DE102004032659A1

DE102004032659A1 - Vorrichtung und Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut sowie die Verwendung der Vorrichtung

Info

Publication number: DE102004032659A1
Application number: DE102004032659A
Authority: DE
Inventors: Reinhard Dipl.-Ing. Schneider
Original assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Current assignee: Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Priority date: 2004-07-01
Filing date: 2004-07-01
Publication date: 2006-01-26
Anticipated expiration: 2024-07-02
Also published as: US20070256923A1; KR101214417B1; DE102004032659B4; US8656858B2; JP4898669B2; BRPI0512883A; EP1761658B1; TW200617215A; CN101061259A; TWI395839B; JP2008504441A; WO2006002969A2; WO2006002969A3; KR20070026698A; DE602005023017D1; MY146222A; ATE478169T1; EP1761658A2; PL1761658T3; CN101061259B

Abstract

Zur Vermeidung von ungleichmäßigen Konturen von feinsten Leiterstrukturen, Pads und Lands sowie einerseits Brücken (Kurzschlüssen) oder andererseits Unterbrechungen auf Leiterplatten werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut (1) vorgeschlagen. Die Vorrichtung weist Behandlungsbehälter (2) zur Behandlung des Behandlungsgutes und ein Transportsystem zu dessen Transport auf. Das Transportsystem umfasst mindestens einen Transportwagen (18), mindestens ein Halteelement (14, 25) und mindestens ein Verbindungsmittel (12, 13, 35) zwischen dem oder den Transportwagen und dem Halteelement oder den Halteelementen. An die Behandlungsbehälter schließt sich eine Reinraumzone (3) an. Das Behandlungsgut wird mithilfe des Transportsystems durch die Reinraumzone hindurch transportiert.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut, vorzugsweise flachem, hochempfindlichem Behandlungsgut in der Leiterplattentechnik, insbesondere von Behandlungsgut, bei dem es auf glatte Oberflächen oder feinste Strukturen ankommt, wie sie beispielsweise für Flip-Chip-Substrate der nächsten Generation gefordert werden, sowie die Verwendung der Vorrichtung.

Derzeit arbeiten die Chiphersteller in der Halbleiterindustrie an der Einführung von so genannten 90-Nanometerstrukturen. In der Entwicklung sind noch kleinere Strukturen von 70 nm geplant. Aber auch diese Abmessungen sind nur Zwischenschritte auf dem Weg zu noch kleineren Strukturen. Ausgehend von der fortschreitenden Miniaturisierung der Halbleiter-Bauteile stellen sich auch für die Hersteller von Leiterplatten mit Chip-Trägern neue Herausforderungen, ihre Produkte an die neuen Gegebenheiten anzupassen. Dies bedeutet, dass beispielsweise Forderungen nach Strukturabmessungen von derzeit zirka 150 μm für so genannte Pad-Pitches (Pad-Abstände) und 75 μm für so genannte Lands realisiert werden müssen, um am Markt zu bestehen. Dabei zeichnet sich bereits schon jetzt ab, dass sich die Abmessungen in naher Zukunft noch weiter verringern werden.

Derartig feine Strukturen sind jedoch mit den heute üblichen Verfahren und Vorrichtungen nicht mehr zu realisieren. Bei der Verkleinerung der Strukturen werden ungleichmäßige Konturen der Leiterstrukturen, Pads und Lands sowie sogar einerseits Brücken (Kurzschlüsse) oder andererseits Unterbrechungen beobachtet. Ferner ist auch festgestellt worden, dass die Oberfläche der metallisierten Strukturen häufig uneben ist. Derartige Unebenheiten können beim Lötprozess in der SMD-Technik Störungen hervorru fen. Dadurch kann ein ungenügender Kontakt zustande kommen und das Behandlungsgut unbrauchbar machen. Auch ungleichmäßige Konturen sind nicht akzeptabel, da die elektrischen Eigenschaften der hergestellten Schaltungen hierdurch in nicht vorhersagbarer Weise beeinträchtigt werden. Selbstverständlich sind Unterbrechungen der Strukturen und Kurzschlüsse zwischen benachbarten Strukturen ebenfalls inakzeptabel, da diese nachträglich nicht mehr repariert werden können, so dass die Schaltungen verworfen werden müssen.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Beschichtung von Behandlungsgut bereitzustellen, welche es ermöglichen, auch feinste Strukturen und besonders glatte Oberflächen auf dem Behandlungsgut herzustellen, wobei die beschriebenen Probleme bekannter Vorrichtungen vermieden werden sollen. Außerdem soll die Kontur der Leiterstrukturen glatt und möglichst reproduzierbar einstellbar sein. Besonders wichtig ist dabei, dass die Kosten für die Vorrichtung und den laufenden Betrieb niedrig gehalten werden, um eine betriebswirtschaftlich sinnvolle Produktion sicherzustellen.

Gelöst wird die Aufgabe durch die Vorrichtung gemäß Anspruch 1 und das Verfahren gemäß Anspruch 25 sowie durch die Verwendung der Vorrichtung gemäß Anspruch 24. Besonders vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unteransprüchen angeben.

Sofern nachfolgend in der Beschreibung und in den Ansprüchen bestimmte Begriffe, wie beispielsweise Transportsystem, Transportwagen, Bewegungsantrieb, Transportwagenfahrwerk, Hubwerk, Aufnahmevorrichtung, Tragarm, Warenträger, Halteelement, Reinraumgehäuse, Be- und Entladestation, Einfahröffnung und Rohrleitungssystem, im Singular angegeben sind, so sollen diese Begriffe an den angegebenen Stellen in der Beschreibung und in den Ansprüchen gleichfalls alternativ auch als im Plural angegeben verstanden werden. Sofern nachfolgend in der Beschreibung und in den Ansprüchen bestimmte Begriffe, wie beispielsweise Greifelemente, Warenträger, Quertraversen, Liftzeuge, Hubkolben-/Zylindersysteme, Durchführungsöffnungen, Bürsten, Dichtlippen, Deckel, Einlassschlitze, Innenräume der Behälter und Behandlungsbäder, im Plural angegeben sind, so sollen diese Begriffe an den angegebenen Stellen in der Be schreibung und in den Ansprüchen gleichfalls alternativ auch als im Singular angegeben verstanden werden.

Mit Hilfe der erfindungsgemäßen Vorrichtung und des Verfahrens ist es möglich, besonders glatte Oberflächen und feinste Strukturen, beispielsweise im Bereich von 75–150 μm für Lands oder Pad-Pitches und darunter, auf vorzugsweise flachem Behandlungsgut herzustellen bzw. diese Strukturen zu behandeln, wobei auf preiswerte Art und Weise Reinraumbedingungen für das Behandlungsgut bereitgestellt werden, wie sie auch in der Halbleitertechnik, allerdings verbunden mit viel höheren Bereitstellungskosten, bekannt sind.

Durch Untersuchungen konnte festgestellt werden, dass die erwähnten Fehler (Unebenheiten auf den metallisierten Strukturen, ungleichmäßige Konturen der Leiterstrukturen sowie Unterbrechungen oder Kurzschlüsse) auf Staubpartikel aus der Umgebungsluft oder andere kleinste Verunreinigungen zurückgeführt werden können. Durch die Verkleinerung der Strukturen können diese Staubpartikel oder kleinsten Verunreinigungen an den Galvanisier-Vorrichtungen zu Ausschuss führen.

Es wurde nämlich beobachtet, dass sich die Staubpartikel auf die Strukturen legen und galvanisch eingeschlossen werden. Dadurch können Kurzschlüsse oder andere unerwünschte Defektstellen im Behandlungsgut entstehen. So kann sich die Form der metallisierten Flächen unerwünscht verändern, z.B. uneben werden, und beim Lötprozess in der SMD-Technik Störungen hervorrufen. Dadurch kann ein ungenügender Kontakt zustande kommen und das Behandlungsgut unbrauchbar werden.

Insbesondere soll das Eindringen von Stoffen, wie Staub oder von anderen kleinsten Verunreinigungen, aus der Umgebung in den Behandlungsraum der Vorrichtung vermieden werden, um zu verhindern, dass sich diese Stoffe während der Behandlung bzw. beim Transportvorgang auf das Behandlungsgut legen.

Als Behandlungsgut werden vorzugsweise Leiterplatten und Chip-Träger auf Leiterplatten elektrolytisch oder chemisch behandelt. Durch die elektrolytische oder chemische Behandlung können entweder Metall, z.B. Kupfer, Gold, Nickel, Zinn, Silber oder deren Legierungen, auf dem Behandlungsgut abgeschieden oder Metallschichten vom Behandlungsgut vollständig oder teilweise entfernt werden.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut, umfasst mindestens einen Behandlungsbehälter zur Behandlung des Behandlungsgutes und ein Transportsystem zum Transport des Behandlungsgutes. Sie ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinraumzone an die Behandlungsbehälter unmittelbar anschließt und dass das Behandlungsgut mit Hilfe des Transportsystems durch die Reinraumzone hindurchtransportiert werden kann.

Sind mehrere Behandlungsbehälter vorhanden, können diese gleiche oder verschiedene Behandlungsflüssigkeiten enthalten oder zur Trocknung, zur Temperung oder zur Be- oder Entladung dienen. Die Behandlungsbehälter können nebeneinander und/oder hintereinander in Reihen angeordnet werden, sodass Behandlungseinheiten entstehen. In diesen Einheiten kann das Behandlungsgut, beispielsweise mehrere Leiterplatten, nebeneinander, vorzugsweise aber in separaten Behandlungsbehältern mit gleicher Behandlungsflüssigkeit, gleichzeitig behandelt werden. Nach der Behandlung können diese nebeneinander angeordneten Leiterplatten zur nächsten Behandlungsstation mit mehreren nebeneinander angeordneten Behältern transportiert und dort weiterbehandelt werden. Dadurch kann eine ganze Sequenz von Behandlungsschritten, beispielsweise Spülen, Galvanisieren, Spülen und anschließend Trocknen, durchgeführt werden. Die Reinraumzone kann sich dabei entweder über alle Behandlungsbehälter erstrecken oder jeweils einem Behandlungsbehälter separat zugeordnet sein.

Die Reinraumzone wird dabei vorzugsweise durch ein Durchführungsöffnungen aufweisendes Reinraumgehäuse räumlich begrenzt. Das Gehäuse kann insbesondere Seitenwände, Stirnwände, obere Wände und untere Wände aufweisen. In einer bevorzugten Ausführungsform kann das Gehäuse aus zwei paarweise gegenüberliegenden Seitenwänden, zwei paarweise gegenüberliegenden Stirnwänden, einer oberen Wand und einer unteren Wand bestehen. In einer anderen Ausführungsform kann die Unterseite des Gehäuses auch durch die darunter unmittelbar anschließenden Behandlungsbehälter gebildet werden, wobei der Übergang zwischen der Reinraumzone und den Behältern frei sein oder dort auch ein Deckel für das Behandlungsgut vorgesehen sein kann, der schmale Einfahröffnungen, z.B. Einlassschlitze. für das Behandlungsgut aufweisen kann.

Die obere Wand kann im Inneren des Gehäuses zwischen den Durchführungsöffnungen durch geeignete Bewehrungen, beispielsweise Mittelstützen, ausgehend vom oberen Rand des Behandlungsbehälters, abgestützt werden.

Das Gehäuse ist vorzugsweise so abgedichtet, dass das darin unter vorzugsweise geringem Überdruck stehende Gas nur an den Durchführungsöffnungen austreten kann. Die Durchführungsöffnungen können so ausgestaltet sein, dass sie teilweise verschließbar sind. Beispielsweise können Bürsten oder elastische Dichtlippen die Öffnungen abdichten, wobei die Bürsten oder Dichtlippen vorzugsweise an der Außenseite des Gehäuses angeordnet sind.

Die Durchführungsöffnungen im Gehäuse können z.B. Einfahröffnungen für das Behandlungsgut, etwa im Bereich einer andockbaren Be- und Entladestation, sowie Horizontal- und Vertikaldurchführungsöffnungen für das Transportsystem sein, beispielsweise für Warenträger, Liftzeuge und Quertraversen. Die Durchführungsöffnungen sind vorzugsweise als schmale, für die Durchführung der genannten Teile des Transportsystems geeignete Schlitze ausgebildet. Das Gehäuse kann durch Zuführen von gereinigtem, z.B. gefiltertem, Gas mit Überdruck beaufschlagt werden. Als Gase können Inertgase, wie z.B. Stickstoff, oder Pressluft verwendet werden, welche über geeignete, der geforderten Reinraumklasse entsprechende Filter gereinigt werden.

Der erzeugte Überdruck verhindert erfindungsgemäß, dass unerwünschte Stoffe, wie Staub oder andere kleinste Verunreinigungen, die sich außerhalb der Reinraumzone befinden, in diese eindringen können.

Die Durchführungsöffnungen in den Gehäusewänden können beispielsweise im Bereich der oberen Wand und/oder in einer oder mehreren Seitenwänden angeordnet sein. Beispielsweise können die Durchführungsöffnungen im oberen Bereich der Seitenwände in horizontaler Richtung verlaufen.

Das Transportsystem kann mindestens einen Transportwagen, ferner mindestens ein Halteelement und mindestens ein Verbindungsmittel zwischen dem oder den Transportwagen und dem Halteelement oder den Halteelementen aufweisen.

Der Transportwagen umfasst vorzugsweise einen Bewegungsantrieb und ein Transportwagenfahrwerk. Die Transportwagen mit dem Bewegungsantrieb und dem Transportwagenfahrwerk sind vorzugsweise außerhalb der Reinraumzone angeordnet. Ein an einer Längsseite einer Behälterreihe verfahrbarer Transportwagen kann mit einem anderen Transportwagen an der anderen Längsseite der Behälterreihe über geeignete Verbindungsmittel verbunden sein, sodass eine die beiden Längsseiten verbindende „Brücke" gebildet wird.

Der Bewegungsantrieb ist z.B. ein Fahrmotor. Der Bewegungsantrieb kann beispielsweise am Transportwagen angeordnet sein und diesen direkt über entsprechende Mittel zur Kraftübertragung antreiben. Es ist jedoch auch denkbar, den Bewegungsantrieb stationär, z.B. an einem Festpunkt der Anlage, anzubringen und mittels Endloskette oder Seil, welche am Fahrwerk des Transportwagens eingreifen, vorwärts- bzw. rückwärts zu bewegen. Der Rückzug des Transportwagens kann aber auch z.B. durch ein bei der Vorwärtsbewegung gespanntes Federwerk bewirkt werden, so dass hier nur ein Antrieb je Transportwagen erforderlich ist.

Der Transportwagen kann auch ein Hubwerk aufweisen. Ein derartiges Hubwerk dient beispielsweise dazu, einen Warenträger anzuheben oder abzusenken. Ferner kann der Transportwagen auch eine heb- und senkbare Aufnahmevorrichtung für einen Warenträger, beispielsweise einen heb- und senkbaren Tragarm, aufweisen. Diese Tragarme dienen dazu, unter die Enden eines Warenträgers zu greifen, damit dieser angehoben werden kann. Hierzu können sie in Form von Hohlkehlen ausgebildet sein, in die ein Warenträgerende hinein gleitet. Die Tragarme werden vorzugsweise von den Hubwerken des Transportwagens gehalten und können so aufwärts- und abwärtsbewegt werden.

Bei Versuchen hat sich herausgestellt, dass bestimmte Teile des Transportsystems, wie z.B. der Transportwagen mit dem Bewegungsantrieb, dem Transportwagenfahrwerk und dem Hubwerk, während der Verwendung einen stärkeren mechanischen Abrieb erfahren als andere Bestandteile der Vorrichtung, wie z.B. Greifelemente zum Greifen des Behandlungsgutes. Dieser unerwünschte mechanische Abrieb führt zu Verunreinigungen des Behandlungsgutes, welche die Qualität des Behandlungsgutes in oben beschriebener Weise beeinträchtigen können. Das Transportsystem ist daher vorzugsweise so angeordnet, dass möglichst viele Teile, zumindest aber der Abrieb erzeugende Bewegungsantrieb, außerhalb der Reinraumzone liegen, sodass diese Verunreinigungen vermieden werden können. Vorzugsweise sind auch andere Teile des Transportwagens, nämlich das Transportwagenfahrwerk und das Hubwerk, außerhalb der Reinraumzone angeordnet. Ferner können auch die Tragarme für Warenträger außerhalb der Reinraumzone angeordnet sein. Generell können alle diese Teile des Transportwagens außerhalb der Reinraumzone angeordnet sein.

Das Transportsystem weist ferner vorzugsweise ein Halteelement zum Halten des Behandlungsgutes auf. Das Halteelement ist bevorzugt zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone angeordnet. Das Halteelement oder die Halteelemente können insbesondere aus der Gruppe ausgewählt sein, umfassend Greifelemente und Warenträger für das Behandlungsgut. Beispielsweise können ein Warenträger und mindestens ein diesen Warenträger greifendes Greifelement oder ausschließlich mindestens ein Greifelement zum Greifen von Behandlungsgut am Transportsystem vorgesehen sein.

Die Greifelemente können als Greifer, Klemmen, Zangen, Saugnäpfe oder dergleichen ausgebildet sein. Mit den Greifelementen können einzelne Teile des Behandlungsgutes direkt gegriffen werden. Das Behandlungsgut wird hierzu vorzugsweise am Rand gegriffen und zur Behandlung separat in den Behandlungsbehälter abgelegt. Das Transportsystem kann während der Behandlung des in einem Behandlungsbehälter abgelegten Behandlungsgutes Teile des Behandlungsgutes in anderen Behandlungsbehältern abholen und zu wieder anderen Behältern befördern. Während dieses Transportvorganges verbleibt das im ersten Behälter abgelegte Behandlungsgut in diesem Behälter. In den Behandlungsbehältern werden die einzelnen Teile jeweils separat gegriffen und während der Behandlung gehalten.

An den Warenträgern ist wiederum das Behandlungsgut befestigt und verbleibt dort während der Behandlung und des Transportes von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter. Das Behandlungsgut wird in diesem Falle über Halterungen gegriffen und am Warenträger gehalten. Als Halterungen können wie für die Greifelemente ebenfalls beispielsweise Greifer, Klemmen, Zangen, Saugnäpfe oder dergleichen verwendet werden. Die Greifelemente können auch zum Transport von Warenträgern dienen. Hierzu werden die Warenträger von den Greifelementen gegriffen und zu den einzelnen Behandlungsbehältern befördert, dort abgelegt und nach der Behandlung dort wieder abgeholt. Während der Behandlung kann das Transportsystem Warenträger, die in anderen Behandlungsbehältern zur Behandlung abgelegt worden sind, wieder abholen und zu wieder anderen Behältern transportieren.

Ferner sind Verbindungsmittel zwischen dem oder den Transportwagen und dem Halteelement oder den Halteelementen vorgesehen. Diese Verbindungsmittel befinden sich vorzugsweise innerhalb, außerhalb oder teilweise innerhalb und teilweise außerhalb der Reinraumzone. Die Verbindungsmittel können Quertraversen und/oder Liftzeuge sein.

Die Quertraversen können höhenverstellbar sein. Sie überspannen ebenso wie die Warenträger die Reihen von Behandlungsbehältern. Im Gegensatz zu den Warenträgern ist das Behandlungsgut an den Quertraversen jedoch nicht befestigt, sondern wird nur für den Transport von diesen gegriffen und gehalten. Hierzu sind die Greifelemente an den Quertraversen angebracht. Die Quertraversen können Behandlungsgut mit Hilfe der Greifelemente entweder direkt oder über Warenträger halten und befördern. Das Behandlungsgut ist während des Transportes zwischen den Behandlungsbehältern an den Quertraversen befestigt und wird nach Ankunft im Zielbehälter abgesetzt, so dass die Quertraverse zu einer anderen Behandlungsstation mit mehreren nebeneinander angeordneten Behältern gefahren werden kann, um dort Behandlungsgut abzuholen. Die Quertraversen werden vorzugsweise von dem oder den Transportwagen gehalten und können dort insbesondere von einem Hubwerk des Transportwagens oder von den Hubwerken der Transportwagen gehalten werden. Falls die Quertraversen von Hubwerken an den Transportwagen gehalten werden, sind sie höhenbeweglich.

Die Liftzeuge sind wie die Quertraversen Verbindungsmittel und dienen ebenso wie die Hubwerke der Transportwagen zum Anheben und Absenken des Behandlungsgutes. Die Liftzeuge können von einer nicht höhenverstellbaren Quertraverse gehalten werden, die wiederum von einem oder mehreren Transportwagen gehalten wird. Auch die nicht höhenverstellbaren Quertraversen stellen Verbindungsmittel dar. Die Liftzeuge sind vorzugsweise Hubkolben-/Zylindersysteme. Sie dienen zum Anheben und Absenken des Behandlungsgutes. Sie werden über die Quertraversen vorzugsweise von dem oder den Transportwagen gehalten. An den Liftzeugen sind wiederum die Greifelemente, die Halteelemente sind, angeordnet.

Die Liftzeuge können zum Anheben und Absenken des Behandlungsgutes, z.B. von Leiterplatten, dienen. Als Bewegungseinrichtungen an den Liftzeugen können pneumatisch oder hydraulisch betätigte Hubkolben-/Zylindersysteme verwendet werden, wobei an der Unterseite der Hubzylinder die benötigten Greifelemente zum Halten des Behandlungsgutes während des Transportes angebracht sind.

Neben den einfachen und preisgünstigen Hubkolben-/Zylindersystemen können aber auch andere Vorrichtungen, z.B. motorische Liftzeuge, beispielsweise in Verbindung mit Hubbändern oder Ketten, eingesetzt werden. Es muss aber darauf geachtet werden, dass abgeriebene Partikel nicht in die Reinraumzone gelangen können. Hierzu kann das Hubband in diesem Falle innerhalb einer beispielsweise als rechteckiges Rohr ausgebildeten Hubstange geführt werden, so dass die abgeriebenen Partikel nicht in die Reinraumzone gelangen können.

Das Transportsystem kann in einer erfindungsgemäßen Variante einen Transportwagen an einer Längsseite einer Behälterreihe aufweisen, sodass die Verbindungsmittel und Halteelemente zum Halten des Behandlungsgutes nur von diesem einen Transportwagen gehalten werden. Beispielsweise kann an dem Transportwagen eine Quertraverse befestigt sein, an der Quertraverse Liftzeuge und an diesen wiederum Greifelemente für das Behandlungsgut. Alternativ können an beiden Längsseiten einer Behälterreihe jeweils ein Transportwagen, zwischen den Transportwagen eine Quertraverse und an der Quertraverse wiederum Greifelemente befestigt sein. Selbstverständlich können auch weitere Transportwagen vorgesehen sein, die zwischen zwei Behälterreihen verfahrbar sind.

Somit ergeben sich folgende Konstruktionskonzepte für eine Behandlungsanlage mit einem Transportsystem, das Transportwagen, Halteelemente und Verbindungsmittel aufweist:

1) In einer ersten bevorzugten Ausführungsform werden als Halteelemente Warenträger für das Behandlungsgut verwendet, an welchen das Behandlungsgut über Halterungen an einer Beladestation gegriffen und gehalten wird. Das Behandlungsgut kann in diesem Falle direkt oder über Gestelle am Warenträger befestigt werden. Die Warenträger befinden sich dabei im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone und können mit ihren Warenträgerenden durch die Durchführungsöffnungen, z.B. durch Horizontal- und Vertikalschlitze, in den Seitenwänden des Reinraumgehäuses aus der Reinraumzone heraus ragen. Da die Warenträger in dieser Ausführungsform sowohl angehoben und abgesenkt als auch von Behälter zu Behälter transportiert werden, sind Vertikalschlitze für die Vertikalbewegung des Warenträgers sowie Horizontalschlitze für deren Horizontalbewegung vorgesehen, wobei die Horizontalschlitze vorzugsweise im oberen Bereich der Seitenwände des Gehäuses der Reinraumzone anordnet sind.

Während einer Behandlung des Behandlungsgutes können die Warenträger z.B. über deren sich außerhalb der Reinraumzone befindende Enden abgelegt werden. Zum Transport wird der Warenträger von Aufnahmevorrichtungen, wie Tragarmen, am Transportwagen wieder aufgenommen. Diese Aufnahmevorrichtungen befinden sich vorzugsweise außerhalb der Reinraumzone. Dadurch dass die Enden des Warenträgers außerhalb der Reinraumzone bleiben, kann die Gefahr vermieden werden, dass Feinpartikel in die Reinraumzone gelangen, die sich durch Erschütterungen oder Abrieb oder durch Fahren und Absetzen der Warenträger in entsprechende Einweisungen lösen. Diese Einweisungen sind den einzelnen Behandlungsbehältern zugeordnet. Alternativ kann sich der Warenträger auch vollständig in der Reinraumzone befinden, wenn die Aufnahmevorrichtungen durch die Durchführungsöffnungen in die Zone hineinragen.

Der Warenträger kann durch die sich außerhalb der Reinraumzone befindenden Hub- und Transportwagenfahrwerke des Transportwagens bewegt werden. Diese Hubwerke tragen die Aufnahmevorrichtungen für den Warenträger. Hierzu können beispielsweise Führungsstücke im Hubwerk vorgesehen sein, die die Tragarme und somit den Warenträger transportieren.

Die Warenträgerenden laufen in vertikalen und horizontalen Schlitzen in den Seitenwänden des Reinraumgehäuses. Zum Anheben und Absenken des Warenträgers sind vertikale Schlitze vorgesehen, durch die die Enden hindurchgeführt werden. Während des Transportes des Warenträgers von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter laufen die Warenträgerenden in den Horizontalschlitzen, die vorzugsweise im oberen Bereich der Seitenwände eingebracht sind. Falls die Aufnahmevorrichtungen in die Reinraumzone hinein-, die Warenträgerenden aber nicht aus ihr heraus ragen, dienen die Horizontalschlitze zur translatorischen Bewegung der Aufnahmevorrichtungen. Diese Schlitze sind wiederum vorzugsweise im oberen Bereich der Gehäusewände vorgesehen. Damit eine Horizontalfahrt ohne Warenträger (Leerfahrt) möglich wird, sind die Aufnahmevorrichtungen beweglich ausgeführt, sodass die Aufnahmevorrichtungen für die Leerfahrt dann in unterer Position aus der Reinraumzone zurückgezogen werden können.

2) In einer anderen Ausführungsform sind die Halteelemente ebenfalls Warenträger, die sich vorzugsweise vollständig innerhalb der Reinraumzone befinden. In diesem Falle werden die Warenträger durch Greifelemente innerhalb der Reinraumzone gegriffen und gehalten. Zur Ablage eines Warenträgers in einem Behandlungsbehälter sind Einweisungen am oberen Behälterrand innerhalb des Reinraumgehäuse vorgesehen.

Die Greifelemente sind wiederum an Verbindungsmitteln, nämlich Liftzeugen, befestigt. Die Liftzeuge können in einer Variante aus der Reinraumzone heraus ragen und somit teilweise innerhalb und teilweise außerhalb der Reinraumzone angeordnet sein. Beim Transport mittels Transportwagen werden die Liftzeuge in diesem Falle durch die Durchführungsöffnungen, in diesem Falle Horizontalschlitze in der oberen Wand des Reinraumgehäuses, hindurchgeführt. Die Liftzeuge werden ihrerseits von weiteren Verbindungsmitteln, nämlich Quertraversen, gehalten. Die Quertraversen sind in diesem Falle außerhalb der Reinraumzone angeordnet. Die Quertraversen sind am Transportwagen befestigt. Sie sind nicht höhenverstellbar, da die für das Behandlungsgut erforderliche Höhenverstellung durch die Liftzeuge bewirkt wird. In einer zweiten Variante können die Liftzeuge auch vollständig innerhalb der Reinraumzone angeordnet sein. Um die Bauhöhe des Reinraumgehäuses zu begrenzen, können die Liftzeuge beispielsweise in Form von Teleskop-artig ineinander greifenden Hubkolben und -zylindern ausgebildet sein. In dieser Variante sind die Liftzeuge an einer ebenfalls zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone angeordneten Quertraverse befestigt. Die Quertraverse ragt mit ihren Enden aus der Reinraumzone heraus. Die Enden werden hierzu durch Horizontalschlitze im oberen Bereich der Seitenwände des Reinraumgehäuses aus der Reinraumzone herausgeführt. Da die Quertraverse in dieser Ausführungsform nicht höhenverstellbar ist, müssen auch keine Vertikalschlitze in den Seitenwänden vorgesehen sein. Zur Erhöhung der Stabilität des Gehäuses können die oberen Wände des Gehäuses in diesem Falle bevorzugt an der Gebäudedecke befestigt sein.

Zum Transport des Behandlungsgutes fährt der Transportwagen mit der Quertraverse und den daran befestigten Liftzeugen und Greifelementen zu einem in einem Behandlungsbehälter abgelegten Warenträger und greift diesen. Mit Hilfe der Liftzeuge wird der Warenträger aus dem Behandlungsbehälter ausgehoben und durch translatorische Bewegung des Transportwagens in angehobener Stellung zu einem anderen Behandlungsbehälter befördert. Durch Absenken des Warenträgers in der neuen Position mit Hilfe der Liftzeuge wird der Warenträger in den Zielbehälter abgesenkt. Nach dem Ablegen des Warenträgers in diesem Behandlungsbehälter kann der Transportwagen mit Quertraversen, Liftzeug und Greifelementen zu einem anderen Behandlungsbehälter bewegt werden, um dort einen anderen Warenträger abzuholen.

3) In einer weiteren Ausführungsform sind die Halteelemente wiederum Warenträger. Die Warenträger werden mit Hilfe von Verbindungsmitteln, nämlich Quertraversen, und daran befestigten Greifelementen gegriffen und von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter transportiert. Die Warenträger und die Greifelemente sind vollständig innerhalb der Reinraumzone angeordnet. Die Warenträger können mit ihren Enden auch durch die Seitenwände des Reinraumgehäuses hindurchgreifen und dort auf Einweisungen abgelegt werden. Insoweit unterscheidet sich diese Ausführungsform nicht von der zuvor beschriebenen. Die Quertraversen sind ebenfalls zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone angeordnet. Deren Enden ragen in dieser Ausführungsform aus ihr heraus. Im Gegensatz zur zuvor beschriebenen Ausführungsform sind die Quertraversen jedoch heb- und senkbar. Hierzu werden die Quertraversen von einem außerhalb der Reinraumzone angeordneten Hubwerk des Transportwagens gehalten. Die Enden der Quertraversen sind daher in diesem Falle mit den Hubwerken des Transportwagens fest verbunden. Falls ein Warenträger mit seinen Enden durch die Seitenwände des Reinraumgehäuses herausragt, ist es zum Transport des Warenträgers erforderlich, dass die Höhenlage der Quertraverse die gleiche ist wie die des aus der Reinraumzone herausragenden Warenträgers, damit der Warenträger und die Quertraverse in demselben Horizontalschlitz fahren können.

Beim Heben und Senken werden die Quertraversen durch Vertikalschlitze in den Seitenwänden des Reinraumgehäuses hindurchgeführt. Beim Bewegen der Quertraversen von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter werden diese durch Horizontalschlitze im oberen Bereich der Seitenwände hindurchgeführt. Falls die Warenträgerenden ebenfalls aus dem Reinraumgehäuse herausragen, werden diese ebenfalls durch diese Horizontalschlitze hindurchgeführt.

4) In einer anderen bevorzugten Ausführungsform sind die Halteelemente ausschließlich Greifelemente für das Behandlungsgut. In diesem Falle wird auf Warenträger verzichtet. Das Behandlungsgut wird von den Greifelementen direkt gegriffen. Zur Ablage des Behandlungsgutes in den Behandlungsbehältern sind geeignete Halteeinrichtungen in den Behältern vorgesehen, mit denen das Behandlungsgut dort aufgenommen und während der Behandlung gehalten werden kann. Nach Abschluss der Behandlung geben diese Halteeinrichtungen das Behandlungsgut wieder frei. Derartige Halteeinrichtungen können beispielsweise Halterahmen sein, die im Falle der elektrolytischen Behandlung auch zur Stromzuführung zum Behandlungsgut dienen können.

Die Greifelemente sind an heb- und senkbaren Quertraversen (Verbindungsmitteln) befestigt. Die Quertraversen befinden sich im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone. Mit ihren Enden ragen sie heraus. Die Quertraversen werden durch Horizontalschlitze und Vertikalschlitze durch die Seitenwände des Reinraumgehäuses hindurchgeführt.

Die Horizontalschlitze dienen zur Beförderung der Quertraversen mit den daran befestigten Greifelementen und Behandlungsgutteilen von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter. Die Vertikalschlitze sind jeweils im Bereich und oberhalb der Behandlungsbehälter angeordnet und dienen zum Anheben und Absenken der Quertraversen, Greifelemente und Behandlungsgutteile. Wie bei der zuvor beschriebenen Ausführungsform sind die Quertraversen auch hier an außerhalb der Reinraumzone angeordneten Hubwerken des Transportwagens befestigt. Mit diesen Hubwerken können die Quertraversen gehoben und gesenkt werden.

5) In einer weiteren Ausführungsform ohne Warenträger wird das Behandlungsgut von den Greifelementen direkt gegriffen und in den Behandlungsbehältern abgelegt. Die Greifelemente befinden sich vollständig in der Reinraumzone. Die Greifelemente sind an einer Quertraverse befestigt, die nicht heb- und senkbar ist. Zum Heben und Senken des Behandlungsgutes und der Greifelemente sind wiederum Liftzeuge vorgesehen. Die nicht höhenverstellbare Quertraversen und die Liftzeuge sind Verbindungsmittel. In einer ersten Variante dieser Ausführungsform kann sich die Quertraverse im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone befinden und nur mit ihren Enden aus ihr herausragen. In diesem Falle befinden sich die Liftzeuge vollständig innerhalb der Reinraumzone. Damit die Quertraversen verfahren werden können, sind hier Durchführungsöffnungen in Form von Horizontalschlitzen vorzugsweise im oberen Bereich der Seitenwände des Reinraumgehäuses vorgesehen, durch die die Quertraversen hindurchgreifen. In einer zweiten Variante wird die Quertraverse ausschließlich außerhalb der Reinraumzone bewegt. In diesem Falle befinden sich die Liftzeuge teilweise innerhalb und teilweise außerhalb der Reinraumzone. In diesem Falle ist ein Horizontalschlitz in der oberen Wand des Gehäuses vorgesehen, durch die die Liftzeuge hindurch geführt werden.

In allen beschriebenen Ausführungsformen wird das Behandlungsgut oder ein Warenträger zum Transport jeweils gegriffen, aus einem Behandlungsbehälter ausgehoben und zu einem anderen Behandlungsbehälter transportiert. Dort wird das Behandlungsgut behandelt. Dieser Vorgang kann, bezogen auf das Behandlungsgut, so lange wiederholt werden, bis alle Behandlungsbehälter durchlaufen sind und das Behandlungsgut fertig behandelt ist.

Um die Reinraumzone mit Behandlungsgut zu beschicken, kann mindestens eine Be- und Entladestation außerhalb der Reinraumzone vorgesehen sein, von welcher das Behandlungsgut durch eine Einfahröffnung im Gehäuse in die Reinraumzone befördert wird. Die Einfahröffnungen können verschließbar ausgeführt sein. Beispielsweise können Verschlussmittel, wie Blenden, Schieber oder Deckel, verwendet werden, die die Einfahröffnungen während der Behandlung des Behandlungsgutes verschließen. Die Verschlussmittel sind vorzugsweise auf der außen liegenden Gehäuseseite angeordnet, um einen mechanischen Abrieb bei deren Betätigung in der Reinraumzone zu vermeiden. Die Be- und Entladestation weist dabei einen der Einfahröffnung des Gehäuses entsprechenden Verschluss für die Übergabe des Behandlungsgutes auf. Vorzugsweise ist die Be- und Entladestation speziell ausgestaltet, um zu verhindern, dass die ursprünglich am Behandlungsgut anhaftenden Staubpartikel in die Reinraumzone gelangen können.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind zwei seitlich außerhalb des Gehäuses angeordnete Transportwagen vorgesehen. Jeder Transportwagen weist einen Bewegungsantrieb und ein Transportwagenfahrwerk auf. Die Transportwagen können auf Transportbahnen, z.B. Schienen, entlang fahren, die sich parallel zu den Behälterreihen erstrecken. Bei Ausführungsformen, bei denen ein Warenträger oder heb- und senkbare Quertraversen verwendet werden, kann ein Hubwerk vorgesehen sein, das am Transportwagenfahrwerk direkt angeflanscht sein kann. Das Hubwerk umfasst vorzugsweise einen in senkrechter Richtung verfahrbaren Hubschlitten, der beispielsweise ein Führungsstück besitzt. An dem Führungsstück können beispielsweise Aufnahmevorrichtungen befestigt sein, mit denen ein aus den Durchführungsöffnungen herausragender Warenträger außerhalb der Reinraumzone angehoben und dann transportiert werden kann. Alternativ können an den Führungsstücken auch Quertraversen befestigt sein. Befindet sich das Behandlungsgut noch in einer Be- und Entladestation, so wird es dort gegriffen und dann von dort zu den Behandlungsbehältern transportiert.

Zum Transport sind in den Seitenwänden schmale schlitzförmige Durchführungsöffnungen vorgesehen. In den Seitenwänden vorhandene vertikale Durchführungsöffnungen verlaufen, ausgehend von den Behandlungsbehältern, vorzugsweise senkrecht nach oben und münden dort in Horizontaldurchführungsöffnungen ein, z.B. horizontal ausge richtete Schlitze, welche im Wesentlichen entlang der gesamten Länge einer Transportbahn des Transportwagens oberhalb der Behandlungsbehälter verlaufen. Werden beispielsweise Warenträger als Halteelemente verwendet, die von Aufnahmevorrichtungen angehoben, transportiert und wieder abgesenkt werden, greifen die Enden des Warenträgers während des Transports des Behandlungsgutes durch die Schlitze hindurch. Während des Hubvorganges ragen die Enden des Warenträgers durch die senkrechten Schlitze der Seitenwände hindurch und bewegen sich in ihnen senkrecht nach oben. Ist die obere Position, die so genannte Fahrposition, erreicht, kann das Transportwagenfahrwerk den Warenträger vor- oder rückwärts bewegen. In der angehobenen Stellung fahren die durch die Seitenwände des Gehäuses ragenden Enden des Warenträgers in dem oben verlaufenden horizontalen Schlitz. Ist der Zielbehandlungsbehälter für den nächsten Behandlungsschritt erreicht, senkt das Transportsystem den Warenträger an dieser Stelle wieder ab. Dabei gleiten die Enden des Warenträgers mit dem Behandlungsgut im dort vorhandenen senkrechten Schlitz wieder nach unten.

Da beliebige Verfahrensprogramme ermöglicht werden sollen, können mit derartigen Vorrichtungen mit Warenträgern und Aufnahmevorrichtungen auch so genannte Leerfahrten durchgeführt werden. Dies bedeutet, dass der Transportwagen einen Warenträger an einem Behandlungsbehälter ablegt und dann leer zur nächsten weiterfährt, um den dort befindlichen Warenträger aufzunehmen und weiterzutransportieren. Bei dieser Ausführungsform kann die Leerfahrt auch in der unteren Position des Hubwerkes ausgeführt werden, wenn sich die Aufnahmevorrichtungen am Hubwerk des Transportwagens außerhalb der Reinraumzone befinden. In diesem Falle werden keine unteren Schlitze in den Gehäuseseitenwänden benötigt. Die üblichen Möglichkeiten für den Transport des Behandlungsgutes können weiter verwendet werden. Die Realisierung zusätzlicher unterer Horizontalschlitze wäre wegen der fehlenden unteren Befestigungsmöglichkeit der Seitenwände allerdings kaum möglich.

Ferner kann das Behandlungsgut mittels eines Transportsystems transportiert werden, welches seitlich außerhalb des Gehäuses jeweils einen Transportwagen mit dort angeordneten Bewegungsantrieben und Hubwerken umfasst, wobei das Behandlungsgut ohne Warenträger transportiert wird. Hierzu ist die im Wesentlichen in der Reinraumzone angeordnete Quertraverse vorgesehen, die mit beiden seitlich entlang des Rein raumgehäuses verlaufenden linken und rechten Bewegungsantrieben bzw. Hubwerken des Transportwagens fest verbunden ist. An dieser Quertraverse befinden sich individuelle Greifelemente für jedes Behandlungsgut, die während des Absenkens der Quertraverse geöffnet bleiben und somit das Behandlungsgut direkt von oben greifen können. Zum Transport des Behandlungsgutes wird jedes Greifelement an der Quertraverse in der unteren Position geschlossen und dadurch das jeweilige Behandlungsgut festgeklemmt, aus dem Behandlungsbehälter ausgehoben und zum nächsten Behandlungsbehälter transportiert.

Die Schlitze in den Seitenwänden des Gehäuses der Reinraumzone entsprechen der oben bereits beschriebenen Ausführungsform unter Verwendung eines Warenträgers. Bei einer gewünschten Leerfahrt des Transportwagens muss die Quertraverse am Transportwagen jedoch in die obere Hubstellung gebracht werden, um unter Benutzung des oben angeordneten horizontalen Schlitzes in den Seitenwänden den betreffenden nächsten Behandlungsbehälter zu erreichen. Die Quertraverse kann bei geöffnetem Greifelement abgesenkt werden und das Behandlungsgut in der unteren Position gegriffen werden. Sobald das Behandlungsgut gegriffen worden ist, wird der nächste Transportvorgang durch einen Hub der Quertraverse in die obere Position und eine anschließende Weiterfahrt zum nächsten Behandlungsbehälter ausgeführt.

Bei den beiden zuletzt beschriebenen Ausführungsformen können zwischen den Transportwagen des Transportsystems zu deren Versteifung bzw. Stabilisierung weitere Querversteifungen zur Stabilisierung der Transportwagen bzw. der beiden Hub- und Transportwagenfahrwerke sowie zur besseren Synchronisation der Fahrbewegung vorgesehen sein. Die Lage der Querversteifungen muss dabei so gewählt werden, dass sich diese in den beidseitigen horizontalen Schlitzen der Seitenwände frei bewegen können. In diesen Schlitzen bewegen sich auch die als Verbindungsmittel dienenden Quertraversen mit den Greifelementen bzw. die Warenträger in der oberen Position. In ähnlicher Weise wird auch das Behandlungsgut transportiert, welches an Quertraversen befestigt wird, welche mit Hilfe von Hubwerken gehoben und gesenkt werden.

Da die Abrieb gefährdeten Stellen aller bewegten Teile überwiegend außerhalb der Reinraumzone angeordnet sind, ist ein geringer Reinluftverbrauch bei geringem Überdruck gewährleistet und damit ein wirtschaftlicher Betrieb der Anlage sichergestellt.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann die Größe der Reinraumzone reduziert werden, wenn sie sich nicht über alle Behandlungsbehälter gleichzeitig erstreckt. Dies ist dann möglich, wenn die Behandlungsbehälter während der Behandlung verschlossen und nur zum Be- und Entladen geöffnet werden. Dann genügt es, die Reinraumzone nur am Transportwagen selbst vorzusehen. Ein Transportwagen ist hierzu mit einem Gehäuse versehen, das oben, vorn, hinten und seitlich geschlossen ist. Unten ist das Gehäuse zumindest beim Be- und Entladen der Behandlungsbehälter offen. Vorzugsweise ist das Gehäuse jedoch durch eine untere Wand mit entsprechenden Öffnungen für den Durchtritt des Behandlungsgutes versehen. Auch in diesem Falle befinden sich alle Antriebe für den Transport des Behandlungsgutes wiederum außerhalb der Reinraumzone.

Damit die Reinraumzone mit entsprechend gereinigter Luft versorgt werden kann, befinden sich oberhalb der Reinraumzone Reinigungsmittel für das Gas, etwa Filter und Ventilatoren. Die Ventilatoren saugen ungefilterte Luft über dem Transportwagen an und drücken diese durch die Filter hindurch über entsprechende Öffnungen in die Reinraumzone hinein. Hierzu können in der oberen Wand mit den Filtern deckungsgleiche Öffnungen vorhanden sein. Bei der Luftführung sowie Auswahl und Anordnung der Öffnungen ist darauf zu achten, dass eine möglichst laminare Strömung in der Reinraumzone erreicht wird. Zur Unterstützung des Luftstromes von oben nach unten dienen auch die an den Behandlungsbehältern vorgesehenen Absaugvorrichtungen, die gleichzeitig dafür sorgen, dass die in den Bädern entstehenden Chemikaliendämpfe entfernt werden.

Damit die Filter zur Erzeugung der Reinluft nicht zu oft ausgetauscht werden müssen, kann direkt über dem Transportwagen ein Frischluftkanal mit Verteileröffnungen zur Versorgung mit vorgereinigter Frischluft angebracht sein. Wenn der Transportwagen mit Gehäuse die Behandlungsstation erreicht hat, um fertiges Behandlungsgut zu entnehmen bzw. zu behandelndes Gut abzusetzen, verbleibt der Transportwagen kurz über dem Behandlungsbehälter, um eventuell verunreinigte Luft in unmittelbarer Umgebung mit der über die Ventilatoren in die Reinraumzone beförderten Reinluft zu verdrängen. Dann kann der Deckel des Behandlungsbehälters geöffnet und das fertige Behandlungsgut durch eine Einfahröffnung in das Gehäuse der Reinraumzone hineingezogen oder im Behälter abgesetzt werden.

Zur Beschickung des Behandlungsbehälters kann das Behandlungsgut nach dem Öffnen des Deckels des Behandlungsbehälters von der Reinraumzone durch die Einfahröffnung abgesenkt werden. Diese Ausführungsform der Erfindung hat den besonderen Vorteil, dass nur relativ geringe Mengen Reinluft erzeugt werden müssen.

In den oben beschriebenen Ausführungsformen können beidseitig an den Schlitzen in den Wänden der Gehäuse der Reinraumzone Dichtlippen oder Bürstenreihen angeordnet sein, die die Reinraumzone zusätzlich abdichten und nur bei der Vorbeifahrt betreffender Teile (z.B. der Hubstangen des Hubkolben-/Zylindersystems, der Warenträger, der Quertraversen) zur Seite gedrängt werden. Dies kann dazu beitragen, den Verbrauch an aufwändig gefilterter Reinluft weiter zu verringern.

Ein besonderer Vorteil der Ausführungsformen der seitlich angeordneten Transportwagen mit Fahrwerk liegt in der geringen Gesamthöhe der Vorrichtung, so dass sie auch in niedrigen Räumen noch untergebracht werden kann.

Soll elektrolytisch behandelt werden, wird die Stromzuführung zum Behandlungsgut nicht über die Warenträger wie in herkömmlichen Behandlungsvorrichtungen, sondern vorzugsweise über stationär in den Bädern eingebaute Einrichtungen realisiert, wie z.B. die Ränder des Behandlungsgutes greifende Kontaktrahmen. Derartige Kontaktrahmen sind z.B. in DE-A 102 41 619 genauer beschrieben. Die Kontaktrahmen können dabei Kontaktleisten aufweisen, die das Behandlungsgut an den im Wesentlichen zueinander gegenüberliegenden Seitenrändern des Behandlungsgutes elektrisch kontaktieren.

Zur Verringerung der Kosten können die Transportwagen in Modulbauweise hergestellt werden. Für Wartungsarbeiten können Fenster im Gehäuse der Reinraumzone vorge sehen werden, welche einen schnellen und einfachen Zugang zu den Installationen im Gehäuse und gegebenenfalls zu den Behandlungsbehältern ermöglichen.

Die beschriebenen erfindungsgemäßen Vorrichtungen zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut können vorzugsweise in vertikalen chemischen oder elektrolytischen Durchlaufanlagen verwendet werden.

Anhand der Figuren wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert, ohne jedoch die Erfindung dadurch einzuschränken.
Alle Figuren sind schematisch und nicht maßstäblich ausgeführt. Es zeigen im Einzelnen:
1 eine Vorrichtung entsprechend dem Stand der Technik;
2 eine Frontansicht einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Schnitt A-A' aus 3;
3 eine Seitenansicht der Vorrichtung nach 2;
4 eine Frontansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich zu 2 im Schnitt;
5 eine Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich zur Ausführungsform in 4 mit gestrichelt dargestelltem Transportsystem im Schnitt;
6 eine Seitenansicht einer besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ähnlich zu 5 im Schnitt;
7 eine Frontansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach 6.
Gleiche Bezugszeichen in den Figuren bezeichnen gleiche Elemente.
1 zeigt eine Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Teilen entsprechend dem Stand der Technik. Vorrichtungen dieser Art bestehen aus einer bestimmten Anzahl von Behandlungsbehältern 2, welche hintereinander angeordnet sind. Seitlich an der Behälterreihe befinden sich Transportwagen-Fahrschienen 8, auf denen Transportwagen 18 mit Transportwagen-Fahrwerken 9, angetrieben durch Fahrmotoren 11, von Behand lungsbehälter zu Behandlungsbehälter fahren. Jeder Transportwagen hat ein Hubwerk 16 an einer Quertraverse mit dem ein Hubbalken 17 auf und ab bewegt werden kann. An dem Hubbalken können Warenträger (nicht dargestellt) befestigt werden, an denen Gestelle mit dem Behandlungsgut oder Zangen zum direkten Befestigen des Behandlungsgutes angebracht sind. Das Hubwerk dient zum Heben und Senken des Behandlungsgutes in den und aus dem nach oben offenen Behandlungsbehälter.
2 zeigt eine Frontansicht einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung im Schnitt. Im unteren Bereich von 2 sind drei nebeneinander angeordnete Behandlungsbehälter 2 jeweils mit Behandlungsgut 1 dargestellt. Das Behandlungsgut ist hier an Greifelementen 14 befestigt. Weitere Behandlungsbehälter erstrecken sich, wie in 1 für einzelne Behandlungsbehälter gezeigt, in die Tiefe der Zeichnungsebene hinein (nicht gezeigt), sodass drei nebeneinander angeordnete Reihen von Behältern gebildet werden. Das Behandlungsgut ist soweit in die Behandlungsbehälter eingefahren, dass es unterhalb des Badspiegels 15 liegt und vollständig mit Behandlungsflüssigkeit bedeckt ist. Über den Behandlungsbehältern schließt sich die Reinraumzone 3 unmittelbar an. Sie wird begrenzt durch ein Gehäuse, bestehend aus gasdichten Seitenwänden 4, Stirnwänden (nicht gezeigt) und einer oberen Wand 5. Die obere Wand ist mit Mittelstützen 6 abgestützt. Die Seitenwände, Stirnwände und die obere Wand schließen den Reinraum 3 praktisch vollständig nach außen ab. Den unteren Abschluss des Gehäuses bilden die Behandlungsbehälter.
Das Behandlungsgut 1 kann mittels einer Be- und Entladestation 23 in Form eines Transport-Schutzbehälters (siehe hierzu 3) zur Reinraumzone transportiert werden. Durch den Transport-Schutzbehälter kann das Behandlungsgut vor der umgebenden, verschmutzten Luft geschützt werden. Zur Übergabe des Behandlungsgutes in die Reinraumzone wird der Transportbehälter neben die Behandlungsbehälter geschoben, dort arretiert und das Behandlungsgut danach über einen Verschluss des Transportbehälters und eine Einfahröffnung/Schleuse 24 des Gehäuses der Reinraumzone mittels des Transportsystems übergeben.
Neben der Reinraumzone 3 laufen die Transportwagen 18, die Transportwagen-Stützgestelle 20 und Transportwagenfahrwerke 9 aufweisen. Die beiden Transportwagen sind über eine Quertraverse 35 miteinander verbunden. Die Fahrtrichtung der Transportwagen führt in die Zeichnungsebene hinein bzw. aus dieser heraus. Für die Fahrbewegung der Transportwagen sind jeweils seitlich der Reinraumzone Fahrschienenträger 10 und Fahrschienen 8 für die Transportwagenfahrwerke vorgesehen. Die Transportwagenfahrwerke werden von einem Fahrmotor 11 als Bewegungsantrieb beispielsweise über Zahnriemen 19 angetrieben, welche die Kraft auf eine die Transportwagenfahrwerke verbindende Achse 43 überträgt.
Die nicht höhenbewegliche Quertraverse 35 am Transportwagen 18 überfährt das Gehäuse der Reinraumzone 3. Den Transportwagen und der Quertraverse sind Hubkolben-/Zylindersysteme zugeordnet, die jeweils aus einem Hubzylinder 12 und einer Hubstange 13 bestehen. Der Hubzylinder nimmt die Hubstange beim Hochfahren des Behandlungsgutes 1 in sich auf. Nur die Hubstangen mit den daran befestigten Greifelementen 14 ragen in die Reinraumzone hinein. Hierzu sind Durchführungsöffnungen 7 für die Hubstangen in der oberen Wand 5 vorgesehen. Die Durchführungsöffnungen sind hier Schlitze, die sich in die Fahrtrichtung des Transportwagens erstrecken, sodass in der oberen Wand des Gehäuses horizontale Schlitze gebildet werden. Nachdem das Behandlungsgut aus dem Behandlungsbehälter 2 in die Reinraumzone gehoben worden ist, kann es dadurch in der Reinraumzone von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter transportiert werden.
Um die Reinraumbedingungen in der Reinraumzone 3 aufrechtzuerhalten, wird entsprechend gefiltertes Gas, z.B. Pressluft, mit Überdruck ständig in die Reinraumzone über nicht dargestellte Leitungen und Anschlüsse eingeblasen. Durch den Überdruck ist sichergestellt, dass durch die wenigen vorhandenen schmalen Öffnungen keine Verunreinigungen in die Reinraumzone gelangen können. Damit keine zu starken Gasbewegungen innerhalb des Reinraumes entstehen, können hierzu nicht dargestellte Verteilerrohre und Düsen vorgesehen werden, die für eine gleichmäßige Durchströmung der Reinraumzone sorgen.
3 zeigt eine Seitenansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach 2 mit der Bezeichnung des Schnitts A-A' für 2. Soweit die einzelnen Elemente bereits in Bezug auf 2 beschrieben worden sind, wird darauf in Bezug auf 3 verzichtet.
Für Wartungsarbeiten sind Fenster 22 im Gehäuse der Reinraumzone vorgesehen. An der rechten Seite der Vorrichtung befindet sich die Be- und Entladestation 23, die hier als Transport-Schutzbehälter dargestellt ist. Dieser kann mittels Fahrrollen bewegt werden. Im Bereich der Be- und Entladestation weist das Reinraumgehäuse auch eine untere Wand auf. In diesem Bereich ist am Gehäuse der Reinraumzone 3 eine Einfahröffnung/Schleuse 24 und am Transport-Schutzbehälter eine angebrachte Abdeckung mit Verschluss (nicht dargestellt) vorgesehen, die nach dem Andocken des Transport-Schutzbehälters geöffnet werden können. Dann kann der Transportwagen 18 zur Position des Transport-Schutzbehälters fahren, mit dem Greifelement 14 das Behandlungsgut 1 greifen und dieses aus dem Transport-Schutzbehälter ausheben. Anschließend kann das Behandlungsgut zu den einzelnen Behandlungsbehältern 2 transportiert werden. Bis zum Abschluss dieses Vorganges des Be- und Entladens dichtet der Transport-Schutzbehälter den Verschluss und die Einfahröffnung in die Reinraumzone ab. Sobald das Behandlungsgut aus dem Transportbehälter entnommen ist, werden der Verschluss am Transportbehälter und die Einfahröffnung im Gehäuse wieder geschlossen (nicht dargestellt). Dadurch ist es nicht erforderlich, die gesamte Produktionshalle unter Reinraumbedingungen zu betreiben.
Das Behandlungsgut 1 wird in der Reinraumzone mittels der Hubstange 13 gehoben und abgesenkt. Die Hubstange wird mittels Pressluft in den Hubzylinder 12, welcher an einer Quertraverse 35 angeordnet ist, zurückgeschoben. Dabei wird das Behandlungsgut aus dem Behandlungsbehälter 2 in die Reinraumzone 3 gehoben. Danach kann der Transportwagen 18 die Fahrbewegung zu einem weiteren Behandlungsbehälter fortsetzen und das Behandlungsgut dort absenken. Durch Öffnen des Greifelementes 14 kann das Behandlungsgut freigegeben und dadurch in vorgesehenen Einweisungen abgelegt werden (nicht dargestellt). Danach kann der Transportwagen leer zu einem anderen Behandlungsbehälter oder zum Schutzbehälter 23 weiterfahren, wobei die Hubstange in den Hubzylinder zurückgeschoben wird, um nicht mit in anderen Behandlungsbehältern abgelegtem Behandlungsgut zu kollidieren.
Gereinigtes Gas kann über den Anschlussstutzen 21 in die Reinraumzone 3 zugeführt werden. Die erforderlichen Rohre zur Filteranlage und zu den Ventilatoren sind in 3 nicht dargestellt. Um heftige Luftbewegungen innerhalb der Reinraumzone zu vermeiden, kann innerhalb der Reinraumzone in Fahrtrichtung der Transportwagen eine nicht dargestellte Luft-Verteilerleitung angebracht werden.
Soll das Behandlungsgut 1 im Behandlungsbehälter elektrolytisch behandelt werden, kann ein nicht dargestellter Kontaktrahmen das Behandlungsgut nach dem Absenken in den Behandlungsbehälter an den Rändern greifen und das Behandlungsgut dabei mittels der am Rahmen vorhandenen elektrischen Kontakte an eine nicht dargestellte Stromversorgung anschließen.
Soll das Behandlungsgut 1 chemisch behandelt werden, kann es im Behandlungsbehälter 2 durch eine beispielsweise beidseitig angebrachte schlitzförmige Führung in Position gehalten werden.
4 zeigt eine Frontansicht einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich zu 2. Allerdings wird das Behandlungsgut 1 nicht über ein Hubkolben-/Zylindersystem mit Hubstange und Hubzylinder sondern mittels zweier Hubwerke 16 an den jeweiligen Transportwagen 18, welche einen Warenträger 25 bewegen, transportiert.
In dieser Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung weisen die das Gehäuse mitbildenden Seitenwände 4 vertikale Schlitze (Vertikaldurchführungöffnungen) 26 und einen horizontalen Schlitz (Horizontaldurchführungöffnung) 27 auf, welche jeweils im oberen Bereich ineinander einmünden. Die vertikalen Schlitze in der Seitenwand sind in Bezug auf Länge und Lage unten und oben von der Hubhöhe der Hubwerke 16 bestimmt. Der horizontale Schlitz wird von der Lage der oberen Hubposition und der Länge der Fahrstrecke des Transportwagens 18 bestimmt.
Die Fahrwerke 9 werden hier durch jeweils einen Fahrmotor 11 angetrieben, wodurch die Achse 43 entfällt. Die Fahrwerke laufen beidseitig auf Schienen 8, die am Fahrschienenträger 10 befestigt sind. Dieser ist wiederum am Boden über Füße abgestützt.
Das Behandlungsgut 1 ist am Warenträger 25 durch Halterungen 44 befestigt. Die Halterungen können wie die Greifelemente z.B. als Klammern oder Klemmschrauben ausgebildet sein. Der Warenträger ragt an beiden Enden aus der Reinraumzone 3 heraus und liegt auf Tragarmen 33 an den Transportwagen 18 außerhalb der Reinraumzone auf. Die Tragarme münden in Führungsstücke 32 der Hubwerke 16, wodurch der Warenträger 25 durch das Hubwerk aufwärts und abwärts bewegt werden kann.
Durch Aufwickeln von Hubbändern 31 auf Hubbandspulen 30 in den Hubwerken 16 kann das Behandlungsgut 1 angehoben werden. Zum Auf- bzw. Abwickeln dienen Hubmotoren 29, die mit ihren Antriebsachsen an die Hubbandspulen gekoppelt sind. Hat der Warenträger 25 die obere Position erreicht, d.h. ist das Behandlungsgut vollständig aus dem Behandlungsbehälter in die Reinraumzone 3 gehoben worden, kann das Behandlungsgut über die Fahrwerke 9 mittels der Fahrmotoren 11 zum nachfolgenden Behandlungsbehälter 2 gemäß Prozessablauf transportiert werden.
Ist die dortige Halteposition erreicht, senken die Hubwerke 16 den Warenträger 25 mit dem Behandlungsgut 1 wieder ab. Der Warenträger wird in Einweisungen (nicht dargestellt) abgelegt. Nach Ablauf der Behandlungszeit nimmt der Transportwagen 18 entsprechend der beschriebenen Verfahrensweise den Warenträger wieder auf, um ihn zum nächsten Behandlungsbehälter 2 zu befördern.
Während der Hubbewegung befinden sich die durch die Seitenwände 4 ragenden Warenträgerenden innerhalb der vertikalen Schlitze 26 und während der Fahrbewegung in den horizontalen Schlitzen 27. In den horizontalen Schlitzen können auch zusätzlich vorhandene Querversteifungen 34 geführt werden, die die Transportwagen gegeneinander abstützen.
5 zeigt eine Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ähnlich zur Ausführungsform in 4 mit gestrichelt dargestelltem Transportsystem im Schnitt (hinter der Zeichnungsebene liegende Hälfte). Im rechten Teil von 5 ist die Be- und Entladestation 23 dargestellt. Die vertikalen Schlitze 26 führen direkt bis zur Einfahröffnung 24 im Reinraumgehäuse.
Oberhalb des linken zum Teil aufgeschnittenen Behandlungsbehälters 2 ist ein Warenträger 25 zu sehen, der sich in die Zeichnungsebene hinein erstreckt. An dem Warenträger hängt das Behandlungsgut 1. Der Warenträger ragt mit seinem vorderen und hinteren Ende durch den vertikalen Schlitz 26 in der Seitenwand 4 aus der Reinraumzone 3 heraus. Unter dem Warenträger befinden sich angedeutet die Tragarme 33 des hier der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellten Transportwagens. Beim Anheben der Tragarme fährt der Warenträger mit dem über Halterungen 44 gehaltenen Behandlungsgut 1 in dem vertikalen Schlitz nach oben in die obere Position. In dieser Stellung befinden sich die Warenträgerenden gleichzeitig im vertikalen Schlitz und im horizontalen Schlitz 27, welche dort ineinander übergehen. Wie an Hand 4 beschrieben, kann das Behandlungsgut nun zum nächsten Behandlungsbehälter transportiert werden, wobei die Warenträgerenden horizontal in den horizontalen Schlitzen geführt werden.
Im mittleren Bereich von 5 ist eine alternative Ausführungsform mit einer dem Transportwagen zugeordneten heb- und senkbaren Quertraverse 35 dargestellt. Anstelle eines Warenträgers 25 ist eine an beiden Transportwagenseiten geführte Quertraverse zum Transport des Behandlungsgutes 1 in einer oberen Fahrstellung dargestellt, an der die Greifelemente 14 für das Behandlungsgut angebracht sind. Die Quertraverse kann im Gegensatz zum Warenträger nicht am Behandlungsbehälter 2 abgelegt werden, weil sie mit dem Transportwagen fest verbunden ist. Das Behandlungsgut befindet sich oberhalb der Behandlungsbehälter an der Quertraverse, die durch die Seitenwand 4 nach außen ragt. Die Quertraverse kann sich in dieser Hubposition im horizontalen Schlitz 27 frei in Fahrtrichtung des Transportwagens nach links und rechts bewegen. Weiter sind hier zwei Querversteifungen 34 dargestellt, mit deren Hilfe zwei an den beiden Längsseiten der Behälterreihe angeordneten Transportwagen zusätzlich gegeneinander stabilisiert werden können. Die Querversteifungen sind, in Richtung der herausragenden Quertraverse gesehen, seitlich links und rechts vom horizontalen Schlitz geführt. Sie können sich in diesem Schlitz ebenfalls frei nach links und rechts bewegen. Bei der Bemessung der Länge des horizontalen Schlitzes muss der zusätzliche Bewegungsbedarf durch die Querversteifungen des Transportwagens im horizontalen Schlitz an den außen liegenden Behandlungsbehältern berücksichtigt werden. Da die Quertraverse beiderseits am (hier nicht dargestellten) Hubwerk befestigt ist und durch die Rein raumzone 3 sowie die Seitenwände 4 hindurch ragt, kann der Transportwagen nur fahren, wenn sich die Quertraverse in der oberen Stellung innerhalb des Horizontalschlitzes befindet. Dies gilt insbesondere auch für die Leerfahrten ohne Behandlungsgut.
6 und 7 zeigen eine erfindungsgemäße Vorrichtung zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut unter Reinraumbedingungen in einer bevorzugten Ausführungsform, wobei 6 eine Seitenansicht der Ausführungsform zeigt, ähnlich zu 4 und 5. Im Gegensatz zu 5 erstreckt sich die Reinraumzone 3 hier nur über einen Behandlungsbehälter 2 bzw. über drei nebeneinander angeordnete Behandlungsbehälter, nicht aber über eine oder mehrere Reihen von Behältern. Die Reinraumzone ist in diesem Falle den Transportwagen 18 zugeordnet und fährt mit diesen von Behandlungsbehälter zu Behandlungsbehälter. Die Transportwagen sind durch Querversteifungen 34 zusätzlich gegeneinander stabilisiert. 7 zeigt dabei die Frontansicht zur Vorrichtung nach 6.
In diesem Ausführungsbeispiel sind die Behandlungsbehälter 2 mit Deckeln 41 (z.B. Schiebedeckeln) versehen. Die Öffnungen, z.B. Einlassschlitze, für das Behandlungsgut können beispielsweise durch Verschieben der Deckel verschließbar sein.
Zusätzlich zur Reinraumzone 3 kann der Behandlungsbehälter 2 über nicht dargestellte Rohre und Anschlüsse mit gefiltertem Gas mit leichtem Überdruck beaufschlagt sein. Dadurch könnten die schmalen Einlassschlitze über den Behandlungsbehältern für das Behandlungsgut 1 gegebenenfalls auch während der Behandlung geöffnet bleiben. Die Reinraumzone wird durch Seitenwände 4 mit vertikalen Schlitzen 26 und obere Wände 5 und untere Wände 42 gebildet. Die untere Wand weist gegenüber dem Deckel 41 des Behandlungsbehälters eine oder mehrere Durchführungsöffnungen, z.B. Einfahröffnungen, auf. Das Behandlungsgut wird, wie in 4 und 5 beschrieben, transportiert.
Im linken Bereich von 6 ist ein aufgeschnittener Behandlungsbehälter 2 mit Behandlungsflüssigkeit mit Flüssigkeitsniveau 15 dargestellt, in welchem sich Behandlungsgut 1, gehalten durch einen Warenträger 25 mit Halterungen 44, befindet. Der Warenträger liegt auf nicht dargestellten Auflagen am Behandlungsbehälter auf und wird mit Tragarmen 33 von den Transportwagen aufgenommen und transportiert. Um die Reinraumbedingungen im Behandlungsbehälter aufrecht zu erhalten, ist die Öffnung für das Behandlungsgut im Deckel 41 des Behandlungsbehälters während der Behandlung und in den Betriebspausen vorzugsweise geschlossen, damit keine Verschmutzungen in die Bäder und an das Behandlungsgut gelangen können. Zusätzlich können Absaugkanäle vorhanden sein, die oben am Behandlungsbehälter austretende Dämpfe absaugen (nicht dargestellt).
Die Reinraumbedingungen in der Reinraumzone 3 werden durch eine Frischluftversorgung bereitgestellt, welche oberhalb des Transportwagens angeordnet ist. Dazu weist die Versorgung an der oberen Wand 5 Aufbauten mit Ansaugöffnungen 39 auf, durch welche mittels Ventilator 37 und Luftfiltergehäuse 36 mit Luftfiltern gereinigte Luft über Einblasöffnungen 40 in die Reinraumzone gepresst wird. Oberhalb der Transportwagenbahn kann zusätzlich ein Frischluftkanal mit Ausblasöffnungen 38 an den Haltestellen des Transportwagens vorhanden sein. Die Öffnungen 38 können mit nicht dargestellten Ventilklappen versehen sein, die geöffnet werden, wenn der Transportwagen in der Haltestelle steht (7). Der Abstand zwischen dem Frischluftkanal mit Ausblasöffnungen 38 und der jeweilig angefahrenen Ansaugöffnung 39 eines Ventilators sollte so gering wie möglich gewählt werden, um das Ansaugen von verunreinigter Nebenluft zu vermeiden.
Durch die große Anzahl der Öffnungen 40, die deckungsgleich im Filtergehäuse 36 und in der oberen Wand 5 des Gehäuses der Reinraumzone 3 angeordnet sind, entsteht innerhalb der Reinraumzone eine laminare Luftströmung von oben nach unten. Dabei kann die Reinluft aus dem Zwischenraum zwischen den Behälterdeckeln 41 und der unteren Wand 42 des Gehäuses sowie aus den vertikalen Schlitzen 26 der Seitenwände 4 austreten. Wenn der Behandlungsbehälter 2 mit einer Absaugvorrichtung ausgestattet ist, wird der größere Teil der eingeblasenen Reinluft über die Absaugkanäle abgeleitet. Der Überdruck in der Reinraumzone gegenüber der Umgebung verhindert, dass ungefilterte Luft in die Reinraumzone eindringen kann. Alle Antriebe und Hubwerke für den Transport des Behandlungsgutes 1 sind auch hier außerhalb der Reinraumzone angeordnet. Um die Luftverhältnisse in den geschlossenen Behandlungsbehältern 2 weiter zu verbessern, kann wie oben beschrieben im oberen Teil der Behandlungsbehälter (über dem Badspiegel) gefilterte Reinluft eingeblasen werden, wobei ein leichter Überdruck gegenüber der umgebenden Atmosphäre hergestellt wird (in 6 und 7; nicht dargestellt). Die bei Bedarf noch zusätzlich vorhandenen Absaugkanäle für austretende Gase können neben den Deckeln 41 der Behandlungsbehälter angebracht werden, um die aus den Behandlungsbehältern durch Überdruck austretenden Gase einzusammeln. Damit wird verhindert, dass sich eventuell schädliche Dämpfe aus den Behandlungsbehältern im Raum ausbreiten können.

1: Behandlungsgut
2: Behandlungsbehälter
3: Reinraumzone
4: Wand, Seitenwand
5: Obere Wand
6: Mittelstütze für die obere Wand 5 des Reinraumgehäuses
7: Durchführungsöffnungen in der oberen Wand 5 des Reinraumgehäuses
8: Transportwagen-Fahrschiene
9: Transportwagenfahrwerk
10: Fahrschienenträger
11: Fahrmotor
12: Hubzylinder
13: Hubstange
14: Greifelement für das Behandlungsgut 1
15: Badspiegel
16: Hubwerk
17: Hubbalken
18: Transportwagen
19: Zahnriemen
20: Transportwagen-Stützgestell
21: Anschluss für die Reinluft- bzw. Gaszuführung
22: Fenster für Wartungszwecke
23: Be- und Entladestation (Transport-Schutzbehälter)
24: Einfahröffnung/Schleuse
25: Warenträger
26: Vertikaldurchführungöffnungen/vertikale Schlitze
27: Horizontaldurchführungöffnungen/horizontale Schlitze
29: Hubmotor
30: Hubband-Spule
31: Hubband
32: Führungsstück
33: Tragarm für den Warenträger 25
34: Querversteifung
35: Quertraverse
36: Luftfiltergehäuse mit Luftfiltern
37: Ventilator
38: Frischluftkanal mit Ausblasöffnungen
39: Ansaugöffnung
40: Einblasöffnungen
41: Deckel
42: untere Wand
43: Achse
44: Halterung

Claims

Vorrichtung zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut (1), umfassend Behandlungsbehälter (2) zur Behandlung des Behandlungsgutes und ein Transportsystem zum Transport des Behandlungsgutes, dadurch gekennzeichnet, dass eine Reinraumzone (3) an die Behandlungsbehälter anschließt und dass das Behandlungsgut mit Hilfe des Transportsystems durch die Reinraumzone hindurch transportierbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Transportsystem einen Transportwagen (18) aufweist und dass der Transportwagen außerhalb der Reinraumzone (3) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportwagen (18) einen Bewegungsantrieb (11) und ein Transportwagenfahrwerk (9) aufweist.
Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportwagen (18) ein Hubwerk (16) aufweist.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2–4, dadurch gekennzeichnet, dass der Transportwagen (18) eine höhenverstellbare Aufnahmevorrichtung (33) für einen Warenträger (25) aufweist.
Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Transportsystem ein Halteelement zum Halten des Behandlungsgutes (1) aufweist, wobei das Halteelement zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone (3) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Halteelement für das Behandlungsgut (1) ausgewählt ist aus der Gruppe, umfassend Greifelemente (14) und Warenträger (25).
Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich innerhalb, außerhalb oder teilweise innerhalb und teilweise außerhalb der Reinraumzone (3) befindende Verbindungsmittel zwischen dem Transportwagen (18) und dem Halteelement vorgesehen sind.
Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Verbindungsmittel ausgewählt ist aus der Gruppe, umfassend Quertraversen (35) und Liftzeuge (12, 13).
Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Quertraversen (35) vom Transportwagen (18) gehalten werden.
Vorrichtung nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Quertraversen (35) von einem Hubwerk (16) gehalten werden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9–11, dadurch gekennzeichnet, dass die Liftzeuge (12, 13) von den Quertraversen (35) gehalten werden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9–12, dadurch gekennzeichnet, dass die Liftzeuge Hubkolben-/Zylindersysteme (12, 13) sind.
Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinraumzone (3) durch ein Durchführungsöffnungen (7, 24, 26, 27) aufweisendes Reinraumgehäuse räumlich begrenzt ist, das durch Zuführen von gereinigtem Gas mit Überdruck beaufschlagbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchführungsöffnungen (7, 24, 26, 27) durch Bürsten oder Dichtlippen abgedichtet sind.
Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Quertraversen (35) im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone (3) befinden und durch die Durchführungsöffnungen (26, 27) in dem Gehäuse hindurch geführt werden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14–16, dadurch gekennzeichnet, dass sich die Liftzeuge teilweise innerhalb und teilweise außerhalb der Reinraumzone (3) befinden und durch die Durchführungsöffnungen (7) in dem Reinraumgehäuse hindurch geführt werden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14 und 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Warenträger durch die Durchführungsöffnungen (26, 27) in dem Gehäuse hindurch geführt werden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 14–18, dadurch gekennzeichnet, dass eine Be- und Entladestation (23) vorgesehen ist, von welcher das Behandlungsgut (1) mittels einer Einfahröffnung (24) im Reinraumgehäuse in die Reinraumzone (3) überführbar ist.
Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinraumzone (3) dem Transportwagen (18) zugeordnet und ein die Reinraumzone räumlich begrenzendes Reinraumgehäuse zusammen mit dem Transportwagen von Behandlungsbehälter (2) zu Behandlungsbehälter verfahrbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass an den Behandlungsbehältern (2) Deckel (41) mit Einlassschlitzen für das Behandlungsgut (1) vorgesehen sind.
Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die Deckel (41) zum Abschirmen der Innenräume der Behälter (2) von der Umgebungsluft verschließbar sind und dass ein Rohrleitungssystem vorgesehen ist, das ein gereinigtes Gas mit Überdruck in die Behandlungsbehälter (2) fördert.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 20–22, dadurch gekennzeichnet, dass am Transportwagen (18) Reinigungsmittel (36, 37) zur Reinigung von Gas angeordnet sind.
Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1–23 zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut (1) in vertikalen chemischen oder elektrolytischen Durchlaufanlagen.
Verfahren zum chemischen oder elektrolytischen Behandeln von Behandlungsgut (1) in Behandlungsbäder enthaltenden Behältern (2), dadurch gekennzeichnet, dass das Behandlungsgut während des Transportes zwischen den Behandlungsbehältern in einer Reinraumzone (3) gehalten wird.
Verfahren nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinraumzone (3) durch ein Durchführungsöffnungen (7, 24, 26, 27) aufweisendes Reinraumgehäuse räumlich begrenzt wird, das durch Zuführen von gereinigtem Gas mit Überdruck beaufschlagt wird.
Verfahren nach Anspruch 25 oder 26, dadurch gekennzeichnet, dass das Behandlungsgut (1) durch ein einen Transportwagen (18) aufweisendes Transportsystem in der Reinraumzone (3) bewegt wird, wobei der Transportwagen außerhalb der Reinraumzone angeordnet ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25–27, dadurch gekennzeichnet, dass das Behandlungsgut (1) von einem Halteelement gehalten wird, das zumindest im Wesentlichen innerhalb der Reinraumzone (3) angeordnet ist.
Verfahren nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Halteelement vorgesehen ist, ausgewählt wird aus der Gruppe, umfassend Greifelemente (14) und Warenträger (25) für das Behandlungsgut (1).