DE10119519A1 - Demodulator und Sensorvorrichtung - Google Patents

Abstract

Der erfindungsgemäße Demodulator besitzt zumindest zwei Schalter und zumindest ein Tiefpaßfilter, das durch eine Aufsplittung der Filtereingänge gekennzeichnet ist. Dabei erfolgt die Aussplittung der Filtereingänge jeweils nur im Rahmen des passiven Teils der gesamten Filterschaltung (passive Filtereinheit), während der aktive Teil der gesamten Filterschaltung (aktive Filtereinheit) nicht aufgeteilt wird. Dementsprechend steht der aktive Teil der gesamten Filterschaltung, der in der Regel durch einen großen Platzbedarf sowie einem relativ großen Stromverbrauch gekennzeichnet ist, mehreren Schaltern zur Verfügung. Auf diese Weise kann der Flächenbedarf und die Leistungsaufnahme des erfindungsgemäßen Demodulators deutlich reduziert werden.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Demodulator sowie eine Sensorvorrichtung, die einen Demodulator enthält. Die vorliegende Erfindung betrifft insbesondere einen Demodulator für einen Chopperverstärker.

Sensoren, beispielsweise Magnetfeldsensoren, benötigen für eine genaue Auswertung der zu messenden Größe üblicherweise eine Offset-Fehlerkorrektur. Bei als Magnetfeldsensoren arbeitenden, integrierten Hall-Elementen kann ein Offset-Fehler beispielsweise durch ein fertigungsbedingtes Verbiegen des Silizium-Plättchens (mechanical stress) oder durch Ungenauigkeiten in der Lithographie beim Herstellungsprozeß entstehen. Weitere Offset-Fehler können durch die äußere Beschaltung des Hall- Sensors, beispielsweise durch Offset-Spannungen in den dem Hall-Sensor nachgeschalteten Verstärkern, bedingt sein.

In dem Dokument US 5,621,319 ist ein Verfahren zur Kompensation der bei Hall-Sensoren üblicherweise auftretenden Offset-Spannung angegeben. Dabei sind am Hall-Sensor zwei orthogonal zueinander angeordnete Klemmenpaare vorgesehen, wobei jeweils einem Klemmenpaar der Erragerstrom zugeführt wird, und am anderen Klemmenpaar die Hall-Spannung zur Verfügung steht. Im sogenannten Chopping-Takt wird zwischen den Klemmenpaaren umgeschaltet, wodurch das Fehlersignal in eine Wechselspannung moduliert wird und somit herausgefiltert werden kann.

Weiterhin wird in dem Dokument US 5,621,319 ein Demodulationsverfahren für einen Chopperverstärker beschrieben, das durch wechselseitiges Tracken und Sampeln ein kontinuierliches und ein gesampeltes Signal summiert. Dadurch kann bei DC-Signalen die Offset-Wechselspannung stark verkleinert werden, jedoch treten Signalsprünge am Ausgang bei sich ändernden Eingangssignalen auf. Dies führt zu einer geringeren zeitlichen Auflösung des Signals (Jitter). Außerdem führen Mismatches der Summationswiderstände und Offsets zwischen den sogenannten "Track- und Hold- Verstärkern" zu verbleibenden DC-Offset-Fehlern.

Allgemein ergibt sich das Problem, daß sogenannte "Chopperverstärker" am Ausgang ein zerhacktes Rechtecksignal zeigen, dessen Mittelwert dem gewünschten Nutzsignal und dessen Wechselanteil dem Offset-Signal entspricht. Bisher wurden in der Regel Filter am Ausgang des Chopperverstärkers benutzt, um das Wechsel-Offset-Signal zu unterdrücken. Eine derartige Lösung ist beispielsweise in dem Dokument US 5,334,944 gezeigt. Eine weitere Lösung, welches das Problem mit Hilfe von einer Kombination aus Chopperverstärker und Bandpaß löst, ist in IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol. 32, NO. 7, July 1997, S. 968ff Christian Menolfi u. a.: "A Low-Noise CMOS Instrumentation Amplifier for Thermoelectric Infrared Detectors" beschrieben. Bei dieser Lösung tritt jedoch das Problem einer nicht ausreichend genauen Verstärkung des Bandpasses bei der Chopperfrequenz auf.

In IEEE JOURNAL OF SOLID-STATE CIRCUITS, VOL. SC-16, NO. 6, DECEMBER 1981 S. 745ff, MICHAEL C. W. COLN: "Chopper Stabilization of MOS Operational Amplifiers Using Feed- Forward Techniques", wird eine Lösung angegeben, die zwar kontinuierlich den Wechselanteil im Ausgangssignal herausregelt, sie jedoch durch die verwendete Feed-Forward- Technik zusätzliches Rauschen und Intermodulations­ verzerrungen erzeugt.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Demodulator anzugeben, der die genannten Probleme vermindert bzw. ganz vermeidet. Aufgabe der Erfindung ist es insbesondere, einen Demodulator anzugeben, der das Ausgangssignal eines Chopper- Verstärkers von dem unvermeidlich erzeugten Wechsel-Offset- Signal und von dynamischen Fehlern weitgehend befreien kann.

Nach einem ersten Aspekt der Erfindung wird Demodulator gemäß Patentanspruch 1 bereitgestellt. Nach einem zweiten Aspekt der Erfindung wird eine Sensorvorrichtung gemäß Patentanspruch 6 bereitgestellt. Weitere vorteilhafte Ausführungsformen, Ausgestaltungen und Aspekte der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen, der Beschreibung und den beiliegenden Zeichnungen.

Erfindungsgemäß wird ein Demodulator bereitgestellt, der zumindest zwei Schalter, über die der Demodulator mit zumindest einem Eingangssignal verbunden ist, und zumindest einen Tiefpaßfilter aufweist, welches ein gefiltertes Ausgangssignal erzeugt. Dabei weist das Tiefpaßfilter zumindest eine aktive Filtereinheit und zumindest eine passive Filtereinheit auf und die passive Filtereinheit ist mit zumindest zwei Schaltern verbunden.

Der erfindungsgemäße Demodulator besitzt somit ein Tiefpaßfilter, das durch eine Aufsplittung der Filtereingänge gekennzeichnet ist. Dabei erfolgt die Aufsplittung der Filtereingänge jeweils nur im Rahmen des passiven Teils der gesamten Filterschaltung (passive Filtereinheit) während der aktive Teil der gesamten Filterschaltung (aktive Filtereinheit) nicht aufgeteilt wird. Dementsprechend steht der aktive Teil der gesamten Filterschaltung, der in der Regel durch eine großen Platzbedarf sowie einen relativ großen Stromverbrauch gekennzeichnet ist, mehreren Schaltern zur Verfügung. Auf diese Weise kann der Flächenbedarf und die Leistungsaufnahme des erfindungsgemäßen Demodulators deutlich reduziert werden.

Der erfindungsgemäße Demodulator besitzt darüber hinaus den Vorteil, daß keine sogenannte "Sample-and-Hold Schaltung" im Demodulator und keine sogenannte "Feed-Forward-Schaltung" im Chopperverstärker notwendig sind. Dementsprechend findet bei der Demodulation kein Sampling-Prozeß statt, der in der Regel sogenannte "Aliasverzerrungen" und zusätzliches Alias- Rauschen hervorrufen würden. Die kontinuierliche Signalverarbeitung des erfindungsgemäßen Demodulators ermöglicht hohe zeitliche Auflösungen, wobei Einflüsse des Chopper-Takts sehr gut gefiltert werden können.

In einer bevorzugten Ausführung ist das Tiefpaßfilter ein Tiefpaßfilter mit einer Ordnung n 3. Weiterhin ist es bevorzugt, wenn der Anschluß für das Ausgangssignal vor der aktiven Filtereinheit angeordnet ist. Durch die Auskopplung des Ausgangssignals vor der aktiven Filtereinheit können zusätzliche Offset-Fehler, wie sie in der Regel in aktiven Schaltungseinheiten entstehen, vermieden werden. Dementsprechend werden nur die für Rückkopplung notwendigen Schaltungsteile des Filters am Ausgang der aktiven Filtereinheit angeschlossen.

In einer weiteren bevorzugten Ausführung sind zumindest zwei Tiefpaßfilter vorgesehen, die in einer Differentialtechnik verschaltet sind. Der durch die Differentialtechnik bedingte Ladungsausgleich in den Kapazitäten der Tiefpaßfilter verringert nochmals dynamische Fehler und ermöglicht somit eine sehr gute zeitliche Auflösung des kontinuierlichen Nutzsignals. Der erfindungsgemäße Demodulator in Differentialtechnik verringert außerdem Schalter-Offset-Probleme, da sich die parasitären Schalter-Kapazitäten im wesentlichen kompensieren. Darüber hinaus wird das Differenzsignal besonders gut und mit geringer Chipfläche gefiltert, da zumindest einige Filterkapazitäten zwischen den beiden Differenzsignalen geschaltet werden können.

Weiterhin ist es bevorzugt, wenn die Schaltungsteile der passiven Filtereinheit, die jeweils nur mit einem Schalter verbunden sind, jeweils zumindest zwei Widerstände und einen Kondensator in einer T-Konfiguration aufweisen.

Weiterhin wird erfindungsgemäß eine Sensorvorrichtung bereitgestellt, die zumindest eine Sensoreinheit zur Umwandlung zumindest einer Meßgröße in zumindest ein elektrisches Signal, zumindest einen Chopperverstärker zur Modulation und zur Verstärkung des elektrischen Signals und zumindest einen Demodulator zur Demodulation des von dem Chopperverstärker erzeugten elektrischen Signals aufweist. Die erfindungsgemäße Sensorvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, daß als Demodulator ein erfindungsgemäßer Demodulator vorgesehen ist.

In einer bevorzugten Ausführung erzeugt die Sensoreinheit zur Umwandlung zumindest einer Meßgröße in zumindest ein elektrisches Signal in einer ersten Taktphase ein erstes Meßsignal und in einer zweiten Taktphase ein zweites Meßsignal. Dabei ist es insbesondere bevorzugt, wenn die Meßsignale in einer Differenzpfadtechnik geführt sind. Hierdurch werden insbesondere Gleichtaktstörungen wirksam unterdrückt.

In einer weiteren bevorzugten Ausführung weist der Chopperverstärker zumindest einen Modulator, der Mittel zum Verpolen der Meßsignale aufweist, und zumindest einen Verstärker auf. Dabei ist es insbesondere bevorzugt, wenn zumindest ein Fehlersignal-Demodulator vorgesehen ist, dessen Eingang an den Ausgang des Chopperverstärkers angeschlossen ist und dessen Ausgang an einem Eingang des Verstärkers des Chopperverstärkers zur Zuführung einer Offset-Komponente in einer Gegenkopplung angeschlossen ist.

Mit Hilfe des Fehlersignal-Demodulators wird das Fehlersignal demoduliert und anschließend wird das demodulierte Fehlersignal auf den Eingang des Verstärkers gegengekoppelt. Hierdurch wird das Fehlersignal beziehungsweise die Offset-Komponente der Meßsignale bereits am Verstärkereingang des Chopperverstärkers eliminiert, so daß der Aussteuerungsbereich des Verstärkers nur noch der Nutzkomponente der Meßsignale anzupassen ist. Folglich kann der Aussteuerbereich des Verstärkers deutlich reduziert werden. Außerdem muß der Demodulator nur noch die verbleibenden dynamischen Fehlersignale filtern. Dies ermöglicht eine höhere Grenzfrequenz des Tiefpasses im Demodulator, was bevorzugt durch kleinere Kapazitäten erzielt wird. Es ergibt sich somit eine Ersparnis von Chipfläche bei höherer Genauigkeit der Schaltung. Dabei ist es insbesondere bevorzugt, wenn der Fehlersignal-Demodulator zumindest ein Tiefpaßfilter und zumindest einen Verstärker aufweist.

In einer weiteren bevorzugten Ausführung weist die Sensoreinheit zumindest einen Magnetfeldsensor, insbesondere ein Hall-Element, auf.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Figuren der Zeichnung näher dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Demodulators,

Fig. 2 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung mit einem erfindungsgemäßen Demodulator,

Fig. 3a-3d eine Meßgröße, die von der erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung erzeugten Signale sowie den entsprechenden Signalfehler,

Fig. 4 eine Sensorvorrichtung nach dem Stand der Technik,

Fig. 5a-5d eine Meßgröße, die von der herkömmlichen Sensorvorrichtung erzeugten Signale sowie den entsprechenden Signalfehler,

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Demodulators 1. Der Demodulator 1 besitzt zwei Schalter 11 und 12, über die der Demodulator 1 mit den Eingangssignalen verbunden ist. Weiterhin besitzt der Demodulator 1 einen Tiefpaßfilter 14, welches ein gefiltertes Ausgangssignal erzeugt. Dabei weist das Tiefpaßfilter 14 eine aktive Filtereinheit 15, die im vorliegende Beispiel von einem Operationsverstärker OP1 gebildet wird. Weiterhin weist das Tiefpaßfilter 14 eine passive Filtereinheit 16 auf, die von den Widerständen R1 bis R5 und den Kondensatoren C1 bis C4 gebildet wird. Dabei ist die passive Filtereinheit 16 mit beiden Schaltern 11 und 12 verbunden.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich weisen die Schaltungsteile der passiven Filtereinheit 16, die jeweils nur mit einem Schalter verbunden sind, jeweils zwei Widerstände und einen Kondensator in einer T-Konfiguration auf. Im vorliegenden Beispiel sind dies die Widerstände R1 und R2 sowie der Kondensator C1 für den Schalter 11 und die Widerstände R3 und R4 sowie der Kondensator C2 für den Schalter 12. Dabei bilden die Widerstände R1, R2 und R5 sowie die Kondensatoren C1, C3 und C4 zusammen mit der aktiven Filtereinheit 15 ein Tiefpaßfilter dritter Ordnung. Entsprechend bilden die Widerstände R3, R4 und R5 sowie die Kondensatoren C2, C3 und C4 zusammen mit der aktiven Filtereinheit 15 ein Tiefpaßfilter dritter Ordnung.

Der erfindungsgemäße Demodulator besitzt somit ein Tiefpaßfilter 14, das durch eine Aufsplittung der Filtereingänge gekennzeichnet ist. Dabei erfolgt die Aufsplittung der Filtereingänge jeweils nur im Rahmen des passiven Teils der gesamten Filterschaltung (passive Filtereinheit 16) während der aktive Teil der gesamten Filterschaltung (aktive Filtereinheit 15) nicht aufgeteilt wird. Dementsprechend steht der aktive Teil der gesamten Filterschaltung, der in der Regel durch eine großen Platzbedarf sowie einen relativ großen Stromverbrauch gekennzeichnet ist, mehreren Schaltern zur Verfügung. Auf diese Weise kann der Flächenbedarf und die Leistungsaufnahme des erfindungsgemäßen Demodulators deutlich reduziert werden.

Fig. 2 zeigt eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung mit einem erfindungsgemäßen Demodulator. Die in Fig. 1 gezeigte Sensorvorrichtung umfaßt eine Sensoreinheit 3, die im vorliegenden Beispiel von einem Hall-Element HS gebildet wird. Weiterhin weist die Sensorvorrichtung einen Chopperverstärker 4 auf, der zur Modulation des von der Sensoreinheit 3 erzeugten Signals die Schalter 41 bis 44 und zur Verstärkung des von der Sensoreinheit 3 erzeugten Signals einen Verstärker OP3 umfaßt. Die vom Chopperverstärker 4 erzeugten Signale werden zu dem Demodulator 1 geführt, der im vorliegenden Beispiel die Schalter 11, 12, 21 und 22 sowie zwei Tiefpaßfilter 14 und 24 umfaßt. Der Demodulator 1 erzeugt ein Ausgangssignal, das bis auf kleine Abweichung der zu messenden Größe entspricht. Weiterhin ist zur Steuerung der Schalter 11, 12, 21, 22, 41, 42, 43 und 44 eine Takteinheit (nicht gezeigt) und ein Fehlersignal-Demodulator 5 vorgesehen.

Die von der Sensoreinheit 3 erzeugten Meßsignale werden in der Sensorvorrichtung in einer Differenzpfadtechnik geführt. Hierdurch werden insbesondere Gleichtaktstörungen wirksam unterdrückt. Dementsprechend weist auch der Demodulator 1 zwei Tiefpaßfilter 14 und 24 vorgesehen, die in einer Differentialtechnik verschaltet sind. Der durch die Differentialtechnik bedingte Ladungsausgleich in den Kapazitäten C1, C2 und C4 der Tiefpaßfilter 14 und 24 verringert nochmals dynamische Fehler und ermöglicht somit eine sehr gute zeitliche Auflösung des kontinuierlichen Nutzsignals. Außerdem werden auf diese Weise Schalter-Offset- Probleme bereinigt, da sich die parasitären Schalter- Kapazitäten der Schalter 11, 12, 21, und 22 im wesentlichen kompensieren.

Das Hall-Element HS mißt ein magnetisches Feld, indem ein sogenannter "Hall-Strom" durch das Hall-Element HS geführt wird, was in Abhängigkeit von der Stärke des magnetischen Feldes eine sogenannte "Hall-Spannung" zur Folge hat. Dabei sind am Hall-Element HS zwei orthogonal zueinander angeordnete Klemmenpaare K1, K2 sowie K3, K4 vorgesehen, wobei jeweils einem Klemmenpaar der Hall-Strom zugeführt wird, und am anderen Klemmenpaar die Hall-Spannung zur Verfügung steht. Im sogenannten Chopping-Takt wird zwischen den Klemmenpaaren umgeschaltet, wodurch das Wechselspannungsfehlersignal verringert wird (Spinning-Hall- Prinzip).

Das von dem Hall-Element HS erzeugte Signal durchläuft nun den Chopperverstärker 4, in dem das Nutzsignal zwischen 2 aufeinanderfolgenden Phasen investiert wird. Anschließend schalten die Schalter 11, 12, 21 und 22 des Demodulators das Nutzsignal phasenrichtig auf die Tiefpaßfilter 14 und 24, d. h. das Nutzsignal wird immer mit dem gleichen Vorzeichen, das Offsetsignal mit unterschiedlichen Vorzeichen in aufeinanderfolgenden Phasen in die Tiefpaßfilter 14 und 24 geführt. Da Phase 1 und 3 bzw. Phase 2 und 4 fast gleich große Signale enthalten, ist nur eine Aufsplittung der Tiefpaßfilter in 2 Zweige erforderlich. Die geringen - in der Regel durch JFET-Effekte auftretende - Signalunterschiede können leicht gefiltert werden. Dementsprechend kann der Demodulator 1 von einem 4-Phasen-System auf ein 2- Phasensystem reduziert werden.

Weiterhin werden bevorzugt die einzelnen Filterzeitkonstanten der Tiefpaßfilter 14 und 24 so ausgelegt, daß einerseits ein teilweises Einschwingen auf den Kapazitäten stattfindet, andererseits eine teilweise Filterung der Chopperfrequenz in den aufgesplitteten Zweigen der Tiefpaßfilter 14 und 24 stattfindet. Dieser Fall stellt einen optimalen Punkt zwischen erforderlicher Delay-Zeit und Filterwirkung dar, so daß die dynamischen Fehler (Jitter) sehr gut unterdrückt werden.

Das Ausgangs-Differenzsignal der Tiefpaßfilter 14 und 24 wird im vorliegenden Beispiel von den Eingängen der aktiven Filtereinheiten 15 und 25 (Buffer-OPV's) abgeleitet. Der Offset der aktiven Filtereinheiten 15 und 25 liegt somit nicht im Signalzweig, was die Genauigkeit gegenüber Lösungen mit Sample und Hold-Verstärkern verbessert. Die aktiven Filtereinheiten dienen somit nur der aktiven Rückkopplung für die Tiefpaßfilter und erzeugen somit keine Offset-Signale.

Die Unterdrückung von Offset-Fehlern ist besonders wirkungsvoll, wenn in dem Chopperverstärker 4 eine Fehlerrückkopplung erfolgt, so daß am Ausgang nur kleine Offset-Wechselsignale erscheinen. Dementsprechend ist Fehlersignal-Demodulator 5 vorgesehen, dessen Eingang an den Ausgang des Chopperverstärkers 4 angeschlossen ist und dessen Ausgang an einem Eingang des Verstärkers OP3 des Chopperverstärkers 4 zur Zuführung einer Offset-Komponente in einer Gegenkopplung angeschlossen ist. Mit Hilfe des Fehlersignal-Demodulators 5 wird das Fehlersignal demoduliert und anschließend wird das demodulierte Fehlersignal auf den Eingang des Verstärkers OP3 gegengekoppelt. Hierdurch wird das Fehlersignal beziehungsweise die Offset-Komponente der Meßsignale bereits am Verstärkereingang des Chopperverstärkers 4 eliminiert, so daß der Aussteuerungsbereich des Verstärkers nur noch der Nutzkomponente der Meßsignale anzupassen ist. Folglich kann der Aussteuerbereich des Verstärkers deutlich reduziert werden. Es ergibt sich somit eine Ersparnis von Chipfläche bei höherer Genauigkeit der Schaltung. Dabei ist es insbesondere bevorzugt, wenn der Fehlersignal-Demodulator zumindest ein Tiefpaßfilter (nicht gezeigt) und zumindest einen Verstärker (nicht gezeigt) aufweist.

Weitere Details zu dem Fehlersignal-Demodulator 5 sind der deutschen Patentanmeldung mit dem amtlichen Aktenkennzeichen 100 32 530.0 zu entnehmen, deren gesamte Offenbarung hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Die Fig. 3a-3d zeigen den zeitlichen Verlauf eines Magnetfeldes (Meßgröße), die von der erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung erzeugten Signale sowie den entsprechenden Signalfehler. Am Signalverlauf erkennt man, daß eine zeitliche Änderung des Signals an allen Punkten der Sensorvorrichtung stattfindet. Insbesondere findet kein sogenanntes "Sampeln" des Signals im Demodulator statt. Das Signal wird nur gefiltert. Durch das Vermeiden eines Sampling-Prozesses werden Alias-Effekte (Noise und Fehlsignale durch Faltung) vermieden. Außerdem kann die notwendige analoge Bandbreite drastisch reduziert werden, was zu weiterer Reduzierung des Rauschens führt. Die kontinuierliche Signalverarbeitung des erfindungsgemäßen Demodulators ermöglicht eine hohe zeitliche Auflösungen, wodurch sich eine sehr schnelle Signalverarbeitung ergibt.

Zum Vergleich zeigt Fig. 4 eine Sensorvorrichtung nach dem Stand der Technik wie sie in dem bereits erwähnten US Patent 5,621,319 beschrieben ist. Die Signale von einem Hall- Element H werden von einem Operationsverstärker V verstärkt und über Schalter auf Kondensatoren geführt. Anschließend werden die Signale über die Treiberstufen V1, V2, V3 und V4 zu einem Addierer geführt, der die Widerstände R1 und den Verstärker K umfaßt. Zum Ausgleich einer sich in dem Hall- Element H bildenden Offset-Spannung wird die Richtung des Hall-Stroms I_H durch das Hall-Element H periodisch verändert, was durch die Phasen ϕ1 und nϕ1 angedeutet ist.

Die Fig. 5a-5d zeigen wiederum den zeitlichen Verlauf des Magnetfeldes (Meßgröße), die von der Sensorvorrichtung gemäß US Patent 5,621,319 erzeugten Signale sowie den entsprechenden Signalfehler. Man erkennt, daß sich bei dem herkömmlichen System deutlich größere Fehler bei der Signalauswertung als der erfindungsgemäßen Sensorvorrichtung ergeben.

Claims (12)

1. Demodulator, insbesondere für einen Chopperverstärker, mit zumindest zwei Schaltern, über die der Demodulator mit zumindest einem Eingangssignal verbunden ist, und zumindest einem Tiefpaßfilter, das ein gefiltertes Ausgangssignal erzeugt, wobei das Tiefpaßfilter zumindest eine aktive Filtereinheit und zumindest eine passive Filtereinheit aufweist und die passive Filtereinheit mit zumindest zwei Schaltern verbunden ist.

2. Demodulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Tiefpaßfilter ein Tiefpaßfilter mit einer Ordnung n ≧ 3 ist.

3. Demodulator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschluß für das Ausgangssignal vor der aktiven Filtereinheit angeordnet ist.

4. Demodulator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest zwei Tiefpaßfilter vorgesehen sind, die in einer Differentialtechnik verschaltet sind.

5. Demodulator nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltungsteile der passiven Filtereinheit, die jeweils nur mit einem Schalter verbunden sind, jeweils zumindest zwei Widerstände und einen Kondensator in einer T-Konfiguration aufweisen.

6. Sensorvorrichtung mit zumindest einer Sensoreinheit zur Umwandlung zumindest einer Meßgröße in zumindest ein elektrisches Signal, zumindest einem Chopperverstärker zur Modulation und zur Verstärkung des elektrischen Signals und zumindest einem Demodulator zur Demodulation des von dem Chopperverstärker erzeugten elektrischen Signals, dadurch gekennzeichnet, daß als Demodulator ein Demodulator nach einem vorhergehenden Ansprüchen vorgesehen ist.

7. Sensorvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinheit zur Umwandlung zumindest einer Meßgröße in zumindest ein elektrisches Signal in einer ersten Taktphase ein erstes Meßsignal und in einer zweiten Taktphase ein zweites Meßsignal erzeugt.

8. Sensorvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsignale in einer Differenzpfadtechnik geführt sind.

9. Sensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Chopperverstärker zumindest einen Modulator, der Mittel zum Verpolen der Meßsignale aufweist, und zumindest einen Verstärker aufweist.

10. Sensorvorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Fehlersignal-Demodulator vorgesehen ist, dessen Eingang an den Ausgang des Chopperverstärkers angeschlossen ist und dessen Ausgang an einem Eingang des Verstärkers des Chopperverstärkers zur Zuführung einer Offset-Komponente in einer Gegenkopplung angeschlossen ist.

11. Sensorvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Fehlersignal-Demodulator zumindest ein Tiefpaßfilter und zumindest einen Verstärker aufweist.

12. Sensorvorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoreinheit zumindest einen Magnetfeldsensor, insbesondere ein Hall-Element, aufweist.