DE102005017536B4

DE102005017536B4 - Ultraschallsensor

Info

Publication number: DE102005017536B4
Application number: DE102005017536.8A
Authority: DE
Inventors: Akira Nakajima
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2004-04-23
Filing date: 2005-04-15
Publication date: 2014-10-09
Anticipated expiration: 2025-04-16
Also published as: KR100773193B1; DE102005017536A1; US7583563B2; JP2005308639A; KR20060047372A; US20050236938A1

Abstract

Ultraschallsensor (20), enthaltend: einen Ultraschallgeber (10), enthaltend ein Metallgehäuse (11), welches einen Innenraum (13) enthält, ein vibrierendes Planarglied (11a), welches in dem Gehäuse (11) ausgebildet ist, wobei eine Außenoberfläche des vibrierenden Planarglied (11a) eine Außenoberfläche des Gehäuses (11) bildet, und eine Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) dem Innenraum gegenüberliegt, und ein Ansteuerelement (12), welches an der Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) zum Vibrieren des vibrierenden Planarglieds (11a) befestigt ist; und ein Gehäuse (22), innerhalb welchem der Ultraschallgeber (10) montiert ist, wobei zumindest die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) frei von dem Gehäuse (22) ist, und ein Vibrationsisolierglied (23), welches zwischen dem Gehäuse (22) und dem Ultraschallgeber (10) eingefügt ist, um zu helfen, eine Übertragung von Vibrationen von dem Geber (10) an das Gehäuse (22) zu verhindern, wobei der Ultraschallgeber (10) über das Gehäuse (11) in einem Fahrzeug befestigt ist, so daß die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) zu einem Äußeren des Fahrzeugs hin offen ist, eine Harzschicht (14) unter Verwendung eines Haftglieds, das auf einer hinteren Oberfläche der Harzschicht (14) zum Bedecken der gesamten Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) befestigt ist, aufgetragen ist, und wobei eine Größe der Harzschicht (14) größer oder gleich einer Größe der Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) ist, und die Harzschicht (14) das außerhalb des Ultraschallgebers (10) liegende Gehäuse (22) nicht kontaktiert.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Ultraschallsensor, welcher z. B. in einer fahrzeugseitigen Vorrichtung zum Erfassen von Hindernissen, die an einer Stoßstange eines Fahrzeugs zum Erfassen eines Hindernisses befestigt ist, das sich hinter oder an Ecken des Fahrzeugs befindet, verwendet wird.
Als eine herkömmliche Technologie ist ein Ultraschallsensor vorgeschlagen, welcher an einer Stoßstange eines Fahrzeugs zum Erfassen von Hindernissen um das Fahrzeug herum befestigt ist. (Bezug auf Patentschrift 1)
Patentschrift 1 JP-H04-35600A
Die Oberfläche des vibrierenden Planarglieds (oder der vibrierende Fläche) dieses Sensortyps ist hier an der Außenseite des Fahrzeugs frei, so daß diese freie Oberfläche in der gleichen Farbe als die Stoßstange des Fahrzeugs lackiert wird. Ferner ist der Ultraschallsensor an der Stoßstange oder Bereichen um die Stoßstange herum angeordnet, so daß umherfliegende Steine oder Kies den Sensor oft treffen und Dellen auf der Oberfläche des vibrierenden Planarglieds verursachen. Diese Dellen oder Schäden führen zu Korrosion auf der Oberfläche.
Aus der DE 100 39 060 A1 ist ein Ultraschallwandler/Sensor zum Einbau in einen Stoßfänger eines Kraftfahrzeuges bekannt, der mit einer Halterung zur Aufnahme des Sensors versehen ist. Der Sensor ist mit einem Entkopplungsring versehen und ist durch eine Öffnung im Stoßfänger in der Regel bündig mit der Außenseite des Stoßfängers eingesetzt. Der Sensor ist mit dem Entkopplungsring auf seiner, dem Stoßfänger zugewandten Seite mit einer Abdeckung aus einer dünnen Folie überzogen.
Die DE 100 07 050 A1 offenbart einen Ultraschallsensor. Der Ultraschallsensor dient zur Verwendung bei Einparkhilfen in Kraftfahrzeugen. Der Ultraschallsensor weist eine in einem Sensorgehäuse angeordnete Sensormembran auf, an der innenseitig ein piezoelektrischer Wandler befestigt ist. Das Sensormembran ist dabei über erste Entkopplungsmittel in dem Sensorgehäuse angeordnet, weiterhin sind zweite Entkopplungsmittel zur Vermeidung mechanischer Dämpfungswirkung vom Fahrzeug oder fremder Schwingungsübertragung auf die Sensormembran vorgesehen, die zwischen Sensormembran und Abdeckung des Fahrzeugteils oder einer weiteren Schutzabdeckung angeordnet sind. Die zweiten Entkopplungsmittel bestehen dabei aus einem zwischen Sensormembran und einer dieser umgebende, als Schutzabdeckung dienende Schutzwand befindlichen feinen Luftspalt, und vorderseitig auf der Sensormembran ist eine die als feiner Luftspalt ausgebildeten zweiten Entkopplungsmittel und Teile der Schutzwand überragende Folie aufgebracht.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es einen Ultraschallsensor vorzusehen, welcher in geringerem Maße Beschädigung und Korrosion unterliegt.
Um das obige Ziel zu erreichen ist der Ultraschallsensor mit folgendem versehen. In dem Sensor sind ein Ultraschallgeber und ein Gehäuse enthalten. In dem Ultraschallgeber sind ein Metallgehäuse, ein vibrierendes Planarglied und ein Ansteuerelement enthalten. Das Gehäuse enthält einen Innenraum. Das vibrierende Planarglied ist in dem Gehäuse ausgebildet, wobei eine Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds eine Außenoberfläche des Gehäuses bildet und eine Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds dem Innenraum gegenüberliegt. Das Ansteuerelement ist an der Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds zum Vibrieren des vibrierenden Planarglieds befestigt. Der Ultraschallgeber ist innerhalb des Gehäuses montiert, wobei zumindest die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds von dem Gehäuse frei ist. Der Ultraschallgeber ist über das Gehäuse an einem Fahrzeug befestigt, so daß die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds nach außen hin frei bzw. offen ist. Ferner ist eine Harzschicht unter Verwendung eines Haftglieds, welches auf einer hinteren Oberfläche bzw. Heckoberfläche der Harzschicht angebracht ist, aufgetragen, um die gesamte Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds zu bedecken.
Bei diesem Aufbau verhindert die Schicht, daß umherfliegende Steine das vibrierende Planarglied beschädigen, so daß die Oberfläche des vibrierenden Planarglieds vor Schäden und Korrosion geschützt ist.
Das obige sowie weitere Ziele und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden anhand der vorliegenden ausführlichen Beschreibung, mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen, weiter ersichtlich. Es zeigen:
1A bis 1D Ansichten, welche einen Aufbau eines Ultraschallgebers eines Ultraschallsensors entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen;
2A, 2B Ansichten, welche einen Zustand zeigen, in welchem ein Ultraschallsensor an einer Stoßstange eines Fahrzeugs montiert ist; und
3A, 3B Graphiken, welche Schallnachhalle zeigen, wenn Schichten unterschiedlicher Größe auf ein vibrierendes Planarglied aufgeklebt sind.
Im folgenden wird ein Ultraschallgeber 10 eines Ultraschallsensors 20 entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. 1A zeigt eine vordere Ansicht bzw. Frontansicht des Ultraschallgebers 10; 1B zeigt eine Seitenansicht und 1C zeigt eine hintere Ansicht bzw. Heckansicht. Der Geber 10 ist aus einem Gehäuse 11 ausgebildet, welches einen Innenraum 13 aufweist, der mit Füllmasse gefüllt ist. 1D zeigt eine Seitenschnittansicht des Gebers 10 ohne die Füllmasse.
Das Gehäuse 11 besteht aus Aluminium, um elektrisch leitend zu sein. Das Gehäuse 11 enthält ein vibrierendes Planarglied (oder vibrierende Fläche) 11a. Eine Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a bildet eine Außenoberfläche des Gehäuses 11, während eine Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a dem Innenraum 13, wie in 1D gezeigt, gegenüberliegt. Innerhalb des Gehäuses 11 oder innerhalb des Innenraums 13 ist ein piezoelektrisches Element 12 enthalten. Das piezoelektrische Element 12 ist an einer Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a befestigt. An der Außenoberfläche oder der vorderen Oberfläche bzw. Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a ist eine Harzschicht 14 verklebt, so daß die Schicht 14 die gesamte Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a bedeckt.
Die Harzschicht 14 ist eine klare kreisförmige Schicht bestehend aus Polyurethan. Auf der Heckoberfläche der Schicht 14 wird ein Haftmaterial aufgetragen. Die gesamte Oberfläche des Gehäuses 11 ist in einer gegebenen Farbe (die gleiche Farbe als die der Stoßstange des Fahrzeugs) lackiert. Die Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a weist durch die Klarschicht 14 deshalb die gleiche Farbe als die Stoßstange des Fahrzeugs auf.
Das piezoelektrische Element 12 ist mit einem Anschluß einer Verbindungsleitung 15 verlötet, während ein Abschnitt an einer Innenwand des Gehäuses 11 mit dem anderen Anschluß der Verbindungsleitung 15 verlötet ist. Es werden dadurch wechselnde Signale an beiden Anschlußenden des piezoelektrischen Elements 12 über das Gehäuse 11 angelegt. Das Anlegen der wechselnden Signale ansteuert das piezoelektrische Element 12, um dadurch zu verursachen, daß das vibrierende Planarglied 11a vibriert. Das piezoelektrische Element 12 arbeitet sozusagen als ein Ansteuerelement in Bezug auf die Vibration. Der Innenraum 13 ist mit der Füllmasse 16, wie z. B. Silikon gefüllt, nachdem die Verbindungsleitung 15 verlötet ist.
Der Ultraschallsensor 20, welcher den Ultraschallgeber 10 enthält, ist in der Stoßstange 30 des Fahrzeuges wie in den 2A, 2B gezeigt, angeordnet. 2A zeigt eine Frontansicht, 2B zeigt eine Heckansicht.
Der Ultraschallsensor 20 besteht aus dem Ultraschallgeber 10, einer Verarbeitungsplatine 21, und einem Harzgehäuse 22, innerhalb welchem der Ultraschallgeber 10 und die Verarbeitungsplatine 21 angeordnet sind.
Die Verarbeitungsplatine 21 legt an den Ultraschallgeber 10 eine Ultraschall erzeugende Ansteuerspannung an, während diese die Spannung verarbeitet, welche durch eine gegenelektromotorische Kraft des Ultraschallgebers 10 erzeugt wurde. Innerhalb des Gehäuses 22 ist ein Vibrationsisolierglied 23 (Silikongummi) vorgesehen, um den Ultraschallgeber 10 zu umgeben, um eine Vibrationsübertragung an das Gehäuse 22 zu verhindern. Ferner ist Silikonharz zum Verhindern von Feuchtigkeit hinter der Verarbeitungsplatine 21 gefüllt. Die Verarbeitungsplatine 21 ist über einen Verbinder 21 mit einer Ansteuervorrichtung (nicht gezeigt) verbunden, welche eine Hinderniserfassung für das Heck oder Ecken des Fahrzeuges durchführt.
Das Gehäuse 22 weist eine kreisförmige Öffnungsfläche 22a auf, durch welche der Ultraschallgeber 10 und das Vibrationsisolierglied 23 eingefügt (in 2B nach rechts) und montiert werden. Das vibrierende Planarglied 11a des Ultraschallgebers 10 ist somit über die Öffnungsfläche 22a nach außen offen. Die Oberflächen der Öffnungsfläche 22a des Gehäuses 22 und das vibrierende Planarglied 11a des Ultraschallgebers 10 sind ungefähr eben und äußere Umfänge der beiden Oberflächen bilden konzentrische Kreise.
Die Verbindungsleitung 15 des Ultraschallgebers 10 ist mit der Verarbeitungsplatine 21 verlötet, um elektrisch verbunden zu sein. Die Verarbeitungsplatine 21 enthält einen veränderlichen Widerstand (nicht gezeigt) zum Einstellen der Empfindlichkeit des Sensors. Dieser veränderliche Widerstand kann manuell durch Drehen in einem bestimmten Umfang eingestellt werden. Das Einstellen der Sensorempfindlichkeit wird wie folgt durchgeführt. Ein Stab bzw. Pfosten wird als Hindernis in einem bestimmten Abstand von dem Ultraschallsensor 20 entfernt positioniert. Der obige veränderliche Widerstand wird während dem Überwachen von Ausgangssignalen der Verarbeitungsplatine 21, die von dem Stab abgeleitet sind, eingestellt.
Nach dem Einstellen wird die Verarbeitungsplatine 21 von dem Rückseite des Gehäuses 22 aus eingefügt, und das Silikonharz 24 zum Verhindern von Feuchtigkeit wird in den hinteren Abschnitt des Gehäuses 22 gefüllt, um dadurch die Montage des Ultraschallsensors 20 abzuschließen.
Wie oben beschrieben wird die Harzschicht 14 über die gesamte Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a des Ultraschallgebers 10 geklebt, so daß die Schicht 14 zum Schutz des Ultraschallgebers 10 gegen Steinschlag oder dergleichen wirkt, um eine Beschädigung der Oberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a zu verhindern. Es kann daher verhindert werden, daß die Oberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a somit beschädigt wird oder korrodiert.
Die oben beschriebene Empfindlichkeitseinstellung wird unter der Bedingung durchgeführt, in welchen die Schicht 14 auf die Oberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a geklebt wird. Wenn z. B. eine auf dem Markt erhältliche Schicht an dem vibrierenden Planarglied 11a nach Abschluß der Empfindlichkeitseinstellung befestigt wird, nimmt die Empfindlichkeit ab, wodurch ein erfassbarer Bereich verringert wird. Entsprechend dieser Ausführungsform wird die Empfindlichkeitseinstellung jedoch unter der Bedingung, daß die Schicht 14 bereits auf das vibrierende Planarglieds 11a des Ultraschallgebers 10 aufgeklebt ist, durchgeführt, wodurch obige Probleme gelöst werden können.
Im Anschluß wird ein Schallnachhall, welcher erzeugt wird, wenn Schichten unterschiedlicher Größe auf ein vibrierendes Planarglied 11a geklebt werden, mit Bezug auf 3A, 3B beschrieben. 3A zeigt einen Schallnachhall, der erzeugt wird, wenn die Größe der Schicht 14 gleich groß oder ein wenig größer als die Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a ist, aber ein Teil des Gehäuses 22, welches das vibrierende Planarglied 11a und das Vibrationsisolierglied 23 umgibt, nicht bedeckt oder kontaktiert. 3B zeigt einen Schallnachhall, welcher erzeugt wird, wenn die Größe der Schicht 14 größer als die Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a ist, und ein Teil des Gehäuses 22 bedeckt oder kontaktiert.
Der Schallnachhall bedeutet hier ein Phänomen, daß das vibrierende Planarglied 11a weiterhin vibriert, ohne die Vibration zu beenden, auch falls an beide Anschlußenden des piezoelektrischen Elements 12 angelegte wechselnde Signale beendet werden. Starke und lang anhaltenden Schallnachhalle können eine fehlerhafte Erfassung des Sensors verursachen.
Wie in 3B gezeigt, treten sogar nach Beenden der wechselnden Signale stärkere Signale und längere Schallnachhalle als in 3A auf.
In 3A dagegen treten, nachdem die wechselnden Signale beendet sind, kaum noch Schallnachhalle auf. Die Ursache dieses Phänomens erklärt sich wie folgt. Da die Schicht 14 das Gehäuse 22 kontaktiert, wird die Vibration des vibrierenden Planarglieds 11a über die Schicht 14 an das Gehäuse 22 übertragen. Die Vibration des Gehäuses 22 wird dagegen über die Schicht 14 an das vibrierende Planarglied 11a übertragen. Wenn die wechselnden Signale angelegt werden, vibriert das Gehäuse 22 deshalb mit dem vibrierenden Planarglied 11a mit. Wenn die wechselnden Signale danach aufhören, beendet das vibrierende Planarglied 11a die Vibration. Die Vibration des Gehäuses, welches vibrierte, während die wechselnden Signale angelegt waren, wird jedoch an das vibrierende Planarglied 11a übertragen, so daß das vibrierende Planarglied 11a weiterhin vibriert ohne sofort aufzuhören. Dies resultiert in den Schallnachhallen.
In dem Ultraschallsensor 20 dieser Ausführungsform ist die Größe der Schicht 14 dagegen gleich oder ein wenig größer als die der Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a, jedoch wird ein Teil des Gehäuses 22, daß das vibrierende Planarglied 11a und das Vibrationsisolierglied 23 umgibt, nicht bedeckt oder kontaktiert. Es treten daher keinerlei Probleme auf, die sich wie in 3B aus Schallnachhallen ergeben, so daß eine fehlerhafte Erfassung verhindert werden kann. Es kann dadurch eine zuverlässigere Erfassung erreicht werden. Ferner ist der Ultraschallgeber 10 über das Vibrationsisolierglied 23 innerhalb des Gehäuses 22 angeordnet, so daß die Vibration des Ultraschallgebers 10 nicht leicht auf das Gehäuse 22 übertragen wird.
Ferner kann die Größe der Schicht 14 ein wenig kleiner als die der Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a bemessen werden, so daß die Schicht 14 das Gehäuse 22 nicht kontaktiert. Bei dieser Größe ist jedoch ein Teil (Peripherabschnitt) der Frontoberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a nach außen offen, so daß dieser Teil Beschädigungen und Korrosion ausgesetzt ist. Wenn dieses Teil beschädigt und korrodiert ist, breitet sich die Korrosion von diesem Teil aus, um dadurch möglicherweise zu verursachen, daß das gesamte Teil des vibrierenden Planarglieds 11a korrodiert. Das Aufkleben der Schicht 14 zum Bedecken der gesamten Oberfläche des vibrierenden Planarglieds 11a verhindert daher wirksam das vorhergehende Problem.
Ferner ist das Gehäuse 11 in dieser Ausführungsform in der gegebenen Farbe lackiert und die Klarschicht 14 ist aufgetragen, so daß das vibrierende Planarglied 11a die gleiche Farbe wie die Stoßstange des Fahrzeugs aufweist. Der Lack, welcher die gleiche Farbe als die Stoßstange aufweist, kann jedoch auf der Frontoberfläche oder der Heckoberfläche der Schicht 14 aufgetragen werden. In diesem Fall kann der Lack auf dem Gehäuse 11 weggelassen werden.
Es ist dem Fachmann ersichtlich, daß verschiedene Änderungen der oben beschriebenen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden können. Der Umfang der vorliegenden Erfindung sollte jedoch durch die nachfolgenden Ansprüche bestimmt werden.

Claims

Ultraschallsensor (20), enthaltend: einen Ultraschallgeber (10), enthaltend ein Metallgehäuse (11), welches einen Innenraum (13) enthält, ein vibrierendes Planarglied (11a), welches in dem Gehäuse (11) ausgebildet ist, wobei eine Außenoberfläche des vibrierenden Planarglied (11a) eine Außenoberfläche des Gehäuses (11) bildet, und eine Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) dem Innenraum gegenüberliegt, und ein Ansteuerelement (12), welches an der Innenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) zum Vibrieren des vibrierenden Planarglieds (11a) befestigt ist; und ein Gehäuse (22), innerhalb welchem der Ultraschallgeber (10) montiert ist, wobei zumindest die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) frei von dem Gehäuse (22) ist, und ein Vibrationsisolierglied (23), welches zwischen dem Gehäuse (22) und dem Ultraschallgeber (10) eingefügt ist, um zu helfen, eine Übertragung von Vibrationen von dem Geber (10) an das Gehäuse (22) zu verhindern, wobei der Ultraschallgeber (10) über das Gehäuse (11) in einem Fahrzeug befestigt ist, so daß die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) zu einem Äußeren des Fahrzeugs hin offen ist, eine Harzschicht (14) unter Verwendung eines Haftglieds, das auf einer hinteren Oberfläche der Harzschicht (14) zum Bedecken der gesamten Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) befestigt ist, aufgetragen ist, und wobei eine Größe der Harzschicht (14) größer oder gleich einer Größe der Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) ist, und die Harzschicht (14) das außerhalb des Ultraschallgebers (10) liegende Gehäuse (22) nicht kontaktiert.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei die Oberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) in einer gegebenen Farbe lackiert ist und die Harzschicht (14) klar ist.
Ultraschallsensor nach Anspruch 2, wobei die gegebene Farbe einer Farbe einer Stoßstange (30) des Fahrzeugs gleicht.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei entweder eine vordere Oberfläche oder eine hintere Oberfläche der Harzschicht (14) in einer gegebenen Farbe lackiert ist.
Ultraschallsensor nach Anspruch 4, wobei die gegebene Farbe einer Farbe der Stoßstange (30) des Fahrzeugs gleicht.
Ultraschallsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Metallgehäuse (11) aus Aluminium besteht.
Ultraschallsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6 ferner aufweisend: eine Verarbeitungsplatine (21), welche den Ultraschallgeber (10) ansteuert, wobei die Sensorempfindlichkeit unter Verwendung der Verarbeitungsplatine (21) eingestellt wird, wenn die Harzschicht (14) auf die Außenoberfläche des vibrierenden Planarglieds (11a) aufgetragen wird, und wobei nachdem die Sensorempfindlichkeit eingestellt wurde, eine Füllmasse (24) in das Gehäuse (22) gefüllt wird.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei die Harzschicht (14) so positioniert und angebracht ist, dass sie die äußere Oberfläche des vibrierenden Planarglied (11a) vom direkt an die Umgebung außerhalb des Fahrzeuges Ausgesetzt sein zu schützen.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei die Harzschicht (14) derart positioniert ist, dass das vibrierende Planarglied (11a) zwischen der Harzschicht (14) und dem Ansteuerelement (12) ist.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei die äußere Oberfläche der Harzschicht (14) zu einer Umgebung des Fahrzeugs ausgesetzt ist, um das vibrierende Planarglied (11a) vor Beschädigungen zu schützen.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei die Harzschicht (14) eine klare, kreisförmige Polyurethanschicht ist.
Ultraschallsensor nach Anspruch 1, wobei eine Empfindlichkeitseinstellung unter einer Bedingung ausgeführt wird, bei der die Harzschicht (14) angebracht ist und die gesamte Außenoberfläche des vibrierenden Planarglied (11a) bedeckt.