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DE102005031606A1 - Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils Download PDF

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DE102005031606A1
DE102005031606A1 DE102005031606A DE102005031606A DE102005031606A1 DE 102005031606 A1 DE102005031606 A1 DE 102005031606A1 DE 102005031606 A DE102005031606 A DE 102005031606A DE 102005031606 A DE102005031606 A DE 102005031606A DE 102005031606 A1 DE102005031606 A1 DE 102005031606A1
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Wilfried Aichele
Paeivi Lehtonen
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Abstract

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mit einer Thermoplastschicht (30) beschichteten Bauteils (10) vorgeschlagen, wobei das Verfahren umfasst: DOLLAR A a) Bereitstellen des Bauteils (10), DOLLAR A b) Aufbringen einer Zwischenschicht (20) aus einem Kunststoff auf wenigstens einem Teil des Bauteils (10), DOLLAR A c) Durchführen einer Plasmabehandlung der Zwischenschicht (20) mit einem Plasmagas, wobei die Moleküle oder die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) zumindest an der Oberfläche der Zwischenschicht (20) modifiziert werden, und DOLLAR A d) Spritzgießen der Thermoplastschicht (30), derart, dass die Thermoplastschicht (30) und das mit der Zwischenschicht (20) versehene Bauteil (10) kraftschlüssig aneinander haften.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines mit einer Thermoplastschicht beschichteten Bauteils.
  • Bauteile, die mit einer Thermoplastschicht überzogen sind, findet man zahlreich in der industriellen Fertigung. Zu ihrer Herstellung kann das bekannte Spritzgießverfahren eingesetzt werden, bei denen grundsätzlich Kunststoffformteile aus Formmassen hergestellt werden. Dabei werden beispielsweise pulver- oder granulatförmige Spritzgießmassen durch eine Spritzgießmaschine plastifiziert und mit hohem Druck in die formgebende Höhlung eines Spritzgießwerkzeuges gespritzt.
  • Darüber hinaus eignen sich Spritzgießverfahren in besonderer Weise dazu, mehrere Komponenten in einem Arbeitsgang zu verbinden, wobei sowohl unterschiedliche als auch gleiche Werkstoffe miteinander verbunden werden. Mehrere miteinander zu verbindende Einzelteile können vorgefertigt sein und dann mit Kunststoff zusammen gefügt werden. In diesem Zusammenhang wird auf die sogenannte Hybrid-, Insert- und die Outserttechnik hingewiesen, die auf dem Einlegen von metallischen Strukturen in die Spritzgießwerkzeuge und einem anschließendem Über- oder Umspritzen der metallischen Strukturen mit thermoplastischen Kunstoffen beruhen. Stellvertretend seien hier Karosserieteile im Automobilbau wie Frontends, mit thermoplastischen Kunststoffen umspritzte Metallbuchsen oder metallische Pins für elektronische Schaltgeräte verschiedenster Art genannt.
  • Technische Probleme können sich dabei ergeben, wenn die Thermoplastschmelze auf Metallteile auftrifft, deren Temperatur deutlich unterhalb des Schmelzpunktes des Thermoplasts liegt. Sofort bildet sich in der Schmelze an der Grenzfläche zum Metall eine dünne Schicht aus erstarrtem, d. h. abgeschrecktem thermoplastischen Material aus, welche nicht am Metall haftet. Da zusätzlich beim weiteren Kühlvorgang die gesamte Schmelze im Spritzgießwerkzeug unter Verringerung ihres Volumens erstarrt, resultiert daraus ein zumindest teilweises Ablösen der thermoplastischen Schicht von der Metalloberfläche. Dieser Effekt gewährleistet zwar einerseits eine gute Entformbarkeit der Thermoplaste aus metallischen Spritzgießwerkzeugen, aber anderseits erschwert er eine flüssigkeits- oder gasdichte Umspritzung von metallischen Einlegeteilen wie beispielsweise den Pins in Steckern und Steuergeräten. Im Vergleich zu einer Klebeverbindung oder einer Umspritzung mit duroplastischen Epoxidformmassen bildet sich bei der Umspritzung mit Thermoplasten keine nennenswerte Adhäsion zwischen Thermoplast und dem metallischen Einlegeteil aus. Die allenfalls geringe Adhäsion lässt keine Übertragung von Zug- oder Scherspannung zu. Zudem entstehen auch dünne Spalte zwischen den umspritzten Metallteilen und dem Thermoplast.
  • Dadurch werden Nachbearbeitungen an bereits beschichteten Bauteilen notwendig. Häufig werden niedrigviskose Gießmassen auf Basis von Epoxidharzen oder Silikonen eingesetzt, die in die unerwünschten Spalte eindringen und im Idealfall auf den Metallen und Thermoplasten haften.
  • Alternativ kann zunächst eine Schicht aus einem Schmelzkleber auf heiße metallische Bauteile aufgebracht werden, um anschließend die Bauteile mit Thermoplast zu umspritzen. Nachteilig an dieser Lösung ist jedoch die geringe Temperatur- und Lösungsmittelbeständigkeit der Schmelzkleber. Zwar lassen sich beide Eigenschaften bei Verwendung eines thermisch nachvernetzenden Schmelzklebers verbessern, doch muss dann nach dem Umspritzen der Bauteile mit Thermoplast das gesamte Verbundbauteil einige Zeit lang bei erhöhter Temperatur gelagert werden. Unter Umständen entstehen bei sehr hohen Temperaturen Schäden im Verbundbauteil, beispielsweise an elektronischen Komponenten innerhalb des Verbundbauteils.
  • Eine weitere Möglichkeit, die Problematik der schlechten Haftung zu lösen, besteht darin, eine Haftvermittlerschicht zwischen dem Bauteil und der äußeren Thermoplastschicht vorzusehen. So wird in der nicht vorveröffentlichten DE-10361096.0 ein Verfahren beschrieben, wonach in einem ersten Schritt eine Haftvermittlerschicht auf metallische Bauteile aufgebracht wird. Anschließend wird in einem zweiten Schritt die Umspritzung der Thermoplastschicht auf das nun mit der Haftvermittlerschicht überzogenes Bauteil durchgeführt, wobei die Haftvermittlerschicht mit der Thermoplastschicht derart verschweißt wird, dass zwischen dem metallischen Bauteil und der Thermoplastschicht keine Spalte auftreten und eine kraftschlüssige Verbindung zwischen der Thermoplastschicht und der Haftvermittlerschicht und damit letztendlich auch zwischen der Thermoplastschicht und dem metallischen Bauteil vorliegt.
  • Hierfür müssen mindestens zwei Bedingungen erfüllt sein: Die beim Umspritzvorgang auftretende Grenzflächentemperatur zwischen der Thermoplastschmelze und der Haftvermittlerschicht muss für den Verschweißprozess ausreichend hoch sein. Zudem müssen beide zu verbindende Schichten miteinander verträglich, d. h. grundsätzlich miteinander verschweißbar sein.
  • In vielen Anwendungen sind darüber hinaus noch weitere Anforderungen, wie etwa Beständigkeit gegenüber umgebenden Medien insbesondere bei hohen Temperaturen, an die zu verbindenden Werkstoffe zu stellen. Teilweise führen diese unterschiedlichen Bedingungen zu konträren Anforderungen an die Werkstoffe. Einerseits sollte die Erweichungstemperatur der Haftvermittlerschicht ausreichend niedrig sein, um eine gute Verschweißung mit der Thermoplastumspritzung zu gewährleisten, andererseits ausreichend hoch genug, um eine gute Temperatur- und Medienbeständigkeit aufzuweisen.
  • Schließlich muss die Haftvermittlerschicht elastisch sein und ihr thermischer Ausdehnungskoeffizient und ihre Dicke in bestimmter Relation stehen zu den entsprechenden Werten der Metall- und Thermoplastschicht. Alternativ könnte die Haftvermittlerschicht volumenkompressibel ausgeführt sein.
  • Aus den oben ausgeführten Randbedingungen resultiert eine deutliche Einschränkung der Auswahl der Materialien für die Haftvermittlerschicht und die Thermoplastschicht.
  • Weiter ist aus US 6,620,517 B2 ein Schichtverbund auf einem metallischen Bauteil bekannt, wobei zu seiner Herstellung auf dem Bauteil nacheinander eine Kautschuk-, eine Adhäsions- und eine Thermoplastschicht aufgebracht werden. Dabei ist es vorgesehen, nach dem Aufbringen der Kautschukschicht diese zu vulkanisieren und gegebenenfalls an der Oberfläche der vulkanisierten Kautschukschicht eine Plasmabehandlung durchzuführen. Solche Plasmabehandlungen, vorwiegend mit Edelgas-Plasmen, dienen bekannterweise zur Oberflächenreinigung der zu behandelnden Schicht, wobei die Moleküle der zu behandelnden Schicht selbst nicht in ihrer Struktur verändert werden, sondern typischerweise Verunreinigungen von der Schicht entfernt werden.
  • Vorteile der Erfindung
  • Das Verfahren zur Herstellung eines mit einer Thermoplastschicht beschichteten Bauteils nach Anspruch 1 hat den Vorteil, dass die Haftung der Thermoplastschicht auf dem Bauteil wesentlich verstärkt oder erst ermöglicht wird. In experimentellen Untersuchungen konnte nämlich gezeigt werden, dass selbst bei Materialkombinationen, die sonst unverträglich sind, mit dem erfindungsgemäßen Verfahren eine gute Haftung erzielt werden konnte. Daraus resultiert eine größere Auswahl an verwendbaren Materialien. Dabei ist es vorteilhaft, dass das Verfahren keinen zusätzlichen, großen technischen Aufwand erfordert, so dass es auf eine wirtschaftliche Weise durchgeführt werden kann. Zur Wirtschaftlichkeit des Verfahrens trägt auch die hohe Qualität der fertigen Bauteile bei: Die mit einer Thermoplastschicht beschichteten Bauteile sind nach dem Umspritzen gas- und flüssigkeitsdicht, so dass eine nachträgliche Bearbeitung zur Abdichtung der Bauteile nicht notwendig ist.
  • Im übrigen hat es sich gezeigt, dass das Verfahren nicht nur für metallische Bauteile geeignet ist, sondern auch für Bauteile aus duroplastischen Materialien.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen des Verfahrens sind in den Unteransprüchen angegeben und in der Beschreibung beschrieben.
    •
  • Zeichnung
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen und der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen jeweils im Schnitt:
  • 1 ein erfindungsgemäß hergestelltes, beschichtetes Bauteil mit einer Zwischenschicht zwischen dem Bauteil und der Thermoplastschicht, und
  • 2 ein weiteres erfindungsgemäß hergestelltes, beschichtetes Bauteil mit einer Zwischenschicht zwischen dem Bauteil und der Thermoplastschicht, wobei die Zwischenschicht mit einer dünnen Klebstoffschicht versehen ist.
  • Beschreibung der Ausführungsbeispiele
  • Das erfindungsgemäße Verfahren beruht auf der Erkenntnis, dass die Haftung einer Thermoplastschicht auf einem Bauteil stark verbessert oder erst ermöglicht wird durch eine gezielte Plasmabehandlung einer Zwischenschicht zwischen dem Bauteil und der Thermoplastschicht. 1 zeigt ein mit dem Verfahren hergestelltes Bauteil. Folgende Schritte sind für die Herstellung eines mit einer Thermoplastschicht beschichteten Bauteils vorgesehen:
    • a) Bereitstellen des Bauteils (10),
    • b) Aufbringen einer Zwischenschicht (20) aus einem Kunststoff auf wenigstens einem Teil des Bauteils (10),
    • c) Durchführen einer Plasmabehandlung der Zwischenschicht (20) mit einem Plasmagas, wobei die Moleküle oder die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) zumindest an der Oberfläche der Zwischenschicht (20) modifiziert werden, und
    • d) Spritzgießen der Thermoplastschicht (30) derart, dass die Thermoplastschicht (30) und das mit der Zwischenschicht (20) versehene Bauteil (10) kraftschlüssig aneinander haften.
  • Im Schritt a) wird das zu beschichtende Bauteil (10) bereitgestellt. Üblicherweise ist das Bauteil aus einem metallischen Material, kann aber auch aus einem duroplastischen Material bestehen.
  • Nachfolgend wird im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) aus einem Kunststoff auf wenigstens einem Teil des Bauteils (10) aufgebracht. Der Kunststoff kann ein Thermoplast wie Polyamid, ein thermoplastisches Elastomer (TPE) wie Polyetherblockamid (PEBA), ein Elastomer wie vulkanisierter Kautschuk oder ein vernetztes Silikon sein. Besonders wichtig sind dabei thermoplastische Elastomere (TPE), Fluorkautschuk oder auch Fluorsilikon. Diese Stoffe sind daher interessant, weil sie gegen Medien und hohe Temperaturen beständig sind. Die Zwischenschicht (20) weist Idealerweise eine Dicke von 10 μm bis zu einigen 100 μm auf, maximal etwa 1 mm. Diese große Auswahl an Materialien für die Zwischenschicht (20) und damit an Stoffkombination Zwischenschicht (20)/Thermoplastschicht (30) wird nur ermöglicht durch die anschließende Plasmabehandlung der Zwischenschicht (20).
  • Während der Plasmabehandlung im Schritt c) werden die Moleküle oder die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) zumindest an der Oberfläche der Zwischenschicht (20) modifiziert. Grundsätzlich kann die Zwischenschicht (20) mit einem Niederdruck- oder Atmosphärendruck-Plasma behandelt werden. Der Prozessdruck beträgt im ersteren Fall vorteilhaft etwa 0,1 bis 0,5 mbar, insbesondere 0,3 mbar. Arbeitet man hingegen mit einem Atmosphärendruck-Plasma, kann auf eine Vakuumkammer verzichtet werden und Bauteile direkt an einer Spritzgießmaschine, beispielsweise mit einem Roboter durch eine Plasmalanze, bewegt werden. Als Plasmagas für die Plasmabehandlung wird ein Gasgemisch, welches beispielsweise Silan enthält, oder reiner Sauerstoff verwendet. Weiter kann als Schutzgas Argon zugegeben werden.
  • Die Modifizierung der Kunststoffoberfläche kann je nach Zusammensetzung des Plasmagases auf verschiedene Weise erfolgen. Bei reaktiven Plasmen kann sich eine Oberflächenschicht aus Bestandteilen des Plasmagases ausbilden. Durch die Plasmabehandlung können Fragmente des Plasmagases, beispielsweise Sauerstoff (Oxidation), zumindest im Oberflächenbereich der Zwischenschicht (20) eingebaut werden. Durch den Einbau von Fremdatomen bzw. Molekülgruppen aus dem Plasmagas in die Kunststoffoberfläche ist es auch möglich, durch die Plasmabehandlung die Moleküle der Zwischenschicht (20) in einen Zustand mit einer höheren Polarität zu überführen. Weist die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) lineare Molekülketten auf, können die Molekülketten durch die Plasmabehandlung verkürzt werden. Schließlich besteht auch die Möglichkeit, durch die Plasmabehandlung reaktive Gruppen, beispielsweise reaktive Ionen, oder Radikale zumindest im Oberflächenbereich der Zwischenschicht (20) selbst zu bilden, welche sich mit der überspritzten Thermoplastschicht chemisch verbinden. Plasmagase werden also derart eingesetzt, dass Plasmagasfragmente reaktive oder haftfördernde Gruppen auf der Kunststoffoberfläche bilden.
  • Eine derart mit einem Plasma oberflächenbehandelte Zwischenschicht (20) zeigt beim nachfolgenden Überspritzen mit einem thermoplastischen Material im Schritt d) eine verbesserte, kraftschlüssige Verbindung. Insbesondere erhält man durch dieses Verfahren gas- und flüssigkeitsdichte Bauteile.
  • In einer weiteren Ausführung des Verfahrens kann, wie in 2 erkennbar, bei Bedarf die plasmabehandelte Zwischenschicht (20) zwischen den Schritten c) und d) mit einer dünnen, reaktiven Klebstoffschicht (25) mit einer Dicke von einigen μm versehen werden („Spritzkleben"). Vorteilhaft besteht die Klebstoffschicht (25) aus einem Epoxidkleber. Nach Schritt d) findet ein Aushärten der Klebstoffschicht (25) statt. Im Falle von Zweikomponenten-Klebstoffen ist dies häufig bereits bei Raumtemperatur möglich. Nach dem Aushärten erfüllt der Klebstoff ebenfalls die Anforderungen an Temperatur- und Medienbeständigkeit.
  • Die zum Teil stark verbesserte Haftung der plasmabehandelten Zwischenschichten (20) im Vergleich zu nicht plasmabehandelten Zwischenschichten (20) wurde durch Haftungsuntersuchungen wiederholt bestätigt. Stellvertretend für alle möglichen Ausführungen seien hier einige Beispiele mit Sauerstoff-Plasmabehandlung genannt. Die Materialbezeichnungen sind Typbezeichnungen von kommerziell erhältlichen Kunststoffen.
  • In den Beispielen 1 bis 5 wurden Materialkombinationen geprüft, die ohne Plasmabehandlung unverträglich sind, d. h. keine bzw. nur eine vernachlässigbar kleine Haftung miteinander zeigen. Nach der Plasmabehandlung konnte jedoch eine gute Haftung gemessen werden.
  • Beispiel 1:
    • Zwischenschicht (20): TPE-E-Schicht, „Arnitel PL 380" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): PA66-GF35, „Ultramid A3HG7"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: größer als 1,5 MPa
    • Zugscherfestigkeit ohne Plasmavorbehandlung: 0 MPa
  • Beispiel 2:
    • Zwischenschicht (20): TPE-E-Schicht, „Hytrel 5555 HS" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): PA66-GF35, „Ultramid A3HG7"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: größer als 6 MPa
    • Zugscherfestigkeit ohne Plasmavorbehandlung: 0 MPa
  • Beispiel 3:
    • Zwischenschicht (20): Polyamid 12-GF15, „Vestamid L-GF15" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyphenylensulfid (PPS), „Ryton R4-200"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: 12,7 MPa
  • Beispiel 4:
    • Zwischenschicht (20): Polyamid 12-GF15, „Vestamid L-GF15" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyamid 46, „Stanyl TW 300"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: 15,9 MPa
  • Beispiel 5:
    • Zwischenschicht (20): Polyamid 12-GF15, „Vestamid L-GF15" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyphenylensulfid (PPS), „Ryton R4-200"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: 4,1 MPa
  • Beispiel 6:
    • Zwischenschicht (20): Polyamid 12-GF15, „Vestamid L-GF15" mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyamid 46, „Stanyl TW 300"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit mit Plasmavorbehandlung: 4,7 MPa
  • In den folgenden Beispielen 7 und 8 wurden vergleichbare Messungen ohne und mit einer zusätzlichen, wenigen μm dicken Klebstoffschicht (25) durchgeführt. Der Klebstoff bestand aus „EP1", einer Mischung von „Araldit LY 1413 BD" und „HY 840-1" im Verhältnis von 1:1. Die Härtung der Klebstoffschicht (25) erfolgte nach dem Umspritzen der Thermoplastschicht (30) etwa 4 Stunden lang bei 80 °C. Wie erkennbar aus den Messergebnissen, kann eine zusätzliche Klebstoffschicht (25) nach der Plasmabehandlung der Zwischenschicht (20) die Haftung weiter verstärken.
  • Beispiel 7:
    • Zwischenschicht (20): Fluorsilikon-Schicht, „Typ 4-9060" der Fa. Dow Corning mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyamid 46, „Stanyl TW 300"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit ohne Klebstoff: 2,6 MPa
    • Zugscherfestigkeit mit Klebstoff: 3,2 MPa
  • Beispiel 8:
    • Zwischenschicht (20): Viton-Schicht, „Typ V747" der Fa. Parker mit einer Dicke von 1,0 mm
    • Thermoplastschicht (30): Polyphenylensulfid (PPS), „Ryton R4-200"
    • Plasmabehandlung: O2-Plasma, 2 mal 180 sec bei 0,3 mbar
    • Zugscherfestigkeit ohne Klebstoff: 0 MPa
    • Zugscherfestigkeit mit Klebstoff: 2,5 MPa

Claims (19)

  1. Verfahren zur Herstellung eines mit einer Thermoplastschicht (30) beschichteten Bauteils (10), umfassend: a) Bereitstellen des Bauteils (10), b) Aufbringen einer Zwischenschicht (20) aus einem Kunststoff auf wenigstens einem Teil des Bauteils (10), c) Durchführen einer Plasmabehandlung der Zwischenschicht (20) mit einem Plasmagas, wobei die Moleküle oder die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) zumindest an der Oberfläche der Zwischenschicht (20) modifiziert werden, und d) Spritzgießen der Thermoplastschicht (30) derart, dass die Thermoplastschicht (30) und das mit der Zwischenschicht (20) versehene Bauteil (10) kraftschlüssig aneinander haften.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt a) ein Bauteil (10) aus einem metallischen oder einem duroplastischen Material bereitgestellt wird.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) aus einem Thermoplast, thermoplastischem Elastomer (TPE), Elastomer oder vernetztem Silikon aufgebracht wird.
  4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) aus einem Fluorkautschuk aufgebracht wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) aus einem Fluorsilikon aufgebracht wird.
  6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) aus einem vulkanisierten Kautschuk aufgebracht wird.
  7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt b) eine Zwischenschicht (20) mit einer Dicke von 10 μm bis zu einigen 100 μm aufgebracht wird.
  8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) die Zwischenschicht (20) mit einem Niederdruck-Plasma behandelt wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) der Druck 0,1 bis 0,5 mbar, insbesondere 0,3 mbar, beträgt.
  10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) die Zwischenschicht (20) mit einem Atmosphärendruck-Plasma behandelt wird.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) für die Plasmabehandlung ein Gasgemisch oder reiner Sauerstoff verwendet wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) ein Gasgemisch aus einem inerten Trägergas wie Argon und einer flüchtigen Verbindung wie Silan verwendet wird.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) durch die Plasmabehandlung Fragmente des Plasmagases oder Sauerstoff zumindest im Oberflächenbereich der Zwischenschicht (20) eingebaut werden.
  14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) durch die Plasmabehandlung die Moleküle der Zwischenschicht (20) in einen Zustand mit einer höheren Polarität überführt werden.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) die Struktur der Moleküle der Zwischenschicht (20) Molekülketten aufweisen, die durch die Plasmabehandlung verkürzt werden.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt c) durch die Plasmabehandlung reaktive Gruppen zumindest im Oberflächenbereich der Zwischenschicht (20) gebildet werden.
  17. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen den Schritten c) und d) die Zwischenschicht (20) mit einer dünnen Klebstoffschicht (25) mit einer Dicke von einigen μm versehen wird.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Klebstoffschicht (25) aus einem Epoxidkleber besteht.
  19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, dass nach Schritt d) ein Aushärten der Klebstoffschicht (25) stattfindet.
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