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Die
Erfindung betrifft Anordnungen und Verfahren zur Auswertung von
Signalen magnetoresistiver Sensoren, bei denen zur Eliminierung
eines variablen störenden
Nulloffsets die Magnetisierungsrichtungen der magnetoresistiven
Widerstandsstreifen periodisch durch Flipstromimpulse in integrierte
Flipleitungen oder externe Flipspulen in abwechselnden Richtungen
eingestellt wird. Dabei kann der magnetoresistive Sensor zur hochauflösenden Messung eines
Magnetfeldes, beispielsweise des Erdfeldes, oder eines Magnetfeldgradienten
oder darauf zurückführbarer
Größen, wie
zum Beispiel in der potentialfreien Strommessung, eingesetzt werden.
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Anordnungen
und Verfahren der genannten Art sind bekannt. Eine ausführliche
Darlegung des Standes der Technik ist in der
DE 10 2004 056 384 A1 enthalten.
Die Nachteile bisher vorgeschlagener Lösungen liegen in der Begrenzung
der oberen oder unteren Grenzfrequenz der mit dem Flipverfahren durchgeführten Messung,
im Auftreten von nicht kompensierten Offsetschwankungen der eingesetzten
Verstärker
und im zu hohen elektronischen Aufwand für die Durchführung des
Verfahrens.
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In
der Patentschrift
US
5 351 005 A werden Schaltungsanordnungen zur Linearisierung
und Offsetkorrektur der Messergebnisse magnetoresistiver Sensoren
bei Anwendung des Flipverfahrens angegeben. Der gesamte Bereich
des magnetoresistiven Sensorchips wird dabei nachteiligerweise von
einer Magnetfeldspule zur Erzeugung des für die periodische Ummagnetisierung
der magnetoresistiven Schichten notwendigen Magnetfeldes umgeben.
Außerdem
gehört
es zum Prinzip der verwendeten Schaltungen, dass dort für die Glättung der
Ausgangssignale Integratoren eingesetzt werden müssen. Diese lassen eine Messung
mit hoher Grenzfrequenz in keinem Fall zu.
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In
der Patentschrift US 2005/01 502 95 A1 wird ein Auswerteverfahren
für einen
magnetoresistiven Kompass vorgeschlagen. Spezifische Anforderungen
dieser Anwendung wie die Bestimmung mehrerer Feldkomponenten, Unterdrückung von
Nichtlinearitäten
höherer
Ordnung, Eichung der Kompassangaben ohne Kenntnis der Parameter
des magnetoresistiven Sensors und geringer Energieverbrauch werden
gelöst.
Hohe Grenzfrequenz der Anzeige spielt hier keine Rolle. Auch hier
befindet sich der gesamte magnetoresistive Sensor in einer einzigen Ummagnetisierungsspule.
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In
der Patentschrift
US
5 521 501 A wird die Ummagnetisierungsspule im Chip des
magnetoresistiven Sensors integriert. Es wird eine Spulenform angegeben,
die eine minimale Induktivität
besitzt und so bereits über
eine Voraussetzung zur schnellen Ummagnetisierung der magnetoresistiven
Schichten verfügt.
Auch die Aufteilung magnetoresistiver Widerstände in einzelne Schichtbereiche
ist hier in Anpassung an die niederinduktive Spule erfolgt. Allerdings
befindet sich auch hier der gesamte Sensor im Bereich einer einzigen
Spule und weitergehende Maßnahmen
zur Steigerung der oberen Grenzfrequenz des Messverfahrens stehen
nicht zur Diskussion.
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Die
DE 102 17 983 A1 schlägt die Einstellung der
Magnetisierungsrichtung in magnetoresistiven Schichten mit Hilfe
von thermischen Verfahren, vorrangig durch Eigenstromerwärmung vor.
Diese Verfahren sind zur periodischen Ummagnetisierung mit dem Ziel
der Offseteliminierung im Messergebnis nicht geeignet. Sie laufen
dem Ziel der hohen Messfrequenz direkt entgegen.
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Aufgabe
der Erfindung ist es, einen magnetoresistiven Sensor und ein Verfahren
mit wiederholter Einstellung der Richtungen der Magnetisierung in den
magnetoresistiven Widerstandsstreifen anzugeben, die in einem weiten
Frequenzbereich einen variablen Nulloffset eliminieren und einen
geringen Aufwand erfordern.
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Diese
Aufgabe wird durch einen magnetoresistiven Sensor gemäß Anspruch
1 oder durch ein Verfahren gemäß Anspruch
11 gelöst.
Vorteilhafte Ausführungen
sind in den jeweils nachgeordneten Unteransprüchen enthalten.
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Entsprechend
der Erfindung wird ein magnetoresistiver Sensor benutzt, bei dem
durch Einstellung der Richtungen der Magnetisierung in den die Widerstände des
Sensors bildenden magnetoresistiven Dünnschichtstreifenleitern abwechselnd
ein Zustand mit magnetfeldunabhängigem
Ausgangssignal und ein Zustand mit einem zum Magnetfeld proportionalen
Ausgangssignal einstellbar ist. Der Aufbau des Sensors kann dabei
in unterschiedlicher Ausführung
gewählt
werden: In einer ersten Ausführung kann
der Sensorwiderstand aus zwei Anteilen gleichen Widerstandswertes
zusammengesetzt sein, im feldunabhängigen Zustand sind die Magnetisierungsrichtungen
so eingestellt, dass sich die Widerstandsänderungen durch Feldeinwirkung
der beiden Anteile gegenseitig aufheben, im feldabhängigen Zustand haben
die Widerstandsänderungen
immer gleiches Vorzeichen, so dass sie sich addieren. In einer zweiten
Ausführung
besteht der Sensor mindestens aus einem Spannungsteiler. Im feldunabhängigen Zustand
sind die Magnetisierungsrichtungen so eingestellt, dass die Änderung
der Widerstandswerte der beiden Widerstände des Spannungsteilers im
Magnetfeld mit gleichem Vorzeichen erfolgt, und die Ausgangsspannung
bleibt konstant. Im feldabhängigen Zustand
ist die Richtung der Magnetisierung in den Dünnschichtstreifen des einen
Widerstandes entgegengesetzt zum vorherigen, damit ändern sich
beide Widerstände
des Spannungsteilers gegenläufig
und bei Feldänderungen
tritt eine starke Änderung
der Ausgangsspannung auf. In einer dritten Ausführung besteht der Sensor aus
einer Wheatstone- Brücke.
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Im
feldunabhängigen
Zustand ändern
sich die Widerstandswerte beider Spannungsteiler der Brücke so,
dass die Änderung
ihrer Ausgangsspannungen gleichsinnig erfolgt. Damit ändert sich
die Brückenausgangsspannung
als Differenz der beiden Werte nicht. Im durch Rich tungsänderung
der Magnetisierungen erzeugten feldabhängigen Zustand erfolgt die Änderung
der Ausgangsspannungen in einem Spannungsteiler nun gegenläufig zu
der im anderen, so dass eine feldproportionale Brückenausgangsspannungsdifferenz
vorliegt. Weitere Ausführungsformen
des Sensoraufbaus sind möglich.
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Die
magnetoresistiven Schichten zum Aufbau der Widerstände des
Sensors können
den anisotropen magnetoresistiven Effekt aufweisen. Die Vorzeichen
der Widerstandsänderungen
der unterschiedlichen Schichtstreifen sind durch die Richtungen
der Eigenmagnetisierung der Schichten einstellbar, sie sind aber
auch durch die Neigung der jeweiligen Barberpole-Struktur auf den
Schichtstreifen bestimmt. Es ist günstig, die Neigungswinkel mit
entgegen gesetztem Vorzeichen nahe bei 45 zu wählen, um maximale, exakt gegenläufige Widerstandsänderungen
der entsprechenden Widerstandsstreifen zu erhalten. Die magnetoresistiven
Schichten des Sensors können
auch Spin Valve-Schichtsysteme sein. Die Vorzeichen der Widerstandsänderungen
der unterschiedlichen Schichtstreifen sind dann durch die Richtungen
der Eigenmagnetisierung der freien Schichtkomponente einstellbar.
Sie werden aber auch durch die Richtung der Magnetisierung der Schichtkomponente
mit fest einprägbarer
Magnetisierung bestimmt. Vorteilhafterweise ist diese Magnetisierungsrichtung
um + 90° bzw. – 90° gegen die Streifenlängsrichtung
verdreht.
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Die
Einstellung der Richtung der Magnetisierung der magnetoresistiven
Schichten bzw. der freien magnetoresistiven Schichten des Sensors
erfolgt vorzugsweise mittels Stromimpulsen durch auf dem Sensorchip
integrierte Dünnschicht-Flipleitungen. Für eine erste
Taktzeit wird durch erste Stromimpulse, die zu entsprechenden Magnetisierungsrichtungen
in den jeweiligen magnetoresistiven Schichten der Widerstände des
Sensors führen,
der feldunabhängige
Zustand des Sensors eingestellt. Am Sensorausgang liegt jetzt die
feldunabhängige
Offset-Spannung
an. Für
die erste Taktzeit wird eine erste Sample & Hold-Schaltung, die mit dem Sensorausgang
verbunden ist, in den Messzustand geschaltet. Damit liegt am Ausgang
der ersten Sample & Hold-Schaltung
stets der Wert der feldunabhängigen Offset-Spannung
des Sensors vor, der während
der zuletzt vergangenen ersten Taktzeit aktuell war. Für eine zweite
Taktzeit werden durch andere Stromimpulse in den Flipleitungen die
Magnetisierungsrichtungen der magnetoresistiven Schichtstreifen
so ausgerichtet, dass der Sensor sich im feldabhängigen Messzustand befindet.
Die jetzt durch die anliegende Magnetfeldstärke bestimmte Spannung am Ausgang des
Sensors erscheint auch am Ausgang einer zweiten mit dem Sensorausgang
verbundenen Sample & Hold-Schaltung,
die während
der zweiten Taktzeit in den Messzustand geschaltet ist. Ein Differenzverstärker, dessen
Eingänge
mit den Ausgängen
der ersten und zweiten Sample & Hold-Schaltung
elektrisch verbunden sind, liefert an seinem Ausgang während der zweiten
Taktzeit ein dem angelegten Magnetfeld entsprechendes offsetfreies
Signal. Erste und zweite Taktzeit werden periodisch wiederholt.
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Während der
ersten Taktzeit befindet sich die zweite Sample & Hold-Schaltung im Speicherzustand.
Damit können
Feldänderungen
für die
Dauer der ersten Taktzeit nicht angezeigt werden, die Ausgangsspannung
entspricht jetzt dem letzten Wert aus der voraus gegangenen zweiten
Taktzeit. Vorteilhafterweise kann die erste Taktzeit sehr kurz gehalten werden.
Die Umkehr der Magnetisierung in einem Teil der magnetoresistiven
Streifen zum Erreichen des feldunabhängigen Zustandes, die Messung
und Speicherung der Offsetspannung mit der ersten Sample & Hold-Schaltung
und die nochmalige Umkehr der Magnetisierung sind in Zeiten von
weniger als 1 μs
realisierbar. Damit kann das Messsystem auf Feldänderungen im ungünstigsten
Fall auch mit einer geringen Verzögerung reagieren, die der angegebenen
Zeitdauer entspricht.
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Die
Dauer der zweiten Taktzeit ist an sich beliebig wählbar. Bei
Messsystemen, die Störungen durch
starke, kurzzeitige Magnetfeldimpulsen unterliegen, sollte die zweite
Taktzeit etwas kürzer
sein als die reziproke Störfrequenz,
damit kein durch das Störfeld
bedingter, undefinierter Zustand der Richtungen der Magnetisierung
der magnetoresistiven Schichtstreifen über eine längere Zeit erhalten bleibt, so
dass Fehlsignale vermieden werden.
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Eine
nicht zu lang gewählte
zweite Taktzeit hat den weiteren Vorteil, dass durch sie das Rauschspektrum
des magnetoresistiven Sensors auf der niederfrequenten Seite bis
auf etwa einen Frequenzwert von der reziproken zweiten Taktzeit
abgeschnitten wird. Gerade in dem abgeschnittenen Teil des Rauschspektrums
treten wegen des in allen Dünnschichtanordnungen
stets vorhandenen 1/f-Rauschanteils besonders hohe Rauschamplituden
auf, die bei Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahrens aber im Messergebnis
nicht mehr vorhanden sind wodurch eine erhebliche Steigerung der
Messgenauigkeit erreicht wird.
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Mit
der Erfindung wird bei Nutzung einfach aufgebauter magnetoresistiver
Sensoren mit durch Stromimpulse einstellbare Magnetisierungsrichtungen
in den Widerstandselementen, die das Umschalten zwischen einem feldunabhängigen Grundzustand
und einem Messzustand mit feldproportionalem Signal ermöglichen,
bei Einsatz eines äußerst einfachen
Auswerteverfahrens mit zwei unterschiedlich langen Taktzeiten für die Wiederholung
der Stromimpulse, zu dessen Durchführung außer dem Taktgenerator lediglich
zwei Verstärker
und zwei Sample & Hold – Schaltungen
ausreichen, die Messung von magnetischen Feldstärken in einem Frequenzbereich
praktisch von der Frequenz null bis zu einem Frequenzwert ermöglicht,
der allein durch die erste Taktzeit bestimmt wird und im Megahertzbereich liegt.
Gleichzeitig werden Einwirkungen von Störfeldern auf den Sensor und
Rauschanteile im niederfrequenten Bereich eliminiert.
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Die
Erfindung schließt
auch Anordnungen ein, die zur Dämpfung
der Schaltspitzen bei der Ummagnetisierung RC-Glieder enthalten
oder Sensoren mit einem Grundzustand verwenden, der eine gewisse
Abhängigkeit
des Sensorsignals vom angelegten Magnetfeld, möglicherweise mit entgegen gesetztem Vorzeichen
zum Messzustand, aufweist.
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Die
Erfindung wird nachstehend an Hand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. In
der dazu gehörigen
Zeichnung zeigt 1 ein Schaltbild des erfindungsgemäßen Sensors, 2 die
Signale als Funktion des Magnetfeldes für ein Sensorelement entsprechend
dem Stand der Technik, 3 die Signale als Funktion des
Magnetfeldes für
ein erfindungsgemäßes Sensorelement, 4 die
Signale des Taktgenerators und des Sensors sowie das anliegende
Magnetfeld als Funktion der Zeit und 5 eine Vereinfachung
für den
Aufbau des Taktgenerators.
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In 1 ist
ein magnetoresistives Sensorelement in Form einer Wheatstone-Brücke dargestellt. Jeder
Brückenwiderstand
besteht aus zwei magnetoresistiven Streifen 1, 2.
Die Streifen 1, 2 bestehen hier aus anisotrop
magnetoresistivem Material. Beide Streifen 1, 2 tragen
Barberpole-Strukturen, jedoch mit entgegengesetzt gleichem Neigungswinkel
gegen die Streifenlängsrichtung. Über den
magnetoresistiven Streifen 1, 2 sind integriert
Ummagnetisierungsleitungen 3, 4 angeordnet. Diese
Ummagnetisierungsleitungen 3, 4 sind über Verbindungsleitungen 6, 7 mit
einem Taktgenerator 5 verbunden. Der Taktgenerator 5 steuert
auch über
die Leitungen 13, 14 die beiden Sample & Hold-Schaltungen 15, 16. Diese
sind über
Leitungen 12 am Ausgang des Vorverstärkers 11 angeschlossen,
der über
die Leitungen 10 die Ausgangssignale der Sensorbrücke aufnimmt.
Der Differenzverstärker 19 ist über die
Leitungen 17, 18 mit den Ausgängen der Sample & Hold-Schaltungen 15, 16 verbunden.
Die Sensorbrücke
ist mit einer nicht bezeichneten positiven Betriebsspannung versehen.
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Der
Taktgenerator 5 speist zu Beginn in die Ummagnetisierungsleitungen 3, 4 positive
Stromimpulse ein, dargestellt in 8, 9 an den Leitungen 6, 7. Diese
Stromimpulse erzeugen an den jeweils zwei magnetoresistiven Streifen 1, 2 jedes
Brückenwiderstandes
Magnetfelder, die in der Zeichenebene nach oben gerichtet sind.
Die Feldstärke
ist dabei so groß, dass
sich die Eigenmagnetisierung der Streifen 1, 2 in
die Richtung dieser Felder einstellt. Da die Neigungswinkel der
Barberpole-Strukturen auf den Streifen 1, 2 jeweils
entgegengesetzt sind, bewirkt ein von außen einwirkendes Magnetfeld
H mit Richtung quer zur Streifenlängsrichtung in jeweils beiden Streifen
gegenläufige
Widerstandsänderungen.
Damit bleibt jeder Brückenwiderstand
unabhängig
von diesem Feld konstant und die Brückenausgangsspannung ändert sich
ebenfalls nicht bei Variation des Feldes H. Alle Streifen 1, 2 sind
in gleicher Weise aufgebaut und haben dieselben Abmessungen. Widerstandsunterschiede
ergeben sich aus Fertigungstoleranzen und Temperaturverteilungen.
Sie führen zum
Auftreten der Offsetspannung 24 am Brückenausgang, wie in 3 dargestellt.
Mit Beginn der positiven Impulse des Taktgenerators 5 schaltet
dieser die erste Sample & Hold-Schaltung 15 in
den Messzustand, so dass hier der Offsetwert aufgenommen werden
kann. Nach Ablauf der ersten Taktzeit gibt der Taktgenerator 5 auf
die Leitung 6 und die Ummagnetisierungsleitung 4 einen
negativen Stromimpuls. Gleichzeitig wird die erste Sample & Hold-Schaltung 15 in
den Speicherzustand geschaltet und die zweite Sample & Hold-Schaltung 16 in
den Messzu stand. Der negative Stromimpuls bewirkt auf Grund einer genügend großen Feldstärke die
Umkehrung der Richtung der Magnetisierung der Streifen 2 aller
Brückenwiderstände. Damit
sind die durch das äußere Feld
H hervorgerufenen Widerstandsänderungen
der jeweiligen Streifen 1, 2 in allen vier Brückenwiderstände jetzt
gleichsinnig. Mit den dargestellten Barberpole-Neigungen ergibt
sich, dass die jeweils diagonal in der Brückenschaltung liegenden Widerstände bei
Vergrößerung des
Feldes H zu- bzw. abnehmen. So tritt am Brückenausgang eine zum Feld H proportionale
Spannung 23 auf, wie in 3 gezeigt. Die
entsprechend vorverstärkte
Spannung 23 tritt nun auch am Ausgang der zweiten Sample & Hold-Schaltung 16 auf,
während
am Ausgang der ersten Sample & Hold-Schaltung 15 nach
wie vor der Wert der Offsetspannung anliegt. Somit kann am Ausgang
des Differenzverstärkers 19 eine
feldproportionale Spannung ohne Offsetanteil auftreten. Nach Ablauf
der zweiten Taktzeit werden wieder positive Stromimpulse auf die
Ummagnetisierungsleitungen gegeben, die erste Sample & Hold-Schaltung 15 wird
in den Messzustand und die zweite Sample & Hold-Schaltung 16 in den
Speicherzustand geschaltet. Die Sensorbrücke geht durch die Einstellung
der Magnetisierungsrichtungen wieder in den feldunabhängigen Zustand über. Der
ganze Ablauf wiederholt sich mit einer Periodenlänge, die der Summe aus erster
und zweiter Taktzeit entspricht.
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Die
im dargestellten Ausführungsbeispiel durch
Ummagnetisierung der magnetoresistiven Streifen 1, 2 eingestellten
Sensorkennlinien sind, wie bereits erwähnt, in 3 dargestellt.
Gezeigt wird die Sensorausgangsspannung als Funktion der Stärke des
zu messenden Feldes H. Gemessen wird schließlich die Differenz zwischen
einer feldproportionalen Spannung 23 und der Offsetspannung 24. Entsprechend
dem Stand der Technik werden durch Ummagnetisierung von Schichtstreifen
zwei Kennlinien mit entgegen gesetztem Anstieg, wie ihn die Kurven 20 und 21 in 2 aufweisen,
erzeugt. Beide Sensorzustände
sind für
gleichlange Zeiten realisiert und wechseln sich periodisch ab. Ausgewertet
wird die Differenz zwischen den beiden Kurven 20 und 21, beispielsweise
durch phasenempfindliche Gleichrichtung und Integration. Dadurch
fällt die
Offsetspannung 25 heraus. Es wird die obere Grenzfrequenz des
Messverfahrens jedoch stark eingeschränkt.
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Die
Eigenschaften des erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels
sind in 4 zusammengefasst. Über der
Zeitachse sind die Stromimpulse If des Taktgenerators 5 als 26,
der Verlauf des zu messenden Feldes H als 27 und der Verlauf
der Ausgangsspannung Ua des erfindungsgemäßen Sensors als 28 dargestellt.
In 5 wird gezeigt, wie aus der bipolaren Impulsfolge
des Taktgenerators 5 in einfacher Weise die Impulsfolge
für die
magnetoresistiven Streifen 1, deren Magnetisierung im Ausführungsbeispiel
immer bei konstanter Richtung gehalten wird, abgeleitet werden kann.
Die periodische Ausrichtung der magnetoresistiven Streifen 1 ist
vorteilhaft, da so kurzzeitige starke Feldstörungen nicht zu einer dauernden
Ummagnetisierung derselben führen
können. Der
Abstand des positiven vom negativen Stromimpuls in der Darstellung
von 26 ist die erste Taktzeit des Taktgenerators, sie ist
durch zwei eng nebeneinander befindliche gestrichelte Linien gekennzeichnet. Der
große
Zeitanteil bis zur vollen Periodendauer des Taktgenerators ist die
zweite Taktzeit. Die Dauer der zweiten Taktzeit wird vorteilhaft
immer weit länger
gewählt
als die der ersten Taktzeit. In der zweiten Taktzeit folgt die Ausgangsspannung 28 des
Sensors dem äußeren Feld 27,
für gesamte
erste Taktzeit wird der Spannungswert von 28 zum Beginn
dieser Taktzeit konstant gehalten. Um auf kurzzeitige Feldänderungen
reagieren und so mit hoher oberer Grenzfrequenz messen zu können, muss
die erste Taktzeit möglichst
kurz gewählt
werden. Taktzeiten unterhalb von 1 μs sind realisierbar.
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Anstelle
der in 1 dargestellten Brückenanordnung des magnetoresistiven
Sensors kann auch eine Halbbrücke
oder ein einfacher magnetoresistiver Widerstand gewählt werden.
Wichtig ist, dass die Halbbrückenspannung
oder der Widerstand durch Ummagnetisieren von magnetoresistiven Streifen 1, 2 zwischen
einem feldabhängigen
und einem feldunabhängigen
Zustand hin- und hergeschaltet werden kann. Einige vorteilhafte
Anordnungen der genannten Art werden in den Unteransprüchen angegeben.
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Anstelle
der im oben beschriebenen Ausführungsbeispiel
angegebenen anisotrop magnetoresistiven Schichtstreifen können auch
Streifen aus Spin-Valve-Schichtsystemen verwendet werden. Spin-Valve-Schichtsysteme
bestehen aus zwei Schichtkomponenten. Die freie Schichtkomponente kann
bei langen Schichtstreifen stabil sowohl in der positiven als auch
in der negativen Längsrichtung magnetisiert
werden, so dass Ummagnetisierungen analog zu denen bei anisotrop
magnetoresistiven Schichten vorgenommen werden können. Die Richtung der Widerstandsänderung
solcher Schichtstreifen kann durch die feste Magnetisierung der
zweiten Schichtkomponente der Spin Valve-Systeme festgelegt werden.
Vorteilhaft kann hier jeder Widerstand einer Sensorbrücke auch
wieder aus zwei Streifenabschnitten 1, 2 bestehen,
wobei die feste Magnetisierung des ersten Streifenabschnittes 1 in
positiver Querrichtung des Streifens weist und die feste Magnetisierung
des zweiten Streifenabschnittes 2 in negative Querrichtung.
Zur Einstellung der Richtung der Magnetisierung der freien Schicht
sind wieder integrierte Ummagnetisierungsleitungen 3, 4 anwendbar.
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Der
Linearitätsbereich
aller hier beschriebenen Anordnungen kann wesentlich vergrößert werden,
wenn die Kompensationsmethode angewendet wird. Dabei wird die Ausgangsspannung
des Differenzverstärkers 19 in
einen proportionalen Strom umgewandelt, der in einem Kompensationsleiter fließt und am
Ort des magnetoresistiven Sensorelementes ein Feld erzeugt, dass
dem zu messenden entgegengerichtet ist. Eine Regelschaltung sorgt
dafür,
dass die Feldstärke
am Ort des Sensorelementes immer auf den Wert null eingestellt bleibt.
Gemessen wird hier die Größe des Kompensationsstromes,
die dem anliegenden Feld exakt proportional ist.
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- 1,
2
- magnetoresistive
Streifen
- 3,
4
- Ummagnetisierungsleitungen
- 5
- Taktgenerator
- 6,
7
- Verbindungsleiter
- 8,
9
- Stromimpulse
- 10
- Leitung,
Ausgang der Sensorbrücke
- 11
- Vorverstärker
- 12
- Leitungen
- 13,
14
- Leitungen
- 15
- erste
Sample & Hold-Schaltung
- 16
- zweite
Sample & Hold-Schaltung
- 17,
18
- Leitungen
- 19
- Differenzverstärker
- 20,
21
- Signal
als Funktion vom Feld
- 23
- Signal
als Funktion vom Feld
- 24,
25
- Offsetspannung
- 26
- Stromimpulse
If als Funktion der Zeit
- 27
- Feld
H als Zeitfunktion
- 28
- Ausgangsspannung
Ua als Zeitfunktion