DE10112460A1 - Mehrschicht-Induktor - Google Patents

Abstract

Drei Dünnfilmspulen, mit isolierenden Schichten zwischen sich, sind auf dem Spulenwicklungsabschnitt des Kernbauglieds laminiert. Eine Anschlußelektrode ist elektrisch mit dem Endabschnitt der dritten Dünnschichtspule verbunden. Eine Anschlußelektrode ist elektrisch mit dem Endabschnitt der ersten Dünnfilmspule durch die Herausführungsöffnungsabschnitte und getrennten Bereiche verbunden. Auf diese Weise sind die Dünnfilmspulen zwischen den Anschlußelektroden elektrisch in Reihe geschaltet. Dann sind bei den Dünnfilmspulen die Wicklungsrichtungen der benachbarten Spulen, mit einer isolierenden Schicht zwischen sich, entgegengesetzt zueinander.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Oberflächen­ befestigungstyp-Mehrschicht-Induktor für die Verwendung als Mehrschicht-Induktoren, insbesondere als Drosselspulen, LC- Filter usw.

Unter den herkömmlichen Technologien ist ein Induktor, der beispielsweise in der japanischen ungeprüften Patentveröf­ fentlichung Nr. 5-41324 offenbart ist, bekannt. Der Induktor ist mit einem säulenförmigen Magnetkern versehen, der aus ei­ nem isolierenden, magnetischen Material, wie z. B. Ferrit, usw. hergestellt ist. Auf der Oberfläche des Magnetkerns wird ein Leiterfilm gebildet, und danach wird eine spiralspulenbilden­ de Rille auf solche Weise gebildet, dass der Leiterfilm mit einem Laserstrahl bestrahlt wird und sich der Laserstrahl in eine Axialrichtung bewegt, während der Magnetkern gedreht wird, und eine Spule, die den Magnetkern spiralförmig umgibt, wird durch den verbleibenden Abschnitt des Leiterfilms gebil­ det. Auf diese Weise wird ein herkömmlicher Induktor aus ei­ ner Einschichtspule hergestellt.

Bei den herkömmlichen Induktoren werden Einrichtungen wie 1. Verwenden eines Magnetkerns mit einer großen Querschnittsflä­ che, 2. Erhöhen der Anzahl der Windungen der Spule und 3. Verwenden eines magnetischen Materials mit einer hohen magne­ tischen Permeabilität als ein magnetisches Kernmaterial all­ gemein verwendet, um die Induktivität zu erhöhen. Die magne­ tische Permeabilität der Magnetkerne und ihre Abmessungen (Querschnittsfläche, Länge) sind jedoch selbstverständlich beschränkt, und es ist schwierig, die gewünschte Induktivität zu erhalten. Wenn darüber hinaus die Anzahl der Drehungen der Spule durch Reduzieren der Breite eines Spulenleiters erhöht wird, um die gewünschte Induktivität zu erhalten, entsteht ein Problem dadurch, dass nicht nur der Gleichsignalwider­ standswert der Spule erhöht wird, sondern sich auch der Güte­ faktorwert der Spule verringert.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen kompak­ ten Mehrschicht-Induktor zu schaffen, in dem eine hohe Induk­ tivität realisiert werden kann.

Diese Aufgabe wird durch einen Mehrschicht-Induktor gemäß An­ spruch 1 gelöst.

Um die obige Aufgabe zu lösen, umfasst ein Mehrschicht- Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung ein Kernbauglied, eine Mehrzahl von Dünnfilmspulen, die spiralförmig gewickelt und auf der Oberfläche des Kernbauglieds laminiert sind, und Anschlusselektroden, die an den einzelnen Endabschnitten des Kernbauglieds vorgesehen sind, wobei die Wicklungsrichtungen der benachbarten Dünnfilmspulen, mit isolierenden Schichten zwischen sich, einander entgegengesetzt sind, und wobei die Mehrzahl der Dünnfilmspulen elektrisch in Reihe geschaltet sind.

Dann ist es als eine Konstruktion zum elektrischen Verschal­ ten der Dünnfilmspulen in Reihe wünschenswert, Trennabschnit­ te zum elektrischen Verschalten der Dünnfilmspulen in Reihe zu schaffen, wobei die Trennabschnitte zwischen einem Be­ reich, in dem die Dünnfilmspulen vorgesehen sind, und den Be­ reichen, in denen die Anschlusselektroden vorgesehen sind, angeordnet sind, um den Umfang des Kernbauglieds zu umgeben, wobei die benachbarten Dünnfilmspulen, mit den isolierenden Schichten zwischen sich, durch einen Öffnungsabschnitt zum Verbinden der Dünnfilmspulen, der in den Isolierschichten vorgesehen ist, elektrisch in Reihe verbunden sind.

Das Kernbauglied ist beispielsweise hantelförmig. Dann ist es wünschenswert, einen Identifikationsabschnitt zum Identifi­ zieren der Richtung des Kernbauglieds entweder auf einer der Endflächen oder einer Seitenfläche des Kernbauglieds anzuord­ nen. Ferner ist entweder der Anfangsabschnitt oder der Endab­ schnitt einer Spule, die die Mehrzahl der Dünnfilmspulen, die elektrisch in Reihe geschaltet sind, umfasst, über Herausfüh­ rungsöffnungsabschnitte, die in den isolierenden Schichten vorgesehen sind, elektrisch mit der Anschlusselektrode ver­ bunden.

Wenn wie oben beschrieben konstruiert, sind die Wicklungs­ richtungen der benachbarten Dünnfilmspulen, mit den isolie­ renden Schichten zwischen sich, einander entgegengesetzt, wo­ bei jede einzelne Dünnfilmspule der Mehrzahl von Dünnfilmspu­ len ein magnetisches Feld in der gleichen Richtung erzeugt, und die Spulen eine Spule bilden. Auf diese Weise wird die Länge des Kernbauglieds kürzer, und die Anzahl der Windungen der Dünnfilmspulen erhöht sich im Vergleich mit einem Induk­ tor, bei dem die Mehrzahl der Dünnfilmspulen Seite an Seite in der Axialrichtung des Kernbauglieds angeordnet ist. Da darüber hinaus eine Mehrzahl von Dünnfilmspulen, mit den iso­ lierenden Schichten zwischen sich, auf dem Kernbauglied ange­ ordnet ist, so dass sie eine gemeinsame Achse aufweisen, wird verteilte Kapazität gleichmäßig zwischen den Dünnfilmspulen erzeugt.

Darüber hinaus umfasst der Mehrschicht-Induktor gemäß der vorliegenden Erfindung zweite Trennabschnitte zum Bilden ge­ trennter Bereiche, die von den Dünnfilmspulen unterhalb den Anschlusselektroden elektrisch abgetrennt sind, wobei die zweiten Trennabschnitte zwischen dem Bereich, in dem die Dünnfilmspulen vorgesehen sind, und den Bereichen, in denen die Anschlusselektroden vorgesehen sind, angeordnet sind, um den Umfang des Kernbauglieds zu umgeben.

Da die getrennten Bereiche und die Spule auf der Basis der obigen Konstruktion elektrisch abgetrennt sind, ist ein Teil der Spulen nicht kurzgeschlossen, selbst wenn Schichten un­ terhalb der Anschlusselektroden kurzgeschlossen sind, und demgemäss ist die Spulenkonstruktion nicht betroffen.

Die Vorzüge der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfin­ dung werden nachfolgend, bezugnehmend auf die beiliegenden Zeichnungen, näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt eines Mehrschicht-Induktors gemäß einem ersten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ prozess des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 1 folgt;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 2 folgt;

Fig. 4 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 3 folgt;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des in Fig. 4 gezeigten Mehrschicht-Induktors zeigt;

Fig. 6 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 5 folgt;

Fig. 7 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 6 gezeig­ ten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 8 ein Ersatzschaltbild des in Fig. 6 gezeigten Mehr­ schicht-Induktors;

Fig. 9A bis 9D perspektivische Ansichten, die Beispiele eines Identifikationsabschnitts zeigen, der auf einer Endflä­ che des Kernbauglieds vorgesehen ist;

Fig. 10A bis 10D perspektivische Ansichten, die Beispiele eines Identifikationsabschnittes zeigen, der auf einer Seite des Kernbauglieds vorgesehen ist;

Fig. 11 eine perspektivische Ansicht eines Herstellungs­ schritts eines Mehrschicht-Induktors gemäß einem zweiten Aus­ führungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;

Fig. 12 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 11 folgt;

Fig. 13 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 12 folgt;

Fig. 14 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 13 folgt;

Fig. 15 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 14 folgt;

Fig. 16 eine horizontale Schnittsansicht des in Fig. 15 ge­ zeigten Mehrschicht-Induktors;

Fig. 17 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors gemäß einem dritten Ausfüh­ rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 18 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 27 folgt;

Fig. 19 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 18 folgt;

Fig. 20 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 19 folgt;

Fig. 21 eine perspektivische Ansicht, die einen Herstellungs­ schritt des Mehrschicht-Induktors zeigt, der dem Schritt in Fig. 20 folgt;

Fig. 22 eine horizontale Schnittansicht des in Fig. 20 ge­ zeigten Mehrschicht-Induktors.

Hierin nachfolgend werden die Ausführungsbeispiele eines Mehrschicht-Induktors gemäß der vorliegenden Erfindung zusam­ men mit dem Herstellungsverfahren desselben mit Bezugnahme auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.

Erstes Ausführungsbeispiel, Fig. 1 bis 10

Wie in Fig. 1 gezeigt, besteht ein Kernbauglied 11 mit einer Hantelform aus einem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit einem rechteckigen Querschnitt und einen quadratischen Querschnitt und Flanschabschnitte 11a und 11b, die an beiden Enden des Spulenwicklungsabschnitts 11c vorgesehen sind. Das Kernbau­ glied 11 ist aus einem magnetischen Material, wie z. B. Ni-Zn- Cu-Ferrit, usw., einem keramischen Material, wie z. B. nicht­ magnetischem Aluminiumoxid, usw., einem Harzmaterial, usw. hergestellt. Durch Hitzebehandlung des Kernbauglieds 11 und Zink-Borosilikat-Systemglaspulver bei 800 bis 900°Celsius, während es bewegt wird, wird das Glaspulver auf die Oberflä­ che des Kernbauglieds 11 aufgebracht, um einen isolierenden Überzugfilm 3 (siehe Fig. 7) zu bilden. Wie später beschrie­ ben wird, soll dieser isolierende Überzugfilm 3 verhindern, dass sich der magnetische Widerstand des Kernbauglieds 11 aufgrund der Verschlechterung des Kernbauglieds 11 durch ei­ nen Laserstrahl, der das Kernbauglied 11 erreicht, wenn eine Dünnfilmspule durch Bestrahlung des Laserstrahls gebildet wird, verringert. Darüber hinaus kann Zink-Borosilikat in die Oberfläche des Kernbauglieds 11 imprägniert werden, und außer bei Glasmaterial kann ein Harz, wie z. B. Epoxidharz, usw., als Material für den isolierenden Überzugfilm 3 verwendet werden. Ferner ist dieser isolierende Überzugfilm 3 nicht notwendigerweise erforderlich, und ohne Bilden eines isolie­ renden Überzugfilms 3 auf der Oberfläche eines Kernbauglieds 11 kann ein Dünnfilmleiter 12 (der nachfolgend beschreiben wird) direkt gebildet werden.

Danach wird, wie in Fig. 2 gezeigt, auf der gesamten Oberflä­ che des Kernbauglieds 1 durch ein Verfahren von außenstromlo­ sen Plattieren, Zerstäuben bzw. Sputtern, usw. ein Dünnfilm­ leiter 12 gebildet. Der Dünnfilmleiter 12 ist aus Cu, Ni, Ag, Ag-Pd, usw. hergestellt. Danach wird das Kernbauglied 11 durch Einspannen in der Spindel (nicht dargestellt) einer La­ serprozessiervorrichtung gehalten. Das Kernbauglied 11 wird in die Richtung eines Pfeils K1 (im Uhrzeigersinn) durch An­ treiben der Spindel gedreht und gleichzeitig parallel zu der Richtung eines Pfeils K3 bewegt, und dann wird der Spulen­ wicklungsabschnitt 11c des Kernbauglieds 11 mit einem Laser­ strahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird der Dünnfilmleiter 12 in dem Bereich, der mit dem Laserstrahl L bestrahlt wird, entfernt, und eine spiralspulenbildende Rille 17 wird gebil­ det. Somit ist eine erste Dünnfilmspule 22, die die externe Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts 11c umgibt, gebil­ det.

Danach wird, wie in Fig. 3 gezeigt, auf dem Dünnfilmleiter 12, in dem die spulenbildende Rille 17 gebildet wurde, eine isolierende Schicht 27 gebildet. Die isolierende Schicht 27 ist aus einem isolierenden Material, wie z. B. einem Epoxid­ harz, usw. hergestellt. Ein Teil der isolierenden Schicht 27 tritt in die spulenbildende Rille ein, und folglich ist die Isolierung der Dünnfilmspule 22 verbessert.

Die isolierende Schicht 27 umfasst einen Dünnfilmspulen- Verbindungsöffnungsabschnitt 31, der auf der einen Seite von einem Ende (an der Seite des Flanschabschnitts 11a) des Spu­ lenwicklungsabschnitts 11c des Kernbauglieds 11 angebracht ist, und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 41, der auf dem Flanschabschnitt 11b angeordnet ist. Diese Öffnungsab­ schnitte 31 und 41 umgeben das Kernbauglied 11 in der Um­ fangsrichtung. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 22a der ersten Dünnfilmspule 22 in dem Öffnungsabschnitt 31 zum Ver­ binden der Dünnfilmspule freigelegt, und der andere Verbin­ dungsabschnitt 22b der Dünnfilmspule 22 ist in dem Herausfüh­ rungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt. Darüber hinaus können die Öffnungsabschnitte 31 und 41 auch in der Form einer Mehr­ zahl von geraden Linien, Flecken, gebogenen Linien usw., au­ ßer einer geraden Linie sein, um eine elektrische Verbindung zu gewährleisten.

Danach wird, wie in Fig. 4 gezeigt, auf der gesamten Oberflä­ che des Kernbauglieds 11 ein Dünnfilmleiter 13 durch ein Ver­ fahren von außenstromlosen Plattieren, Zerstäuben usw. ge­ bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird der Dünnfilmleiter 13 außer­ dem in die Öffnungsabschnitte 31 und 41 gefüllt. Auf diese Weise wird eine Wirkung des elektrischen Verbindens des Dünn­ filmleiters 13 und des Dünnfilmleiters 12 und ein Keil- Eintreibungs-Effekt des Erhöhens der physikalischen Stärke des Dünnfilmleiters 13 erreicht. Danach wird das Kernbauglied 11 in die Richtung eines Pfeils K2 (gegen den Uhrzeigersinn) gedreht und gleichzeitig parallel zu der Richtung des Pfeils K3 bewegt, und dann wird das Kernbauglied 11 mit einem Laser­ strahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird der Dünnfilmleiter 13, in dem Abschnitt, der mit einem Laserstrahl bestrahlt wird, entfernt, und eine spiralspulenbildende Rille 18 wird gebildet. Folglich ist eine zweite Dünnfilmspule 23, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts 11c in die entgegengesetzte Richtung zu der Wicklungsrichtung der ersten Dünnfilmspule 23 spiralförmig umgibt, gebildet. Diese zweite Dünnfilmspule 23 ist durch den Dünnfilmspulen- Verbindungsöffnungsabschnitt 31, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist, mit der ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch in Reihe geschaltet.

Ferner wird, während das Kernbauglied 11 gedreht wird, der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem Spu­ lenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille 35, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet. Diese Trennril­ le 35 soll die zweite Dünnfilmspule 23 mit der ersten Dünn­ filmspule 22 elektrisch in Reihe schalten. Ein getrennter Be­ reich 13a wird durch die umgebende Trennrille 35 von dem Dünnfilmleiter 13 getrennt. Die zweite Dünnfilmspule 23 und der getrennte Bereich 13a sind elektrisch abgetrennt.

Danach wird, wie in Fig. 5 gezeigt, eine isolierende Schicht 28 auf dem Dünnfilmleiter 13, in dem die spulenbildende Rille 18 gebildet ist, auf die gleiche Weise gebildet, wie die isolierende Schicht 27. Wenn die isolierende Schicht 28 gebildet ist, tritt ein Teil der Schicht ebenfalls in die spulenbildende Rille 18 und die umgebende Trennrille 35 ein. Diese isolierende Schicht 28 umfasst einen Öffnungsabschnitt 32 zum Verbinden der Dünnfilmspule, die auf der Seite des Flanschabschnitts 11b des Spulenwicklungsabschnitts 11c des Kernbauglieds 11 angeordnet ist, und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 42, der in dem Flanschab­ schnitt 11b angeordnet ist. Diese Öffnungsabschnitte 32 und Diese Öffnungsabschnitte 32 und 42 umgeben das Kernbauglied 11 in der Richtung seines Umfangs. Dann wird ein Verbindungs­ abschnitt 23b der Dünnfilmspule 23 in dem Öffnungsabschnitt 32 zum Verbinden der Dünnfilmspule freigelegt, und der ge­ trennte Bereich 13a, der von dem Dünnfilmleiter 13 getrennt ist, wird in dem Herausführungsöffnungsabschnitt 42 freige­ legt.

Danach wird, wie in Fig. 6 gezeigt, auf der gesamten Oberflä­ che des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren außenstromlosen Plattierens, Zerstäubens usw. ein Dünnfilmleiter 14 gebil­ det. Zu diesem Zeitpunkt wird der Dünnfilmleiter 14 in die Öffnungsabschnitte 32 und 42 gefüllt. Danach wird, während das Kernbauglied 11 in die Richtung des Pfeils K1 (im Uhrzei­ gersinn) gedreht wird und gleichzeitig parallel zu der Rich­ tung des Pfeils K3 bewegt wird, das Kernbauglied 11 mit dem Laserstrahl bestrahlt. Auf diese Weise wird eine spiralspu­ lenbildende Rille 19 und eine dritte Dünnfilmspule 24 gebil­ det, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnitts 11c in die entgegengesetzte Richtung wie die Umwicklungsrich­ tung der zweiten Dünnfilmspule 23 spiralförmig umwickelt. Diese dritte Dünnfilmspule 24 ist durch den Dünnfilmspulen­ verbindungsöffnungsabschnitt 32, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist, mit der zweiten Dünnfilmspule 23, elektrisch in Reihe geschaltet.

Ferner wird, während das Kernbauglied 11 gedreht wird, der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem Spu­ lenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille 36, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet. Diese umgebende Trennrille 36 soll die dritte Dünnfilmspule 24 mit der zwei­ ten Dünnfilmspule 23 elektrisch in Reihe verschalten. Ein ge­ trennter Bereich 14a ist durch die umgebende Trennrille 36 von dem Dünnfilmleiter 14 getrennt. Die Dünnfilmspule 24 und der getrennte Bereich 14a sind elektrisch abgetrennt. Der ge­ trennte Bereich 14a ist mit dem getrennten Bereich 13a, der von dem Dünnfilmleiter 13 durch den Herausführungsöffnungsab­ schnitt 42, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist, getrennt ist, elektrisch verbunden.

Danach wird, wie in Fig. 7 gezeigt, ein isolierender Umhül­ lungsabschnitt 45, der aus einem isolierenden Harzmaterial, wie z. B. Epoxidharz, usw., hergestellt ist, geschaffen, wobei die Flanschabschnitte 11a und 11b ausgenommen sind, um die drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu schützen. Ferner werden die Oberflächen der Flanschabschnitte 11a und 11b durch Sn- Plattieren, Ni-Cu-Sn-Plattieren usw. überzogen, um An­ schlusselektroden 1 und 2 mit guten Lötcharakteristika usw. zu bilden.

Bei einem Mehrschicht-Induktor 40 mit der obigen Konstruktion sind die drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24, mit den isolie­ renden Schichten 27 und 28 zwischen sich, auf der Spulenwick­ lungsstruktur 11c des Kernbauglieds 11 laminiert. Die An­ schlusselektroden 1 und 2 sind jeweils in den Flanschab­ schnitten 11a und 11b des Kerbauglieds 11 gebildet. Die An­ schlusselektrode 1 ist mit dem Endabschnitt der dritten Dünn­ filmspule 24 elektrisch verbunden. Die Anschlusselektrode 2 ist durch die Herausführungsöffnungsabschnitte 42 und 41 und die getrennten Bereiche 14a und 13a mit dem Endabschnitt der ersten Dünnfilmspule 22 elektrisch verbunden. Auf diese Weise sind die erste Dünnfilmspule 22, die zweite Dünnfilmspule 23, und die dritte Dünnfilmspule 24 zwischen den Anschlusselekt­ roden 1 und 2 elektrisch in Reihe geschaltet. Fig. 8 ist ein elektrisches Ersatzschaltbild, das den Mehrschicht-Induktor 40 zeigt.

Darüber hinaus ist es wünschenswert, um das Durchführen einer Reihe von Prozessen des Bildens der umgebenden Trennrillen 35 und 36, Bildens der Öffnungsabschnitte 31, 32, 41 und 42, Bil­ dens der spulenbildenden Rille 17 bis 19, usw. zu ermöglichen, in einer Endfläche oder einer Seitenfläche des Kernbauglieds 11 im voraus konkave Identifikationsabschnitte 67 zu schaf­ fen, wie es in den Fig. 9A bis 9D oder den Fig. 10A bis 10D dargestellt ist. Wenn ein Identifikationsabschnitt 67 auf einer Endfläche des Kernbauglieds 11 geschaffen ist, befindet sich der Identifikationsabschnitt 67 in Richtung einer der vier Seiten, so daß er von der Mitte der Endfläche entfernt angeordnet ist. Wenn ein Identifikationsabschnitt 67 auf ei­ ner Seitenfläche des Kernbauglieds 11 geschaffen ist, ist der Identifikationsabschnitt 67 in dem Endabschnitt von einer der Seitenflächen angeordnet. Deswegen kann die Richtung des Kernbauglieds 11 identifiziert werden, und gleichzeitig können die vier Seiten des Kernbauglieds 11 durch Verwendung des Identifikationsabschnittes 67 identifiziert werden. Dement­ sprechend kann die Verarbeitung der umgebenden Trennrille 35 und 36 usw. ordnungsgemäß durchgeführt werden, während die Richtung und Seitenflächen des Kernbauglieds 11 auf der Basis des Identifikationsabschnitts 67 ordnungsgemäß bestätigt wer­ den. Darüber hinaus ist die Form des Identifikationsab­ schnitts 67 beliebig und kann hervorstehend usw. sein.

Bei dem Mehrschicht-Induktor 40 kann, wenn die drei Dünn­ filmspulen 22, 23 und 24, mit den isolierenden Schichten 27 und 28 zwischen sich, auf dem Spulenwicklungsabschnitt 11c des Kernbauglieds 11 laminiert sind, die Länge des Kernbau­ gliedes 11 verkürzt werden, und die Anzahl der Windungen der Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 kann im Vergleich zu denen er­ höht werden, die durch Anordnen von drei Dünnfilmspulen Seite an Seite in der Richtung der Achse des Kernbauglieds gebildet werden.

Außerdem ist bei den laminierten Dünnfilmspulen 22, 23 und 24, mit den isolierenden Schichten 27 und 28 zwischen sich, die Richtung der Wicklung der benachbarten Dünnfilmspulen be­ züglich einander entgegengesetzt, und folglich kann jede der Dünnfilmspulen 22 bis 24 ein Magnetfeld in der gleichen Rich­ tung erzeugen. Deshalb kann ein Mehrschicht-Induktor 40 mit reduzierter Größe mit hoher Induktivität erhalten werden.

Außerdem wird, wenn die drei Dünnfilmspulen 22, 23 und 24, mit den isolierenden Schichten 27 und 28 zwischen sich, so auf dem Kernbauglied 11 angeordnet sind, daß sie koaxial sind, die verteilte Kapazität zwischen den Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 gleich erzeugt, und ein Verteilungskonstant-Typ-Mehrschicht- Induktor 40 kann erhalten werden.

2. Ausführungsbeispiel, Fig. 11 bis 16

Bei dem Mehrschicht-Induktor 40 des ersten Ausführungsbei­ spieles gibt es, weil der getrennte Bereich 13a und der Ver­ bindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22, die sich unter der Anschlußelektrode 2 befinden, elektrisch durch die Öffnungsabschnitte 41 und 42 verbunden sind, selbst wenn die getrennten Bereiche 14a und 13a elektrisch durch Ritzel kurz­ geschlossen sind, die durch Handhaben von Produkten, Druck­ stellen von Stößen, Lot usw. verursacht sind, oder selbst wenn der getrennte Bereich 13a und der Verbindungsabschnitt 22b elektrisch kurzgeschlossen sind, keinen Funktionsverlust. Die Bereiche der Dünnfilmleiter 12 und 13, die sich unter der Anschlußelektrode 1 befinden, sind jedoch elektrisch unabhän­ gig voneinande, und folglich sind, wenn die Dünnfilmleiter 12 bis 14 elektrisch zwischen sich unter der Anschlußelektrode 1 kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen kurzgeschlossen, was die Spulenkonstruktion beeinflußt.

Dann wird bei dem vorliegenden zweiten Ausführungsbeispiel ein Mehrschicht-Induktor beschrieben, bei dem, wenn Schichten zwischen sich unter der Anschlußelektroden 1 und 2 kurzge­ schlossen werden, ein Teil der Spulen elektrisch nicht kurz­ geschlossen. Außerdem sind in den Fig. 11 bis 16, die die Konstruktion des zweiten Ausführungsbeispiels darstellen, die Abschnitte entsprechend denjenigen in den Fig. 1 bis 10, die die Konstruktion des ersten Ausführungsbeispiels zeigen, mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen, und eine über­ lappende Beschreibung wird weggelassen.

Wie in Fig. 11 gezeigt, wird der Dünnfilmleiter 12 auf der gesamten Oberfläche des Kernbaugliedes 11 durch ein Verfahren des stromlosen Plattierens usw. gebildet. Als nächstes wird der Spulenwicklungsabschnitt 11c des Kernbauglieds 11 mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine spiralspu­ lenbildende Rille 17 in dem Dünnfilmleiter 12 gebildet; dann wird die erste Dünnfilmspule 22, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnittes 11c spiralförmig umgibt, ge­ bildet.

Ferner wird der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11a und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise wird eine umgebende Trennrille 50, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt, gebildet. Diese umgebende Trennrille 50 trennt einen getrennten Bereich 12a von dem Dünnfilmleiter 12, um den getrennten Bereich 12a, der elektrisch von der ersten Dünnfilmspule 22 unter einer Anschlußelektrode 1, was später beschrieben wird, abgetrennt ist, zu bilden.

Als nächstes wird, wie in Fig. 12 dargestellt, eine isolie­ rende Schicht 27 auf dem Dünnfilmleiter 12 gebildet, in dem die spulenbildende Rille 17 gebildet wird. Diese isolierende Schicht 27 beinhaltet den Öffnungsabschnitt 31 zum Verbinden einer Dünnfilmspule, die sich auf der Seite des einen Endes (auf der Seite des Flanschabschnittes 11a) des Spulenwick­ lungsabschnittes 11c des Kernbaugliedes 11 befindet, und der Herausführungsöffnungsabschnitte 46 und 41, die sich in den Flanschabschnitten 11a bzw. 11b befinden. Diese Öffnungsab­ schnitte umgeben das Kernbauglied 11 in der Richtung seines Umfangs. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 22a der ersten Dünnfilmspule 22 in dem Öffnungsabschnitt 31 zum Verbinden einer Dünnfilmspule freigelegt; der andere Verbindungsab­ schnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22 wird in dem Heraus­ führungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt, und der getrennte Bereich 12a wird in dem Herausführungsöffnungsabschnitt 46 freigelegt.

Als nächstes wird, wie in Fig. 13 gezeigt, der Dünnfilmleiter 13 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. gebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 13 in die Öff­ nungsabschnitte 31, 41 und 46 gefüllt. Als nächstes wird die spiralspulenbildende Rille 18 in dem Dünnfilmleiter 13 unter Verwendung des Laserstrahls gebildet. Auf diese Weise umgibt die zweite Dünnfilmspule 23 spiralförmig die äußere Oberflä­ che des Spulenwicklungsabschnittes 11c des Kernbauglieds 11 in der entgegengesetzten Richtung zu der Wicklungsrichtung der ersten Dünnfilmspule 22. Die zweite Dünnfilmspule 23 ist mit der ersten Dünnfilmspule 22 durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öffnungsabschnitt 31 verbindet, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.

Außerdem wird jeder einzelne Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11a und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c und der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschabschnitt 11b und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise werden die umgebenden Trennrillen 35 und 51, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgeben, gebildet. Dann werden die getrennten Bereiche 13a und 13b von dem Dünnfilm­ leiter 13 durch die umgebenden Trennrillen 35 und 51 und die zweite Dünnfilmspule 23 getrennt, und die getrennten Bereiche 13a und 13b werden elektrisch abgetrennt. Die umgebende Trennrille 35 soll die zweite Dünnfilmspule 23 elektrisch mit der ersten Dünnfilmspule 22 verbinden. Die umgebende Trenn­ rille 51 soll den getrennten Bereich 13b bilden, der elekt­ risch von der zweiten Dünnfilmspule 23 unter der Anschluße­ lektrode 1 abgetrennt ist. Der getrennte Bereich 13a ist elektrisch mit dem Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünn­ filmspule 22 durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 41 verbunden, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist. Der getrennte Bereich 13b ist elektrisch mit dem getrennten Bereich 12a durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 36 ver­ bunden, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.

Als nächstes wird, wie in Fig. 14 dargestellt, eine isolie­ rende Schicht 28 auf dem Dünnfilmleiter 13 mit der spulenbil­ denden Rille 18, die darin gebildet ist, gebildet. Diese iso­ lierende Schicht 28 enthält den Öffnungsabschnitt 32 zum Ver­ binden einer Dünnfilmspule, die sich auf der Seite des Flanschabschnittes 11b des Spulenwicklungsabschnittes 11c des Kernbaugliedes 11 befindet, und der Herausführungsöffnungsab­ schnitte 47 und 42, die sich in den Flanschabschnitten 11a bzw. 11b befinden. Diese Öffnungsabschnitte 32, 42 und 47 um­ geben das Kernbauglied in seiner Umfangsrichtung. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 23b der zweiten Dünnfilmspule 23 in der Dünnfilmspule freigelegt, die einen Öffnungsabschnitt 32 verbindet; der getrennte Bereich 13a wird in dem Herausfüh­ rungsöffnungsabschnitt 42 freigelegt, und der getrennte Be­ reich 13b wird in dem Auslauföffnungsabschnitt 47 freigelegt.

Als nächstes wird, wie in Fig. 15 dargestellt, ein Dünnfilm­ leiter 14 aus der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge­ bildet. Dann wird der Dünnfilmleiter 14 auch in die Öffnungs­ abschnitte 32, 42 und 47 gefüllt. Als nächstes wird eine spi­ ralspulenbildende Rille 19 in dem Dünnfilmleiter 14 unter Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird die dritte Dünnfilmspule 24 in der entgegengesetzten Richtung zu der Wicklungsrichtung der zweiten Dünnfilmspule 23 gebildet. Die dritte Dünnfilmspule 24 wird mit der zweiten Dünnfilmspu­ le 23 durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öffnungsabschnitt 32 verbindet, der in der isolieren­ den Schicht 28 gebildet ist.

Außerdem wird der Grenzabschnitt zwischen dem Flanschab­ schnitt 11b und dem Spulenwicklungsabschnitt 11c mit einem Laserstrahl L bestrahlt, um eine umgebende Trennrille 36 zu bilden, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt. Die umge­ bende Trennrille 36 soll die dritte Dünnfilmspule 24 mit der zweiten Dünnfilmspule 23 in Reihe schalten. Der getrennte Be­ reich 14a ist von dem Dünnfilmleiter 14 durch die umgebende Trennrille 36 getrennt, und dann werden die dritte Dünnfilm­ spule 24 und der getrennte Bereich 14a elektrisch abgetrennt. Der getrennte Bereich 14a wird elektrisch mit dem getrennten Bereich 13a verbunden, der von dem Dünnfilmleiter 13 durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 42 getrennt ist, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist. Auf der Seite des Flanschabschnittes 11a wird der Verbindungsabschnitt der dritten Dünnfilmspule 24 elektrisch mit dem getrennten Bereich 13b durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 47 ver­ bunden, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist.

Dann wird, wie in Fig. 16 dargestellt, ein isolierender Um­ hüllungsabschnitt 45, mit Ausnahme der Flanschabschnitte 11a und 11b, geschaffen, um die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu schützen. Außerdem werden die Oberflächen der Flanschab­ schnitte 11a und 11b mit Sn-Plattieren usw. beschichtet, um die Anschlußelektroden 1 und 2 zu bilden.

Bei einem Mehrschicht-Induktor 40a, der wie oben aufgebaut ist, werden zusätzlich zu dem Betrieb des Mehrschicht- Induktors des ersten Ausführungsbeispiels, weil die getrenn­ ten Bereiche 12a und 13b, die sich unter der Anschlußelektro­ de 1 befinden, elektrisch von den Dünnfilmspulen 22 und 23 abgetrennt sind und elektrisch mit der Anschlußelektrode 1 durch die Öffnungsabschnitte 46 und 47 verbunden sind, selbst wenn die Anschlußelektrode 1 und die getrennten Bereiche 12a und 13b durch Ritzel beim Handhaben von Produkten, Druckstel­ len von Stößen, Lot usw. kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen elektrisch nicht kurzgeschlossen, und die Schaltungs­ konstanten werden nicht verändert.

3. Ausführungsbeispiel, Fig. 17 bis 22

Ein drittes Ausführungsbeispiel ist ein weiteres Ausführungs­ beispiel des Mehrschicht-Induktors, bei dem, selbst wenn die Schichten zwischen sich unter den Anschlußelektroden 1 und 2 kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen elektrisch nicht kurzgeschlossen ist. Außerdem werden bei den Fig. 17 bis 22, die die Konstruktion des dritten Ausführungsbeispiels darstellen, die Abschnitte entsprechend jenen aus den Fig. 1 bis 10, die die Konstruktion des ersten Ausführungsbeispie­ les zeigen, mit den entsprechenden Bezugszeichen versehen, und eine überlappende Beschreibung wird weggelassen.

Wie aus Fig. 17 hervorgeht, wird der Dünnfilmleiter 12 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Ver­ fahren des außenstromlosen Plattierens usw. gebildet. Als nächstes wird der Spulenwicklungsabschnitt 11c des Kernbau­ glieds 11 mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Dadurch wird eine spiralspulenbildende Rille 17 in dem Dünnfilmleiter 12 gebil­ det; dann wird die erste Dünnfilmspule 22, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnittes 11c spiralförmig um­ gibt, gebildet.

Außerdem werden ein Teil des geneigten Abschnittes 71a auf der Seite des Flanschabschnittes 11a und ein Teil des geneig­ ten Abschnittes 71b auf der Seite des Flanschabschnittes 11b mit dem Laserstrahl L bestrahlt. Auf diese Weise werden die umgebenden Trennrillen 72 und 75, die den Umfang des Kernbau­ glieds 11 umgeben, gebildet. Die umgebende Trennrille 72 trennt den getrennten Bereich 12a von dem Dünnfilmleiter 12 und soll den getrennten Bereich 12a bilden, der elektrisch von der ersten Dünnfilmspule 22 unter der Anschlußelektrode 1 (was später beschrieben wird) abgetrennt ist. Auf die gleiche Weise trennt die umgebende Trennrille 75 einen getrennten Be­ reich 12b von dem Dünnfilmleiter 12 und soll den getrennten Bereich 12b bilden, der sich unter einer Anschlußelektrode 2 (was später beschrieben wird) befindet und der elektrisch von der ersten Dünnfilmspule 22 abgetrennt ist.

Als nächstes wird, wie in Fig. 18 dargestellt, eine isolie­ rende Schicht 27 auf dem Dünnfilmleiter 12 mit der spulenbil­ denden Rille 17, die darin gebildet ist, gebildet. Die iso­ lierende Schicht 27 enthält eine Dünnfilmspule, die den Öff­ nungsabschnitt 31 auf der Seite des Spulenwicklungsabschnit­ tes 11c des geneigten Abschnittes 71a verbindet, und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 91 auf der Seite des Spulen­ wicklungsabschnittes 11c des geneigten Abschnittes 71b. Diese Öffnungsabschnitte 31 und 41 umgeben das Kernbauglied 11 in seiner Umfangsrichtung. Dann wird ein Verbindungsabschnitt 22a der ersten Dünnfilmspule 22 in der Dünnfilmspule freige­ legt, die den Öffnungsabschnitt 31 verbindet, und der andere Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22 wird in dem Herausführungsöffnungsabschnitt 41 freigelegt.

Als nächstes wird, wie in Fig. 19 dargestellt, ein Dünnfilm­ leiter 13 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge­ bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 13 in die Öffnungsabschnitte 31 und 41 gefüllt. Als nächstes wird eine spiralspulenbildende Rille 18 in dem Dünnfilmleiter 13 unter Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird die zweite Dünnfilmspule 23, die die äußere Oberfläche des Spulenwicklungsabschnittes 11c des Kernbauglieds 11 spiral­ förmig umgibt, in der entgegengesetzten Richtung zu der Wick­ lungsrichtung der ersten Dünnfilmspule 22 gebildet. Diese zweite Dünnfilmspule 23 ist mit der ersten Dünnfilmspule 22 durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öffnungsabschnitt 31 verbindet, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.

Außerdem wird auf der Seite des Flanschabschnittes 11b ein Teil des Spulenwicklungsabschnittes 11c, auf der Seite des Flanschabschnittes 11a ein Teil des geneigten Abschnittes 71a, und auf der Seite des Flanschabschnittes 11b ein Teil des geneigten Abschnittes 71b mit dem Laserstrahl L be­ strahlt. Auf diese Weise werden umgebende Trennrillen 35, 73 und 76, die das Kernbauglied 11 umgeben, gebildet. Die umge­ bende Trennrille 35 ist elektrisch mit der zweiten Dünnfilm­ spule 23 in Reihe mit der ersten Dünnfilmspule 22 geschaltet. Die umgebende Trennrille 73 soll einen getrennten Bereich 13a bilden, der elektrisch von der zweiten Dünnfilmspule 23 abge­ trennt ist, und der sich unter der Anschlußelektrode 1 befin­ det. Die umgebende Trennrille 76 soll einen getrennten Be­ reich 13b bilden, der elektrisch von der zweiten Dünnfilmspu­ le 23 abgetrennt ist, und der sich unter der Anschlußelektro­ de 2 befindet.

Außerdem wird ein getrennter Bereich 13c, der zwischen den umgebenden Trennrillen 35 und 76 gebildet ist, elektrisch mit dem Verbindungsabschnitt 22b der ersten Dünnfilmspule 22 durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 41 verbunden, der in der isolierenden Schicht 27 gebildet ist.

Als nächstes wird, wie in Fig. 20 dargestellt, eine isolie­ rende Schicht 28 auf dem Dünnfilmleiter 13 mit der spulenbil­ denden Rille 18, die darin gebildet ist, gebildet. Die iso­ lierende Schicht 28 enthält den Öffnungsabschnitt 32 zum Ver­ binden einer Dünnfilmspule, die sich nahe des Flanschab­ schnittes 11b befindet, in dem Spulenwicklungsabschnitt 11c und einen Herausführungsöffnungsabschnitt 42, der sich nahe dem Spulenwicklungsabschnitt 11c befindet, in dem geneigten Abschnitt 71b. Diese Öffnungsabschnitte 32 und 42 umgeben das Kernbauglied 11 in seiner Umfangsrichtung. Dann wird ein Ver­ bindungsabschnitt 23b der zweiten Dünnfilmspule 23 in der Dünnfilmspule, die den Öffnungsabschnitt 32 verbindet, frei­ gelegt, und der getrennte Abschnitt 13c wird in dem Herausfüh­ rungsöffnungsabschnitt 42 freigelegt.

Als nächstes wird, wie in Fig. 21 dargestellt, ein Dünnfilm­ leiter 14 auf der gesamten Oberfläche des Kernbauglieds 11 durch ein Verfahren des außenstromlosen Plattierens usw. ge­ bildet. Zu diesem Zeitpunkt wird auch der Dünnfilmleiter 14 in die Öffnungsabschnitte 32 und 42 gefüllt. Als nächstes wird eine spiralspulenbildende Rille 19 in dem Dünnfilmleiter 14 unter Verwendung des Laserstrahls L gebildet. Dadurch wird die dritte Dünnfilmspule 24 in einer spiralförmig umgebenden Richtung gebildet, die entgegengesetzt zu der umgebenden Richtung der zweiten Dünnfilmspule 23 ist. Die dritte Dünn­ filmspule 24 ist mit der zweiten Dünnfilmspule 23 durch die Dünnfilmspule elektrisch in Reihe geschaltet, die den Öff­ nungsabschnitt 32 verbindet, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist.

Außerdem wird der Spulenwicklungsabschnitt 11c auf der Seite des Flanschabschnittes 11b mit dem Laserstrahl L bestrahlt, um eine umgebende Trennrille 36 zu bilden, die den Umfang des Kernbauglieds 11 umgibt. Diese umgebende Trennrille 36 soll die dritte Dünnfilmspule 24 in Reihe mit der zweiten Dünn­ filmspule 23 schalten. Ein getrennter Bereich 14a wird von dem Dünnfilmleiter 14 durch die umgebende Trennrille 36 ge­ trennt, und dann werden die dritte Dünnfilmspule 24 und der getrennte Bereich 14a elektrisch voneinander abgetrennt. Der getrennte Bereich 14a wird elektrisch mit dem getrennten Be­ reich 13c durch den Herausführungsöffnungsabschnitt 42 ge­ trennt, der in der isolierenden Schicht 28 gebildet ist.

Dann wird, wie in Fig. 22 dargestellt, eine isolierende Um­ hüllung 45 geschaffen, wodurch die Flanschabschnitte 11a und 11b bleiben, um die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zu schützen. Außerdem werden die Oberflächen der Flanschabschnitte 11a und 11b mit Sn-Plattieren usw. beschichtet, um die Anschluße­ lektroden 1 und 2 zu bilden.

Bei einem Mehrschicht-Induktor 40b, der wie oben aufgebaut wird, ist die Anschlußelektrode 1 elektrisch mit dem Endab­ schnitt der dritten Dünnfilmspule 24 verbunden. Die Anschlu­ ßelektrode 2 ist elektrisch mit dem Endabschnitt der ersten Dünnfilmspule 22 durch die Herausführungsöffnungsabschnitte 42 und 41 und die getrennten Bereiche 14a und 13b verbunden. Dadurch sind die Dünnfilmspulen 22, 23 und 24 zwischen den Anschlußelektroden 1 und 2 elektrisch in Reihe geschaltet.

Bei dem Mehrschicht-Induktor 40b wird, zusätzlich zu dem Be­ trieb des Mehrschicht-Induktors 40 des ersten Ausführungsbei­ spiels, weil die getrennten Bereiche 12a und 13a, die sich unter der Anschlußelektrode 1 befinden, und die getrennten Bereiche 12b und 13b, die sich unter der Anschlußelektrode 2 befinden, elektrisch von den anderen Leitern abgetrennt sind, selbst wenn die Anschlußelektrode 1 und die getrennten Berei­ che 12a und 13a oder die Anschlußelektrode 2 und die getrenn­ ten Bereiche 12b und 13b elektrisch kurzgeschlossen sind, ein Teil der Spulen nicht kurzgeschlossen.

Weitere Ausführungsbeispiele

Außerdem ist die vorliegende Erfindung nicht auf die oben be­ schriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, die verschiedenartig geändert werden können, ohne sich von der Wesensart und dem Schutzbereich der Erfindung zu entfernen. Zum Beispiel kann ein säulenförmiges oder ein zylinderförmiges Kernbau­ glied mit einem kreisförmigen, dreieckigen, fünfeckigen oder mehreckigen (mit mehr als fünf Seiten und Winkeln) Quer­ schnitt anstelle eines hantelförmigen verwendet werden. Au­ ßerdem sind, wenn eine Spule aus Dünnfilmspulen mit gerader Anzahl aufgebaut ist, die elektrisch in Reihe geschaltet sind, der Anfang und das Ende der Spule auf der Seite der gleichen Anschlußelektrode angeordnet, und folglich können der Anfang und das Ende der Spule so gemacht werden, dass sie entsprechend mit verschiedenen Anschlußelektroden verbunden sind, indem eine weitere Dünnfilmleiterschicht zum Zurückfüh­ ren geschaffen wird.

Außerdem können die Trennrillen und die spulenbildenden Ril­ len durch computergesteuerten Betrieb verarbeitet werden. Au­ ßerdem wird eine dielektrische Schicht so gebildet, daß sie eine Dünnfilmspule bedeckt, und die Elektroden als Kondensato­ ren werden auf der dielektrischen Schicht gebildet; auf diese Art kann ein Kondensator-eingebetteter Induktor gebildet wer­ den. Weitere Induktoren, die elektronische Vorrichtungen, wie z. B. Widerstände usw. enthalten, können darin gebildet wer­ den.

Außerdem können, wenn die Trennrillen und spulenbildenden Rillen gebildet werden, obwohl der Laserstrahl bei den obigen Ausführungsbeispielen verwendet wird, ein Elektronenstrahl, ein Ionenstrahl usw. verwendet werden, und sie können durch ein Verfahren des Sandstrahlens, des Schneidens unter Verwen­ dung einer Diamantsäge usw. gebildet werden. Außerdem wird bei den obigen Ausführungsbeispielen, nachdem der Dünnfilm­ leiter auf der gesamten Oberfläche des Kernbaugliedes gebil­ det wurde, ein Verfahren des Bildens der Dünnfilmspule durch Entfernen von unnötigen Abschnitten des Dünnfilmleiters, wie bei den Trennrillen, spulenbildenden Rillen usw., verwendet wird; dies ist aber nicht beschränkt, und ein Verfahren zum Bilden der Dünnfilmspule durch Bereitstellen des Leiters nur an einem notwendigen Abschnitt durch Zerstäuben, Verdunsten, Plattieren usw., was als ein zusätzlicher Prozeß usw. bekannt ist, kann angewendet werden.

Wie aus der obigen Beschreibung klar verständlich ist, werden gemäß der vorliegenden Erfindung eine Mehrzahl von Dünn­ filmspulen, mit isolierenden Schichten zwischen sich, lami­ niert, und die Wicklungsrichtungen der benachbarten Dünn­ filmspulen, mit einer isolierenden Schicht zwischen sich, sind entgegengesetzt zueinander, und folglich erzeugt jede der Dünnfilmspulen ein Magnetfeld in der gleichen Richtung. Deshalb kann ein Induktor, der sehr klein ist, aber eine gro­ ße Induktivität aufweist, erhalten werden. Außerdem wird, wenn zwei Dünnfilmspulen, mit einer isolierenden Schicht zwi­ schen sich, so auf dem Kernbauglied angeordnet sind, daß sie eine gemeinsame Achse haben, die verteilte Kapazität gleich erzeugt, und ein Verteilungskonstant-Typ-Mehrschicht-Induktor kann erhalten werden.

Außerdem sind die zweiten Trennabschnitte, die den Umfang des Kernbauglieds umgeben, zwischen einem Bereich, wo die Dünn­ filmspulen vorgesehen sind, und Bereichen vorgesehen, wo die Anschlußelektroden vorgesehen sind, damit die getrennten Be­ reiche, die elektrisch von den Dünnfilmspulen abgetrennt wer­ den, unter den Anschlußelektroden gebildet werden, und folg­ lich wird, selbst wenn die Schichten unter den Anschluße­ lektroden kurzgeschlossen werden, ein Teil der Spulen elekt­ risch nicht kurzgeschlossen, und Schaltungskonstanten sollen nicht geändert werden.

Claims (6)

1. Mehrschicht-Induktor (40; 40a; 40b) mit folgenden Merkma­ len:
einem Kernbauglied (11);
einer Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die spi­ ralförmig gewickelt sind und auf der Oberfläche des Kern­ bauglieds (11) laminiert sind, und
Anschlußelektroden (1, 2), die an den Endabschnitten des Kernbauglieds vorgesehen sind, wobei die Wicklungsrichtun­ gen der benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die iso­ lierende Schichten (27, 28) zwischen sich aufweisen, ent­ gegengesetzt zueinander sind, und wobei die Mehrzahl der Dünnfilmspulen (22, 23, 24) elektrisch in Reihe geschaltet ist.

2. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 1, der ferner erste Trennabschnitte zum elektrischen Verschalten der Dünnfilmspulen (22, 23, 24) in Reihe aufweist, wobei die ersten Trennabschnitte zwischen einem Bereich, an dem die Dünnfilmspulen (22, 23, 24) vorgesehen sind, und den Be­ reichen angeordnet sind, an denen Anschlußelektroden (1, 2) vorgesehen sind, um den Umfang des Kernbaugliedes (11) zu umgeben, wobei die benachbarten Dünnfilmspulen (22, 23, 24), die die isolierenden Schichten zwischen sich aufweisen, durch einen Öffnungsabschnitt zum Verbinden der Dünnfilmspulen elektrisch in Reihe geschaltet sind, die in den isolieren­ den Schichten (27, 28) vorgesehen sind.

3. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß Anspruch 2, der ferner zweite Trennabschnitte zum Bilden von getrennten Bereichen (13a, 14a), die von den Dünnfilmspulen (22, 23, 24) unter den Anschlusselektroden (1, 2) elektrisch getrennt sind, aufweist, wobei die zweiten Trennabschnitte, die zwischen dem Bereich, an dem die Dünnfilmspulen vorgesehen sind, und den Bereichen angeordnet sind, an denen Anschluße­ lektroden vorgesehen sind, um den Umfang des Kernbauglieds zu umgeben.

4. Mehrschichtinduktor (40) gemäß Anspruch 2 oder Anspruch 3, bei dem zumindest entweder der Anfang oder das Ende der Spule, die die Mehrzahl von Dünnfilmspulen (22, 23, 24) umfaßt, die elektrisch in Reihe geschaltet sind, mit der Anschlußelektrode durch Herausführungsöffnungsabschnitte (41, 42) elektrisch verbunden ist, die in den isolierenden Schichten vorgesehen sind.

5. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Kernbauglied (11) hantelförmig ist.

6. Mehrschicht-Induktor (40) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem ein Identifikationsabschnitt (67) zum Identifi­ zieren der Richtung des Kernbauglieds (11) auf zumindest entweder einer Endfläche oder einer Seitenfläche des Kern­ bauglieds (11) vorgesehen ist.