DE10142945A1 - Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung und Mikroskop - Google Patents

Abstract

Eine Vorrichtung (1) zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels (7) ist offenbart. Die Vorrichtung (1) ist dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtleitfaser (17) zumindest teilweise innerhalb des Lichtbündels (7) angeordnet ist, die einen Teil des Lichtes des Lichtbündels (7) aufnimmt und einem Detektor (23) zuführt. Weiterhin ist ein Mikroskop (61) mit einer Lichtquelle (63), die ein Lichtbündel (7) zur Beleuchtung einer Probe (79) emittiert offenbart, wobei zur Ermittlung der Lichtleistung des Lichtbündels (7) eine Lichtleitfaser (17) zumindest teilweise innerhalb des Lichtbündels (7) angeordnet ist, die einen Teil des Lichtes des Lichtbündels (7) aufnimmt und einem Detektor (23) zuführt.

Description

• Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels.
• Weiterhin betrifft die Erfindung ein Mikroskop mit einer Lichtquelle, die ein Lichtbündel zur Beleuchtung einer Probe emittiert.
• Zur Messung der Leistung eines Lichtstrahles ist es allgemein üblich, einen Messstrahl aus dem Lichtstrahl mit einem Strahlteiler abzuteilen und mit Hilfe eines Detektors, der ein zur Leistung des Messstrahles proportionales elektrisches Signal erzeugt, zunächst die Leistung des Messstrahles zu ermitteln, um anschließend bei Kenntnis des Teilungsverhältnisses des Strahlteilers auf die Leistung des Lichtstrahles zu schließen. Aus der Offenlegungsschrift DE 197 02 753 A1 ist eine Anordnung zur Überwachung der in einen Scankopf eingekoppelten Laserstrahlung, mittels eines Detektionselementes, auf das ein Teil der eingekoppelten Strahlung über einen Strahlteiler gelenkt wird, bekannt.
• Anordnungen der genannten Art erreichen nur eine begrenzte Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Sie sind anfällig gegen äußere Störungen, insbesondere gegen Vibrationen und thermische Einflüsse.
• In der Scanmikroskopie wird eine Probe mit einem Lichtstrahl beleuchtet, um das von der Probe emittierte Detektionslicht, als Reflexions- oder Fluoreszenzlicht, zu beobachten. Der Fokus eines Beleuchtungslichtstrahles wird mit Hilfe einer steuerbaren Strahlablenkeinrichtung, im Allgemeinen durch Verkippen zweier Spiegel, in einer Probenebene bewegt, wobei die Ablenkachsen meist senkrecht aufeinander stehen, so dass ein Spiegel in x-, der andere in y-Richtung ablenkt. Die Verkippung der Spiegel wird beispielsweise mit Hilfe von Galvanometer-Stellelementen bewerkstelligt. Die Leistung des vom Objekt kommenden Detektionslichtes wird in Abhängigkeit von der Position des Abtaststrahles gemessen. Üblicherweise werden die Stellelemente mit Sensoren zur Ermittlung der aktuellen Spiegelstellung ausgerüstet.
• Speziell in der konfokalen Scanmikroskopie wird ein Objekt mit dem Fokus eines Lichtstrahles in drei Dimensionen abgetastet. Ein konfokales Rastermikroskop umfasst im Allgemeinen eine Lichtquelle, eine Fokussieroptik, mit der das Licht der Quelle auf eine Lochblende - die sog. Anregungsblende - fokussiert wird, einen Strahlteiler, eine Strahlablenkeinrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektionsblende und die Detektoren zum Nachweis des Detektions- bzw. Fluoreszenzlichtes. Das Beleuchtungslicht wird über einen Strahlteiler eingekoppelt. Das vom Objekt kommende Fluoreszenz- oder Reflexionslicht gelangt über die Strahlablenkeinrichtung zurück zum Strahlteiler, passiert diesen, um anschließend auf die Detektionsblende fokussiert zu werden, hinter der sich die Detektoren befinden. Diese Detektionsanordnung wird Descan-Anordnung genannt. Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so daß man eine Punktinformation erhält, die durch sequentielles Abtasten des Objekts mit dem Fokus des Beleuchtungslichtstrahles zu einem dreidimensionalen Bild führt. Meist wird ein dreidimensionales Bild durch schichtweise Bilddatennahme erzielt. Kommerzielle Scanmikroskope bestehen meist aus einem Scanmodul, dass an das Stativ eines klassischen Lichtmikroskops angeflanscht wird, wobei das Scanmodul alle genannten zur Abrasterung einer Probe zusätzlich nötigen Elemente beinhaltet.
• Eine bekannte Methode, Schwankungen und Fluktuationen der Beleuchtungslichtleistung auszugleichen bzw. zu korrigieren, beruht darauf, mit Hilfe eines Strahlteilers von dem Beleuchtungslichtstrahl einen Messstrahl abzuteilen und zur Bilderzeugung oder zur Bildberechnung das Verhältnis der gemessenen Leistungen von Messstrahl und Detektionslichtstrahl zu verwenden. Diese Vorgehensweise ist beispielsweise in der Veröffentlichung G. J. Brakenhoff, Journal of Microscopy, Vol. 117, Pt 2, November 1979, S. 233-242 offenbart.
• Die deutsche Offenlegungsschrift DE 199 44 148 A1 offenbart ein Laserscanmikroskop, vorzugsweise konfokales Laserscanmikroskop, und ein Verfahren zur Referenzkorrektur für ein Laserscanmikroskop, insbesondere für ein konfokales Laserscanmikroskop, mit einem zwischen einer Laserlichtquelle und einem Objekt verlaufenden Beleuchtungsstrahlengang und einem zwischen dem Objekt und einer Detektionseinrichtung verlaufenden Detektionsstrahlengang. Zur Fehlerkorrektur ist in mindestens einem zur Referenzmessung dienenden Referenzstrahlengang aus dem Beleuchtungsstrahlengang Referenzlicht einkoppelbar und von einer Detektionseinrichtung qualitativ und/oder quantitativ nachweisbar.
• In der bereits erwähnten Offenlegungsschrift DE 197 02 753 A1 ist weiterhin offenbart, dass in der Scanmikroskopie durch Bildung von Signalquotienten oder durch Signalsubtraktion eines Detektionssignales und eines Monitorsignales eine Rauschverminderung bewirkt wird und Intensitätsfluktuationen verringerbar sind. Die bekannten Mikroskope erreichen jedoch auf Grund der bereits angeführten begrenzten Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Leistungsmessung nur eine grobe Kompensation von Schwankungen des Beleuchtungslichtes.
• Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde eine Vorrichtung vorzuschlagen, die eine weitgehend genaue und reproduzierbare Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtstrahles ermöglicht.
• Obige Aufgabe wird durch eine Vorrichtung, die die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 1 beinhaltet, gelöst.
• Es ist weiterhin Aufgabe der Erfindung, ein Mikroskop mit einer Lichtquelle, die ein Lichtbündel zur Beleuchtung einer Probe emittiert anzugeben, das eine zuverlässige Ermittlung der Beleuchtungslichtleistung ermöglicht.
• Diese Aufgabe wird durch ein Mikroskop, das die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Anspruchs 9 beinhaltet, gelöst.
• Die Erfindung hat den Vorteil, dass eine zuverlässige Messung der Lichtleistung eines Lichtstrahles ermöglicht ist. Weiterhin hat die Erfindung den Vorteil einer zuverlässigen, störungsunanfälligen und weitgehend genauen Kompensation von Lichtleistungsschwankungen, insbesondere von Schwankungen des Beleuchtungslichtes zur Beleuchtung einer Probe in der Mikroskopie und in der Scanmikroskopie.
• Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass die bekannten Ungenauigkeiten und die unbefriedigende Reproduzierbarkeit bekannter Vorrichtungen zur Messung der Lichtleistung eines Lichtstrahles unter anderem auf Interferenzen innerhalb des Messlichts zurückzuführen sind, die schon bei geringsten mechanischen oder thermischen Störungen zu großen Schwankungen der gemessenen Lichtleistung führen. Auf Grund dieser Nachteile sind einer genauen Kompensation von Schwankungen der Beleuchtungslichtleistung oder einer Stabilisierung der Beleuchtungslichtleistung in einem Mikroskop Grenzen gesetzt.
• Die Lichtleitfaser weist in einer bevorzugen Ausgestaltung einen Mantel und einen Kern auf. Von besonderem Vorteil ist eine Ausführungsform, bei der zumindest ein Teil des Mantels entfernt ist, so dass an dieser Stelle Licht des Lichtbündels in die Lichtleitfaser gelangt und durch Totalreflexion weiter transportiert wird. Der Kern ist vorzugsweise angeschliffen oder aufgeraut. Insbesondere die aufgeraute Variante arbeitet, durch das Entstehen von Streulicht, das große Anteile von Lichtstrahlen enthält, die die Totalreflexionsbedingung in der Lichtleitfaser erfüllen, sehr effektiv.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung ist zur Halterung der Lichtleitfaser eine Hülse vorgesehen, die derart angeordnet ist, dass sie das Lichtbündel ohne Abschattungen umschließt.
• In einer Ausführungsform trifft das Licht des Lichtbündels axial auf die Lichtleitfaser. In einer anderen Ausführungsform trifft das Licht des Lichtbündels seitlich auf die Lichtleitfaser, die vorzugsweise im Auftreffbereich vom Mantel befreit ist.
• Durch Messen der Leistung des abgespaltenen Lichtes bei verschiedenen Positionen der Lichtleitfaser im Lichtbündel, lässt sich das Strahlprofil des Lichtbündels abtasten und vermessen. Zu diesem Zweck ist die Lichtleitfaser relativ zum Lichtbündel verschiebbar angebracht. Vorzugsweise sind Verschiebetische vorgesehen, die eine kontrollierte und messbare Verschiebung des messwirksamen Teils der Lichtleitfaser ermöglichen. Vorzugsweise ist für jede Raumrichtung eine Verschiebevorrichtung vorgesehen.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung erzeugt der Detektor ein zur Leistung des abgespaltenen Lichtes proportionales elektrisches Signal, das als Messsignal zur Regelung bzw. Stabilisierung der Leistung des Lichtbündels dient. In einer anderen Variante dient das elektrische Signal zur Wichtung des Detektionssignals, das durch Messung der Leistung des von der Probe ausgehenden Lichtes gewonnen wird. Die Wichtung erfolgt im einfachsten Fall durch Bildung des Signalquotienten.
• In einer weiteren Ausführungsvariante ist eine Optik vorgesehen, die das Lichtbündel auf eine Fokusebene in der Probe fokussiert, wobei die Lichtleitfaser in einer Fourierebene zur Fokusebene angeordnet ist.
• In einer bevorzugen Ausgestaltung ist das Mikroskop ein Scanmikroskop oder ein konfokales Scanmikroskop.
• In der Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestellt und wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben, wobei gleich wirkende Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen sind. Dabei zeigen:
• Fig. 1 eine bekannte Vorrichtung zur Lichtleistungsmessung,
• Fig. 2 eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtstrahles,
• Fig. 3 eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtstrahles,
• Fig. 4 eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtstrahles,
• Fig. 5 eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtstrahles und
• Fig. 6 ein erfindungsgemäßes Mikroskop.
• Fig. 1 zeigt eine Vorrichtung zur Lichtleistungsmessung nach dem Stand der Technik. Die Vorrichtung umfasst einen Strahlteiler 2, der aus einem Substrat 3 mit einer teilreflektierenden Beschichtung 5 besteht. Auf den Strahlteiler 2 trifft das einfallende Lichtbündel 7. An der Beschichtung 5 wird durch Reflexion Messlicht 9 abgespalten, das auf den in einem Abstand von ca. 3 cm angeordneten Detektor 11 trifft. Das Teilungsverhältnis beträgt ca. 50 : 1. Der durch die Beschichtung 5 tretende Teil der Lichtbündels 7 erfährt an der unbeschichteten Grenzfläche 13 des Substrates 3 eine weitere - ungewollte - Abspaltung. Weiteres Messlicht 15, dessen Leistung ca. 4% der Leistung des durch die Beschichtung getretenen Teils des Lichtbündels 7 beträgt, wird an der Grenzfläche 13 zum Detektor 11 reflektiert. Das an der Beschichtung 5 abgespaltene Messlicht 9 interferiert am Detektor mit dem an der unbeschichteten Grenzfläche 13 des Substrates 3 abgespaltenen weiteren Messlichts 15. Schon geringste Variationen der optischen Weglänge zwischen dem Strahlteiler 2 und dem Detektor 11, sowie im Substrat 3, beispielsweise durch Temperaturänderungen, als auch Luftdruckschwankungen oder Vibrationen, führen zu einer Änderung der Interferenz, die sich in einer großen Variation der gemessenen Lichtleistung niederschlägt.
• Fig. 2 zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels 7. Die Vorrichtung umfasst eine Lichtleitfaser 17, die einen Kern 19 und einen Mantel 21 aufweist. Ein Endteil der Lichtleitfaser befindet sich innerhalb des Lichtbündels 7. An dieser Stelle ragt der Kern 19 aus dem Mantel 21. Die Lichtleitfaser 17 nimmt einen Teil des Lichtes des Lichtbündels 7 als Messlicht auf und leitet es zu einem Detektor 23, der als Photodiode 25 ausgeführt ist. Der Detektor 23 erzeugt ein zur Leistung des auftreffenden Messlichtes proportionales elektrisches Signal, das über sie Leitung 27 einer Verarbeitungseinheit 29 zuführbar ist. Die Vorrichtung ist kalibriert und die Kalibrationsdaten sind in einem Speicher der Verarbeitungseinheit 29 abgelegt. Die Verarbeitungseinheit 29 ordnet jeder gemessenen Leistung des Messlichts einen Leistungswert zu, der der Leistung des Lichtbündels entspricht. Dieser Leistungswert ist auf der Ausgabevorrichtung 31, die als LCD-Display ausgeführt ist, ablesbar. Zur Befestigung und Justierung des in das Lichtbündel 7 ragenden Teils der Lichtleitfaser 17 dient eine Haltevorrichtung 33, die eine Verschiebung in drei Raumrichtungen ermöglicht.
• Fig. 3 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels. Als Haltevorrichtung 33 ist in dieser Ausführung eine Hülse 35 vorgesehen, die eine seitliche Öffnung 37 aufweist, in der die Lichtleitfaser 17 eingeklemmt ist. Die Hülse 35 ist relativ zum Lichtbündel 7 so angeordnet, dass keine Abschattungen durch die Hülse auftreten.
• Fig. 4 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels. In dieser Ausführung weist die Lichtleitfaser 17 in einem mittleren Bereich ein vom Mantel 21 befreites Stück 39 auf, das wesentlich kürzer als der Durchmesser des Lichtbündels 7 ist. Die Haltevorrichtung 33 ist als Hülse 41 mit zwei Bohrungen 43, 45 ausgeführt, durch die die Lichtleitfaser 17 verläuft. Die Lichtleitfaser 17 ist über zwei Rollen 47, 49 gespannt. Ein Ende der Lichtleitfaser ist auf einer Federspule 51 aufgerollt. Das andere Ende ist auf eine Motorspule 53, die von einem Motor 55 angetrieben ist, aufgewickelt. Mit dem Motor kann das vom Mantel 21 befreite Stück 39 der Lichtleitfaser 17 entlang der Längsachse der Lichtleitfaser 17 durch das Lichtbündel gezogen und damit Licht aus verschiedenen Breichen des Lichtbündels 7 abgespalten werden. Die Hülse 41 ist mit einer Verschiebvorrichtung 57 senkrecht zur der vom Lichtbündel 7 und der gespannten Lichtleitfaser 17 aufgespannten Ebene verschiebbar, so dass ein systematisches Abtasten des Strahlprofils des Lichtbündels 7 ermöglicht ist. Zusätzlich ist eine weitere, der Übersichtlichkeit halber nicht eingezeichnete Verschiebevorrichtung vorgesehen, die ein Verschieben der Hülse 41 entlang der Ausbreitungsrichtung des Lichtbündels 7 - und somit das Abtasten des dreidimensionalen Strahlprofils des Lichtbündels 7 - ermöglicht. Zur mechanischen Verstärkung der gespannten Lichtleitfaser 17 kann zusätzlich ein Führungsfaden vorgesehen sein.
• Fig. 5 zeigt eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels 7. Die Vorrichtung entspricht weitgehend der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung. Ein Endteil der Lichtleitfaser 17 befindet sich innerhalb des Lichtbündels 7. Das Endteil weist eine Biegung 59 auf, die so ausgebildet ist, dass das Licht des Lichtbündels 7 direkt auf die Querschnittsfläche des Kerns 19 trifft.
• Fig. 6 zeigt schematisch ein erfindungsgemäßes Mikroskop 61, das als konfokales Scanmikroskop ausgeführt ist. Das von einem Lichtquelle 63 kommende Lichtbündel 7 ist mit der Optik 65 auf eine Beleuchtungsblende 67 fokussiert. Über einen Strahlteiler 69 gelangt das Lichtbündel 7 zum kardanisch aufgehängten Scanspiegel 71, der das Lichtbündel 7 durch die Scanoptik 73, die Tubusoptik 75 und das Objektiv 77 hindurch über bzw. durch die Probe 79 führt. Das Lichtbündel 7 wird bei nicht transparenten Proben 79 über die Probenoberfläche geführt. Bei biologischen Proben 79 (Präparaten) oder transparenten Proben kann das Lichtbündel 7 auch durch die Probe 79 geführt werden. Dies bedeutet, dass aus verschiedenen Fokusebenen des Objekts nacheinander durch das Lichtbündel 7 abgetastet werden. Die nachträgliche Zusammensetzung ergibt dann ein dreidimensionales Bild der Probe 79. Das von der Probe 79 ausgehende Detektionslicht 81 gelangt durch das Objektiv 77, die Tubusoptik 75 und die Scanoptik 73 hindurch und über den Scanspiegel 71 zum Strahlteiler 69, passiert diesen und trifft nach Passieren der Detektionsblende 83 auf eine Detektorvorrichtung 85, die als Photomultiplier ausgeführt ist. In der Detektorvorrichtung 85 werden elektrische, zur Leistung des Detektionslichts 81 proportionale elektrische Detektionssignale erzeugt und über die Leitung 87 an die Verarbeitungseinheit 89 weitergegeben. In der Pupillenebene des Objektivs 77 ist eine Vorrichtung 1 zur Ermittlung der Lichtleistung des Lichtbündels 7 angeordnet. Die Vorrichtung 1 umfasst eine Lichtleitfaser 17, die einen Kern 19 und einen Mantel 21 aufweist. Ein Endteil der Lichtleitfaser befindet sich innerhalb des Lichtbündels 7. An dieser Stelle ragt der Kern 19 aus dem Mantel 21. Die Lichtleitfaser 17 nimmt einen Teil des Lichtes des Lichtbündels 7 als Messlicht auf und leitet es zu einem Detektor 23, der als Photodiode 25 ausgeführt ist. Der Detektor 23 erzeugt ein zur Leistung des auftreffenden Messlichtes proportionales elektrisches Signal, das über die Leitung 91 einer Verarbeitungseinheit 89 zugeführt wird. Die Vorrichtung ist kalibriert und die Kalibrationsdaten sind in einem Speicher der Verarbeitungseinheit 89 abgelegt. Die Verarbeitungseinheit 89 ordnet jeder gemessenen Leistung des Messlichts einen Leistungswert zu, der der Leistung des Lichtbündels entspricht. In der Verarbeitungseinheit 89 werden die eingehenden Analogsignale zunächst digitalisiert und dann digital miteinander verrechnet und eine korrigierten Detektionslichtleistung ermittelt. Diese wird an einen PC 93 weitergegeben. Der korrigierten Detektionslichtleistung wird anhand eines Positionssignals des kardanisch aufgehängten Spiegels die Position des zugehörigen Rasterpunktes zugeordnet und die Daten aller Rasterpunkte zu einem Abbild der Probe 79 zusammengesetzt, das auf einem Display 95 dargestellt ist.
• Die Erfindung wurde in Bezug auf eine besondere Ausführungsform beschrieben. Es ist jedoch selbstverständlich, dass Änderungen und Abwandlungen durchgeführt werden können, ohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Ansprüche zu verlassen. Bezugszeichenliste 1 Vorrichtung zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels
  2 Strahlteiler
  3 Substrat
  5 Beschichtung
  7 Lichtbündel
  9 Messlicht
  11 Detektor
  13 unbeschichtete Grenzfläche
  15 weiteres Messlicht
  17 Lichtleitfaser
  19 Kern
  21 Mantel
  23 Detektor
  25 Photodiode
  27 Leitung
  29 Verarbeitungseinheit
  31 Ausgabevorrichtung
  33 Haltevorrichtung
  35 Hülse
  37 Öffnung
  39 vom Mantel befreites Stück
  41 Hülse
  43 Bohrung
  45 Bohrung
  47 Rolle
  49 Rolle
  51 Federspule
  53 Motorspule
  55 Motor
  57 Verschiebvorrichtung
  59 Biegung
  61 Mikroskop
  63 Lichtquelle
  65 Optik
  67 Beleuchtungsblende
  69 Strahlteiler
  71 Scanspiegel
  73 Scanoptik
  75 Tubusoptik
  77 Objektiv
  79 Probe
  81 Detektionslicht
  83 Detektionsblende
  85 Detektorvorrichtung
  87 Leitung
  89 Verarbeitungseinheit
  91 Leitung
  93 PC
  95 Display
  

Claims (20)

1. Vorrichtung (1) zur Ermittlung der Lichtleistung eines Lichtbündels (7), dadurch gekennzeichnet, dass eine Lichtleitfaser (17) zumindest teilweise innerhalb des Lichtbündels (7) angeordnet ist, die einen Teil des Lichtes des Lichtbündels (7) aufnimmt und einem Detektor (23) zuführt.

2. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitfaser (17) einen Mantel (21) und einen Kern (19) aufweist.

3. Vorrichtung (1) nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Mantels (21) entfernt ist.

4. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (19) der Lichtleitfaser (17) angeschliffen ist.

5. Vorrichtung (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (19) der Lichtleitfaser (17) aufgeraut ist.

6. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Halterung der Lichtleistfaser eine Hülse (35) vorgesehen ist.

7. Vorrichtung (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitfaser (17) relativ zum Lichtbündel (7) verschiebbar ist.

8. Vorrichtung (1) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtbündel (7) ein Strahlprofil aufweist, das durch Verschieben der Lichtleitfaser (17) abtastbar ist.

9. Mikroskop (61) mit einer Lichtquelle (63), die ein Lichtbündel (7) zur Beleuchtung einer Probe (79) emittiert, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ermittlung der Lichtleistung des Lichtbündels (7) eine Lichtleitfaser (17) zumindest teilweise innerhalb des Lichtbündels (7) angeordnet ist, die einen Teil des Lichtes des Lichtbündels (7) aufnimmt und einem Detektor (23) zuführt.

10. Mikroskop (61) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitfaser (17) einen Mantel (21) und einen Kern (19) aufweist.

11. Mikroskop (61) nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Teil des Mantels (21) entfernt ist.

12. Mikroskop (61) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (19) der Lichtleitfaser (17) angeschliffen ist.

13. Mikroskop (61) nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Kern (19) der Lichtleitfaser (17) aufgeraut ist.

14. Mikroskop (61) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Halterung der Lichtleitfaser (17) eine Hülse (35) vorgesehen ist.

15. Mikroskop (61) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtleitfaser (17) relativ zum Lichtbündel (7) verschiebbar ist.

16. Mikroskop (61) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Lichtbündel (7) ein Strahlprofil aufweist, das durch Verschieben der Lichtleitfaser (17) abtastbar ist.

17. Mikroskop (61) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Leistung des Lichtbündels (7) regelbar ist.

18. Mikroskop (61) nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine Optik vorgesehen ist, die das Lichtbündel (7) auf eine Fokusebene in der Probe fokussiert und dass die Lichtleitfaser (17) in einer Fourierebene zur Fokusebene angeordnet ist.

19. Mikroskop (61) nach einem der Ansprüche 9 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (61) ein Scanmikroskop ist.

20. Mikroskop (61) nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass das Scanmikroskop ein konfokales Scanmikroskop ist.