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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Pumpvorrichtung, mit welcher durch Verwendung eines Kolbens, der durch einen Pilot- oder Steuerdruck verschiebbar ist, immer eine konstante Menge eines Fluides abgeführt werden kann.
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Dosierpumpen werden dazu verwendet, eine konstante Menge einer chemischen Flüssigkeit, Farbe, Waschflüssigkeit oder dgl. bspw. in einer Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern oder dgl., einer Beschichtungsvorrichtung oder einer medizinischen Vorrichtung zuzuführen.
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Häufig wird eine Balgpumpe als eine solche Dosierpumpe eingesetzt, wobei die Ansaug- und Ablassdrücke dadurch erreicht werden, dass ein akkordeonförmiger Balg, der eine Antriebswelle umgibt, durch den Antrieb eines Motors oder dgl. expandiert und zusammengezogen wird.
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Eine Dosierpumpe gemäß dem Stand der Technik ist bspw. in der
JP 10-47234 A beschrieben, wobei ein Ventilgehäuse und ein Pumpengehäuse, in dem eine erste Ventileinheit bzw. eine zweite Ventileinheit angeordnet sind, in integrierter Weise vorgesehen sind.
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Die in der
JP 10-47234 A beschriebene Dosierpumpe ist so gestaltet, dass eine Antriebswelle durch den Antrieb eines Motors in einer axialen Richtung verschoben wird, und dass ein vorderes Ende eines Balges, der an dem vorderen Ende der Antriebswelle angebracht ist, innerhalb einer in dem Pumpengehäuse ausgebildeten Pumpenkammer verschoben wird. Der akkordeonförmige Balg, der in der Pumpenkammer angeordnet ist, verfährt integral mit der Antriebswelle eine linear hin- und hergehende Verschiebung, wobei der Balg expandiert und zusammengezogen wird.
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Im Einzelnen wird eine Gestaltung eingesetzt, bei der ein Ansaugdruck durch Kontraktion des Balges in der Pumpenkammer erzeugt und Flüssigkeit von außen angesaugt wird, um das Innere der Pumpenkammer mit einer festgelegten Flüssigkeitsmenge zu füllen. Andererseits wird durch Expandieren des Balges in der Pumpenkammer und Verschiebung der Antriebswelle ein Ablassdruck erzeugt, so dass die Flüssigkeit aus der Pumpenkammer nach außen abgeführt wird.
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Wird die Dosierpumpe gemäß diesem Stand der Technik eingesetzt, besteht jedoch die Befürchtung, dass in dem Fluid als Folge der Expansion und Kontraktion des Balges Schwingungen auftreten können, wenn das Fluid aus der Pumpenkammer nach außen abgeführt wird.
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Außerdem ist es in dem Gebiet der Halbleiterherstellung oder dgl. angesichts der hohen Kosten der Beschichtungsflüssigkeit (Widerstandslösung) von hoher Bedeutung, dass die Durchflussrate des Fluides beim Ablassen des Fluides sehr genau gesteuert werden kann.
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Aus dem Dokument
WO 91/11616 A1 ist ein Pumpsystem bekannt, das sich aus einem Bewegungsabschnitt und einem Abschnitt für die Handhabung des Fluids zusammensetzt. An dem Abschnitt sind ein Einlassventil zum Einlassen und ein Auslassventil zum Auslassen des Arbeitsfluids vorgesehen. Ferner ist innerhalb eines Zylinders ein Kolben angeordnet, der durch die Bewegung eines kugelförmigen Gliedes in Richtung der Achse der Pumpvorrichtung angetrieben wird. Innerhalb eines äußeren Gehäuses ist ein Hydraulikfluid angeordnet, das mit einer Kammer, in der der Kolben angeordnet ist, über eine Einlasskammer verbunden ist.
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Bei einer Bewegung des Kolbens 78 bewegt das Hydraulikfluid in der Transferkammer die Membran in Vorwärtsrichtung in die Pumpkammer.
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Die in
WO 98/26180 A1 offenbarte Membranpumpe mit einem integrierten Magnetventil für einen Staubsauger weist ein Einlassventil und ein Auslassventil auf, um eine Flüssigkeit anzusaugen bzw. abzulassen. Innerhalb eines Körpers ist eine Kammer angeordnet, welche durch eine Membran in einen ersten Kammerteil und einen zweiten Kammerteil mit Luft als Übertragungsmedium getrennt ist. Am unteren Ende des zweiten Kammerteils ist ein zylindrischer Abschnitt vorgesehen, der koaxial mit den zylindrischen Körpern verläuft. Oberhalb des ersten Kammerteils ist, ebenfalls durch eine Membran von dieser getrennt, eine Pumpenkammer in einem Pumpenkörper angeordnet. Die Membranpumpe umfasst außerdem einen zylindrischen Ventilkörper, der in der Kammer und der Pumpenkammer angeordnet ist und der in seiner Seitenwand zwei Schlitze aufweist. Die Seitenwand des Ventilkörpers definiert eine zylindrische Ventilkammer, in der ein Ventilglied angeordnet ist.
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Die radiale Wand des zylindrischen Körpers weist eine Öffnung auf, durch die eine Verbindung der ersten Kammer mit der Umgebung hergestellt und somit diese Kammer auf Umgebungsdruck gehalten wird. Bei einer Bewegung des Ventilglieds in dem Ventilkörper wird eine Verbindung zwischen der ersten Kammer und der zweiten Kammer hergestellt, so dass in der zunächst mit einem Unterdruck beaufschlagte zweite Kammer wieder Umgebungsdruck vorliegt.
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Zusammenfassung der Erfindung
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Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Pumpenvorrichtung vorzuschlagen, mit der eine konstante Fluidmenge mit hoher Genauigkeit abgelassen werden kann, ohne Schwingungen in dem Fluid zu erzeugen.
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Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im Wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
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Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
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Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung näher erläutert. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 zeigt eine perspektivische, Ansicht einer Dosierpumpe gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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2 zeigt einen Teilschnitt entlang der Linie II-II in 1;
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3 zeigt einen Teilschnitt, der einen Zustand darstellt, in dem ein Kolben durch einen Pilotdruck ausgehend von dem in 2 gezeigten Zustand verschoben ist; und
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4 zeigt einen Teilschnitt, der einen Zustand darstellt, in welchem der Kolben ausgehend von dem in 3 gezeigten Zustand zu einer Endposition weiter verschoben ist.
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Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
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In 1 bezeichnet das Bezugszeichen 10 eine Mess- und Dosierpumpe gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
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Die Dosierpumpe 10 umfasst einen Körper 16, der erste und zweite Verbindungselemente 12a, 12b an einer Seitenfläche aufweist, um nicht dargestellte Leitungen lösbar anzuschließen, und ein Paar von Pilot- oder Steuerdruckzufuhranschlüssen 14a, 14b, die an einer oberen Fläche des Körpers 16 vorgesehen sind.
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Die Installation ist nicht auf eine seitliche Anordnung beschränkt, bei welcher die ersten und zweiten Verbindungselemente 12a, 12b an einer Seitenfläche des Körpers 16 und das Paar von Pilotdruckzufuhranschlüssen 14a, 14b an der oberem Fläche angeordnet ist (1). Beispielsweise kann auch eine vertikale Gestaltung eingesetzt werden, bei welcher die ersten und zweiten Verbindungselemente 12a, 12b entlang einer oberen Fläche angeordnet sind, während des Paar von Pilotdruckzufuhranschlüssen 14a, 14b an einer Seitenfläche positioniert sind.
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Der Körper 16 besteht aus einem Kunststoff- oder Kunstharzmaterial, weist eine im Wesentlichen rechteckig parallelepipedförmige Gestalt auf und wird durch integrales Zusammensetzung eines Anschlussblockes 18a mit ersten und zweiten Verbindungselementen 12a, 12b, eines Zwischenblockes 18b und eines Endblockes 18c mit Hilfe nicht dargestellter Befestigungsmittel gebildet. Der Verbindungsbereich zwischen dem Zwischenblock 18b und dem Endblock 18c wird durch ein erstes Dichtelement 20, das in einer Ringnut an dem Endblock 18c angebracht ist, gasdicht oder flüssigkeitsdicht abgedichtet.
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Wie in den 2 bis 4 dargestellt ist, ist eine erste Kammer 22 mit kreisförmigem Querschnitt, die durch den Anschlussblock 18a und den Endblock 18c verschlossen wird, in dem Zwischenblock 18b ausgebildet. Ein Kolben 24 mit einem kreisförmigen Querschnitt ist in axialer Richtung entlang der ersten Kammer 22 verschiebbar angeordnet. in 1 ist der Körper 16 so dargestellt, dass er In einer seitlichen Anordnung installiert wird. Daher entspricht in der nachfolgenden Beschreibung die axiale Richtung der Horizontalrichtung (seitliche Richtung).
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Der Kolben 24 umfasst einen Kolbengrundkörper 32, der aus einem säulenförmigen Element mit einem kreisförmigen Querschnitt besteht und in dem eine zweite Kammer 30 mit einer Öffnung 26a mit kleinem Durchmesser und einer Öffnung 26b mit großem Durchmesser, die sich in axialer Richtung erstrecken, ausgebildet ist, so dass ein Übertragungsmedium (indirektes Medium) 28 in später beschriebener Weise eingeführt werden kann, und eine Verschlussplatte 36, welche die zweite Kammer 30 verschließt, indem sie über eine Mehrzahl von Gewindeelementen 34 integral mit einer Endfläche des Kolbengrundkörpers 32 so verbunden wird, dass die Verschlussplatte 36 bündig abschließt. Ein ringförmiger Vorsprung 38, der um eine festgelegte Länge nach außen vorsteht, ist in der äußeren Umfangsfläche des Kolbengrundkörpers 32 ausgebildet. Der ringförmige Vorsprung 38 liegt an einer ringförmigen Stufe 40 an, die an der Innenwand des Zwischenblockes 18b ausgebildet ist. Somit wird die Verschiebung des Kolbens 24 begrenzt, wenn das Fluid abgelassen wird (vgl. 4).
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Ein zweites Dichtelement 42, welches den Verbindungsbereich zwischen dem Kolbengrundkörper 32 und der Verschlussplatte 36 gasdicht oder flüssigkeitsdicht hält, ist zwischen dem Kolbengrundkörper 32 und der Verschlussplatte 36 vorgesehen. Das zweite Dichtelement 42 verhindert in geeigneter Weise, dass das Übertragungsmedium 28, das in die zweite Kammer 30 eingeführt wurde, in andere Elemente, die an der Seite der Druckaufnahmefläche des Kolbens 24 angeordnet sind, eintritt. Eine Kolbendichtung 44 ist in einer Nut des ringförmigen Vorsprungs 38 des Kolbengrundkörpers 32 angebracht. Die Kolbendichtung 44 gleitet entlang der Innenwandfläche des Zwischenblockes 18b. Ein drittes Dichtelement 46 ist in einer Nut an der äußeren Umfangsfläche des Kolbengrundkörpers 32 angebracht.
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Eine im Wesentlichen elliptische Membran 48, die zwischen dem Anschlussblock 18a und dem Zwischenblock 18b angeordnet ist, erstreckt sich innerhalb des Körpers 16. Die Membran 48 ist bspw. durch ein elastisches Material, wie Urethangummi, flexibel und biegbar ausgebildet. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist eine Pumpenkammer 50 zwischen der Membran 48 und der Innenwand des Anschlussblockes 18a ausgebildet. Die Pumpenkammer 50 steht über erste und zweite Durchgänge 52a, 52b in Verbindung mit einem Ablassanschluss 54a und einem Sauganschluss 54b (vgl. 1), die in den ersten bzw. zweiten Verbindungselementen 12a, 12b vorgesehen sind. Die Form der Membran 48 ist nicht auf eine im Wesentlichen elliptische Gestalt beschränkt, sondern kann bspw. auch kreisförmig sein oder eine andere Gestalt aufweisen.
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Nicht dargestellte Kontrollventile sind jeweils in den ersten und zweiten Durchgängen 52a, 52b angeordnet. Ein Fluidgegenstrom von der Pumpenkammer 50 zu dem Sauganschluss 54b sowie ein Fluidgegenstrom von dem Ablassanschluss 54a zu der Pumpenkammer 50 werden mit Hilfe der Kontrollventile zuverlässig vermieden.
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Die Pumpenkammer 50 hat eine geneigte Oberfläche 56a mit Durchmessern, die sich von der flachen Fläche des Anschlussblockes 18a, der die ersten und zweiten Durchgänge 52a, 52b aufweist, allmählich zu der Membran 48 erweitern.
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Die Membran 48 bildet eine integrale Struktur mit einem dickwandigen zentralen Abschnitt 48a, einem dünnwandigen Umfangskantenabschnitt 48b, der von dem zentralen Abschnitt 48a ausgeht und an dem Körper 18 befestigt ist, und einem Verbindungsabschnitt 48c, welcher von dem zentralen Abschnitt 48a in der Axialrichtung vorsteht und ein Außengewinde aufweist, das an seiner Außenumfangsfläche ausgebildet ist.
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Außerdem weist die Membran 48 ein Verschiebungselement 58 auf, das mit dem Verbindungsabschnitt 48c verbunden ist und Integral mit der Membran 48 verschiebbar ist. Das Verschiebungselement 58 tritt durch die Öffnung 26a mit kleinem Durchmesser, die in den Kolbengrundkörper 32 ausgebildet und dem Inneren der zweiten Kammer 30 des Kolbengrundkörpers 32 zugewandt ist. Ein Flanschabschnitt 58a ist an dem Verschiebungselement 58 ausgebildet. Eine Rückstellfeder 60 ist vorgesehen, deren eines Ende an dem Flanschabschnitt 58a befestigt ist und deren anderes Ende an der ringförmigen Stufe des Kolbengrundkörpers 32 befestigt ist.
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Die Rückstellfeder 60 dient der Rückführung des Kolbens 24 zu einer Ursprungsposition, indem das Verschiebungselement 58 durch eine Federkraft belastet wird, wenn der Kolben 24 zu der Ursprungsposition verschoben wird, um das Fluid anzusaugen.
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Ein Übertragungsmedium (indirektes Medium) 28, das bspw. aus einem inkompressiblen Fluid, wie Öl, besteht, ist in den Raum eingefüllt, der sich in der axialen Richtung zwischen der Membran 48 und der flächen Endfläche des Kolbens 24, mit welcher die Verschlussplatte 36 nicht verbunden ist, erstreckt. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird das Übertragungsmedium 28 dank der Dichtfunktion, die durch die Membran 48 und die zweiten und dritten Dichtelemente 42, 48 ausgeübt wird, in den Raum zwischen der Membran 48 und der Endfläche des Kolbens 24 sowie in die geschlossene zweite Kammer 30 in dem Kolbengrundkörper 32 über den Freiraum zwischen dem Verschiebungselement 58 und der Öffnung 26a mit kleinem Durchmesser des Kolbengrundkörpers 32 eingeführt. Es wird angenommen, dass des Übertragungsmedium 28, das wie oben beschrieben ein Inkompressibles Fluid ist, in den gesamten Raum zwischen dem Kolben 24 und der Membran 48 eingefüllt ist, und dass das Übertragungsmedium 28 keine Volumenänderung erfährt.
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Ein platten- oder blattförmiges Schutzelement 62, das bspw. aus einem elastischen Material, wie Urethangummi, geformt ist, um die Membran 48 zu schützen, ist zwischen dem Übertragungsmedium 28 und der Membran 48 vorgesehen. Das Schutzelement 62 ist in der gleichen Weise wie die Membran 48 zwischen dem Anschlussblock 18a und dem Zwischenblock 18b angeordnet.
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Die Dosierpumpe 10 gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden ihre Betriebs-, Funktion- und Wirkungsweise erläutert. Die Erläuterung erfolgt unter der Annahme, dass der in 2 gezeigte Zustand die Ursprungsposition darstellt, in welcher eine festgelegte Menge des Fluides A bereits in die Pumpenkammer 50 eingesaugt wurde, die Membran 48 in einer konkaven Weise zu dem Kolben 24 zurückgesetzt ist, und der Flanschabschnitt 58a des Verschiebungselements 58, das mit der Membran 48 verbunden ist, an der Verschlussplatte 36 des Kolbens 24 anliegt.
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Zunächst wird bspw. eine nicht dargestellte Halbleiterbeschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle über eine nicht dargestellte Rohr- oder Schlauchleitung an den Ansauganschluss 54b des Verbindungselements 12b angeschlossen. Andererseits wird bspw. eine nicht dargestellte Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung über eine andere nicht dargestellte Leitung an den Ablassanschluss 54a des Verbindungselements 12a angeschlossen.
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Anschließend wird eine nicht dargestellte Pilot- oder Steuerluftzufuhrquelle betrieben, um Pilot- oder Steuerluft einem Pilotdruckzufuhranschluss 14a zuzuführen. Während dieses Vorgangs ist der andere Pilotdruckzufuhranschluss 14b in einem Zustand, in dem er zur Atmosphäre offen ist. Pilotluft wird dem Raum zwischen dem Kolben 24 und dem Endblock 18c zugeführt, um den Kolben 24 unter Nutzung der Druckaufnahmeflächen des ringförmigen Vorsprungs 38 und der Verschlussplatte 36 des Kolbens 24 in eine Richtung (Richtung des Pfeiles X1) zu pressen, in welcher sich der Kolben 24 von dem Endblock 18c entfernt.
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Wenn der Kolben 24 in der Richtung des Pfeiles X1 verschoben wird, wird das Übertragungsmedium 28 durch die flache Endfläche des Kolbens 24 gepresst, und die Membran 48 wird mit Hilfe des Übertragungsmediums 28 mit Druck beaufschlagt. Dementsprechend wird der Umfangskantenabschnitt 48b der Membran 48 gemeinsam und in Zusammenwirkung mit der Verschiebung des Kolbens 24 in der Verschiebungsrichtung des Kolbens 24 flexibel gebogen. Auf diese Weise wird, wenn die Membran 48 flexibel gebogen wird, eine festgelegte Menge der Flüssigkeit A, die in der Pumpenkammer 50 enthalten ist, über den Ablassanschluss 54a nach außen abgelassen.
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Nun wird ein Vergleich zwischen den Verschiebungsmengen der Membran 48 bzw. des Kolbens 24 in axialer Richtung gemacht, wenn der Kolben 24 durch den Pilotdruck mit Druck beaufschlagt wird, um um eine festgelegte Strecke verschoben zu werden. Der Aufbau ist so gestaltet, dass die axiale Verschiebung des zentralen Abschnitts 48a und des Verbindungsabschnitts 48c der Membran 48 größer ist als die axiale Verschiebung des Kolbens 24.
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In der Ursprungsposition ist die Membran 48, die eine elliptische Gestalt aufweist, in konkaver Weise zu dem Kolben 24 zurückgesetzt, wobei ihr äußerer Umfangskantenbereich an dem Körper 16 befestigt ist. Dadurch ist die axiale Verschiebung der Membran 48 nicht identisch mit derjenigen des Kolbens 24, der einen kreisförmigen Querschnitt aufweist. Die Verschiebung der Membran 48 ist tatsächlich größer als diejenige des Kolbens 24.
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Wenn der Kolben 24 durch die Wirkung des Pilotdruckes um eine festgelegte Strecke verschoben wird, wird daher, wie in 3 gezeigt, das Verschiebungselement 58, das in seiner Ursprungsposition an der Verschlussplatte 36 des Kolbens 24 anliegt, um eine Strecke verschoben, die größer ist als die Verschiebung des Kolbens 24 in axialer Richtung, so dass es um eine festgelegte Strecke von der Verschlussplatte 36 getrennt wird. Außerdem wird das Übertragungsmedium 28 in einen Raum zwischen der Verschlussplatte 36 und dem Verschiebungselement 58 eingeführt.
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Dadurch wird die Verschiebung des Kolbens 24 über das Übertragungsmedium 28, das aus einem inkompressiblen Fluid besteht, auf die Membran 48 übertragen. Dementsprechend ist die Durchflussrate auf der Basis der Verschiebung des Kolbens 24 (die durch Multiplikation der Verschiebung in axialer Richtung mit der Druckaufnahmefläche erhalten wird) identisch mit der Durchflussrate (Ablassmenge) des Fluides A, das von der Pumpenkammer 50 über den Ablassanschluss 54a abgeführt wurde, da es durch die Membran 48 gepresst wird.
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Mit anderen Worten ist die Volumenänderung, die durch die Verschiebung des Kolbens 24 in der axialen Richtung durch den Pilotdruck erreicht wird (erhalten durch Multiplikation der Verschiebung in der axialen Richtung mit der Druckaufnahmefläche), identisch mit der Volumenänderung, die durch die Verschiebung der Membran 48 in der axialen Richtung dank der Gegenwart des Übertragungsmediums 28 als einem inkompressiblen Zwischenfluid bewirkt wird, um das Fluid A aus der Pumpenkammer 50 abzuführen. Dadurch kann die Ablassmenge, die der Volumenänderung des Kolbens 24 entspricht, mit hoher Genauigkeit konstant gehalten werden.
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Bei dieser Ausführungsform sind Betrieb und Leistung ausreichend, solange der Pilotdruck ein konstanter Druck bleibt. Anders als bei dem Stand der Technik ist es daher nicht notwendig, einen Verschiebungsweg des Kolbens 24 zu erfassen, um eine Regelung des Pilotdruckes entsprechend dem Verschiebungsweg durchzuführen.
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Das Fluid A in der Pumpenkammer 50 wird zu der Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung abgeführt, die über eine nicht dargestellte Leitung mit dem Ablassanschluss 54a verbunden ist. Eine konstante Menge der Flüssigkeit A (bspw. eine Beschichtungsflüssigkelt) wird kontinuierlich auf den Halbleiterwafer aufgetropft. Die Durchflussrate des Fluides A kann mit hoher Genauigkeit gesteuert werden, so dass die Durchflussrate des Fluides A, die von dem Ablassanschluss 54a abgeführt wird, entsprechend einer Durchflussrate auf der Basis der Verschiebung des Kolbens 24 konstant bleibt.
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Bei dieser Anordnung biegt die Druckkraft des Kolbens 24 die Membran 48 flexibel, wobei das Übertragungsmedium 28 ein inkompressibles Fluid zwischen dem Kolben 24 und der Membran 48 zur Verfügung stellt. Dadurch kann das Fluid A sehr genau abgelassen werden, ohne Irgendweiche Schwingungen in dem Fluid A zu erzeugen.
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Auch wenn das Fluid A, das In die Pumpenkammer 50 fließt, eine Flüssigkeit ist, verbleibt das Fluid A nicht in der Pumpenkammer 50, nachdem das Fluid A aus der Pumpenkammer 50 nach außen abgeführt wurde, Dadurch wird die Ansammlung von Flüssigkeit vermieden, die andernfalls durch Anhaften der Flüssigkeit an der Membran 48 erzeugt würde.
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Um das Fluid A anzusaugen, nachdem eine festgelegte Menge des Fluides A aus dem Ablassanschluss 54a abgeführt wurde, wird die Zufuhr der Pilotluft von dem einen Pilotdruckzufuhranschluss 14a zu dem anderen Pilotdruckzufuhranschluss 14b umgeschaltet, und der eine Pilotdruckzufuhranschluss 14a wird in einen Zustand versetzt, in dem er zur Atmosphäre offen ist.
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Der Kolben 24 wird als Folge der von dem anderen Pilotdruckzufuhranschluss 14b zugeführten Pilotluft in Richtung des Pfeiles X2 verschoben, um den Kolben 24 zu der in 2 gezeigten Ursprungsposition zurückzuführen. Eine festgelegte Menge der Flüssigkeit A wird über den Ansauganschluss 54b in die Pumpenkammer 50 eingesaugt und der Prozess geht wieder zu dem oben beschriebenen Ablassschritt.