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DE10119792A1 - Verfahren zur Herstellung einer Leuchtstoffschicht - Google Patents

Verfahren zur Herstellung einer Leuchtstoffschicht

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Publication number
DE10119792A1
DE10119792A1 DE2001119792 DE10119792A DE10119792A1 DE 10119792 A1 DE10119792 A1 DE 10119792A1 DE 2001119792 DE2001119792 DE 2001119792 DE 10119792 A DE10119792 A DE 10119792A DE 10119792 A1 DE10119792 A1 DE 10119792A1
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DE
Germany
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temperature
value
phosphor layer
storage capacity
lit
Prior art date
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Ceased
Application number
DE2001119792
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Fuchs
Erich Hell
Peter Hackenschmied
Detlef Mattern
Bernhard Schmitt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Agfa HealthCare NV
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE2001119792 priority Critical patent/DE10119792A1/de
Publication of DE10119792A1 publication Critical patent/DE10119792A1/de
Ceased legal-status Critical Current

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    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09KMATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K11/00Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
    • C09K11/08Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials
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    • C09K11/626Halogenides
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    • C09K11/77Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals
    • C09K11/7728Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials containing inorganic luminescent materials containing rare earth metals containing europium
    • C09K11/7732Halogenides
    • C09K11/7733Halogenides with alkali or alkaline earth metals
    • GPHYSICS
    • G21NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21KTECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zu Herstellung einer Leuchtstoffschicht mit folgenden Schritten: DOLLAR A a) Abscheiden eines Leuchtstoffs aus der Dampfphase auf ein Substrat, DOLLAR A b) Vorgabe eines Werts der Lichtausbeute oder Speicherkapazität der Leuchtstoffschicht, wobei als vorgegebener Wert ein Wert unterhalb eines erreichbaren maximalen Werts der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität gewählt wird, DOLLAR A c) Tempern der Leuchtstoffschicht, DOLLAR A d) Messen der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität der Leuchtstoffschicht, DOLLAR A e) Vergleichen des gemessenen Werts mit dem vorgegebenen Wert und DOLLAR A f) ggf. Wiederholung der Schritte lit. c bis lit. e bis der vorgegebene Wert erreicht worden ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Leuchtstoffschicht.
Bei der Verwendung von Alkalihalogeniden mit unterschiedli­ chem Sättigungsdampfdruck, z. B. CsI/TlI oder CsBr/EuBr2, tritt das Problem auf, dass beim Verdampfen aus der Schmelze die Verbindungen mit dem höheren Sättigungsdampfdruck schnel­ ler entweichen als die Verbindungen mit dem niedrigeren Sät­ tigungsdampfdruck. In den auf dem Substrat abgeschiedenen Kristallen sind die Dotierungsstoffe ungleichmäßig verteilt. Zum Beispiel weisen die Kristalle an ihrer Oberfläche einen höheren Gehalt an Dotierstoffen auf als im Inneren.
Um diesem Problem entgegenzutreten, ist es aus der DE 44 29 013 A1 bekannt, mittels einer Röntgenmessvorrichtung die Schichtdicke der Leuchtstoffschicht während des Aufdamp­ fens zu messen. In Abhängigkeit des Messergebnisses wird die Bedampfungsrate zur Erzielung einer möglichst gleichmäßigen Schichtdicke und einer vollständigen Verdampfung der Schmelze geregelt.
Aus der DE 195 16 450 C1 ist des weiteren ein Verfahren zum Herstellen einer aus CsJ:Tl bestehenden Leuchtstoffschicht bekannt. Dabei wird der Druck in der Bedampfungsanlage zumin­ dest während des Bedampfens höher gehalten als der Sätti­ gungsdampfdruck des eingesetzten Tl. Mit diesem Verfahren lässt sich eine Leuchtstoffschicht verbesserter Lichtausbeute herstellen.
Die bekannten Verfahren eignen sich insbesondere zum Aufdamp­ fen von aus Alkalihalogeniden gebildeten Verbindungen, deren Sättigungsdampfdrücke nicht all zu unterschiedlich sind. Sie eignen sich jedoch nicht zur Herstellung von Leuchtstoffschichten aus Verbindungen, z. B. CsBr/EuBr2, deren Sätti­ gungsdampfdrücke sich erheblich von einander unterscheiden.
Nach dem Stand der Technik ist es außerdem bekannt, Leucht­ stoffschichten nach dem Aufdampfen "auszuheizen". Das Aushei­ zen bewirkt einen Ausgleich von Konzentrationsunterschieden des Dotierstoffs. Es wird ein optimaler Wert der Lichtausbeu­ te oder der Speicherkapazität der Leuchtstoffschicht er­ reicht. - Nachteiligerweise ist der Ausschuss bei diesem Ver­ fahren hoch.
Aufgabe der Erfindung ist es, die Nachteile nach dem Stand der Technik zu beseitigen. Es soll insbesondere ein möglichst universelles und einfaches Verfahren zur Herstellung von Leuchtstoffschichten angegeben werden.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Zweckmäßige Ausgestaltungen ergeben sich aus den Merkmalen der Ansprüche 2 bis 10.
Nach Maßgabe der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung einer Leuchtstoffschicht mit folgenden Schritten vorgesehen:
  • a) Abscheiden des Leuchtstoffs aus der Dampfphase auf ein Substrat,
  • b) Vorgabe eines Werts der Lichtausbeute oder der Speicher­ kapazität der Leuchtstoffschicht, wobei als vorgegebener Wert ein Wert unterhalb eines erreichbaren maximalen Werts der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität ge­ wählt wird,
  • c) Tempern der Leuchtstoffschicht,
  • d) Messen der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität der Leuchtstoffschicht,
  • e) Vergleichen des gemessenen Werts mit dem vorgegebenen Wert und
  • f) ggf. Wiederholung der Schritte lit. c bis lit. e bis der vorgegebene Wert erreicht worden ist.
Das vorgeschlagenen Verfahren eignet sich hervorragend zur Herstellung von aus unterschiedlichen Verbindungen gebildeten Leuchtstoffschichten. Es ist insbesondere zur Herstellung von Leuchtstoffschichten aus Verbindungen mit erheblich unter­ schiedlichen Sättigungsdampfdrücken geeignet. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Leuchtstoffschich­ ten weisen einheitliche Eigenschaften auf. Das Vorsehen auf­ wendiger Korrektureinrichtungen entfällt. Der Ausschuss beim erfindungsgemäßen Verfahren ist gering.
Ein wesentliches Merkmal der Erfindung ist darin zu sehen, dass der Schritt des Temperns so geführt wird, dass gezielt ein vorgegebener Wert der Lichtausbeute oder der Speicherka­ pazität erreicht wird. Dabei ist der vorgegebene Wert in Ab­ kehr von herkömmlichen Verfahren so gewählt, dass er unter­ halb eines erreichbaren maximalen Werts der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität liegt. Auf diese Weise können Leuchtstoffschichten gleichbleibender Qualität hergestellt werden.
Nach einer ersten Verfahrensvariante wird die Temperatur beim Schritt lit. c niedriger gewählt als eine Temperatur, bei welcher der maximale Wert erreichbar ist. Die Temperatur bei einem nachfolgenden Temperschritt wird dann zweckmäßigerweise höher gewählt als bei einem vorhergehenden Temperschritt. Bei diesem sogenannten "konstruktiven Tempern" wird der vorgege­ bene Wert durch sukzessive Erhöhung der Temperatur beim Tem­ pern eingestellt. Die Lichtausbeute oder die Speicherkapazi­ tät werden mit zunehmender Temperatur sukzessive erhöht.
Nach einer zweiten Verfahrensvariante wird die Temperatur beim Schritt lit. c höher gewählt als eine Temperatur, bei welcher der maximale Wert erreichbar ist. Die Temperatur bei einem nachfolgenden Temperschritt wird zweckmäßigerweise hö­ her gewählt als bei einem vorhergehenden Temperschritt. Bei diesem sogenannten "destruktiven Tempern" wird der vorgegebe­ ne Wert ebenfalls durch sukzessive Erhöhung der Temperatur beim Tempern erreicht. Die Lichtausbeute oder die Speicherka­ pazität werden mit zunehmender Tempertemperatur sukzessive verringert.
Die Temperatur kann beim nachfolgenden Temperschritt um 20 bis 50°C höher gewählt werden. Das Verfahren kann dann beson­ ders effektiv geführt werden. Der vorgegebene Wert wird bei Wahl des vorgeschlagenen Temperaturparameters schnell er­ reicht.
Nach einer weiteren Ausgestaltung wird die Temperatur beim Schritt lit. c für eine Dauer von 1 bis 5 Stunden gehalten. Insbesondere längere Haltezeiten führen zu keiner beachtens­ werten Verbesserung des angestrebten Ergebnisses.
Die Leuchtstoffschicht kann beim Schritt lit. c auf eine Tem­ peratur im Bereich von 100 bis 300°C aufgeheizt werden. Die Temperatur richtet sich nach der Zusammensetzung der Leucht­ stoffschicht und nach der Verfahrensführung.
Bei erstmaliger Durchführung des Schritts lit. c wird die Temperatur vorzugsweise so gewählt, dass etwa die Hälfte des maximalen Werts der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität erreicht wird. Dadurch wird gewährleistet, dass der vorgege­ bene Wert in einem nachfolgenden Schritt einfach eingestellt werden kann.
Die Leuchtstoffschicht kann zweckmäßigerweise aus einem do­ tierten Alkalihalogenid hergestellt sein, welches vorzugsweise aus der folgenden Gruppe ausgewählt ist: CsBr:Eu, CsI:Tl, CsI:Na.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 den Einfluss der Temperatur auf die Speicherkapazi­ tät eines CsBr:Eu-Pulvers,
Fig. 2 den Einfluss der Haltezeit auf die Speicherkapazi­ tät einer aus CsBr:Eu hergestellten Leuchtstoff­ schicht,
Fig. 3 eine prinzipielle Darstellung des Einflusses der Temperatur auf die Speicherkapazität einer aus CsBr:Eu hergestellten Leuchtstoffschicht, und
Fig. 4 Emissionsspektren von mit unterschiedlichen Tempe­ raturen behandelten aus CsBr:Eu hergestellten Leuchtstoffschichten.
In Fig. 1 ist der Einfluss der Temperatur auf die Speicherka­ pazität eines CsBr:Eu-Pulvers gezeigt. Es ist erkennbar, dass die Intensität der in willkürlichen Einheiten aufgetragenen photostimulierten Lumineszenz im betrachteten Temperaturbe­ reich mit steigender Temperatur zunimmt.
Fig. 2 zeigt den Einfluss der Haltezeit auf die Speicherkapa­ zität einer aufgedampften CsBr:Eu-Schicht. Die in willkürli­ chen Einheiten dargestellte Speicherkapazität nimmt mit zu­ nehmender Haltezeit zu und nähert sich bei einer Haltezeit von etwa 5 Stunden asymptotisch einem Maximum.
Fig. 3 zeigt den Einfluss der Temperatur auf die Speicherka­ pazität einer aus CsBr:Eu hergestellten Leuchtstoffschicht. Die Speicherkapazität nimmt zunächst mit steigender Tempera­ tur bis zu einem Maximalwert zu und dann wieder ab. Die Zunahme verläuft ab etwa der Hälfte des Maximalwerts der Spei­ cherkapazität annähernd linear. Der mit einer durchgezogenen Linie bezeichnete Bereich zunehmender Speicherkapazität wird als "konstruktives Tempern", der mit einer unterbrochenen Linie bezeichnete Bereich abnehmender Speicherkapazität als "destruktives Tempern" bezeichnet. Die Zunahme der Speicher­ kapazität beim "konstruktiven Tempern" ist bedingt durch ei­ nen Ausgleich von Konzentrationsunterschieden des Dotier­ stoffs in den Kristallen. Die Abnahme der Speicherkapazität beim "destruktiven Tempern" wird auf sich an den Korngrenzen bildende Ausscheidungen zurückgeführt.
Ein vorgegebener Wert der Speicherkapazität kann z. B. bei 0,8 liegen. Er kann sowohl durch "konstruktives Tempern" als auch durch "destruktives Tempern" jeweils mit sukzessive steigen­ den Temperaturen erreicht werden. Dazu kann die Speicherkapa­ zität nach jedem Temperschritt mit herkömmlichen Verfahren gemessen werden.
Fig. 4 zeigt Emissionsspektren einer aus CsBr:Eu hergestell­ ten Leuchtstoffschicht. Das mit einer durchgezogenen Linie dargestellte Spektrum stammt von einer Probe, welche nicht getempert worden ist. Das mit einer unterbrochenen Linie dar­ gestellte Spektrum stammt von einer "konstruktiv" und das mit Punkten dargestellte Spektrum von einer "destruktiv" getem­ perten Leuchtstoffschicht. Es ist erkennbar, dass die Halb­ wertsbreite des Spektrums abhängig ist vom jeweils gewählten Temperverfahren. Die Halbwertsbreite der "konstruktiv" getem­ perten Probe ist kleiner als die der nicht getemperten Probe. Die Halbwertsbreite der "destruktiv" getemperten Probe ist größer als die der nicht getemperten Probe.
Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird eine CsBr:Eu-Leuchtstoffschicht zunächst mit einer Temperatur von etwa 150°C bei zwei Stunden unter Vakuum oder einer Inertgas­ atmosphäre getempert. Anschließend wird die Speicherkapazität der Schicht bestimmt. Sie beträgt etwa die Hälfte einer durch Tempern maximal erreichbaren Speicherkapazität. In einem zweiten Temperschritt wird die Temperatur auf einen Wert er­ höht, welcher etwa 40°C unterhalb der Temperatur liegt, wel­ che zur Erzielung der maximal erreichbaren Speicherkapazität notwendig wäre. Es wird ein vorgegebener Wert der Speicherka­ pazität erreicht. Die Haltezeit beträgt auch dabei etwa zwei Stunden.
Mit dem vorgeschlagenen Verfahren können Speicherleuchtstoff­ schichten gleichbleibender Qualität, insbesondere gleichblei­ bender Speicherkapazität, hergestellt werden. Der Ausschuss der hergestellten Schichten ist besonders gering.
Hergestellte Speicherleuchtstoffschichten können auch durch "destruktives Tempern" auf einen vorgegebenen Wert der Spei­ cherkapazität eingestellt werden. Es hat sich für aus CsBr:Eu hergestellte Leuchtstoffschichten gezeigt, dass eine Tempera­ turerhöhung von etwa 30°C einen Abfall in der Speicherkapazi­ tät um etwa 20% bewirkt.

Claims (10)

1. Verfahren zur Herstellung einer Leuchtstoffschicht mit folgenden Schritten:
  • a) Abscheiden eines Leuchtstoffs aus der Dampfphase auf ein Substrat,
  • b) Vorgabe eines Werts der Lichtausbeute oder Speicherka­ pazität der Leuchtstoffschicht, wobei als vorgegebener Wert ein Wert unterhalb eines erreichbaren maximalen Werts der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität ge­ wählt wird,
  • c) Tempern der Leuchtstoffschicht,
  • d) Messen der Lichtausbeute oder der Speicherkapazität der Leuchtstoffschicht,
  • e) Vergleichen des gemessenen Werts mit dem vorgegebenen Wert und
  • f) ggf. Wiederholung der Schritte lit. c bis lit. e bis der vorgegebene Wert erreicht worden ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Temperatur beim Schritt lit. c niedriger gewählt wird als eine Temperatur, bei welcher der maximale Wert erreichbar ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Temperatur beim Schritt lit. c höher gewählt wird als eine Temperatur, bei welcher der maximale Wert erreichbar ist.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, wobei die Temperatur bei dem nachfolgenden Temperschritt höher gewählt wird als bei einem vorhergehenden Temperschritt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei die Temperatur beim nachfolgenden Temperschritt um 20 bis 50°C höher gewählt wird.
6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Temperatur beim Schritt lit. c für eine Dauer von 1 bis 5 Stunden gehalten wird.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Leuchtstoffschicht beim Schritt lit. c auf eine Tempera­ tur im Bereich von 100 bis 300°C aufgeheizt wird.
8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Temperatur bei erstmaliger Durchführung des Schritts lit. c so gewählt wird, dass etwa die Hälfte des maximalen optima­ len Werts der Lichtausbeute oder Speicherkapazität erreicht wird.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Leuchtstoffschicht aus einem dotierten Alkalihalogenid hergestellt ist.
10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das dotierte Alkalihalogenid aus der folgenden Gruppe ausge­ wählt ist: CsBr:Eu, CsI:Tl, CsI:Na.
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