikumsmaterial 243 ausgebildet sind
und die mit entsprechenden Kontaktgebieten des Schaltungselements 241 verbunden
sind. Eine erste Metallisierungsschicht, die durch eine dielektrische
Schicht 202 und mehrere darin ausgebildete Metallleitungen
repräsentiert
ist, die durch die Metallleitung 203 repräsentiert
sind, die sich beispielsweise entlang der Transistorbreitenrichtung
erstreckt, ist über
der Bauteilschicht 240 vorgesehen. Über der ersten Metallisierungsschicht,
die durch die dielektrische Schicht 202 und die Metallleitung 203a repräsentiert
ist, kann eine weitere Metallisierungsschicht ausgebildet sein,
etwa die in 2c gezeigte Metallisierungsschicht 230.
In dem ersten Bauteilgebiet 220a kann sich die entsprechende
Metallleitung 212a im Wesentlichen senkrecht in einem typischen
Entwurf von Metallisierungsschichten zu der Metallleitung 203a erstrecken
und kann in einem oberen Bereich 205u einer dielektrischen
Schicht 205 gebildet sein. Ferner können sich die Kontaktdurchführungen 213a durch
einen unteren Bereich 205l der dielektrischen Schicht 205 erstrecken,
um die Metallleitung 212a mit der Leitung 203a zu
verbinden. Es sollte beachtet werden, dass in einigen Ausführungsformen moderner
Halbleiterbauelemente die dielektrische Schicht 205 in
Form eines dielektrischen Materials mit kleinem ε, zumindest in dem oberen Bereich 205u,
vorgesehen sein kann. In ähnlicher
Weise ist in dem zweiten Bauteilgebiet 220b das Metallgebiet 212b in
dem oberen Bereich 205u vorgesehen, wobei die Höhe des Metallgebiets 212b sich
von der entsprechenden Höhe
der Metallleitung 212a auf Grund von Ätzungleichförmigkeiten unterscheiden kann,
wenn die Dicke des oberen Bereichs 205u durch einen Ätzprozess
anstatt durch die Platzierung einer Ätzstoppschicht in einen Fertigungsprozess
zur Herstellung der Kontaktdurchführungen 213a und der
Metallleitungen und Metallgebiet in den oberen Bereich 205u definiert
ist. In diesem Zusammenhang sollte beachtet werden, dass Positionsangaben
und Informationen, etwa „oberer", „unterer, „über", „unter", „vertikal", „horizontal", „lateral", und dergleichen in
Bezug auf das Substrat 201 zu verstehen sind. Beispielsweise
ist eine laterale Richtung als eine Richtung im Wesentlichen parallel
zu einer Oberfläche des
Substrats 201 zu verstehen. Eine Komponente oder eine Schicht
ist unter einer anderen Schicht angeordnet, wenn der Abstand der
ersteren Komponente oder Schicht in Bezug auf die Oberfläche des Substrats 201 kleiner
ist als der zuletzt genannten Schicht.
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Ein
typischer Prozessablauf zur Herstellung des Halbleiterbauelements 200 kann
im Wesentlichen die gleichen Prozesse umfassen, wie sie zuvor mit
Bezug zu dem Halbleiterbauelement 100 beschrieben sind.
Folglich wird nach dem Herstellen der Schaltungselemente 241 in
der Bauteilebene 240 einschließlich der Kontaktpfropfen 242 auf
der Grundlage gut etablierter Rezepte die erste Metallisierungsschicht,
die durch die dielektrische Schicht 202 und die eine oder
die mehreren Metallleitungen 203a repräsentiert ist, auf der Grundlage
gut etablierter Verfahren hergestellt, wobei, wie zuvor erläutert ist,
häufig
ein dielektrisches Material mit kleinem ε in Verbindung mit Kupfer oder
Kupferlegierungen verwendet wird. Danach wird die zweite Metallisierungsschicht 230 hergestellt,
indem ein geeignetes dielektrisches Material, etwa ein dielektrisches
Material mit kleinem ε,
bereitgestellt wird, wobei in einer anschaulichen Ausführungsform
entsprechende Kontaktlochöffnungen
in dem oberen und unteren Bereich 205u, 205l der
dielektrischen Schicht 205 auf der Grundlage des Layouts
gebildet werden, wie dies in 2c gezeigt
ist, wodurch der Rand 212p als ein Haftgebiet mit der erhöhten Haftung
bereitgestellt wird. Folglich sind mehrere entsprechende Kontaktlochöffnungen unter
einem Bereich ausgebildet, der dem Rand 212p entspricht.
Danach werden entsprechende Öffnungen
für die
Metallleitung 212a und das Metallgebiet 212b,
die laterale Abmessungen aufweisen, wie sie gemäß dem zuvor mit Bezug zu 2c beschriebenen
Verfahren bestimmt sind, mittels gut etablierter Verfahren über den
entsprechenden Kontaktlochöffnungen
einschließlich
der Öffnungen
für die
funktionalen Kontaktdurchführungen 213a und
die Platzhalterkontaktdurchführungen 213b gebildet.
Danach wird die Barrieren- und Haftschicht 214 möglicherweise
mit einer darauffolgenden Saatschicht (nicht gezeigt) in den Kontaktlochöffnungen
gebildet, wobei, wie zuvor erläutet
ist, die Abscheideparameter sowie die Materialzusammensetzung der
Barrierenschicht 214 einen merklichen Einfluss auf das
Gesamtverhalten der Metallleitung 212a aufweisen kann.
Beispielsweise kann die Barrierenschicht 214, die z. B.
Tantal, Tantalnitrid oder dergleichen enthalten kann, durch Sputter-Abscheidung,
chemische Dampfabscheidung (CVD), Atomlagenabscheidung (ALD), aufgebracht
werden, wobei für
eine gegebene Materialzusammensetzung Prozessparameter, etwa die
Abscheidetemperatur, und dergleichen, einen deutlichen Einfluss
auf die schließlich
erreichten Eigenschaften der Schicht 214 ausüben können. Folglich
können
Material- und Prozessschwankungen, die während der Herstellung der Barrieren-
und Haftschicht 214 auftreten, die Hafteigenschaften des
Metallgebiets 212b beeinflussen, so dass nach Fertigstellung
des Gebiets 212b eine effiziente Prozessüberwachung
zum Überwachen
und Steuern der Eigenschaften der Schicht 214 bereitgestellt
ist. Nach dem Herstellen der Barrierenschicht 214 und möglicherweise
einer Saatschicht werden die Metallleitung 212a und das
Gebiet 212b durch Einfüllen
eines geeigneten Metalls, etwa Kupfer, Kupferlegierung, und dergleichen
gebildet. Typischerweise hängen
die Eigenschaften des Metalls in der Leitung 212a und des Gebiets 212b von
Prozessgegebenheiten, etwa der Kristallstruktur der Saatschicht,
wenn diese vorgesehen ist, und dergleichen, sowie von der Abscheidung nachgeschalteten
Behandlungen, etwa Ausheizprozeduren, oder dergleichen ab, die daher
ebenso einen Einfluss auf die schließlich erreichten Eigenschaften
der Metallleitung 212a und das Metallgebiet 212b ausüben können. Danach
wird überschüssiges Material
des Metalls, das in die Metallleitung 212a und das Gebiet 212b eingefüllt ist,
sowie die Saatschicht und die Barrierenschicht 214 entfernt,
was typischerweise durch eine Prozesssequenz mit einem CMP-Prozess
bewerkstelligt wird. Während
des CMP-Prozesses können
deutliche Scherungskräfte auf
das Bauelement 200 ausgeübt werden, wodurch möglicherweise
das Ablösen
gefördert
wird, insbesondere innerhalb des großflächigen Metallgebiets 212b,
das dann in effizienter Weise durch optische oder andere Inspektionsverfahren
erkannt werden kann.
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Nach
der Fertigungssequenz zur Herstellung der Metallisierungsschicht 230 wird
das Gebiet 212b, d. h. dessen zentrales Gebiet 212c,
inspiziert, um Oberflächenunregelmäßigkeiten
zu erfassen, die auf das Vorhandensein eines Ablöseereignisses hinweisen. Beispielsweise
wird die Anzahl und/oder das Ausmaß, d. h. die Größe, einer
Oberflächenunregelmäßigkeit,
die ein Ablöseereignis
kennzeichnet, aufgezeichnet und im Hinblick auf mindestens eine
Eigenschaft der Schicht 230 oder der Fertigungssequenz
zur Herstellung der Schicht 230, wie sie zuvor beschrieben
ist, bewertet. Beispielsweise kann eine erhöhte Rate an Oberflächenunregelmäßigkeiten, die
eine erhöhte
Tendenz zur Materialablösung
in dem Gebiet 212b kennzeichnen, eine geringere mechanische
Stabilität
der Metallisierungsschicht 230 andeuten, wodurch das entsprechende
Halbleiterbauelement 200 weniger zuverlässig im Vergleich zu Bauelementen
ist, die eine reduzierte Rate an Oberflächenunregelmäßigkeiten
aufweisen. In noch anderen Ausführungsformen
kann eine Korrelation zwischen dem Materialien und/oder den Prozessablauf zur
Herstellung der Metallisierungs schicht 230, die zuvor erstellt
wurde, wie dies beispielsweise mit Bezug zu 2b beschrieben
ist, angewendet werden, um eine Material- und/oder Prozessabweichung während der
Herstellung der Schicht 230 zu erkennen. Zu diesem Zweck
kann die Prozessgeschichte eines entsprechenden Substrats 201 analysiert
werden, um mögliche
Quellen für
eine reduzierte Haftung zu ermitteln. Wenn beispielsweise erkannt
wird, dass spezielle Substrate oder Lose aus Substraten, die in einer
speziellen Sputter-Abscheidekammer bearbeitet wurden, zu einer erhöhten Rate
an Oberflächenunregelmäßigkeiten
in dem Gebiet 212b führen, kann
die entsprechende Kammer identifiziert und neu eingestellt oder
zeitweilig von dem Prozessablauf für Wartungszwecke ausgeschlossen
werden. Wie zuvor erläutert
ist, wird auf Grund des Bereitstellens des Rands 212p,
der in der vorliegenden Ausführungsform
durch das Vorsehen der Platzhalterkontaktdurchführungen 213b realisiert
ist, eine vollständige
Ablösung
des Metallgebiets 212b im Wesentlichen vermieden, wodurch
die weitere Bearbeitung des Bauelements 200 nicht wesentlich
negativ beeinflusst wird, unabhängig
von dem Ausmaß und der
Anzahl der in dem Gebiet 212b erkannten Ablöseereignisse.
Somit liefert die Inspektion der Metallgebiete 212b prozesslinieninterne
Messdaten, die als Rückkopplungsinformation
und/oder Vorwärtskopplungsinformation
für eine
Prozessanlage des vorhergehenden oder des nachfolgenden Prozessablaufes
verwendet werden können.
Beispielsweise können
auf der Grundlage einer zuvor ermittelten Korrelation zu einem oder
mehreren Prozessparametern die Inspektionsdaten als Messdaten für ein APC-(fortschrittliches
Prozesssteuerungs-) System für
die Prozesssequenz zur Herstellung der Metallisierungsschicht 230 oder
für eine
Prozesssequenz zur Herstellung weiterer Metallisierungsschichten verwendet
werden. Des weiteren können
die Inspektionsdaten zusätzlich
oder alternativ als Eingangsgröße für ein Fehlerkennungs-
und Klassifizierungssystem verwendet werden, um damit Fehler in
Prozessanlagen zu bestimmen, die mit der Fertigungssequenz zur Herstellung
des Bauelements 200 verknüpft sind.
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2e zeigt
schematisch die Draufsicht das Halbleiterbauelements 200,
wobei der Rand 212p des Metallgebiets 212b in
Form dielektrischer Inseln 215 vorgesehen ist, die sich
durch das Metall des Metallgebiets 212b erstrecken. Durch
das Bereitstellen der Inseln 215 innerhalb der zusammenhängenden
Metallfläche
des Gebiets 212b wird eine erhöhte Haftung in dem Rand 212p erreicht,
wodurch die Gefahr der Metallablösung
deutlich reduziert wird. Somit ist das zentrale Gebiet 212c wirksam
abgegrenzt und kann damit als ein effizienter Ablösemonitor
dienen, wie dies zuvor beschrieben ist.
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2f zeigt
schematisch eine Querschnittsansicht des Bauelements 200,
wie es in 2e gezeigt ist. Somit umfasst
das Bauelement 200 die dielektrischen Inseln 215,
die in den oberen Bereich 205u der dielektrischen Schicht 205 gebildet
sind, wodurch eine effektive Barriere für die Ablösung gebildet wird, die in
und unter den zentralen Gebiet 212c auftreten kann. Hinsichtlich
der Fertigungssequenz für
die Herstellung der dielektrischen Inseln 215 gilt, dass
im Wesentlichen die gleichen Prozesse ausgeführt werden können, wie
sie zuvor beschrieben sind, wobei während der Herstellung entsprechender
Grabenöffnungen
für die
Metallleitungen 212a eine modifizierte Lithographiemaske
verwendet wird, um die Fläche
der Inseln 215 während
des nachfolgenden anisotropen Ätzprozesses
abzudecken. Es sollte beachtet werden, dass in anderen anschaulichen
Ausführungsformen
eine geeignete Form und Abmessung für die dielektrischen Inseln verwendet
werden kann, etwa recheckige Formen, kreisförmige Inseln, und dergleichen,
während
in anderen anschaulichen Ausführungsformen
die dielektrischen Inseln 215 mit einem geeigneten Muster
aus Kontaktdurchführungen,
etwa den Kontaktdurchführungen 213b kombiniert
werden kann, wobei eine räumliche
Anordnung der Inseln 215 und der entsprechenden Kontaktdurchführungen
entsprechend den Prozesserfordernissen ausgewählt werden kann. Wie zuvor
mit Bezug zu 2b erläutert ist, können beispielsweise
geeignete Muster und Konfigurationen des Rands 212p im
Hinblick auf ihr Ablöseverhalten
auf der Grundlage einer Analyse entsprechender Testsubstrate und/oder
Produktsubstrate mit darauf ausgebildeten unterschiedlichen Arten
an peripheren Gebieten 212p in Verbindung mit dem gleichen
zentralen Gebiet 212c getestet werden. In ähnlicher
Weise sollte beachtet werden, dass die Konfiguration der Kontaktdurchführungen 213b,
die in 2c gezeigt sind, lediglich anschaulicher
Natur ist und dass eine andere Anordnung der Kontaktdurchführungen
an dem Rand 212p verwendet werden kann, etwa zwei oder
mehr Kontaktlochketten, und dergleichen.
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2g zeigt
schematisch das Halbleiterbauelement 200 gemäß einer
weiteren anschaulichen Ausführungsform,
wobei die Kontaktdurchführungen 213a und
die Platzhalterkontaktdurchführungen 213b vollständig vor
der Herstellung der entsprechenden Metallleitungen und Metallgebiete
gebildet werden. Zu diesem Zweck wird der untere Bereich 205l hergestellt
und nachfolgend strukturiert, um entsprechende Kontaktlochöffnungen
entsprechend dem Entwurf für
das Bauelement 200 zu erhalten, wie dies beispielsweise
in 2c gezeigt ist. Danach werden die entsprechenden Öffnungen
mit einem geeigneten Barrieren- und Saatmaterial, etwa der Barrierenschicht 214,
versehen, und danach wird Metall, etwa Kupfer, auf der Grundlage
gut etablierter Verfahren abgeschieden. Anschließend wird über schüssiges Material beispielsweise
durch CMP und/oder elektrochemische Ätzverfahren entfernt. Danach
wird der obere Bereich 205u gebildet, wobei ggf. eine zwischenliegende Ätzstoppschicht
(nicht gezeigt) vorgesehen wird, und dann strukturiert wird, um
die entsprechenden Öffnungen
für die
Metallleitung 212a und das Metallgebiet 212b vorzusehen.
Wiederum wird ein Barrierenmaterial, möglicherweise in Verbindung
mit einem Saatmaterial, abgeschieden und nachfolgend werden die Öffnungen
mit Metall gefüllt, wobei
daraufhin überschüssiges Material
entfernt wird. Da die Kontaktdurchführungen 213a und 213b wirksam
mit dem Metall verbunden sind, das in die darüberliegenden Metallleitungen
und Gebiete einfüllt
wird, wird auch in dieser Fertigungssequenz ein effektiver Anstieg
der Haftung für
den Rand 212p erreicht.
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2h zeigt
schematisch eine Querschnittsansicht des Halbleiterbauelements 200 gemäß einer noch
weiteren anschaulichen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. In dieser Ausführungsform wird ein zusätzlicher
Anstieg der Haftung des Randes erreicht, indem die Platzhalterkontaktdurchführungen 213b in
entsprechende Metallleitungen 203b, die zusammen mit der
entsprechenden Metallleitung 203a in dem Bauteilgebiet 230a gebildet
sind, „verankert„ werden.
Es sollte beachtet werden, dass das gezeigte Bauelement 200 eine
Querschnittsansicht entsprechend einer Längsrichtung des Bauelements 241 darstellt,
wobei beispielsweise eine Gatelänge 241a des
Transistors 241 z. B. 100 nm oder deutlich weniger beträgt. Obwohl
entsprechende Kontaktpfropfen 242 mit den entsprechenden
Metallleitungen 203 verbunden sind, können die Metallleitungen 203 einer beliebigen
geeigneten Abmessung und Form vorgesehen werden, um zumindest eine
Verbindung mit einigen der Platzhalterkontaktdurchführungen 213b herzustellen,
wodurch ein deutlicher Anstieg der Gesamthaftkraft des Randes 212p erreicht
wird. In einer anschaulichen Ausführungsform werden die Metallleitungen 203b unter
dem Metallgebiet 212b so gebildet, dass der Rand 212p im
Wesentlichen nachgebildet wird, wodurch eine Verbindung mit jeder
Platzhalterkontaktdurchführungen 213b hergestellt
wird. Folglich kann eine noch höhere
Differenz der Haftung zwischen dem Rand 212p und dem zentralen
Gebiet 212c erreicht werden, wodurch in noch zuverlässigerer
Weise eine vollständige
Ablösung
des Gebiets 212b unterdrückt wird. Folglich kann das
zentrale Gebiet 212c mit einer größeren Fläche bei Bedarf vorgesehen werden,
um damit „die
Empfindlichkeit„ des Metallgebiets 212b für Ablöseereignisse,
die durch Prozess und Material hervorgerufen werden, zu vergrößern. Beispielsweise
kann eine Fläche
von ungefähr
2500 bis 10 000 μm2 oder mehr in anspruchsvollen Anwendungen
mit Metallisierungsschemata mit kritischen Abmessungen in der Bau teilebene 240,
etwa der Gatelänge 241a,
von ungefähr 50
nm oder weniger vorgesehen werden.
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Es
sollte beachtet werden, dass die Platzhalterkontaktdurchführungen 213b in
Verbindung mit den darunterliegenden Metallleitungen 203b auch mit
anderen die Haftung vergrößernden
Gestaltungsmaßnahmen
kombiniert werden können,
etwa den dielektrischen Inseln 215, wie sie in den 2d und 2e gezeigt
sind.
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Es
gilt also: Die vorliegende Erfindung stellt eine neue Technik für die Herstellung
von Metallisierungsschichten einschließlich eines Überwachungsbereichs
für eine
zerstörungsfreie Überwachung
von Prozessablauf- und Materialeigenschaften bereit. Zu diesem Zweck
wird eine großflächige Metallplatte
bereitgestellt, die zumindest an einigen Grenzen von einem Haftgebiet
mit erhöhter
Haftkraft im Hinblick auf ein zentrales Gebiet der Metallplatte
begrenzt ist, wodurch das zentrale Gebiet der Metallplatte eine
Materialablösung
erfahren kann, während
eine vollständige
Ablösung
der Metallplatte im Wesentlichen vermieden wird. Folglich können wertvolle
Informationen hinsichtlich des Prozessablaufs und Materialeigenschaften
auf der Grundlage der Bewertung des Ausmaßes und/oder der Anzahl an
Oberflächenunregelmäßigkeiten,
die ein Ablöseereignis
kennzeichnen, gewonnen werden, während
im Wesentlichen negative Auswirkungen durch die weitere Bearbeitung
des Halbleiterbauelements vermieden werden, da die Ausbildung von
Rissen innerhalb der Metallisierungsschicht auf Grund des Haftgebiets
deutlich unterdrück
ist. In anschaulichen Ausführungsformen
wird eine erhöhte
Haftung des Randes der Metallplatte erreicht, indem strukturelle
Elemente, etwa Platzhalterkontaktdurchführungen, dielektrische Inseln,
und dergleichen bereitgestellt werden, die effizient in den konventionellen
Prozessablauf integriert werden können, wodurch ein hohes Maß an Prozesskompatibilität erreicht
wird. Basierend auf der Bewertung von Materialablöseereignissen,
die durch optische Inspektion auf manueller oder automatisierter
Basis erfasst werden können,
können
Unzulänglichkeiten
im Prozessablauf beispielsweise in Form defekter Prozessanlagen,
und dergleichen effizient erkannt werden. Des weiteren können Prozessparameter,
die für die
mechanischen Eigenschaften der Metallisierungsschicht entscheidend
sind, erkannt werden und können
in effizienter Weise überwacht
und in einigen Ausführungsformen
durch Messdaten gesteuert werden, die aus der Teststruktur der vorliegenden
Erfindung erhalten werden. Zu diesem Zweck werden geeignete Korrelationen
zwischen einen oder mehreren Prozessparametern und dem entsprechenden
Ablöseverhalten
der entsprechenden Überwachungsflächen er stellt,
was auf der Grundlage entsprechender Testsubstrate oder sogar auf
der Grundlage von Produktsubstraten bewerkstelligt werden kann,
da ein negativer Einfluss auf die weitere Bearbeitung von Substraten
durch das Vorsehen des Haftgebiets im Wesentlichen verhindert werden
kann, das als eine Barriere für
die Ablösung
dient, die in den zentralen Gebiet der Metallplatte auftritt.
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Weitere
Modifizierungen und Variationen der vorliegenden Erfindung werden
für den
Fachmann angesichts dieser Beschreibung offenkundig. Daher ist diese
Beschreibung als lediglich anschaulich und für die Zwecke gedacht, dem Fachmann
die allgemeine Art und Weise des Ausführens der vorliegenden Erfindung
zu vermitteln. Selbstverständlich
sind die hierin gezeigten und beschriebenen Formen der Erfindung
als die gegenwärtig
bevorzugten Ausführungsformen
zu betrachten.