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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren
zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut, vorzugsweise
flachem, hochempfindlichem Behandlungsgut in der Leiterplattentechnik,
insbesondere von Behandlungsgut, bei dem es auf glatte Oberflächen oder
feinste Strukturen ankommt, wie sie beispielsweise für Flip-Chip-Substrate
der nächsten
Generation gefordert werden, sowie die Verwendung der Vorrichtung.
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Derzeit
arbeiten die Chiphersteller in der Halbleiterindustrie an der Einführung von
so genannten 90-Nanometerstrukturen. In der Entwicklung sind noch
kleinere Strukturen von 70 nm geplant. Aber auch diese Abmessungen
sind nur Zwischenschritte auf dem Weg zu noch kleineren Strukturen.
Ausgehend von der fortschreitenden Miniaturisierung der Halbleiter-Bauteile
stellen sich auch für
die Hersteller von Leiterplatten mit Chip-Trägern neue Herausforderungen,
ihre Produkte an die neuen Gegebenheiten anzupassen. Dies bedeutet,
dass beispielsweise Forderungen nach Strukturabmessungen von derzeit zirka
150 μm für so genannte
Pad-Pitches (Pad-Abstände)
und 75 μm
für so
genannte Lands realisiert werden müssen, um am Markt zu bestehen.
Dabei zeichnet sich bereits schon jetzt ab, dass sich die Abmessungen
in naher Zukunft noch weiter verringern werden.
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Derartig
feine Strukturen sind jedoch mit den heute üblichen Verfahren und Vorrichtungen
nicht mehr zu realisieren. Bei der Verkleinerung der Strukturen
werden ungleichmäßige Konturen
der Leiterstrukturen, Pads und Lands sowie sogar einerseits Brücken (Kurzschlüsse) oder
andererseits Unterbrechungen beobachtet. Ferner ist auch festgestellt
worden, dass die Oberfläche
der metallisierten Strukturen häufig
uneben ist. Derartige Unebenheiten können beim Lötprozess in der SMD-Technik
Störungen hervorru fen.
Dadurch kann ein ungenügender
Kontakt zustande kommen und das Behandlungsgut unbrauchbar machen.
Auch ungleichmäßige Konturen sind
nicht akzeptabel, da die elektrischen Eigenschaften der hergestellten
Schaltungen hierdurch in nicht vorhersagbarer Weise beeinträchtigt werden. Selbstverständlich sind
Unterbrechungen der Strukturen und Kurzschlüsse zwischen benachbarten Strukturen
ebenfalls inakzeptabel, da diese nachträglich nicht mehr repariert
werden können,
so dass die Schaltungen verworfen werden müssen.
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In
DE 83 28 191 U1 ist
eine Oberflächenbehandlungsanlage
mit mehreren aneinander gereihten Badbehältern offenbart. Die Anlage
weist einen Warenumsetzer zum Umsetzen der zu behandelnden Ware
von einem Badbehälter
zu einem anderen Badbehälter
sowie einen seitlich der Bäder
angeordneten Antrieb zum Bewegen des Warenumsetzers in horizontaler
Richtung auf. Die Badbehälter
sind insgesamt von einer stationären
Schutzkabine abgedeckt, die eine Öffnung aufweist, durch die
ein die Waren tragender Hubarm des Warenumsetzers ragt. Dadurch
wird vermieden, dass Abriebteilchen in die Badbehälter fallen.
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In
DE 102 29 000 A1 ist
eine Vorrichtung zum Reduzieren der Oxidation von polierten Metalloberflächen in
einem chemisch-mechanischen Poliervorgang offenbart. Hierzu weist
diese Vorrichtung eine Abdeckung auf, mit der im Wesentlichen ein
Gasaustausch von dem inneren Volumen zur Umgebungsatmosphäre verhindert
werden soll. Im inneren Volumen wird eine inerte Gasatmosphäre gebildet.
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Weiterhin
ist in
DE 102 28 998
B4 eine Vorrichtung zum elektrochemischen Behandeln eines Substrats
bei reduzierter Metallkorrosion offenbart. Die Vorrichtung umfasst
u. a. einen Galvanisierungsreaktor sowie ein Transportmodul, wobei
eine Abdeckung vorgesehen ist, die den Galvanisierungsreaktor und
das Transportmodul umschließt,
um ein inneres Volumen mit einer internen Gasatmosphäre zu definieren.
Dabei ist die Abdeckung so ausgestaltet, dass im Wesentlichen ein
Gasaustausch mit der Umgebungsatmosphäre vermieden wird und sich
in der internen Gasatmosphäre
inertes Gas befindet.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung
und ein Verfahren zur Beschichtung von Behandlungsgut bereitzustellen,
welche es ermöglichen,
auch feinste Strukturen und besonders glatte Oberflächen auf
dem Behandlungsgut herzustellen, wobei die beschriebenen Probleme
bekannter Vorrichtungen vermieden werden sollen. Außerdem soll
die Kontur der Leiterstrukturen glatt und möglichst reproduzierbar einstellbar
sein. Besonders wichtig ist dabei, dass die Kosten für die Vorrichtung und
den laufenden Betrieb niedrig gehalten werden, um eine betriebswirtschaftlich
sinnvolle Produktion sicherzustellen.
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Gelöst wird
die Aufgabe durch die Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und das Verfahren
gemäß Anspruch
24 sowie durch die Verwendung der Vorrichtung gemäß Anspruch
23. Besonders vorteilhafte Ausführungsformen
sind in den Unteransprüchen
angeben.
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Sofern
nachfolgend in der Beschreibung und in den Ansprüchen bestimmte Begriffe, wie
beispielsweise Transportsystem, Transportwagen, Bewegungsantrieb,
Transportwagenfahrwerk, Hubwerk, Aufnahmevorrichtung, Tragarm, Warenträger, Halteelement,
Reinraumgehäuse,
Be- und Entladestation, Einfahröffnung
und Rohrleitungssystem, im Singular angegeben sind, so sollen diese
Begriffe an den angegebenen Stellen in der Beschreibung und in den Ansprüchen gleichfalls
alternativ auch als im Plural angegeben verstanden werden. Sofern
nachfolgend in der Beschreibung und in den Ansprüchen bestimmte Begriffe, wie
beispielsweise Greifelemente, Warenträger, Quertraversen, Liftzeuge,
Hubkolben-/Zylindersysteme, Durchführungsöffnungen, Bürsten, Dichtlippen, Deckel,
Einlassschlitze, Innenräume
der Behälter
und Behandlungsbäder,
im Plural angegeben sind, so sollen diese Begriffe an den angegebenen
Stellen in der Be schreibung und in den Ansprüchen gleichfalls alternativ
auch als im Singular angegeben verstanden werden.
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Mit
Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung und
des Verfahrens ist es möglich,
besonders glatte Oberflächen
und feinste Strukturen, beispielsweise im Bereich von 75–150 μm für Lands
oder Pad-Pitches und darunter, auf vorzugsweise flachem Behandlungsgut
herzustellen bzw. diese Strukturen zu behandeln, wobei auf preiswerte
Art und Weise Reinraumbedingungen für das Behandlungsgut bereitgestellt
werden, wie sie auch in der Halbleitertechnik, allerdings verbunden
mit viel höheren
Bereitstellungskosten, bekannt sind.
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Durch
Untersuchungen konnte festgestellt werden, dass die erwähnten Fehler
(Unebenheiten auf den metallisierten Strukturen, ungleichmäßige Konturen
der Leiterstrukturen sowie Unterbrechungen oder Kurzschlüsse) auf
Staubpartikel aus der Umgebungsluft oder andere kleinste Verunreinigungen
zurückgeführt werden
können.
Durch die Verkleinerung der Strukturen können diese Staubpartikel oder
kleinsten Verunreinigungen an den Galvanisier-Vorrichtungen zu Ausschuss
führen.
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Es
wurde nämlich
beobachtet, dass sich die Staubpartikel auf die Strukturen legen
und galvanisch eingeschlossen werden. Dadurch können Kurzschlüsse oder
andere unerwünschte
Defektstellen im Behandlungsgut entstehen. So kann sich die Form
der metallisierten Flächen
unerwünscht
verändern,
z. B. uneben werden, und beim Lötprozess
in der SMD-Technik Störungen
hervorrufen. Dadurch kann ein ungenügender Kontakt zustande kommen und
das Behandlungsgut unbrauchbar werden.
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Insbesondere
soll das Eindringen von Stoffen, wie Staub oder von anderen kleinsten
Verunreinigungen, aus der Umgebung in den Behandlungsraum der Vorrichtung
vermieden werden, um zu verhindern, dass sich diese Stoffe während der
Behandlung bzw. beim Transportvorgang auf das Behandlungsgut legen.
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Als
Behandlungsgut werden vorzugsweise Leiterplatten und Chip-Träger auf
Leiterplatten elektrolytisch oder chemisch behandelt. Durch die
elektrolytische oder chemische Behandlung können entweder Metall, z. B.
Kupfer, Gold, Nickel, Zinn, Silber oder deren Legierungen, auf dem
Behandlungsgut abgeschieden oder Metallschichten vom Behandlungsgut
vollständig
oder teilweise entfernt werden.
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Die
erfindungsgemäße Vorrichtung
zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut
umfasst mindestens einen Behandlungsbehälter zur Behandlung des Behandlungsgutes
und ein mindestens einen Transportwagen aufweisendes Transportsystem
zum Transport des Behandlungsgutes. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens einem Transportwagen eine Reinraumzone zugeordnet ist
und die Reinraumzone zusammen mit dem Transportwagen von Behandlungsbehälter zu
Behandlungsbehälter
verfahrbar ist.
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Sind
mehrere Behandlungsbehälter
vorhanden, können
diese gleiche oder verschiedene Behandlungsflüssigkeiten enthalten oder zur
Trocknung, zur Temperung oder zur Be- oder Entladung dienen. Die
Behandlungsbehälter
können
nebeneinander und/oder hintereinander in Reihen angeordnet werden,
so dass Behandlungseinheiten entstehen. In diesen Einheiten kann
das Behandlungsgut, beispielsweise mehrere Leiterplatten, nebeneinander, vorzugsweise
aber in separaten Behandlungsbehältern
mit gleicher Behandlungsflüssigkeit,
gleichzeitig behandelt werden. Nach der Behandlung können diese
nebeneinander angeordneten Leiterplatten zur nächsten Behandlungsstation mit
mehreren nebeneinander angeordneten Behältern transportiert und dort
weiterbehandelt werden. Dadurch kann eine ganze Sequenz von Behandlungsschritten,
beispielsweise Spülen,
Galvanisieren, Spülen
und anschließend
Trocknen, durchgeführt
werden.
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Die
Reinraumzone wird dabei vorzugsweise durch ein Durchführungsöffnungen
aufweisendes Reinraumgehäuse
räumlich
begrenzt. Das Gehäuse kann
insbesondere Seitenwände,
Stirnwände,
obere Wände
und untere Wände
aufweisen. In einer bevorzugten Ausführungsform kann das Gehäuse aus zwei
paarweise gegenüberliegenden
Seitenwänden, zwei
paarweise gegenüberliegenden
Stirnwänden, einer
oberen Wand und einer unteren Wand bestehen. In einer anderen Ausführungsform
kann die Unterseite des Gehäuses
auch durch die darunter unmittelbar anschließenden Behandlungsbehälter gebildet
werden, wobei der Übergang
zwischen der Reinraumzone und den Behältern frei sein oder dort auch
ein Deckel für
das Behandlungsgut vorgesehen sein kann, der schmale Einfahröffnungen,
z. B. Einlassschlitze. für
das Behandlungsgut aufweisen kann.
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Die
obere Wand kann im Inneren des Gehäuses zwischen den Durchführungsöffnungen
durch geeignete Bewehrungen, beispielsweise Mittelstützen, ausgehend
vom oberen Rand des Behandlungsbehälters, abgestützt werden.
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Das
Gehäuse
ist vorzugsweise so abgedichtet, dass das darin unter vorzugsweise
geringem Überdruck
stehende Gas nur an den Durchführungsöffnungen
austreten kann. Die Durchführungsöffnungen
können
so ausgestaltet sein, dass sie teilweise verschließbar sind.
Beispielsweise können
Bürsten oder
elastische Dichtlippen die Öffnungen
abdichten, wobei die Bürsten
oder Dichtlippen vorzugsweise an der Außenseite des Gehäuses angeordnet
sind.
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Die
Durchführungsöffnungen
im Gehäuse können z.
B. Einfahröffnungen
für das
Behandlungsgut, etwa im Bereich einer andockbaren Be- und Entladestation,
sowie Horizontal- und Vertikaldurchführungsöffnungen für das Transportsystem sein,
beispielsweise für
Warenträger,
Liftzeuge und Quertraversen. Die Durchführungsöffnungen sind vorzugsweise
als schmale, für
die Durchführung
der genannten Teile des Transportsystems geeignete Schlitze ausgebildet.
Das Gehäuse
kann durch Zuführen
von gereinigtem, z. B. gefiltertem, Gas mit Überdruck beaufschlagt werden.
Als Gase können
Inertgase, wie z. B. Stickstoff, oder Pressluft verwendet werden, welche über geeignete,
der geforderten Reinraumklasse entsprechende Filter gereinigt werden.
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Der
erzeugte Überdruck
verhindert erfindungsgemäß, dass
unerwünschte
Stoffe, wie Staub oder andere kleinste Verunreinigungen, die sich
außerhalb
der Reinraumzone befinden, in diese eindringen können.
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Die
Durchführungsöffnungen
in den Gehäusewänden können beispielsweise
im Bereich der oberen Wand und/oder in einer oder mehreren Seitenwänden angeordnet
sein. Beispielsweise können die
Durchführungsöffnungen
im oberen Bereich der Seitenwände
in horizontaler Richtung verlaufen.
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Das
Transportsystem kann mindestens einen Transportwagen, ferner mindestens
ein Halteelement und mindestens ein Verbindungsmittel zwischen dem
oder den Transportwagen und dem Halteelement oder den Halteelementen
aufweisen.
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Der
Transportwagen umfasst vorzugsweise einen Bewegungsantrieb und ein
Transportwagenfahrwerk. Die Transportwagen mit dem Bewegungsantrieb
und dem Transportwagenfahrwerk sind vorzugsweise außerhalb
der Reinraumzone angeordnet. Ein an einer Längsseite einer Behälterreihe
verfahrbarer Transportwagen kann mit einem anderen Transportwagen
an der anderen Längsseite
der Behälterreihe über geeignete
Verbindungsmittel verbunden sein, sodass eine die beiden Längsseiten verbindende „Brücke" gebildet wird.
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Der
Bewegungsantrieb ist z. B. ein Fahrmotor. Der Bewegungsantrieb kann
beispielsweise am Transportwagen angeordnet sein und diesen direkt über entsprechende
Mittel zur Kraftübertragung
antreiben. Es ist jedoch auch denkbar, den Bewegungsantrieb stationär, z. B.
an einem Festpunkt der Anlage, anzubringen und mittels Endloskette
oder Seil, welche am Fahrwerk des Transportwagens eingreifen, vorwärts- bzw.
rückwärts zu bewegen.
Der Rückzug
des Transportwagens kann aber auch z. B. durch ein bei der Vorwärtsbewegung
gespanntes Federwerk bewirkt werden, so dass hier nur ein Antrieb
je Transportwagen erforderlich ist.
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Der
Transportwagen kann auch ein Hubwerk aufweisen. Ein derartiges Hubwerk
dient beispielsweise dazu, einen Warenträger anzuheben oder abzusenken.
Ferner kann der Transportwagen auch eine heb- und senkbare Aufnahmevorrichtung
für einen
Warenträger,
beispielsweise einen heb- und senkbaren Tragarm, aufweisen. Diese
Tragarme dienen dazu, unter die Enden eines Warenträgers zu greifen,
damit dieser angehoben werden kann. Hierzu können sie in Form von Hohlkehlen
ausgebildet sein, in die ein Warenträgerende hinein gleitet. Die Tragarme
werden vorzugsweise von den Hubwerken des Transportwagens gehalten
und können
so aufwärts-
und abwärtsbewegt
werden.
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Bei
Versuchen hat sich herausgestellt, dass bestimmte Teile des Transportsystems,
wie z. B. der Transportwagen mit dem Bewegungsantrieb, dem Transportwagenfahrwerk und
dem Hubwerk, während
der Verwendung einen stärkeren
mechanischen Abrieb erfahren als andere Bestandteile der Vorrichtung,
wie z. B. Greifelemente zum Greifen des Behandlungsgutes. Dieser
unerwünschte
mechanische Abrieb führt
zur Verunreinigung des Behandlungsgutes, welche die Qualität des Behandlungsgutes
in oben beschriebener Weise beeinträchtigen können. Das Transportsystem ist
daher vorzugsweise so angeordnet, dass möglichst viele Teile, zumindest
aber der Abrieb erzeugende Bewegungsantrieb, außerhalb der Reinraumzone liegen,
so dass diese Verunreinigungen vermieden werden können. Vorzugsweise
sind auch andere Teile des Transportwagens, nämlich das Transportwagenfahrwerk
und das Hubwerk, außerhalb
der Reinraumzone angeordnet. Ferner können auch die Tragarme für Warenträger außerhalb
der Reinraumzone angeordnet sein. Generell können alle diese Teile des Transportwagens
außerhalb
der Reinraumzone angeordnet sein.
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Das
Transportsystem weist ferner vorzugsweise ein Halteelement zum Halten
des Behandlungsgutes auf. Das Halteelement ist bevorzugt zumindest
im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone angeordnet. Das Halteelement
oder die Halteelemente können
insbesondere aus der Gruppe ausgewählt sein, umfassend Greifelemente
und Warenträger
für das
Behandlungsgut. Beispielsweise können ein
Warenträger
und mindestens ein diesen Warenträger greifendes Greifelement
oder ausschließlich mindestens
ein Greifelement zum Greifen von Behandlungsgut am Transportsystem
vorgesehen sein.
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Die
Greifelemente können
als Greifer, Klemmen, Zangen, Saugnäpfe oder dergleichen ausgebildet
sein. Mit den Greifelementen können
einzelne Teile des Behandlungsgutes direkt gegriffen werden. Das
Behandlungsgut wird hierzu vorzugsweise am Rand gegriffen und zur
Behandlung separat in den Behandlungsbehälter abgelegt. Das Transportsystem
kann während
der Behandlung des in einem Behandlungsbehälter abgelegten Behandlungsgutes Teile
des Behandlungsgutes in anderen Behandlungsbehältern abholen und zu wieder
anderen Behältern
befördern.
Während
dieses Transportvorganges verbleibt das im ersten Behälter abgelegte
Behandlungsgut in diesem Behälter.
In den Behandlungsbehältern
werden die einzelnen Teile jeweils separat gegriffen und während der
Behandlung gehalten.
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An
den Warenträgern
ist wiederum das Behandlungsgut befestigt und verbleibt dort während der
Behandlung und des Transportes von Behandlungsbehälter zu
Behandlungsbehälter.
Das Behandlungsgut wird in diesem Falle über Halterungen gegriffen und
am Warenträger
gehalten. Als Halterungen können
wie für
die Greifelemente ebenfalls beispielsweise Greifer, Klemmen, Zangen,
Saugnäpfe oder
dergleichen verwendet werden. Die Greifelemente können auch
zum Transport von Warenträgern
dienen. Hierzu werden die Warenträger von den Greifelementen
gegriffen und zu den einzelnen Behandlungsbehältern befördert, dort abgelegt und nach
der Behandlung dort wieder abgeholt. Während der Behandlung kann das
Transportsystem Warenträger,
die in anderen Behandlungsbehältern
zur Behandlung abgelegt worden sind, wieder abholen und zu wieder
anderen Behältern
transportieren.
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Ferner
sind Verbindungsmittel zwischen dem oder den Transportwagen und
dem Halteelement oder den Halteelementen vorgesehen. Diese Verbindungsmittel
befinden sich vorzugsweise innerhalb, außerhalb oder teilweise innerhalb
und teilweise außerhalb
der Reinraumzone. Die Verbindungsmittel können Quertraversen und/oder
Liftzeuge sein.
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Die
Quertraversen können
höhenverstellbar sein.
Sie überspannen
ebenso wie die Warenträger die
Reihen von Behandlungsbehältern.
Im Gegensatz zu den Warenträgern
ist das Behandlungsgut an den Quertraversen jedoch nicht befestigt,
sondern wird nur für
den Transport von diesen gegriffen und gehalten. Hierzu sind die
Greifelemente an den Quertraversen angebracht. Die Quertraversen
können
Behandlungsgut mit Hilfe der Greifelemente entweder direkt oder über Warenträger halten
und befördern. Das
Behandlungsgut ist während
des Transportes zwischen den Behandlungsbehältern an den Quertraversen
befestigt und wird nach Ankunft im Zielbehälter abgesetzt, so dass die
Quertraverse zu einer anderen Behandlungsstation mit mehreren nebeneinander
angeordneten Behältern
gefahren werden kann, um dort Behandlungsgut abzuholen. Die Quertraversen
werden vorzugsweise von dem oder den Transportwagen gehalten und
können
dort insbesondere von einem Hubwerk des Transportwagens oder von
den Hubwerken der Transportwagen gehalten werden. Falls die Quertraversen
von Hubwerken an den Transportwagen gehalten werden, sind sie höhenbeweglich.
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Die
Liftzeuge sind wie die Quertraversen Verbindungsmittel und dienen
ebenso wie die Hubwerke der Transportwagen zum Anheben und Absenken
des Behandlungsgutes. Die Liftzeuge können von einer nicht höhenverstellbaren
Quertraverse gehalten werden, die wiederum von einem oder mehreren
Transportwagen gehalten wird. Auch die nicht höhenverstellbaren Quertraversen
stellen Verbindungsmittel dar. Die Liftzeuge sind vorzugsweise Hubkolben-/Zylindersysteme.
Sie dienen zum Anheben und Absenken des Behandlungsgutes. Sie werden über die
Quertraversen vorzugsweise von dem oder den Transportwagen gehalten.
An den Liftzeugen sind wiederum die Greifelemente, die Halteelemente
sind, angeordnet.
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Die
Liftzeuge können
zum Anheben und Absenken des Behandlungsgutes, z. B. von Leiterplatten,
dienen. Als Bewegungseinrichtungen an den Liftzeugen können pneumatisch
oder hydraulisch betätigte
Hubkolben-/Zylindersysteme verwendet werden, wobei an der Unterseite
der Hubzylinder die benötigten
Greifelemente zum Halten des Behandlungsgutes während des Transportes angebracht sind.
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Neben
den einfachen und preisgünstigen Hubkolben-/Zylindersystemen
können
aber auch andere Vorrichtungen, z. B. motorische Liftzeuge, beispielsweise
in Verbindung mit Hubbändern
oder Ketten, eingesetzt werden. Es muss aber darauf geachtet werden,
dass abgeriebene Partikel nicht in die Reinraumzone gelangen können. Hierzu
kann das Hubband in diesem Falle innerhalb einer beispielsweise
als rechteckiges Rohr ausgebildeten Hubstange geführt werden,
so dass die abgeriebenen Partikel nicht in die Reinraumzone gelangen
können.
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Das
Transportsystem kann in einer erfindungsgemäßen Variante einen Transportwagen
an einer Längsseite
einer Behälterreihe
aufweisen, sodass die Verbindungsmittel und Halteelemente zum Halten
des Behandlungsgutes nur von diesem einen Transportwagen gehalten
werden. Beispielsweise kann an dem Transportwagen eine Quertraverse
befestigt sein, an der Quertraverse Liftzeuge und an diesen wiederum
Greifelemente für
das Behandlungsgut. Alternativ können
an beiden Längsseiten einer
Behälterreihe
jeweils ein Transportwagen, zwischen den Transportwagen eine Quertraverse
und an der Quertraverse wiederum Greifelemente befestigt sein. Selbstverständlich können auch weitere Transportwagen
vorgesehen sein, die zwischen zwei Behälterreihen verfahrbar sind.
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Somit
ergeben sich folgende Konstruktionskonzepte für eine Behandlungsanlage mit
einem Transportsystem, das Transportwagen, Halteelemente und Verbindungsmittel
aufweist:
- 1) In einer ersten bevorzugten Ausführungsform werden
als Halteelemente Warenträger
für das Behandlungsgut
verwendet, an welchen das Behandlungsgut über Halterungen an einer Beladestation
gegriffen und gehalten wird. Das Behandlungsgut kann in diesem Falle
direkt oder über
Gestelle am Warenträger
befestigt werden. Die Warenträger
befinden sich dabei im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone und
können
mit ihren Warenträgerenden
durch die Durchführungsöffnungen,
z. B. durch Horizontal- und Vertikalschlitze, in den Seitenwänden des
Reinraumgehäuses
aus der Reinraumzone heraus ragen. Da die Warenträger in dieser
Ausführungsform sowohl
angehoben und abgesenkt als auch von Behälter zu Behälter transportiert werden,
sind Vertikalschlitze für
die Vertikalbewegung des Warenträgers
sowie Horizontalschlitze für
deren Horizontalbewegung vorgesehen, wobei die Horizontalschlitze
vorzugsweise im oberen Bereich der Seitenwände des Gehäuses der Reinraumzone anordnet
sind.
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Während einer
Behandlung des Behandlungsgutes können die Warenträger z. B. über deren sich
außerhalb
der Reinraumzone befindende Enden abgelegt werden. Zum Transport
wird der Warenträger
von Aufnahmevorrichtungen, wie Tragarmen, am Transportwagen wieder
aufgenommen. Diese Aufnahmevorrichtungen befinden sich vorzugsweise
außerhalb
der Reinraumzone. Dadurch dass die Enden des Warenträgers außerhalb
der Reinraumzone bleiben, kann die Gefahr vermieden werden, dass
Feinpartikel in die Reinraumzone gelangen, die sich durch Erschütterungen
oder Abrieb oder durch Fahren und Absetzen der Warenträger in entsprechende Einweisungen
lösen.
Diese Einweisungen sind den einzelnen Behandlungsbehältern zugeordnet.
Alternativ kann sich der Warenträger
auch vollständig
in der Reinraumzone befinden, wenn die Aufnahmevorrichtungen durch
die Durchführungsöffnungen
in die Zone hineinragen.
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Der
Warenträger
kann durch die sich außerhalb
der Reinraumzone befindenden Hub- und Transportwagenfahrwerke
des Transportwagens bewegt werden. Diese Hubwerke tragen die Aufnahmevorrichtungen
für den
Warenträger.
Hierzu können beispielsweise
Führungsstücke im Hubwerk
vorgesehen sein, die die Tragarme und somit den Warenträger transportieren.
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Die
Warenträgerenden
laufen in vertikalen und horizontalen Schlitzen in den Seitenwänden des Reinraumgehäuses. Zum
Anheben und Absenken des Warenträgers
sind vertikale Schlitze vorgesehen, durch die die Enden hindurchgeführt werden.
Während
des Transportes des Warenträgers
von Behandlungsbehälter
zu Behandlungsbehälter
laufen die Warenträgerenden
in den Horizontalschlitzen, die vorzugsweise im oberen Bereich der
Seitenwände eingebracht
sind. Falls die Aufnahmevorrichtungen in die Reinraumzone hinein-,
die Warenträgerenden aber
nicht aus ihr heraus ragen, dienen die Horizontalschlitze zur translatorischen
Bewegung der Aufnahmevorrichtungen. Diese Schlitze sind wiederum vorzugsweise
im oberen Bereich der Gehäusewände vorgesehen.
Damit eine Horizontalfahrt ohne Warenträger (Leerfahrt) möglich wird,
sind die Aufnahmevorrichtungen beweglich ausgeführt, sodass die Aufnahmevorrichtungen
für die
Leerfahrt dann in unterer Position aus der Reinraumzone zurückgezogen
werden können.
- 2) In einer anderen Ausführungsform sind die Halteelemente
ebenfalls Warenträger,
die sich vorzugsweise vollständig
innerhalb der Reinraumzone befinden. In diesem Falle werden die
Warenträger
durch Greifelemente innerhalb der Reinraumzone gegriffen und gehalten.
Zur Ablage eines Warenträgers
in einem Behandlungsbehälter sind
Einweisungen am oberen Behälterrand
innerhalb des Reinraumgehäuse
vorgesehen.
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Die
Greifelemente sind wiederum an Verbindungsmitteln, nämlich Liftzeugen,
befestigt. Die Liftzeuge können
in einer Variante aus der Reinraumzone heraus ragen und somit teilweise
innerhalb und teilweise außerhalb
der Reinraumzone angeordnet sein. Beim Transport mittels Transportwagen
werden die Liftzeuge in diesem Falle durch die Durchführungsöffnungen,
in diesem Falle Horizontalschlitze in der oberen Wand des Reinraumgehäuses, hindurchgeführt. Die
Liftzeuge werden ihrerseits von weiteren Verbindungsmitteln, nämlich Quertraversen,
gehalten. Die Quertraversen sind in diesem Falle außerhalb
der Reinraumzone angeordnet. Die Quertraversen sind am Transportwagen
befestigt. Sie sind nicht höhenverstellbar,
da die für
das Behandlungsgut erforderliche Höhenverstellung durch die Liftzeuge
bewirkt wird. In einer zweiten Variante können die Liftzeuge auch vollständig innerhalb
der Reinraumzone angeordnet sein. Um die Bauhöhe des Reinraumgehäuses zu
begrenzen, können
die Liftzeuge beispielsweise in Form von Teleskop-artig ineinander greifenden
Hubkolben und -zylindern ausgebildet sein. In dieser Variante sind
die Liftzeuge an einer ebenfalls zumindest im Wesentlichen innerhalb
der Reinraumzone angeordneten Quertraverse befestigt. Die Quertraverse
ragt mit ihren Enden aus der Reinraumzone heraus. Die Enden werden
hierzu durch Horizontalschlitze im oberen Bereich der Seitenwände des
Reinraumgehäuses
aus der Reinraumzone herausgeführt.
Da die Quertraverse in dieser Ausführungsform nicht höhenverstellbar
ist, müssen
auch keine Vertikalschlitze in den Seitenwänden vorgesehen sein. Zur Erhöhung der
Stabilität
des Gehäuses können die
oberen Wände
des Gehäuses
in diesem Falle bevorzugt an der Gebäudedecke befestigt sein.
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Zum
Transport des Behandlungsgutes fährt der
Transportwagen mit der Quertraverse und den daran befestigten Liftzeugen
und Greifelementen zu einem in einem Behandlungsbehälter abgelegten Warenträger und
greift diesen. Mit Hilfe der Liftzeuge wird der Warenträger aus
dem Behandlungsbehälter ausgehoben
und durch translatorische Bewegung des Transportwagens in angehobener
Stellung zu einem anderen Behandlungsbehälter befördert. Durch Absenken des Warenträgers in
der neuen Position mit Hilfe der Liftzeuge wird der Warenträger in den Zielbehälter abgesenkt.
Nach dem Ablegen des Warenträgers
in diesem Behandlungsbehälter
kann der Transportwagen mit Quertraversen, Liftzeug und Greifelementen
zu einem anderen Behandlungsbehälter
bewegt werden, um dort einen anderen Warenträger abzuholen.
- 3) In einer weiteren Ausführungsform
sind die Halteelemente wiederum Warenträger. Die Warenträger werden
mit Hilfe von Verbindungsmitteln, nämlich Quertraversen, und daran
befestigten Greifelementen gegriffen und von Behandlungsbehälter zu
Behandlungsbehälter
transportiert. Die Warenträger
und die Greifelemente sind vollständig innerhalb der Reinraumzone
angeordnet. Die Warenträger
können
mit ihren Enden auch durch die Seitenwände des Reinraumgehäuses hindurchgreifen
und dort auf Einweisungen abgelegt werden. Insoweit unterscheidet
sich diese Ausführungsform
nicht von der zuvor beschriebenen. Die Quertraversen sind ebenfalls
zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone angeordnet.
Deren Enden ragen in dieser Ausführungsform
aus ihr heraus. Im Gegensatz zur zuvor beschriebenen Ausführungsform
sind die Quertraversen jedoch heb- und senkbar. Hierzu werden die
Quertraversen von einem außerhalb
der Reinraumzone angeordneten Hubwerk des Transportwagens gehalten.
Die Enden der Quertraversen sind daher in diesem Falle mit den Hubwerken
des Transportwagens fest verbunden. Falls ein Warenträger mit
seinen Enden durch die Seitenwände
des Reinraumgehäuses
herausragt, ist es zum Transport des Warenträgers erforderlich, dass die
Höhenlage
der Quertraverse die gleiche ist wie die des aus der Reinraumzone
herausragenden Warenträgers,
damit der Warenträger
und die Quertraverse in demselben Horizontalschlitz fahren können.
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Beim
Heben und Senken werden die Quertraversen durch Vertikalschlitze
in den Seitenwänden des
Reinraumgehäuses
hindurchgeführt.
Beim Bewegen der Quertraversen von Behandlungsbehälter zu
Behandlungsbehälter
werden diese durch Horizontalschlitze im oberen Bereich der Seitenwände hindurchgeführt. Falls
die Warenträgerenden
ebenfalls aus dem Reinraumgehäuse
herausragen, werden diese ebenfalls durch diese Horizontalschlitze hindurchgeführt.
- 4) In einer anderen bevorzugten Ausführungsform sind
die Halteelemente ausschließlich
Greifelemente für
das Behandlungsgut. In diesem Falle wird auf Warenträger verzichtet.
Das Behandlungsgut wird von den Greifelementen direkt gegriffen.
Zur Ablage des Behandlungsgutes in den Behandlungsbehältern sind
geeignete Halteeinrichtungen in den Behältern vorgesehen, mit denen
das Behandlungsgut dort aufgenommen und während der Behandlung gehalten
werden kann. Nach Abschluss der Behandlung geben diese Halteeinrichtungen
das Behandlungsgut wieder frei. Derartige Halteeinrichtungen können beispielsweise
Halterahmen sein, die im Falle der elektrolytischen Behandlung auch
zur Stromzuführung
zum Behandlungsgut dienen können.
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Die
Greifelemente sind an heb- und senkbaren Quertraversen (Verbindungsmitteln)
befestigt. Die Quertraversen befinden sich im Wesentlichen innerhalb
der Reinraumzone. Mit ihren Enden ragen sie heraus. Die Quertraversen
werden durch Horizontalschlitze und Vertikalschlitze durch die Seitenwände des
Reinraumgehäuses
hindurchgeführt.
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Die
Horizontalschlitze dienen zur Beförderung der Quertraversen mit
den daran befestigten Greifelementen und Behandlungsgutteilen von
Behandlungsbehälter
zu Behandlungsbehälter.
Die Vertikalschlitze sind jeweils im Bereich und oberhalb der Behandlungsbehälter angeordnet
und dienen zum Anheben und Absenken der Quertraversen, Greifelemente
und Behandlungsgutteile. Wie bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform
sind die Quertraversen auch hier an außerhalb der Reinraumzone angeordneten
Hubwerken des Transportwagens befestigt. Mit diesen Hubwerken können die
Quertraversen gehoben und gesenkt werden.
- 5)
In einer weiteren Ausführungsform
ohne Warenträger
wird das Behandlungsgut von den Greifelementen direkt gegriffen
und in den Behandlungsbehältern
abgelegt. Die Greifelemente befinden sich vollständig in der Reinraumzone. Die Greifelemente
sind an einer Quertraverse befestigt, die nicht heb- und senkbar
ist. Zum Heben und Senken des Behandlungsgutes und der Greifelemente
sind wiederum Liftzeuge vorgesehen. Die nicht höhenverstellbare Quertraversen
und die Liftzeuge sind Verbindungsmittel. In einer ersten Variante
dieser Ausführungsform
kann sich die Quertraverse im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone
befinden und nur mit ihren Enden aus ihr herausragen. In diesem
Falle befinden sich die Liftzeuge vollständig innerhalb der Reinraumzone.
Damit die Quertraversen verfahren werden können, sind hier Durchführungsöffnungen
in Form von Horizontalschlitzen vorzugsweise im oberen Bereich der
Seitenwände
des Reinraumgehäuses
vorgesehen, durch die die Quertraversen hindurchgreifen. In einer
zweiten Variante wird die Quertraverse ausschließlich außerhalb der Reinraumzone bewegt.
In diesem Falle befinden sich die Liftzeuge teilweise innerhalb und
teilweise außerhalb
der Reinraumzone. In diesem Falle ist ein Horizontalschlitz in der
oberen Wand des Gehäuses
vorgesehen, durch die die Liftzeuge hindurch geführt werden.
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In
allen beschriebenen Ausführungsformen wird
das Behandlungsgut oder ein Warenträger zum Transport jeweils gegriffen,
aus einem Behandlungsbehälter
ausgehoben und zu einem anderen Behandlungsbehälter transportiert. Dort wird
das Behandlungsgut behandelt. Dieser Vorgang kann, bezogen auf das
Behandlungsgut, so lange wiederholt werden, bis alle Behandlungsbehälter durchlaufen sind
und das Behandlungsgut fertig behandelt ist.
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Um
die Reinraumzone mit Behandlungsgut zu beschicken, kann mindestens
eine Be- und Entladestation
außerhalb
der Reinraumzone vorgesehen sein, von welcher das Behandlungsgut
durch eine Einfahröffnung
im Gehäuse
in die Reinraumzone befördert
wird. Die Einfahröffnungen
können
verschließbar
ausgeführt
sein. Beispielsweise können Verschlussmittel,
wie Blenden, Schieber oder Deckel, verwendet werden, die die Einfahröffnungen während der
Behandlung des Behandlungsgutes verschließen. Die Verschlussmittel sind
vorzugsweise auf der außen
liegenden Gehäuseseite
angeordnet, um einen mechanischen Abrieb bei deren Betätigung in
der Reinraumzone zu vermeiden. Die Be- und Entladestation weist
dabei einen der Einfahröffnung
des Gehäuses
entsprechenden Verschluss für die Übergabe
des Behandlungsgutes auf. Vorzugsweise ist die Be- und Entladestation
speziell ausgestaltet, um zu verhindern, dass die ursprünglich am Behandlungsgut
anhaftenden Staubpartikel in die Reinraumzone gelangen können.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung sind zwei seitlich außerhalb des Gehäuses angeordnete
Transportwagen vorgesehen. Jeder Transportwagen weist einen Bewegungsantrieb
und ein Transportwagenfahrwerk auf. Die Transportwagen können auf
Transportbahnen, z. B. Schienen, entlang fahren, die sich parallel
zu den Behälterreihen
erstrecken. Bei Ausführungsformen,
bei denen ein Warenträger
oder heb- und senkbare Quertraversen verwendet werden, kann ein
Hubwerk vorgesehen sein, das am Transportwagenfahrwerk direkt angeflanscht
sein kann. Das Hubwerk umfasst vorzugsweise einen in senkrechter
Richtung verfahrbaren Hubschlitten, der beispielsweise ein Führungsstück besitzt.
An dem Führungsstück können beispielsweise
Aufnahmevorrichtungen befestigt sein, mit denen ein aus den Durchführungsöffnungen
herausragender Warenträger
außerhalb
der Reinraumzone angehoben und dann transportiert werden kann. Alternativ können an
den Führungsstücken auch
Quertraversen befestigt sein. Befindet sich das Behandlungsgut noch
in einer Be- und Entladestation, so wird es dort gegriffen und dann
von dort zu den Behandlungsbehältern
transportiert.
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Zum
Transport sind in den Seitenwänden schmale
schlitzförmige
Durchführungsöffnungen
vorgesehen. In den Seitenwänden
vorhandene vertikale Durchführungsöffnungen
verlaufen, ausgehend von den Behandlungsbehältern, vorzugsweise senkrecht nach oben.
Werden beispielsweise Warenträger
als Halteelemente verwendet, die von Aufnahmevorrichtungen angehoben,
transportiert und wieder abgesenkt werden, greifen die Enden des
Warenträgers während des
Transports des Behandlungsgutes durch die Schlitze hindurch. Während des
Hubvorganges ragen die Enden des Warenträgers durch die senkrechten
Schlitze der Seitenwände
hindurch und bewegen sich in ihnen senkrecht nach oben. Ist die obere
Position, die so genannte Fahrposition, erreicht, kann das Transportwagenfahrwerk
den Warenträger
vor- oder rückwärts bewegen.
Ist der Zielbehandlungsbehälter
für den
nächsten
Behandlungsschritt erreicht, senkt das Transportsystem den Warenträger an dieser
Stelle wieder ab. Dabei gleiten die Enden des Warenträgers mit
dem Behandlungsgut im dort vorhandenen senkrechten Schlitz wieder nach
unten.
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Da
beliebige Verfahrensprogramme ermöglicht werden sollen, können mit
derartigen Vorrichtungen mit Warenträgern und Aufnahmevorrichtungen auch
so genannte Leerfahrten durchgeführt
werden. Dies bedeutet, dass der Transportwagen einen Warenträger an einem
Behandlungsbehälter
ablegt und dann leer zur nächsten
weiterfährt,
um den dort befindlichen Warenträger
aufzunehmen und weiterzutransportieren. Die üblichen Möglichkeiten für den Transport
des Behandlungsgutes können
weiter verwendet werden.
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Ferner
kann das Behandlungsgut mittels eines Transportsystems transportiert
werden, welches seitlich außerhalb
des Gehäuses
jeweils einen Transportwagen mit dort angeordneten Bewegungsantrieben
und Hubwerken umfasst, wobei das Behandlungsgut ohne Warenträger transportiert
wird. Hierzu ist die im Wesentlichen in der Reinraumzone angeordnete
Quertraverse vorgesehen, die mit beiden linken und rechten Bewe gungsantrieben
bzw. Hubwerken des Transportwagens fest verbunden ist. An dieser
Quertraverse befinden sich individuelle Greifelemente für jedes
Behandlungsgut, die während
des Absenkens der Quertraverse geöffnet bleiben und somit das
Behandlungsgut direkt von oben greifen können. Zum Transport des Behandlungsgutes
wird jedes Greifelement an der Quertraverse in der unteren Position
geschlossen und dadurch das jeweilige Behandlungsgut festgeklemmt,
aus dem Behandlungsbehälter
ausgehoben und zum nächsten
Behandlungsbehälter
transportiert.
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Die
Schlitze in den Seitenwänden
des Gehäuses
der Reinraumzone entsprechen der oben bereits beschriebenen Ausführungsform
unter Verwendung eines Warenträgers.
Bei einer gewünschten Leerfahrt
des Transportwagens muss die Quertraverse am Transportwagen jedoch
in die obere Hubstellung gebracht werden, um den betreffenden nächsten Behandlungsbehälter zu
erreichen. Die Quertraverse kann bei geöffnetem Greifelement abgesenkt werden
und das Behandlungsgut in der unteren Position gegriffen werden.
Sobald das Behandlungsgut gegriffen worden ist, wird der nächste Transportvorgang
durch einen Hub der Quertraverse in die obere Position und eine
anschließende
Weiterfahrt zum nächsten
Behandlungsbehälter
ausgeführt.
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Bei
den beiden zuletzt beschriebenen Ausführungsformen können zwischen
den Transportwagen des Transportsystems zu deren Versteifung bzw. Stabilisierung
weitere Querversteifungen zur Stabilisierung der Transportwagen
bzw. der beiden Hub- und Transportwagenfahrwerke sowie zur besseren Synchronisation
der Fahrbewegung vorgesehen sein.
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Da
die Abrieb gefährdeten
Stellen aller bewegten Teile überwiegend
außerhalb
der Reinraumzone angeordnet sind, ist ein geringer Reinluftverbrauch
bei geringem Überdruck
gewährleistet
und damit ein wirtschaftlicher Betrieb der Anlage sichergestellt.
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Erfindungsgemäß ist die
Größe der Reinraumzone
reduziert, so dass sie sich nicht über alle Behandlungsbehälter gleichzeitig
erstreckt. Dies ist dann möglich,
wenn die Behandlungsbehälter
während
der Behandlung verschlossen und nur zum Be- und Entladen geöffnet werden.
Dann genügt
es, die Reinraumzone nur am Transportwagen selbst vorzusehen. Ein
Transportwagen ist hierzu mit einem Gehäuse versehen, das oben, vorn,
hinten und seitlich geschlossen ist. Unten ist das Gehäuse zumindest beim
Be- und Entladen der Behandlungsbehälter offen. Vorzugsweise ist
das Gehäuse
jedoch durch eine untere Wand mit entsprechenden Öffnungen
für den
Durchtritt des Behandlungsgutes versehen. Auch in diesem Falle befinden
sich alle Antriebe für den
Transport des Behandlungsgutes wiederum außerhalb der Reinraumzone.
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Damit
die Reinraumzone mit entsprechend gereinigter Luft versorgt werden
kann, befinden sich oberhalb der Reinraumzone Reinigungsmittel für das Gas,
etwa Filter und Ventilatoren. Die Ventilatoren saugen ungefilterte
Luft über
dem Transportwagen an und drücken
diese durch die Filter hindurch über entsprechende Öffnungen
in die Reinraumzone hinein. Hierzu können in der oberen Wand mit
den Filtern deckungsgleiche Öffnungen
vorhanden sein. Bei der Luftführung
sowie Auswahl und Anordnung der Öffnungen
ist darauf zu achten, dass eine möglichst laminare Strömung in
der Reinraumzone erreicht wird. Zur Unterstützung des Luftstromes von oben nach
unten dienen auch die an den Behandlungsbehältern vorgesehenen Absaugvorrichtungen,
die gleichzeitig dafür
sorgen, dass die in den Bädern
entstehenden Chemikaliendämpfe
entfernt werden.
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Damit
die Filter zur Erzeugung der Reinluft nicht zu oft ausgetauscht
werden müssen,
kann direkt über
dem Transportwagen ein Frischluftkanal mit Verteileröffnungen
zur Versorgung mit vorgereinigter Frischluft angebracht sein. Wenn
der Transportwagen mit Gehäuse
die Behandlungsstation erreicht hat, um fertiges Behandlungsgut
zu entnehmen bzw. zu behandelndes Gut abzusetzen, verbleibt der Transportwagen
kurz über dem
Behandlungsbehälter,
um eventuell verunreinigte Luft in unmittelbarer Umgebung mit der über die
Ventilatoren in die Reinraumzone beförderten Reinluft zu verdrängen. Dann kann
der Deckel des Behandlungsbehälters
geöffnet und
das fertige Behandlungsgut durch eine Einfahröffnung in das Gehäuse der
Reinraumzone hineingezogen oder im Behälter abgesetzt werden.
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Zur
Beschickung des Behandlungsbehälters kann
das Behandlungsgut nach dem Öffnen
des Deckels des Behandlungsbehälters
von der Reinraumzone durch die Einfahröffnung abgesenkt werden. Diese
Ausführungsform
der Erfindung hat den besonderen Vorteil, dass nur relativ geringe
Mengen Reinluft erzeugt werden müssen.
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In
den oben beschriebenen Ausführungsformen
können
beidseitig an den Schlitzen in den Wänden der Gehäuse der
Reinraumzone Dichtlippen oder Bürstenreihen
angeordnet sein, die die Reinraumzone zusätzlich abdichten und nur bei
der Vorbeifahrt betreffender Teile (z. B. der Hubstangen des Hubkolben-/Zylindersystems,
der Warenträger,
der Quertraversen) zur Seite gedrängt werden. Dies kann dazu
beitragen, den Verbrauch an aufwändig gefilterter
Reinluft weiter zu verringern.
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Ein
besonderer Vorteil der Ausführungsformen
der seitlich angeordneten Transportwagen mit Fahrwerk liegt in der
geringen Gesamthöhe
der Vorrichtung, so dass sie auch in niedrigen Räumen noch untergebracht werden
kann.
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Soll
elektrolytisch behandelt werden, wird die Stromzuführung zum
Behandlungsgut nicht über
die Warenträger
wie in herkömmlichen
Behandlungsvorrichtungen, sondern vorzugsweise über stationär in den Bädern eingebaute Einrichtungen
realisiert, wie z. B. die Ränder
des Behandlungsgutes greifende Kontaktrahmen. Derartige Kontaktrahmen
sind z. B. in
DE-A
102 41 619 genauer beschrieben. Die Kontaktrahmen können dabei
Kontaktleisten aufweisen, die das Behandlungsgut an den im Wesentlichen
zueinander gegenüberliegenden
Seitenrändern
des Behandlungsgutes elektrisch kontaktieren.
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Zur
Verringerung der Kosten können
die Transportwagen in Modulbauweise hergestellt werden. Für Wartungsarbeiten
können
Fenster im Gehäuse
der Reinraumzone vorge sehen werden, welche einen schnellen und einfachen
Zugang zu den Installationen im Gehäuse und gegebenenfalls zu den Behandlungsbehältern ermöglichen.
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Die
beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtungen
zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut
können
vorzugsweise in vertikalen chemischen oder elektrolytischen Durchlaufanlagen
verwendet werden.
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Anhand
der Figuren wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert, ohne jedoch die Erfindung dadurch
einzuschränken.
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Alle
Figuren sind schematisch und nicht maßstäblich ausgeführt. Es
zeigen im Einzelnen:
-
1 eine
Vorrichtung entsprechend dem Stand der Technik;
-
2 eine
Frontansicht einer Ausführungsform
der Vorrichtung im Schnitt A-A' aus 3;
-
3 eine
Seitenansicht der Vorrichtung nach 2;
-
4 eine
Frontansicht einer weiteren Ausführungsform
der Vorrichtung ähnlich
zu 2 im Schnitt;
-
5 eine
Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform der Vorrichtung ähnlich zur
Ausführungsform
in 4 mit gestrichelt dargestelltem Transportsystem
im Schnitt;
-
6 eine
Seitenansicht einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ähnlich zu 5 im
Schnitt;
-
7 eine
Frontansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung
nach 6.
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Gleiche
Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche Elemente.
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1 zeigt
eine Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung
von Teilen entsprechend dem Stand der Technik. Vorrichtungen dieser
Art bestehen aus einer bestimmten Anzahl von Behandlungsbehältern 2,
welche hintereinander angeordnet sind. Seitlich an der Behälterreihe
befinden sich Transportwagen-Fahrschienen 8, auf denen
Transportwagen 18 mit Transportwagen-Fahrwerken 9,
angetrieben durch Fahrmotoren 11, von Behand lungsbehälter zu Behandlungsbehälter fahren.
Jeder Transportwagen hat ein Hubwerk 16 an einer Quertraverse,
mit dem ein Hubbalken 17 auf und ab bewegt werden kann. An
dem Hubbalken können
Warenträger
(nicht dargestellt) befestigt werden, an denen Gestelle mit dem Behandlungsgut
oder Zangen zum direkten Befestigen des Behandlungsgutes angebracht
sind. Das Hubwerk dient zum Heben und Senken des Behandlungsgutes
in den und aus dem nach oben offenen Behandlungsbehälter.
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2 zeigt
eine Frontansicht einer Ausführungsform
einer Vorrichtung im Schnitt. Im unteren Bereich von 2 sind
drei nebeneinander angeordnete Behandlungsbehälter 2 jeweils mit
Behandlungsgut 1 dargestellt. Das Behandlungsgut ist hier an
Greifelementen 14 befestigt. Weitere Behandlungsbehälter erstrecken
sich, wie in 1 für einzelne Behandlungsbehälter gezeigt,
in die Tiefe der Zeichnungsebene hinein (nicht gezeigt), so dass
drei nebeneinander angeordnete Reihen von Behältern gebildet werden. Das
Behandlungsgut ist soweit in die Behandlungsbehälter eingefahren, dass es unterhalb
des Badspiegels 15 liegt und vollständig mit Behandlungsflüssigkeit
bedeckt ist. Über
den Behandlungsbehältern
schließt
sich die Reinraumzone 3 unmittelbar an. Sie wird begrenzt
durch ein Gehäuse, bestehend
aus gasdichten Seitenwänden 4,
Stirnwänden
(nicht gezeigt) und einer oberen Wand 5. Die obere Wand
ist mit Mittelstützen 6 abgestützt. Die Seitenwände, Stirnwände und
die obere Wand schließen
den Reinraum 3 praktisch vollständig nach außen ab.
Den unteren Abschluss des Gehäuses
bilden die Behandlungsbehälter.
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Das
Behandlungsgut 1 kann mittels einer Be- und Entladestation 23 in
Form eines Transport-Schutzbehälters
(siehe hierzu 3) zur Reinraumzone transportiert
werden. Durch den Transport-Schutzbehälter kann das Behandlungsgut
vor der umgebenden, verschmutzten Luft geschützt werden. Zur Übergabe
des Behandlungsgutes in die Reinraumzone wird der Transportbehälter neben
die Behandlungsbehälter
geschoben, dort arretiert und das Behandlungsgut danach über einen
Verschluss des Transportbehälters
und eine Einfahröffnung/Schleuse 24 des
Gehäuses
der Reinraumzone mittels des Transportsystems übergeben.
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Neben
der Reinraumzone 3 laufen die Transportwagen 18,
die Transportwagen-Stützgestelle 20 und
Transportwagenfahrwerke 9 aufweisen. Die beiden Transportwagen sind über eine
Quertraverse 35 miteinander verbunden. Die Fahrtrichtung
der Transportwagen führt
in die Zeichnungsebene hinein bzw. aus dieser heraus. Für die Fahrbewegung
der Transportwagen sind jeweils seitlich der Reinraumzone Fahrschienenträger 10 und
Fahrschienen 8 für
die Transportwagenfahrwerke vorgesehen. Die Transportwagenfahrwerke
werden von einem Fahrmotor 11 als Bewegungsantrieb beispielsweise über Zahnriemen 19 angetrieben,
welche die Kraft auf eine die Transportwagenfahrwerke verbindende
Achse 43 überträgt.
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Die
nicht höhenbewegliche
Quertraverse 35 am Transportwagen 18 überfährt das
Gehäuse
der Reinraumzone 3. Den Transportwagen und der Quertraverse
sind Hubkolben-/Zylindersysteme zugeordnet, die jeweils aus einem
Hubzylinder 12 und einer Hubstange 13 bestehen.
Der Hubzylinder nimmt die Hubstange beim Hochfahren des Behandlungsgutes 1 in
sich auf. Nur die Hubstangen mit den daran befestigten Greifelementen 14 ragen
in die Reinraumzone hinein. Hierzu sind Durchführungsöffnungen 7 für die Hubstangen
in der oberen Wand 5 vorgesehen. Die Durchführungsöffnungen
sind hier Schlitze, die sich in die Fahrtrichtung des Transportwagens
erstrecken, so dass in der oberen Wand des Gehäuses horizontale Schlitze gebildet
werden. Nachdem das Behandlungsgut aus dem Behandlungsbehälter 2 in
die Reinraumzone gehoben worden ist, kann es dadurch in der Reinraumzone
von Behandlungsbehälter
zu Behandlungsbehälter
transportiert werden.
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Um
die Reinraumbedingungen in der Reinraumzone 3 aufrechtzuerhalten,
wird entsprechend gefiltertes Gas, z. B. Pressluft, mit Überdruck
ständig in
die Reinraumzone über
nicht dargestellte Leitungen und Anschlüsse eingeblasen. Durch den Überdruck
ist sichergestellt, dass durch die wenigen vorhandenen schmalen Öffnungen
keine Verunreinigungen in die Reinraumzone gelangen können. Damit keine
zu starken Gasbewegungen innerhalb des Reinraumes entstehen, können hierzu
nicht dargestellte Verteilerrohre und Düsen vorgesehen werden, die
für eine
gleichmäßige Durchströmung der
Reinraumzone sorgen.
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3 zeigt
eine Seitenansicht der Vorrichtung nach 2 mit der
Bezeichnung des Schnitts A-A' für 2.
Soweit die einzelnen Elemente bereits in Bezug auf 2 beschrieben
worden sind, wird darauf in Bezug auf 3 verzichtet.
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Für Wartungsarbeiten
sind Fenster 22 im Gehäuse
der Reinraumzone vorgesehen. An der rechten Seite der Vorrichtung
befindet sich die Be- und Entladestation 23, die hier als
Transport-Schutzbehälter
dargestellt ist. Dieser kann mittels Fahrrollen bewegt werden. Im
Bereich der Be- und Entladestation weist das Reinraumgehäuse auch
eine untere Wand auf. In diesem Bereich ist am Gehäuse der Reinraumzone 3 eine
Einfahröffnung/Schleuse 24 und
am Transport-Schutzbehälter
eine angebrachte Abdeckung mit Verschluss (nicht dargestellt) vorgesehen,
die nach dem Andocken des Transport-Schutzbehälters geöffnet werden können. Dann kann
der Transportwagen 18 zur Position des Transport-Schutzbehälters fahren,
mit dem Greifelement 14 das Behandlungsgut 1 greifen
und dieses aus dem Transport-Schutzbehälter ausheben. Anschließend kann
das Behandlungsgut zu den einzelnen Behandlungsbehältern 2 transportiert
werden. Bis zum Abschluss dieses Vorganges des Be- und Entladens
dichtet der Transport-Schutzbehälter
den Verschluss und die Einfahröffnung
in die Reinraumzone ab. Sobald das Behandlungsgut aus dem Transportbehälter entnommen
ist, werden der Verschluss am Transportbehälter und die Einfahröffnung im
Gehäuse
wieder geschlossen (nicht dargestellt). Dadurch ist es nicht erforderlich,
die gesamte Produktionshalle unter Reinraumbedingungen zu betreiben.
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Das
Behandlungsgut 1 wird in der Reinraumzone mittels der Hubstange 13 gehoben
und abgesenkt. Die Hubstange wird mittels Pressluft in den Hubzylinder 12,
welcher an einer Quertraverse 35 angeordnet ist, zurückgeschoben.
Dabei wird das Behandlungsgut aus dem Behandlungsbehälter 2 in die
Reinraumzone 3 gehoben. Danach kann der Transportwagen 18 die
Fahrbewegung zu einem weiteren Behandlungsbehälter fortsetzen und das Behandlungsgut
dort absenken. Durch Öffnen
des Greifelementes 14 kann das Behandlungsgut freigegeben
und dadurch in vorgesehenen Einweisungen abgelegt werden (nicht
dargestellt). Danach kann der Transportwagen leer zu einem anderen
Behandlungsbehälter
oder zum Schutzbehälter 23 weiterfahren,
wobei die Hubstange in den Hubzylinder zurückgeschoben wird, um nicht
mit in anderen Behandlungsbehältern
abgelegtem Behandlungsgut zu kollidieren.
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Gereinigtes
Gas kann über
den Anschlussstutzen 21 in die Reinraumzone 3 zugeführt werden. Die
erforderlichen Rohre zur Filteranlage und zu den Ventilatoren sind
in 3 nicht dargestellt. Um heftige Luftbewegungen
innerhalb der Reinraumzone zu vermeiden, kann innerhalb der Reinraumzone
in Fahrtrichtung der Transportwagen eine nicht dargestellte Luft-Verteilerleitung
angebracht werden.
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Soll
das Behandlungsgut 1 im Behandlungsbehälter elektrolytisch behandelt
werden, kann ein nicht dargestellter Kontaktrahmen das Behandlungsgut
nach dem Absenken in den Behandlungsbehälter an den Rändern greifen
und das Behandlungsgut dabei mittels der am Rahmen vorhandenen elektrischen
Kontakte an eine nicht dargestellte Stromversorgung anschließen.
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Soll
das Behandlungsgut 1 chemisch behandelt werden, kann es
im Behandlungsbehälter 2 durch
eine beispielsweise beidseitig angebrachte schlitzförmige Führung in
Position gehalten werden.
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4 zeigt
eine Frontansicht einer weiteren Ausführungsform einer Vorrichtung ähnlich zu 2. Allerdings
wird das Behandlungsgut 1 nicht über ein Hubkolben-/Zylindersystem
mit Hubstange und Hubzylinder sondern mittels zweier Hubwerke 16 an
den jeweiligen Transportwagen 18, welche einen Warenträger 25 bewegen,
transportiert.
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In
dieser Ausführungsform
der Vorrichtung weisen die das Gehäuse mitbildenden Seitenwände 4 vertikale
Schlitze (Vertikaldurchführungöffnungen) 26 und
einen horizontalen Schlitz (Horizontaldurchführungöffnung) 27 auf, welche
jeweils im oberen Bereich ineinander einmünden. Die vertikalen Schlitze in
der Seitenwand sind in Bezug auf Länge und Lage unten und oben
von der Hubhöhe
der Hubwerke 16 bestimmt. Der horizontale Schlitz wird
von der Lage der oberen Hubposition und der Länge der Fahrstrecke des Transportwagens 18 bestimmt.
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Die
Fahrwerke 9 werden hier durch jeweils einen Fahrmotor 11 angetrieben,
wodurch die Achse 43 entfällt. Die Fahrwerke laufen beidseitig
auf Schienen 8, die am Fahrschienenträger 10 befestigt sind. Dieser
ist wiederum am Boden über
Füße abgestützt.
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Das
Behandlungsgut 1 ist am Warenträger 25 durch Halterungen 44 befestigt.
Die Halterungen können
wie die Greifelemente z. B. als Klammern oder Klemmschrauben ausgebildet
sein. Der Warenträger
ragt an beiden Enden aus der Reinraumzone 3 heraus und
liegt auf Tragarmen 33 an den Transportwagen 18 außerhalb
der Reinraumzone auf. Die Tragarme münden in Führungsstücke 32 der Hubwerke 16,
wodurch der Warenträger 25 durch
das Hubwerk aufwärts
und abwärts
bewegt werden kann.
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Durch
Aufwickeln von Hubbändern 31 auf Hubbandspulen 30 in
den Hubwerken 16 kann das Behandlungsgut 1 angehoben
werden. Zum Auf- bzw. Abwickeln dienen Hubmotoren 29, die
mit ihren Antriebsachsen an die Hubbandspulen gekoppelt sind. Hat
der Warenträger 25 die
obere Position erreicht, d. h. ist das Behandlungsgut vollständig aus dem
Behandlungsbehälter
in die Reinraumzone 3 gehoben worden, kann das Behandlungsgut über die Fahrwerke 9 mittels
der Fahrmotoren 11 zum nachfolgenden Behandlungsbehälter 2 gemäß Prozessablauf
transportiert werden.
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Ist
die dortige Halteposition erreicht, senken die Hubwerke 16 den
Warenträger 25 mit
dem Behandlungsgut 1 wieder ab. Der Warenträger wird
in Einweisungen (nicht dargestellt) abgelegt. Nach Ablauf der Behandlungszeit
nimmt der Transportwagen 18 entsprechend der beschriebenen
Verfahrensweise den Warenträger
wieder auf, um ihn zum nächsten Behandlungsbehälter 2 zu
befördern.
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Während der
Hubbewegung befinden sich die durch die Seitenwände 4 ragenden Warenträgerenden
innerhalb der vertikalen Schlitze 26 und während der
Fahrbewegung in den horizontalen Schlitzen 27. In den horizontalen
Schlitzen können
auch zusätzlich
vorhandene Querversteifungen 34 geführt werden, die die Transportwagen
gegeneinander abstützen.
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5 zeigt
eine Seitenansicht einer Ausführungsform
einer Vorrichtung ähnlich
zur Ausführungsform
in 4 mit gestrichelt dargestelltem Transportsystem
im Schnitt (hinter der Zeichnungsebene liegende Hälfte). Im
rechten Teil von 5 ist die Be- und Entladestation 23 dargestellt.
Die vertikalen Schlitze 26 führen direkt bis zur Einfahröffnung 24 im
Reinraumgehäuse.
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Oberhalb
des linken zum Teil aufgeschnittenen Behandlungsbehälters 2 ist
ein Warenträger 25 zu
sehen, der sich in die Zeichnungsebene hinein erstreckt. An dem
Warenträger
hängt das
Behandlungsgut 1. Der Warenträger ragt mit seinem vorderen
und hinteren Ende durch den vertikalen Schlitz 26 in der
Seitenwand 4 aus der Reinraumzone 3 heraus. Unter
dem Warenträger
befinden sich angedeutet die Tragarme 33 des hier der Übersichtlichkeit
halber nicht dargestellten Transportwagens. Beim Anheben der Tragarme
fährt der
Warenträger
mit dem über Halterungen 44 gehaltenen
Behandlungsgut 1 in dem vertikalen Schlitz nach oben in
die obere Position. In dieser Stellung befinden sich die Warenträgerenden
gleichzeitig im vertikalen Schlitz und im horizontalen Schlitz 27,
welche dort ineinander übergehen.
Wie an Hand 4 beschrieben, kann das Behandlungsgut
nun zum nächsten
Behandlungsbehälter
transportiert werden, wobei die Warenträgerenden horizontal in den
horizontalen Schlitzen geführt werden.
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Im
mittleren Bereich von 5 ist eine alternative Ausführungsform
mit einer dem Transportwagen zugeordneten heb- und senkbaren Quertraverse 35 dargestellt.
Anstelle eines Warenträgers 25 ist eine
an beiden Transportwagenseiten geführte Quertraverse zum Transport
des Behandlungsgutes 1 in einer oberen Fahrstellung dargestellt,
an der die Greifelemente 14 für das Behandlungsgut angebracht
sind. Die Quertraverse kann im Gegensatz zum Warenträger nicht
am Behandlungsbehälter 2 abgelegt
werden, weil sie mit dem Transportwagen fest verbunden ist. Das
Behandlungsgut befindet sich oberhalb der Behandlungsbehälter an
der Quertraverse, die durch die Seitenwand 4 nach außen ragt. Die
Quertraverse kann sich in dieser Hubposition im horizontalen Schlitz 27 frei
in Fahrtrichtung des Transportwagens nach links und rechts bewegen. Weiter
sind hier zwei Querversteifungen 34 dargestellt, mit deren
Hilfe zwei an den beiden Längsseiten der
Behälterreihe
angeordneten Transportwagen zusätzlich
gegeneinander stabilisiert werden können. Die Querversteifungen
sind, in Richtung der herausragenden Quertraverse gesehen, seitlich
links und rechts vom horizontalen Schlitz geführt. Sie können sich in diesem Schlitz
ebenfalls frei nach links und rechts bewegen. Bei der Bemessung
der Länge
des horizontalen Schlitzes muss der zusätzliche Bewegungsbedarf durch
die Querversteifungen des Transportwagens im horizontalen Schlitz
an den außen
liegenden Behandlungsbehältern
berücksichtigt
werden. Da die Quertraverse beiderseits am (hier nicht dargestellten)
Hubwerk befestigt ist und durch die Rein raumzone 3 sowie
die Seitenwände 4 hindurch ragt,
kann der Transportwagen nur fahren, wenn sich die Quertraverse in
der oberen Stellung innerhalb des Horizontalschlitzes befindet.
Dies gilt insbesondere auch für
die Leerfahrten ohne Behandlungsgut.
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6 und 7 zeigen
eine erfindungsgemäße Vorrichtung
zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut
unter Reinraumbedingungen in einer bevorzugten Ausführungsform,
wobei 6 eine Seitenansicht der Ausführungsform zeigt, ähnlich zu 4 und 5.
Im Gegensatz zu 5 erstreckt sich die Reinraumzone 3 hier
nur über
einen Behandlungsbehälter 2 bzw. über drei
nebeneinander angeordnete Behandlungsbehälter, nicht aber über eine
oder mehrere Reihen von Behältern.
Die Reinraumzone ist in diesem Falle den Transportwagen 18 zugeordnet
und fährt
mit diesen von Behandlungsbehälter
zu Behandlungsbehälter.
Die Transportwagen sind durch Querversteifungen 34 zusätzlich gegeneinander
stabilisiert. 7 zeigt dabei die Frontansicht
zur Vorrichtung nach 6.
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In
diesem Ausführungsbeispiel
sind die Behandlungsbehälter 2 mit
Deckeln 41 (z. B. Schiebedeckeln) versehen. Die Öffnungen,
z. B. Einlassschlitze, für
das Behandlungsgut können
beispielsweise durch Verschieben der Deckel verschließbar sein.
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Zusätzlich zur
Reinraumzone 3 kann der Behandlungsbehälter 2 über nicht
dargestellte Rohre und Anschlüsse
mit gefiltertem Gas mit leichtem Überdruck beaufschlagt sein.
Dadurch könnten
die schmalen Einlassschlitze über
den Behandlungsbehältern
für das
Behandlungsgut 1 gegebenenfalls auch während der Behandlung geöffnet bleiben.
Die Reinraumzone wird durch Seitenwände 4 mit vertikalen
Schlitzen 26 und obere Wände 5 und untere Wände 42 gebildet.
Die untere Wand weist gegenüber dem
Deckel 41 des Behandlungsbehälters eine oder mehrere Durchführungsöffnungen,
z. B. Einfahröffnungen,
auf. Das Behandlungsgut wird, wie in 4 und 5 beschrieben,
transportiert.
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Im
linken Bereich von 6 ist ein aufgeschnittener Behandlungsbehälter 2 mit
Behandlungsflüssigkeit
mit Flüssigkeitsniveau 15 dargestellt,
in welchem sich Behandlungsgut 1, gehalten durch einen
Warenträger 25 mit
Halterungen 44, befindet. Der Warenträger liegt auf nicht dargestellten
Auflagen am Behandlungsbehälter
auf und wird mit Tragarmen 33 von den Transportwagen aufgenommen und
transportiert. Um die Reinraumbedingungen im Behandlungsbehälter aufrecht
zu erhalten, ist die Öffnung
für das
Behandlungsgut im Deckel 41 des Behandlungsbehälters während der
Behandlung und in den Betriebspausen vorzugsweise geschlossen, damit
keine Verschmutzungen in die Bäder
und an das Behandlungsgut gelangen können. Zusätzlich können Absaugkanäle vorhanden
sein, die oben am Behandlungsbehälter
austretende Dämpfe
absaugen (nicht dargestellt).
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Die
Reinraumbedingungen in der Reinraumzone 3 werden durch
eine Frischluftversorgung bereitgestellt, welche oberhalb des Transportwagens angeordnet
ist. Dazu weist die Versorgung an der oberen Wand 5 Aufbauten
mit Ansaugöffnungen 39 auf,
durch welche mittels Ventilator 37 und Luftfiltergehäuse 36 mit
Luftfiltern gereinigte Luft über
Einblasöffnungen 40 in
die Reinraumzone gepresst wird. Oberhalb der Transportwagenbahn
kann zusätzlich ein
Frischluftkanal mit Ausblasöffnungen 38 an
den Haltestellen des Transportwagens vorhanden sein. Die Öffnungen 38 können mit
nicht dargestellten Ventilklappen versehen sein, die geöffnet werden,
wenn der Transportwagen in der Haltestelle steht (7). Der
Abstand zwischen dem Frischluftkanal mit Ausblasöffnungen 38 und der
jeweilig angefahrenen Ansaugöffnung 39 eines
Ventilators sollte so gering wie möglich gewählt werden, um das Ansaugen
von verunreinigter Nebenluft zu vermeiden.
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Durch
die große
Anzahl der Öffnungen 40, die
deckungsgleich im Filtergehäuse 36 und
in der oberen Wand 5 des Gehäuses der Reinraumzone 3 angeordnet
sind, entsteht innerhalb der Reinraumzone eine laminare Luftströmung von
oben nach unten. Dabei kann die Reinluft aus dem Zwischenraum zwischen
den Behälterdeckeln 41 und
der unteren Wand 42 des Gehäuses sowie aus den vertikalen
Schlitzen 26 der Seitenwände 4 austreten. Wenn
der Behandlungsbehälter 2 mit
einer Absaugvorrichtung ausgestattet ist, wird der größere Teil
der eingeblasenen Reinluft über
die Absaugkanäle
abgeleitet. Der Überdruck
in der Reinraumzone gegenüber
der Umgebung verhindert, dass ungefilterte Luft in die Reinraumzone
eindringen kann. Alle Antriebe und Hubwerke für den Transport des Behandlungsgutes 1 sind
auch hier außerhalb
der Reinraumzone angeordnet. Um die Luftverhältnisse in den geschlossenen
Behandlungsbehältern 2 weiter
zu verbessern, kann wie oben beschrieben im oberen Teil der Behandlungsbehälter (über dem
Badspiegel) gefilterte Reinluft eingeblasen werden, wobei ein leichter Überdruck
gegenüber
der umgebenden Atmosphäre hergestellt
wird (in 6 und 7; nicht
dargestellt). Die bei Bedarf noch zusätzlich vorhandenen Absaugkanäle für austretende
Gase können
neben den Deckeln 41 der Behandlungsbehälter angebracht werden, um
die aus den Behandlungsbehältern
durch Überdruck
austretenden Gase einzusammeln. Damit wird verhindert, dass sich
eventuell schädliche
Dämpfe
aus den Behandlungsbehältern im
Raum ausbreiten können.
-
- 1
- Behandlungsgut
- 2
- Behandlungsbehälter
- 3
- Reinraumzone
- 4
- Wand,
Seitenwand
- 5
- Obere
Wand
- 6
- Mittelstütze für die obere
Wand 5 des Reinraumgehäuses
- 7
- Durchführungsöffnungen
in der oberen Wand 5 des Reinraumgehäuses
- 8
- Transportwagen-Fahrschiene
- 9
- Transportwagenfahrwerk
- 10
- Fahrschienenträger
- 11
- Fahrmotor
- 12
- Hubzylinder
- 13
- Hubstange
- 14
- Greifelement
für das
Behandlungsgut 1
- 15
- Badspiegel
- 16
- Hubwerk
- 17
- Hubbalken
- 18
- Transportwagen
- 19
- Zahnriemen
- 20
- Transportwagen-Stützgestell
- 21
- Anschluss
für die
Reinluft- bzw. Gaszuführung
- 22
- Fenster
für Wartungszwecke
- 23
- Be-
und Entladestation (Transport-Schutzbehälter)
- 24
- Einfahröffnung/Schleuse
- 25
- Warenträger
- 26
- Vertikaldurchführungöffnungen/vertikale Schlitze
- 27
- Horizontaldurchführungöffnungen/horizontale Schlitze
- 29
- Hubmotor
- 30
- Hubband-Spule
- 31
- Hubband
- 32
- Führungsstück
- 33
- Tragarm
für den
Warenträger 25
- 34
- Querversteifung
- 35
- Quertraverse
- 36
- Luftfiltergehäuse mit
Luftfiltern
- 37
- Ventilator
- 38
- Frischluftkanal
mit Ausblasöffnungen
- 39
- Ansaugöffnung
- 40
- Einblasöffnungen
- 41
- Deckel
- 42
- untere
Wand
- 43
- Achse
- 44
- Halterung