DE10043882A1 - Dielektrische Keramik zusammensetzung und monolitisches Keramikbauteil - Google Patents
Dielektrische Keramik zusammensetzung und monolitisches KeramikbauteilInfo
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Abstract
Eine dielektrische Keramikzusammensetzung weist 100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils, 0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestandteils, der ein auf SiO¶2¶ basierendes bleioxidfreies Glas aufweist, und 20 Gewichtsteile oder weniger eines zweiten sekundären Bestandteils auf, der Manganoxid (MnO) aufweist. Der primäre Bestandteil ist dargestellt durch die Formel x(Ba¶alpha¶Ca¶beta¶Sr¶gamma¶)O-Y[(TiO¶2¶)¶1-m¶(ZrO¶2¶)¶m¶]-zRe¶2¶O¶3¶, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; alpha + beta + gamma = 1; 0 beta + gamma < 0,8; 0 m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist. Der Molenbruch (x, y, z) von (Ba¶alpha¶Ca¶beta¶Sr¶gamma¶)O, (TiO¶2¶)¶1-m¶(ZrO¶2¶)¶m¶ und Re¶2¶O¶3¶ liegt abhängig von dem Gehalt der Keramikzusammensetzung innerhalb eines von Punkten (A, B, C, D) in einem ternären Diagramm umgebenen Bereichs. Die dielektrische Keramikzusammensetzung lässt sich bei niedriger Temperatur sintern und zeigt eine hohe spezifische Dielektrizitätskonstante und einen hohen Q-Wert. Die dielektrische Keramikzusammensetzung ist zur Herstellung monolithischer Keramikbauteile, wie z. B. monolithischer Keramikkondensatoren und monolithischer LC-Filter, geeignet (Fig. 1).
Description
Diese Erfindung betrifft dielektrische Keramikzusammen
setzungen zur Temperaturkompensation und monolithische
Keramikbauteile, z. B. monolithische Keramikkondensatoren und
monolithische LC-Filter, bei denen die dielektrischen
Keramikzusammensetzungen Verwendung finden.
Keramikkondensatoren zur Temperaturkompensation werden häufig
zur Abstimmung und Resonanz in verschiedenen elektronischen
Vorrichtungen eingesetzt. Von diesen Kondensatoren wird
gefordert, dass sie kompakt sind, einen geringen
dielektrischen Verlust sowie stabile dielektrische
Eigenschaften aufweisen. Deshalb sind dielektrische Keramiken
erforderlich, die große Dielektrizitätskonstanten und einen
geringen dielektrischen Verlust (hohe Q-Werte) bei
gleichzeitig verringerter Größe haben.
H. M. O'Brayan; in J. Am. Ceram. Soc., 57, (1974), 450 und
die japanische geprüfte Patentanmeldung mit der
Veröffentlichungsnummer 58-20905 beschreiben derartige
dielektrische BaO-Ti2-Keramikzusammensetzungen, und solche
dielektrische Keramikzusammensetzungen verwendenden,
monolithischen Keramikkondensatoren werden praktisch
eingesetzt. Weil derartige dielektrische Keramikzusammen
setzungen bei hohen Temperaturen von 1300°C bis 1400°C
gesintert werden, müssen für die Innenelektroden
hochtemperaturfeste Metalle, wie z. B. Palladium (Pd) und
Platin (Pt) eingesetzt werden.
In den vergangenen Jahren sind auch dielektrische
Keramikzusammensetzungen, die bei niedrigen Temperaturen
gesintert werden können, beschrieben worden, z. B. eine
dielektrische Keramikzusammensetzung, die aus einem primären
BaO-TiO2-Nd2O3-Bestandteil und einem PbO-ZnO-B2O3-Al2O3-SiO2-
Glas besteht (japanische ungeprüfte Patentanmeldung mit der
Veröffentlichungsnummer 5-234420); eine dielektrische
Keramikzusammensetzung, die aus einer auf einem BaO-TiO2-Nd2O3-
basierenden Primärbestandteil und aus PbO-V2O5-B2O3-SiO2-Glas
besteht (japanische ungeprüfte Patentanmeldung mit der
Veröffentlichungsnummer 8-239262) sowie eine dielektrische
Keramikzusammensetzung, die aus einem auf BaO-TiO2-Nd2O3-Sm2O3-
beruhenden Primärbestandteil und einem PbO-ZnO-B2O3-Glas
besteht, welches einen Erweichungspunkt von 500°C oder
weniger hat (japanische ungeprüfte Patentanmeldung mit der
Veröffentlichungsnummer 9-71462).
Diese dielektrischen Keramikzusammensetzungen enthalten
Gläser, die Bleioxid (PbO) enthalten, um das Sintern bei
niedrigen Temperaturen zu erleichtern. Bleioxid erwies sich
jedoch beim Sintern als hochflüchtig und ergab somit in der
gleichen Charge oder in verschiedenen Chargen bei der
Glasherstellung und bei der Keramiksinterung unterschiedliche
Bleioxidgehalte. Deshalb variierten die Eigenschaften der
hergestellten Keramikzusammensetzungen.
Die japanische ungeprüfte Patentanmeldung mit der
Veröffentlichungsnummer 9-71462 beschreibt, dass die meisten
bleioxidfreien Gläser Erweichungspunkte über 500°C haben und
deshalb für die Sinterung bei niedrigen Temperaturen
ungeeignet sind.
Es ist deshalb Aufgabe dieser Erfindung, eine dielektrische
Keramikzusammensetzung für die Temperaturkompensation zu
erzielen, die eine hohe spezifische Dielektrizitätskonstante
und einen hohen Q-Wert hat, bei niedrigen Temperaturen
gesintert werden kann und die die Herstellung einer
Sinterkeramik mit stabilen Kennwerten und hoher
Zuverlässigkeit erlaubt.
Es ist eine andere Aufgabe der Erfindung, ein monolithisches
Keramikbauteil, z. B. einen monolithischen Keramikkondensator
oder ein monolithisches LC-Filter anzugeben, das ein solches
monolithisches Keramikbauteil verwendet.
Übereinstimmend mit einem ersten Aspekt dieser Erfindung
weist eine dielektrische Keramikzusammensetzung 100 Gewichtsteile
eines primären Bestandteils, 0,1 bis 25 Gewichtsteile
eines ersten sekundären Bestandteils, der ein
bleioxidfreies, auf SiO2 beruhendes Glas enthält und mehr als
0,5 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten, Manganoxid (MnO)
enthaltenden Sekundärbestandteils auf, wobei der primäre
Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] -
zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α
+ β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re
wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y,
z) von x(BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 in einem Bereich
liegt, der durch die Punkte A (7, 85, 8); B (7, 59, 34); C
(0, 59, 41); und D (0, 85, 15) in einem ternären, in Fig. 1
gezeigten Diagramm umgeben ist, wobei die Linie AB nicht
enthalten ist.
Übereinstimmend mit einem zweiten Aspekt der Erfindung weist
eine dielektrische Keramikzusammensetzung 100 Gewichtsteile
eines primären Bestandteils, 0,1 bis 25 Gewichtsteile eines
ersten sekundären Bestandteils, der ein auf SiO2 basierendes
bleioxidfreies Glas aufweist, und mehr als 1,5 bis 20 Gewichtsteile
eines zweiten, Manganoxid (MnO) enthaltenden
sekundären Bestandteils auf, wobei der primäre Bestandteil
durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3
dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β +
γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind; und Re wenigstens
ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y, z) von
(BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 in einem Bereich liegt,
der von den Punkten A' (10, 85, 5); B' (10, 59, 31); C' (7,
59, 34) und D' (7, 85, 8) in einem in Fig. 2 gezeigten
ternären Diagramm umgeben ist, wobei die Linie AB nicht
enthalten ist.
Übereinstimmend mit einem dritten Aspekt dieser Erfindung
weist eine dielektrische Keramikzusammensetzung 100 Gewichtsteile
eines primären Bestandteils, 0,1 bis 25 Gewichtsteile
eines ersten sekundären Bestandteils, das
bleioxidfreies auf SiO2 basierendes Glas aufweist, und mehr
als 3,0 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären
Bestandteils auf, das Manganoxid (MnO) enthält, wobei der
primäre Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-
m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf
Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind
und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch
(x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb
eines Bereichs liegt, der von den Punkten A" (30, 70, 0);
B" (30, 49, 11); C" (10, 59, 31); D" (10, 85, 5), und
E" (15, 85, 0) in einem in Fig. 3 gezeigten ternären
Diagramm umgeben ist.
In den, dem ersten bis dritten Aspekt entsprechenden
Zusammensetzungen weist der erste sekundäre Bestandteil
bevorzugt ein auf B2O3-SiO2 beruhendes, bleioxidfreies Glas
auf.
Die dielektrischen Keramikzusammensetzungen gemäß diesen
Aspekten weisen bevorzugt weiterhin 10 Gewichtsteile oder
weniger Kupferoxid (CuO) als dritten sekundären Bestandteil
auf.
Gemäß einem vierten Aspekt weist ein monolithisches
Keramikbauteil mehrere dielektrische Keramiklagen, zwischen
den dielektrischen Keramiklagen gebildete Innenelektroden und
mit den Innenelektroden verbundene Außenelektroden auf, wobei
die dielektrischen Keramiklagen die dielektrische
Keramikzusammensetzung gemäß einem der drei Aspekte der
Erfindung und die Innenelektroden eines der Metalle Cu und Ag
als Primärbestandteil aufweisen.
Beispiele der Seltenerdelemente Re enthalten in dieser
Erfindung La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm,
Yb und Lu.
Die erfindungsgemäße dielektrische Keramikzusammensetzung
kann bei der Temperatur 1060°C oder weniger gesintert werden
und hat eine spezifische Dielektrizitätskonstante von 30 oder
mehr im ersten Aspekt, 50 oder mehr im zweiten Aspekt oder 60
oder mehr im dritten Aspekt, einen Q-Wert von 1000 oder mehr
bei 1 MHz und einen Temperaturkoeffizienten der Kapazität
(TCC) von ±30 ppm/°C im ersten Aspekt, ±60 ppm/°C im
zweiten Aspekt oder ±120 ppm/°C im dritten Aspekt. Da diese
Zusammensetzungen kein flüchtiges Bleioxid enthalten, bleiben
die Eigenschaften der dielektrischen Keramikzusammensetzung
stabil.
Ein monolithisches Keramikbauteil, wie z. B. ein
monolithischer Keramikkondensator oder ein monolithisches LC-
Filter, die aus einer derartigen dielektrischen
Keramikzusammensetzung bestehende dielektrische Keramiklagen
enthalten, haben eine hohe Feuchtewiderstandsfähigkeit.
Darüber hinaus können kostengünstige Elektrodenmaterialien,
wie Kupfer und Silber, in einem erfindungsgemäßen
monolithischen Keramikbauteil verwendet werden. Deshalb kann
dieses monolithische Keramikbauteil mit reduzierten
Materialkosten hergestellt werden.
Fig. 1 ist ein ternäres Diagramm, das den Bereich des
bevorzugten Molenbruchs von (BaαCaβSrγ)O; (TiO2)1-m(ZrO2)m und
Re2O3 in einem primären Bestandteil einer, einem ersten Aspekt
dieser Erfindung entsprechenden dielektrischen
Keramikzusammensetzung zeigt;
Fig. 2 ist ein ternäres Diagramm, das den Bereich des
bevorzugten Molenbruchs von (BaαCaβSrγ)O; (TiO2)1-m(ZrO2)m und
Re2O3 in einem primären Bestandteil in einer mit einem
zweiten Aspekt dieser Erfindung übereinstimmenden
dielektrischen Keramikzusammensetzung zeigt;
Fig. 3 ist ein ternäres Diagramm, das den Bereich des
bevorzugten Molenbruchs von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und
Re2O3 in einem primären Bestandteil in einer mit einem
dritten erfindungsgemäßen Aspekt übereinstimmenden
dielektrischen Keramikzusammensetzung zeigt;
Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht eines einer
Ausführungsform dieser Erfindung entsprechenden
monolithischen Keramikkondensators;
Fig. 5 ist eine ebene Ansicht einer mit einer Innenelektrode
versehenen dielektrischen Keramiklage in dem monolithischen
Keramikkondensator, wie er in Fig. 4 gezeigt ist, und
Fig. 6 ist eine isometrische Explosionsansicht von
Keramiklagen in dem in Fig. 4 gezeigten monolithischen
Keramikkondensator.
Eine Grundstruktur eines mit einer Ausführungsform dieser
Erfindung übereinstimmenden monolithischen Keramikkon
densators wird nun, bezogen auf die Zeichnung, beschrieben.
Fig. 4 ist eine Querschnittsansicht eines monolithischen
Keramikkondensators, Fig. 5 eine ebene Ansicht einer
dielektrischen Keramiklage mit Innenelektrode in dem in Fig.
4 dargestellten monolithischen Keramikkondensator und Fig. 6
eine isometrische Explosionsansicht von in dem in Fig. 4
gezeigten monolithischen Keramikkondensator enthaltenen
Keramiklagen.
Bezogen auf Fig. 4 enthält ein monolithischer Keramikkon
densator 1 in dieser Erfindung einen rechtwinkligen parallel
epipedförmigen Keramikverbundkörper 3, der durch Laminieren
mehrerer dielektrischer Keramiklagen 2a und 2b mit
Innenelektroden 4 zwischen den dielektrischen Keramiklagen 2a
und 2b gebildet ist. Der Keramikverbundkörper 3 ist mit
Außenelektroden 5 auf beiden Stirnseiten versehen. Zusätzlich
sind, wenn nötig, eine erste und zweite Plattierlage 6 und 7
darauf gebildet. Jede Außenelektrode 5 ist elektrisch mit
vorbestimmten Innenelektroden 4 verbunden.
Nun wird ein Verfahren zur Herstellung des monolithischen
Keramikkondensators 1 beschrieben.
Ein pulverisiertes Gemisch, das eine vorbestimmte
Zusammensetzung hat, wird für die dielektrischen Keramiklagen
2a und 2b bereitet. Das Gemisch enthält einen auf BaO-TiO2-
Re2O3 beruhenden primären Bestandteil, einen ersten
sekundären Bestandteil aus bleioxidfreiem, auf SiO2
basierendem oder B2O3-SiO2 basierendem Glas, und einen zweiten
sekundären Bestandteil aus MnO. Bei dem primären Bestandteil
kann Ba durch Ca oder Sr und TiO2 durch ZrO2 ersetzt sein.
Bevorzugt enthält das Pulvergemisch weiterhin Kupferoxid
(CuO) als dritten sekundären Bestandteil.
Dem Pulvergemisch wird unter Bildung eines Breis ein
organischer Binder zugegeben. Der Brei wird zur Bildung von
Grünblättern für die dielektrischen Keramiklagen 2a und 2b
ausgestrichen. Wie die Fig. 5 zeigt, wird eine primär aus Cu
oder Ag bestehende Innenelektrode 4 auf einer Oberfläche
jedes der Grünblätter durch Siebdruck, Abscheiden oder
Plattieren gebildet. Die mit den Innenelektroden 4 versehenen
Grünblätter werden als dielektrische Keramiklagen 2b
verwendet.
Bezogen auf Fig. 6 wird eine erforderliche Zahl von mit den
Innenelektroden 4 versehenen Grünblättern laminiert und das
Laminat zwischen zwei Grünblätter angeordnet, die als
dielektrische Keramiklagen ohne Innenelektroden bereitet
werden. Diese Grünblätter werden unter Bildung eines
Grünverbundkörpers gepresst. Der Grünverbundkörper wird bei
einer vorbestimmten Temperatur unter Bildung eines in Fig. 4
gezeigten Keramikverbundkörpers 3 gesintert.
Außenelektroden 5 werden auf beiden Stirnflächen des
Keramikverbundkörpers 3 so gebildet, dass die Außenelektroden
5 elektrisch mit den Innenelektroden 4 verbunden sind. Das
Material für die Außenelektroden 5 kann dasselbe sein, wie
das für die Innenelektroden 4. Z. B. lässt sich eine Silber-
Palladium-Legierung verwenden. Alternativ kann das Material
auch aus einem Pulver der Legierung und Glasfritte bestehen,
die aus einem auf B2O3-SiO2-BaO oder auf Li2O-SiO2-BaO
basierenden Glas besteht. Ein geeignetes Material kann
abhängig von der Anwendung, der betrieblichen Umgebung und
dgl. des monolithischen Keramikkondensators bestimmt werden.
Die Außenelektroden 5 werden durch Aufbringen und Brennen
einer pulverisierten Metallpaste auf dem Keramikverbundkörper
3 gebildet. Alternativ kann die Paste auf dem
Grünverbundkörper aufgebracht und zusammen mit dem
Grünverbundkörper gesintert werden, um den keramischen
Verbundkörper 3 zu bilden.
Die ersten Plattierlagen 6, die aus Nickel oder Kupfer
bestehen, werden auf den Außenelektroden 5 und dann die
zweiten Plattierlagen 7, die aus Zinn oder Lot bestehen, auf
den ersten Plattierlagen 6 gebildet. Damit ist der
monolithische Keramikkondensator 1 vervollständigt. Die
ersten Plattierlagen 6 und die zweiten Plattierlagen 7 können
je nach Verwendung und betrieblicher Umgebung des
monolithischen Keramikkondensators auch weggelassen werden.
Wie oben beschrieben, kann die als Dielektrikum des
monolithischen Keramikkondensators verwendete dielektrische
Keramikzusammensetzung dieser Erfindung bei einer niedrigen
Temperatur gesintert werden, die unter dem Schmelzpunkt von
Cu und Ag liegt. Die sich ergebende dielektrische
Keramikzusammensetzung hat in dem ersten Aspekt der Erfindung
eine spezifische Dielektrizitätskonstante von 30 oder mehr,
im zweiten Aspekt der Erfindung von 50 oder mehr und im
dritten Aspekt der Erfindung von 60 oder mehr, einen Q-Wert
von 1000 oder mehr bei 1 MHz und einen kleinen
Temperaturkoeffizienten der Kapazität (TCC) von ±30 ppm/°C
im ersten Aspekt, ±60 ppm/°C im zweiten Aspekt und ±120 ppm/°C
im dritten Aspekt. Wenn der erste sekundäre
Bestandteil das bleioxidfreie auf B2O3-SiO2 beruhende Glas
aufweist, wird das Sintern bei niedrigen Temperaturen
erleichtert. Der dritte sekundäre Bestandteil Kupferoxid
fördert das Sintern bei niedrigen Temperaturen noch mehr.
Diese Erfindung wird nun mehr im Einzelnen beschrieben.
In Übereinstimmung mit dem ersten Aspekt dieser Erfindung
gebildete dielektrische Keramikzusammensetzungen und ein
daraus hergestellter Keramikkondensator werden wie folgt
bereitet. Als Ausgangspulvermaterialien werden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3) und Kupferoxid (CuO) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe werden übereinstimmend mit der
Formel für den primären Bestandteil, den zweiten sekundären
Bestandteil und den dritten sekundären Bestandteil, wie sie
in Tabellen 1 und 2 gezeigt sind, 16 Stunden lang mit einer
Kugelmühle unter Bildung von Breien nass gemischt, und die
Breie werden dann getrocknet. Die getrockneten Mischungen
werden pulverisiert und bei 1040°C unter Bildung von
calcinierten Pulvern calciniert. Jedes calcinierte Pulver hat
einen mittleren Teilchendurchmesser von 0,9 µm. In den
Tabellen 1 und 2 sind der MnO-Gehalt als der zweite sekundäre
Bestandteil, der CuO-Gehalt als der dritte sekundäre
Bestandteil in Form von Gewichtsteilen zu 100 Gewichtsteilen
des Primärbestandteils {x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3}
dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β +
γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens
ein Seltenerdelement ist. In den Tabellen 1 und 2 geben die
mit Sternchen versehenen Probennummern an, dass die Proben
aus dem Bereich dieser Erfindung fallen, wohingegen die
anderen Proben innerhalb des Bereichs dieser Erfindung
liegen.
Außerdem wurden Glaspulver, die auf SiO2 basieren und
Glaspulver, die auf B2O3-SiO2 basieren und die aus den
Glasarten A bis G und I bestehen, als erste sekundäre
Bestandteile gemäß den in Tabelle 3 aufgelisteten Rezepturen,
in denen der Koeffizient jedes Oxids durch Gewichtsprozente
dargestellt ist, bereitet.
| Glasart | |
| Zusammensetzung (Gewichts-%) | |
| A | 33B2O3-47SiO2-17BaO-3Al2O3 |
| B | 50SiO2-30Li2O-17BaO-3Al2O3 |
| C | 25B2O3-35SiO2-40BaO |
| D | 15B2O3-15SiO2-60BaO-5Li2O-5Al2O3 |
| E | 17B2O3-17SiO2-46BaO-10CaO-10SrO |
| F | 35B2O3-30SiO2-35ZnO |
| G | 18B2O3-19SiO2-60BaO-3Li2O |
| H | 15B2O3-85SiO2 |
| I | 60SiO2-20Li2O-15CaO-5Al2O3 |
Die calcinierten Pulver und Glaspulver wurden mit einer
Polyvinyl-Butyral-Lösung unter Bildung von Breien
übereinstimmend mit den in den Tabellen 1 und 2 aufgelisteten
Rezepturen gemischt. Jeder Brei wurde mit einem
Rakelverfahren zur Bildung von Grünblättern, die jeweils eine
Dicke von 50 µm haben, ausgestrichen. Der Glasgehalt ist
durch Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des
Primärbestandteils dargestellt.
Dann wurden 13 Grünblätter laminiert, verpresst und daraus
ein Grünverbundkörper durch Ausstanzen ausgeschnitten, der
einen Durchmesser von 14 mm und eine Dicke von 0,5 mm hatte.
Der Grünverbundkörper wurde zum Austreiben des Binders in
einer Stickstoffatmosphäre auf 350°C erhitzt und dann bei der
Sintertemperatur, die in einer der Tabellen 4 oder 5 gezeigt
ist, zwei Stunden lang in einer auf Wasserstoff-Stickstoff-
Wasserstoffoxid-beruhenden, reduzierenden Atmosphäre zur
Bildung eines plattenförmigen Keramikverbundkörpers
gesintert. In-Ga-Elektroden wurden durch Beschichtung der
beiden Hauptflächen des hergestellten Keramikverbundkörpers
zur Bildung eines einlagigen Keramikkondensators ausgebildet.
Elektrische Kennwerte jedes Keramikkondensators wurden
gemessen. Die elektrostatische Kapazität und der Q-Wert
wurden bei 20°C, der Frequenz 1 MHz und der Spannung 1 Veff
gemessen. Die spezifische Dielektrizitätskonstante (εr) wurde
aus dem Durchmesser (D) und der Dicke (T) der Probe und der
elektrostatischen Kapazität berechnet. Der Wert TCC wurde mit
der nachfolgenden Gleichung (1) berechnet:
TCC = {(Cap85 - Cap20)/[Cap20 × (85 - 20)]} × 106 [ppm/°C] (1),
worin Cap20 die elektrostatische Kapazität [pF] bei 20°C und
Cap85 die elektrostatische Kapazität [pF] bei 85°C angeben.
Die Ergebnisse sind in den Tabellen 4 und 5 gezeigt. In den
Tabellen 4 und 5 geben die mit einem Sternchen versehenen
Probennummern an, dass die Proben aus dem Bereich dieser
Erfindung fallen, wohingegen die anderen Proben im Bereich
der Erfindung liegen.
Gemäß den Tabellen 1 und 4 haben die Keramikkondensatoren in
Übereinstimmung mit dem ersten Aspekt dieser Erfindung, die
durch die Probennummern 5 bis 7, 10, 16 bis 18, 20, 21, 23
bis 25, 27 und 28 dargestellten Zusammensetzungen und
bestanden jeweils aus dem primären Bestandteil, dem auf SiO2
beruhenden bleioxidfreien Glas als erster sekundärer
Bestandteil und Manganoxid als zweiter sekundärer
Bestandteil. Jeder dielektrische Keramikkondensator hat eine
hohe spezifische Dielektrizitätskonstante von 30 oder mehr,
einen hohen Q-Wert von 1000 oder mehr bei 1 MHz und einen
kleinen TCC-Wert, der im Bereich ±30 ppm/°C liegt. Darüber
hinaus kann die dielektrische Keramikzusammensetzung bei
1060°C oder weniger gesintert werden, was unterhalb des
Schmelzpunktes (1083°C) von Kupfer liegt.
Wie die Probennummern 21, 23, 27 und 28 zeigen, wird, wenn
der erste Sekundärbestandteil ein auf B2O3-SiO2 beruhendes
bleioxidfreies Glas ist, das Sintern der dielektrischen
Keramik bei niedriger Temperatur erleichtert.
Wie die Probennummern 35 und 36 in den Tabellen 2 und 5
zeigen, wird, wenn CuO als dritter Sekundärbestandteil
enthalten ist, das Sintern der dielektrischen Keramik bei
niedriger Temperatur weiter gefördert. Da keine der
Zusammensetzungen flüchtiges Bleioxid enthält, lässt sich die
keramische Zusammensetzung ohne Variation verschiedener
Kennwerte sintern.
Der Grund für die Beschränkung der Zusammensetzung im ersten
Aspekt dieser Erfindung wird nun erläutert.
Da in den Proben Nr. 1 bis 4, wie sie in den Tabellen 1 und 4
gezeigt sind, der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O,
(TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 in dem primären Bestandteil, der
durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3
dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β +
g = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens
ein Seltenerdelement ist, nicht innerhalb des durch die
Punkte A (7, 85, 8), und B (7, 59, 34); C (0, 59, 41) und D
(0, 85, 15) in dem in Fig. 1 gezeigten ternären Diagramm
liegt, fällt der Wert TCC aus dem Bereich von ±30 ppm/°C
heraus, und die keramische Zusammensetzung kann bei 1060°C,
was unter dem Schmelzpunkt 1083°C von Kupfer liegt, nicht
gesintert werden, oder der Q-Wert liegt unter 1000. Deshalb
liegt der Molenbruch (x, y, z) des primären Bestandteils
bevorzugt in dem durch die Punkte A (7, 85, 8), und B (7, 59,
34); C (0, 59, 41) und D (0, 85, 15) umgebenen Bereich, wobei
die Linie AB nicht enthalten ist. Wenn der Gesamtmolenbruch x
von Ba, Ca und Sr den Wert 7 überschreitet, liegt der Wert
TCC außerhalb des Bereichs von ±30 ppm/°C. Deshalb ist der
bevorzugte Wertebereich von x : 0 ≦ x < 7. Wenn der
Gesamtmolenbruch y von Ti und Zr kleiner als 59 ist, lässt
sich die Zusammensetzung wegen schlechter Sinterbarkeit nicht
bei 1060°C sintern. Wenn der Gesamtmolenbruch y den Wert 85
überschreitet, ist der Q-Wert kleiner als 1000. Deshalb ist
der bevorzugte Wertebereich von y : 59 ≦ y ≦ 85.
Wenn Ba teilweise durch Ca und Sr ersetzt ist, wie die Proben
Nummer 5 bis 7 zeigen, erhöht sich die Dielektrizitäts
konstante. Wenn der Gesamtmolenbruch (β + γ) von Ca und Sr
jedoch 0,8 oder mehr ist, wie die Probe Nr. 8 zeigt, kann die
Zusammensetzung nicht bei 1060°C gesintert werden. Deshalb
liegt der bevorzugte Gesamtmolenbruch im Bereich 0 ≦ β + γ <
0,8.
Wenn TiO2 zum Teil durch ZrO2 ersetzt ist, wird die Reduktion
der Oxide im primären Bestandteil verhindert. Somit lassen
sich die Keramikzusammensetzung und ein Kupferleiter
gleichzeitig in einer reduzierenden Atmosphäre sintern. Wenn
der ZrO2-Bruch m 0,15 übersteigt, wie dies in Probe Nummer 11
der Fall ist, lässt sich die Zusammensetzung bei 1060°C nicht
sintern. Deshalb liegt der bevorzugte Wert des ZrO2-Bruchs im
Bereich 0 ≦ m < 0,15.
Wenn die Zusammensetzung bleifreies Glas als ersten
sekundären Bestandteil enthält, wie dies die Proben Nr. 16
bis 18 aufweisen, ist die Sinterbarkeit verbessert. Wenn der
Glasgehalt a kleiner als 0,1 Gewichtsteile ist, wie bei der
Probe Nr. 15, lässt sich die Zusammensetzung nicht bei 1060°C
sintern. Wenn der Glasgehalt den Wert 25 überschreitet, wie
dies bei der Probe Nr. 19 der Fall ist, ist der Q-Wert
kleiner als 1000. Deshalb liegt der bevorzugte Glasgehalt a
im Bereich 0,1 ≦ a ≦ 25.
Wenn die Zusammensetzung MnO als zweiten sekundären
Bestandteil enthält, wie bei den Proben Nr. 23 bis 25, ist
die Sinterbarkeit verbessert und der Wert TCC verringert und
zur positiven Seite hin verschoben. Wenn der MnO-Gehalt b 0,5 Gewichtsteile
oder weniger ist, wie dies in Probe Nummer 22
der Fall ist, fällt der TCC-Wert aus dem Bereich von ±30 ppm/°C.
Wenn der MnO-Gehalt b 20 Gewichtsteile überschreitet,
wie in Probe Nr. 26 gezeigt, ist der Q-Wert kleiner als 1000.
Deshalb liegt der bevorzugte Mn-Gehalt b im Bereich 0,5 < b
≦ 20.
Kupferoxid (CuO) trägt als dritter sekundärer Bestandteil zur
Verbesserung der Sinterbarkeit bei. Wenn der CuO-Gehalt c 10 Gewichtsteile
überschreitet, wie dies die Probe Nummer 37 in
den Tabellen 2 und 5 zeigt, liegt der Q-Wert unter 1000.
Somit liegt der bevorzugte CuO-Gehalt c im Bereich c ≦ 10.
In Übereinstimmung mit dem ersten Aspekt dieser Erfindung
wurde ein monolithischer Keramikkondensator wie folgt
bereitet.
Als Ausgangspulvermaterialien wurden Bariumcarbonat (BaCO3),
Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3), Titanoxid
(TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3) und Kupferoxid (CuO) bereitet.
Diese Pulverstoffe wurden mit Ethanol in einer Kugelmühle 16 Stunden
lang übereinstimmend mit bei der Probe Nummer 41 in
Tabelle 6 angegebenen Rezeptur für den primären Bestandteil,
den zweiten sekundären Bestandteil und den dritten sekundären
Bestandteil, unter Bildung eines Breis nass gemischt und der
Brei dann getrocknet. Die getrocknete Mischung wurde bei
1040°C unter Bildung eines calcinierten Pulvers calciniert.
In Tabelle 6 wurden der Mn-Gehalt als der zweite sekundäre
Bestandteil und der CuO-Gehalt als der dritte sekundäre
Bestandteil durch Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des
Primärbestandteils {x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - Re2O3}
dargestellt, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ =
1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein
Seltenerdelement ist. In Tabelle 6 geben die mit einem
Sternchen versehenen Proben an, dass die Probe außerhalb des
Bereichs der Erfindung liegt.
Weiterhin wurde Glaspulver des Glastyps H (15 B2O3-85SiO2) als
erster sekundärer Bestandteil gemäß der in Tabelle 3
enthaltenen Rezeptur bereitet, in der der Koeffizient jedes
Oxids durch Gewichtsprozente angegeben war.
Danach wurden 10 Gewichtsteile des calcinierten Pulvers und
10 Gewichtsteile des Glaspulvers mit einer Polyvinyl-Butyral-
Lösung unter Bildung eines Breis vermischt. Der Brei wurde
mittels einer Rakel ausgestrichen und dann Grünblätter
gebildet. Eine primär aus Kupfer bestehende Schicht einer
leitenden Paste wurde auf jedes Grünblatt aufgedruckt, um
eine Innenelektrode zu bilden. Mehrere mit den
Innenelektroden versehene Grünblätter wurden übereinander
laminiert, so dass die aus leitender Paste bestehenden Lagen
abwechselnd an den beiden Stirnseiten des Laminats frei
lagen, und eine primär aus Kupfer bestehende leitende Paste
wurde auf die beiden Stirnflächen des Laminats unter Bildung
eines Grünverbundkörpers aufgebracht. Der Grünverbundkörper
wurde in einer Stickstoffatmosphäre zur Entfernung des
Binders auf 350°C erhitzt und dann 2 Stunden lang in einer
auf Wasserstoff-Stickstoff-Wasserstoffoxid-basierenden
reduzierenden Atmosphäre bei 1000°C unter Bildung eines
monolithischen Keramikkondensators gesintert.
Der so hergestellte monolithische Keramikkondensator war 1,6 mm
breit, 3,2 mm lang und 1,2 mm dick. Die Dicke der zwischen
den Innenelektroden liegenden dielektrischen Keramiklage
betrug 6 µm. Die Anzahl der effektiven dielektrischen
Keramiklagen war 150.
Als Vergleichsbeispiel wurde ein monolithischer
Keramikkondensator mit der in der Probe Nummer 42 in Tabelle
6 angegebenen dielektrischen Zusammensetzung wie folgt
bereitet.
Als Ausgangspulverstoffe wurden Bariumcarbonat (BaCO3),
Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3), Titanoxid
(TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3), Kupferoxid (CuO), Boroxid (B2O3) und
Siliciumoxid (SiO2) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe wurden dann mit Ethanol in einer
Kugelmühle 16 Stunden lang nass vermischt in Übereinstimmung
mit der Rezeptur für den Primärbestandteil, den zweiten
Sekundärbestandteil und den dritten sekundären Bestandteil,
wie sie in der Probe Nummer 42 in Tabelle 6 gezeigt sind, und
daraus ein Brei gebildet, welcher anschließend getrocknet
wurde. Die getrocknete Mischung wurde bei 1040°C zur Bildung
eines calcinierten Pulvers calciniert. In Tabelle 6 sind der
Mn-Gehalt des zweiten sekundären Bestandteils und der CuO-
Gehalt des dritten sekundären Bestandteils durch
Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des Primärbestandteils
{x(BaαCaβSrγ)O - y(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3} dargestellt, worin x +
y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦
m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist.
Dann wurden 100 Gewichtsteile des calcinierten Pulvers, 1,5 Gewichtsteile
Boroxid (B2O3) und 8,5 Gewichtsteile
Siliciumoxid (SiO2) mit einer Polyvinyl-Butyral-Lösung
gemischt und ein Brei gebildet. Der Brei wurde mit einer
Rakel ausgestrichen und Grünblätter gebildet. Ein
monolithischer Keramikkondensator wurde aus diesen
Grünblättern genauso wie bei der Probe Nummer 41 hergestellt.
Die monolithischen Keramikkondensatoren der Proben Nummer 41
und 42 in Tabelle 6 wurden einem Feuchtigkeitsbelastungstest
unterworfen. Eine Gleichspannung von 16 V wurde
kontinuierlich 250 Stunden lang in einer Atmosphäre bei einem
Druck von 2 atm, 100% rF (relative Feuchte) und 121°C jedem
Kondensator angelegt. Wenn der Isolationswiderstand des
Kondensators während des Tests 1 × 106 Ω oder weniger erreichte,
wurde die Probe als ausgefallen ausgeschieden. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 7 gezeigt. In Tabelle 7 geben die mit einem
Sternchen versehenen Proben an, dass diese Probe aus dem
Bereich der Erfindung herausfällt.
Wie die Probe Nummer 41 in Tabelle 7 zeigt, wurde der
erfindungsgemäße monolithische Keramikkondensator, der das
auf B2O3-SiO2 beruhende Glas enthält, während des
Feuchtigkeitsbelastungstests nicht zerstört und hatte deshalb
eine überragende Feuchtefestigkeit. Im Gegensatz dazu wurde
der der Probe Nummer 42 entsprechende monolithische
Keramikkondensator, der keine auf B2O3-SiO2-Glas beruhende
Glaskomponente und stattdessen Boroxid (B2O3) und
Siliciumoxid (SiO2) enthält, während des
Feuchtigkeitsbelastungstests zerstört und hatte deshalb eine
schlechte Feuchteresistenz. Diese Ergebnisse zeigen, dass die
Feuchtefestigkeit durch die auf B2O3-SiO2-beruhende
Glaskomponente verbessert wird.
Dielektrische Keramikzusammensetzungen in Übereinstimmung mit
dem zweiten Aspekt der Erfindung und daraus hergestellte
Keramikkondensatoren wurden wie folgt bereitet.
Als pulverisierte Ausgangsmaterialien wurden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3) und Kupferoxid (CuO) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe wurden dann 16 Stunden lang in
einer Kugelmühle mit Ethanol übereinstimmend mit den in den
Tabellen 8 und 9 gezeigten Rezepturen für den primären
dritten sekundären Bestandteil unter Bildung von Breien nass
gemischt und die Breie dann getrocknet. Die getrockneten
Mischungen wurden pulverisiert und bei 1040°C zur Bildung
calcinierter Pulver calciniert. Jedes calcinierte Pulver
hatte einen mittleren Teilchendurchmesser von 0,9 µm.
In den Tabellen 8 und 9 wurden der MnO-Gehalt des zweiten
sekundären Bestandteils und der CuO-Gehalt des dritten
sekundären Bestandteils durch Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen
des Primärbestandteils {x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-
m(ZrO2)m] - zRe2O3} angegeben, worin x + y + z = 100 auf
Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind
und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist. In den Tabellen 8
und 9 geben Sternchen an den Probenummern an, dass die Proben
aus dem Bereich der Erfindung herausfallen, wohingegen die
anderen Proben im Bereich der Erfindung liegen.
Außerdem wurden auf SiO2 beruhende Glaspulver und auf B2O3-
SiO2 beruhende Glaspulver, die aus den Glastypen A bis G und
I bestanden, als die ersten sekundären Bestandteile
übereinstimmend mit den in Tabelle 10 gezeigten Rezepturen
gebildet, wobei der Koeffizient jedes Oxids durch
Gewichtsteile dargestellt war.
| Glasart | |
| Zusammensetzung (Gewichtsprozente) | |
| A' | 35B2O3-45SiO2-18BaO-2Al2O3 |
| B' | 53SiO2-32Li2O-13BaO-2Al2O3 |
| C' | 28B2O3-37SiO2-35BaO |
| D' | 19B2O3-16SiO2-58BaO-4Li2O-3Al2O3 |
| E' | 20B2O3-17SiO2-45BaO-9CaO-9SrO |
| F' | 36B2O3-34SiO2-30ZnO |
| G' | 20B2O3-18SiO2-61BaO-1Li2O |
| H' | 20B2O3-80SiO2 |
| I' | 60SiO2-20Li2O-15CaO-5Al2O3 |
Die calcinierten Pulver und die Glaspulver wurden mit einer
Polyvinyl-Butyral-Lösung unter Bildung von Breien gemäß den
in den Tabellen 8 und 9 gezeigten Rezepturen gemischt. Jeder
Brei wurde mit einer Rakel ausgestrichen zur Bildung von
Grünblättern, die jeweils eine Dicke von 50 µm haben. Der
Glasgehalt ist durch Gewichtsteile zu 10 Gewichtsteilen des
primären Bestandteils dargestellt.
Dann wurden 13 Grünblätter laminiert, gepresst und das
Laminat zu einem Grünverbundkörper ausgestanzt, der einen
Durchmesser von 14 mm und eine Dicke von 0,5 mm hat. Der
Grünverbundkörper wurde auf 350°C in einer
Stickstoffatmosphäre zum Entfernen des Binders erhitzt und
dann bei einer bei einer der in Tabelle 11 und 12 gezeigten
Sintertemperaturen zwei Stunden lang in einer reduzierenden
Wasserstoff-Stickstoff-Wasserstoffoxid-Atmosphäre zur Bildung
eines plattenförmigen Keramikverbundkörpers gesintert. Dann
wurden In-Ga-Elektroden durch Beschichtung beider
Hauptflächen des so hergestellten Keramikverbundkörpers
ausgebildet, um einen Keramikkondensator mit einer einzelnen
Lage herzustellen.
Nun wurden elektrische Kennwerte jedes Keramikkondensators
gemessen. Die elektrostatische Kapazität und der Q-Wert
wurden bei 20°C, bei der Frequenz von 1 MHz und einer
Spannung 1 Veff gemessen. Die spezifische Dielektrizitäts
konstante (εr) wurde aus dem Durchmesser (D) und der Dicke
(T) der Probe und der elektrostatischen Kapazität berechnet.
Der Wert von TCC wurde aus der Gleichung (1) berechnet:
TCC = {(Cap85 - Cap20)/[Cap20 × (85 - 20)]} × 106 [ppm/°C] (1)
worin Cap20 die elektrostatische Kapazität [pF] bei 20°C und
Cap85 die elektrostatische Kapazität [pE] bei 85°C angeben.
Die Ergebnisse sind in den Tabellen 11 und 12 gezeigt. In den
Tabellen 11 und 12 geben die mit Sternchen versehenen
Probennummern an, dass die Proben aus dem Bereich dieser
Erfindung herausfallen, wohingegen die anderen Proben im
Bereich der Erfindung liegen.
Wie in den Tabellen 8 und 11 gezeigt ist, haben die
übereinstimmend mit dem zweiten Aspekt dieser Erfindung
hergestellten Keramikkondensatoren die durch die
Probennummern 106 bis 108, 110, 111, 117 bis 119, 121, 122,
124 bis 126, 128 und 129 angegebenen Zusammensetzungen, die
jeweils aus dem primären Bestandteil, dem bleioxidfreien
SiO2-Glas als erstem sekundärem Bestandteil und Manganoxid
als zweitem sekundärem Bestandteil zusammengesetzt sind.
Jeder dielektrische Keramikkondensator hat eine hohe
spezifische Dielektrizitätskonstante von mindestens 50, einen
hohen Q-Wert von mindestens 1000 bei der Frequenz 1 MHz und
einen kleinen TCC-Wert innerhalb des Bereichs ±60 ppm/°C.
Darüber hinaus konnte die dielektrische
Keramikzusammensetzung bei 1060°C oder weniger gesintert
werden, was unter dem Schmelzpunkt von Kupfer (1083°C) liegt.
Wie die Probennummern 122, 124, 128 und 129 zeigen, wird das
Sintern der dielektrischen Keramik bei niedriger Temperatur
erleichtert, wenn der erste sekundäre Bestandteil ein auf
B2O3-SiO2 beruhendes Glas ohne Bleioxid ist.
Wie die Proben mit den Nummern 135 und 136 in den Tabellen 9
und 12 zeigen, wird das Sintern der dielektrischen Keramik
bei niedriger Temperatur weiter gefördert, wenn CuO als
dritter sekundärer Bestandteil enthalten ist. Da keine der
Zusammensetzungen flüchtiges Bleioxid enthält, kann die
Keramikzusammensetzung ohne Fluktuation verschiedener
Kennwerte gesintert werden.
Nachstehend werden die Gründe für die Beschränkung der
Zusammensetzung gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung
beschrieben.
Da in den Proben mit den Nummern 101 bis 104, die in den
Tabellen 8 und 11 gezeigt sind, der Molenbruch (x, y, z) von
(BaαCaβSrγ)O; (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 in dem primären
Bestandteil, der durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1- m
(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf
Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind
und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist, nicht innerhalb
des durch die Punkte A' (10, 85, 5); B' (10, 59, 31); C' (7,
59, 34) und D' (7, 85, 8) in dem in Fig. 2 gezeigten
ternären Diagramm liegt, fällt der TCC-Wert aus dem Bereich
von ±60 ppm/°C, und die Keramikzusammensetzung kann bei
1060°C, was unter dem Schmelzpunkt 1083°C von Kupfer liegt,
nicht gesintert werden, oder der Q-Wert liegt unter 1000.
Deshalb liegt der Molenbruch (x, y, z) in dem primären
Bestandteil bevorzugt in dem durch die Punkte A' (10, 85, 5);
und B' (10, 59, 31); C' (7, 59, 34) und D' (7, 85, 8)
umgebenen Bereich in dem in Fig. 2 gezeigten ternären
Diagramm, wobei die Linie A'B' nicht enthalten ist. Wenn der
Gesamtmolenbruch x von Ba, Ca und Sr kleiner als 7 ist, ist
die Dielektrizitätskonstante 50 oder geringer. Wenn der
Gesamtmolenbruch x 10 oder mehr ist, liegt der Wert TCC
außerhalb des Bereichs von ±60 ppm/°C. Deshalb ist der
bevorzugte Bereich von x : 7 ≦ x < 10. Wenn der
Gesamtmolenbruch y von Ti und Zr kleiner als 59 ist, kann die
Zusammensetzung bei einer Temperatur unterhalb des
Schmelzpunktes von Kupfer (1083°C) nicht gesintert werden.
Wenn der Gesamtmolenbruch y 85 übersteigt, ist der Q-Wert
kleiner als 1000. Deshalb liegt y bevorzugt im Bereich von 59
≦ y ≦ 85.
Wenn Ba teilweise durch Ca und Sr ersetzt ist, wie bei den
Proben Nummer 106 bis 108, wächst die Dielektrizitäts
konstante. Wenn der Gesamtbruch (β + γ)
von Ca und Sr jedoch 0,8 oder mehr ist, wie bei der Probe
Nummer 109, lässt sich die Zusammensetzung nicht bei 1060°C
sintern. Deshalb liegt der Gesamtbruch bevorzugt in einem
Bereich 0 ≦ β + γ < 0,8.
Wenn TiO2 teilweise durch ZrO2 ersetzt ist, wird die
Reduktion der Oxide im Primärbestandteil verhindert. Deshalb
können die Keramikzusammensetzung und ein Kupferleiter
gleichzeitig in einer reduzierenden Atmosphäre gesintert
werden. Wenn der Bruch von ZrO2 0,15 überschreitet, wie bei
der Probe Nummer 112, kann die Zusammensetzung bei 1060°C
nicht gesintert werden. Deshalb liegt der bevorzugte Bruch
von ZrO2 im Bereich 0 ≦ m < 0,15.
Wenn die Zusammensetzung als ersten sekundären Bestandteil
bleifreies Glas enthält, wie bei den Proben Nr. 117 bis 119,
ist die Sinterfähigkeit verbessert. Wenn der Glasgehalt a
kleiner als 0,1 Gewichtsteile ist, wie bei der Probe Nummer 116,
kann die Zusammensetzung bei 1060°C nicht gesintert
werden. Wenn der Glasgehalt 25 übersteigt, wie bei der Probe
Nummer 120, ist der Q-Wert kleiner als 1000. Deshalb liegt
der bevorzugte Glasgehalt a im Bereich 0,1 ≦ a ≦ 25.
Wenn die Zusammensetzung als zweiten sekundären Bestandteil
MnO enthält, wie bei den Proben Nummern 124 bis 126, ist die
Sinterfähigkeit verbessert und der TCC-Wert verringert und
zur positiven Seite hin verschoben. Wenn der MnO-Gehalt b 1,5 Gewichtsteile
oder weniger ist, wie bei der Probe Nr. 123,
fällt der TCC-Wert aus dem Bereich ±60 ppm/°C. Wenn der Mn-
Gehalt b 20 Gewichtsteile übersteigt, wie bei der Proben
Nummer 127, ist der Q-Wert kleiner als 1000. Deshalb liegt
der bevorzugte Mn-Gehalt b im Bereich 1,5 < b ≦ 20.
Kupferoxid (CuO) trägt als dritter sekundärer Bestandteil
zur Verbesserung der Sinterfähigkeit bei. Wenn der
Kupfergehalt c
10 Gewichtsteile überschreitet, wie in der Probe Nummer 137,
in den Tabellen 8 und 12, ist der Q-Wert kleiner als 1000.
Deshalb liegt der bevorzugte CuO-Gehalt c im Bereich c ≦ 10.
Ein monolithischer Keramikkondensator in Übereinstimmung mit
dem zweiten Aspekt dieser Erfindung wurde wie folgt bereitet.
Als die pulverisierten Ausgangsstoffe wurden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3) und Kupferoxid (CuO) bereitet.
Diese pulverisierten Stoffe wurden mit Ethanol in einer
Kugelmühle 16 Stunden lang nass gemischt, übereinstimmend mit
der Rezeptur für den primären Bestandteil, den zweiten
sekundären Bestandteil und den dritten sekundären
Bestandteil, wie sie bei der Probe Nummer 141 in Tabelle 13
gezeigt ist, und daraus ein Brei gebildet und der Brei dann
getrocknet. Die getrocknete Mischung wurde bei 1040°C unter
Bildung eines calcinierten Pulvers calciniert. In Tabelle 13
wurden der MnO-Gehalt als der zweite sekundäre Bestandteil
und der CuO-Gehalt als der dritte sekundäre Bestandteil durch
Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des primären Bestandteils
{x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3} angegeben, worin x + y
+ z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m
< 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement darstellt.
In Tabelle 13 gibt die mit einem Sternchen versehene
Probennummer 142 an, dass die Probe aus dem Bereich der
Erfindung herausfällt.
Weiterhin wurde Glaspulver der Glasart H (20B2O3-80SiO2) als
erster Sekundärbestandteil übereinstimmend mit der Rezeptur,
die in Tabelle 10 gezeigt ist, bereitet, in der der
Koeffizient jedes Oxids durch Gewichtsprozente dargestellt
ist.
Dann wurden 100 Gewichtsteile des calcinierten Pulvers und 10 Gewichtsteile
des Glaspulvers mit einer Polyvinyl-Butyral-
Lösung unter Bildung eines Breis vermischt. Der Brei wurde
mit einer Rakel ausgestrichen, um Grünblätter zu bilden.
Dann wurde auf jedes Grünblatt eine leitende Pastenschicht,
die primär aus Kupfer besteht, zu Bildung einer
Innenelektrode aufgedruckt. Mehrere mit den Innenelektroden
versehene Grünblätter wurden so laminiert, dass die Lagen aus
leitender Paste abwechselnd an beiden Stirnflächen des
Laminats frei lagen und eine hauptsächlich aus Kupfer
bestehende leitende Paste wurde auf beide Stirnflächen des
Laminats zur Bildung eines Grünverbundkörpers aufgebracht.
Dann wurde der Grünverbundkörper in einer
Stickstoffatmosphäre auf 350°C zur Abfuhr des Binders erhitzt
und dann 2 Stunden lang in einer auf Wasserstoff-Stickstoff-
Wasserstoffoxid-basierenden reduzierenden Atmosphäre zur
Bildung eines monolithischen Keramikkondensators gesintert.
Der sich daraus ergebende monolithische Keramikkondensator
war 1,6 mm breit, 3,2 mm lang und 1,2 mm dick. Die Dicke der
dielektrischen Keramiklage zwischen den Innenelektroden
betrug 6 µm. Die Anzahl der effektiven dielektrischen
Keramiklagen war 150.
Als Vergleichsbeispiel wurde ein monolithischer
Keramikkondensator unter Verwendung einer in Probe Nummer 142
in Tabelle 13 gezeigten dielektrischen Zusammensetzung wie
folgt bereitet.
Als pulverförmige Ausgangsstoffe wurden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3), Kupferoxid (CuO), Boroxid (B2O3) und
Siliciumoxid (SiO2) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe wurden in einer Kugelmühle 16 Stunden
lang mit Ethanol übereinstimmend mit der Rezeptur für
den primären Bestandteil, den zweiten sekundären Bestandteil
und den dritten sekundären Bestandteil, wie es die Probe
Nummer 142 in Tabelle 13 zeigt, unter Bildung eines Breis
nass gemischt und der Brei dann getrocknet. Die getrocknete
Mischung wurde bei 1040°C zur Bildung eines calcinierten
Pulvers calciniert. In Tabelle 13 ist der MnO-Gehalt als der
zweite sekundäre Bestandteil und der CuO-Gehalt als der
dritte sekundäre Bestandteil durch Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen
des primären Bestandteils {x(BaαCaβSrγ)O -
y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3} angegeben, worin x + y + z = 100
auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15
sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist.
Dann werden 100 Gewichtsteile des calcinierten Pulvers, 2 Gewichtsteile
Boroxid (B2O3) und 8 Gewichtsteile Siliciumoxid
(SiO2) mit einer Polyvinyl-Butyral-Lösung unter Bildung eines
Breis gemischt. Der Brei wurde mit einer Rakel ausgestrichen
zur Bildung von Grünblättern. Ein monolithischer
Keramikkondensator wurde wie in der Probe Nummer 141
hergestellt.
Die monolithischen Keramikkondensatoren der Proben Nr. 141
und 142 in Tabelle 13 wurden einem Feuchtigkeits
belastungstest unterworfen. Jedem Kondensator wurde eine
Gleichspannung von 16 V 250 Stunden lang in einer Atmosphäre
mit einem Druck von 2 atm, 100% rF (relative Feuchte) und
121°C angelegt. Wenn der Isolationswiderstand des
Kondensators während des Tests den Wert 1 × 106 Ω oder weniger
erreichte, wurde entschieden, dass die Probe ausgefallen ist.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 14 gezeigt. In Tabelle 14 gibt
die mit einem Sternchen versehene
Probennummer an, dass die Probe aus dem Bereich der Erfindung
fällt.
Wie die Probe Nummer 141 in Tabelle 14 zeigt, wurde der
monolithische Keramikkondensator dieser Erfindung, der das
auf B2O3-SiO2 beruhende Glas enthält, während des
Feuchtigkeitsbelastungstests nicht zerstört und zeigte
deshalb überragende Feuchtigkeitsfestigkeit. Im Gegensatz
dazu wurde der der Probe Nummer 142 entsprechende
monolithische Keramikkondensator, der keine Glaskomponente
auf der Basis von B2O3-SiO2 stattdessen jedoch Boroxid (B2O3)
und Siliciumoxid (SiO2) enthielt, während des
Feuchtigkeitsbelastungstests zerstört und zeigte deshalb eine
schlechte Feuchtigkeitswiderstandsfähigkeit. Diese Ergebnisse
zeigen, dass das auf B2O3-SiO2-beruhende Glas zur Verbesserung
der Feuchtigkeitswiderstandsfähigkeit beiträgt.
Dielektrische Keramikzusammensetzungen übereinstimmend mit
dem dritten Aspekt der Erfindung und daraus gebildete
Keramikkondensatoren wurden wie folgt bereitet.
Als pulverförmige Ausgangsstoffe wurden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3),
Mangancarbonat (MnCO3) und Kupferoxid (CuO) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe wurden mit Ethanol in einer
Kugelmühle 16 Stunden lang übereinstimmend mit den in den
Tabellen 15 und 16 gezeigten Rezepturen für den primären
Bestandteil, den zweiten sekundären Bestandteil und den
dritten sekundären Bestandteil nass gemischt, um daraus Breie
zu bilden, und die Breie dann getrocknet. Die getrockneten
Gemische wurden pulverisiert und bei 1040°C calciniert, um so
calcinierte Pulver herzustellen. Jedes calcinierte Pulver
hatte einen mittleren Teilchendurchmesser von 0,9 µm.
In den Tabellen 15 und 16 wurden der MnO-Gehalt als zweiter
sekundärer Bestandteil und der CuO-Gehalt als dritter
sekundärer Bestandteil durch Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen
des primären Bestandteils {x(BaαCaβSrγ)O -
y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3} angegeben, worin x + y + z = 100
auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15
sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist. In den
Tabellen 15 und 16 geben die mit Sternchen versehenen
Probennummern an, dass die Proben aus dem Bereich der
Erfindung fallen, wohingegen die anderen Proben in dem
Bereich der Erfindung liegen.
Außerdem wurden auf SiO2 beruhende Glaspulver und auf B2O3-
SiO2 beruhende Glaspulver, die die Glastypen A" bis G"
bildeten, als die ersten sekundären Bestandteile gemäß den in
Tabelle 17 angegebenen Rezepturen bereitet, bei denen der
Koeffizient jedes Oxids durch Gewichtsprozente angegeben ist.
| Glasart | |
| Zusammensetzung (Gewichtsprozente) | |
| A" | 28B2O3-42SiO2-10ZnO-17BaO-3Al2O3 |
| B" | 45SiO2-27Li2O-15BaO-10ZnO-3Al2O3 |
| C" | 20B2O3-30SiO2-30BaO-20ZnO |
| D" | 15B2O3-15SiO2-55BaO-5Li2O-5Al2O3-ZnO |
| E" | 18B2O3-17SiO2-40BaO-10CaO-10SrO-5ZnO |
| F" | 35B2O3-30SiO2-35ZnO |
| G" | 18B2O3-19SiO2-40BaO-20ZnO-3Li2O |
| H" | 50SiO2-30Li2O-20ZnO |
| I" | 60SiO2-25Li2O-15BaO |
Die calcinierten Pulver und Glaspulver wurden mit einer
Polyvinyl-Butyral-Lösung unter Bildung von Breien in
Übereinstimmung mit den in den Tabellen 15 und 16 angegebenen
Rezepturen gemischt. Jeder Brei wurde mit einer Rakel
ausgestrichen, um Grünblätter zu bilden, die jeweils eine
Dicke von 50 µm hatten. Der Glasgehalt ist durch
Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des Primärbestandteils
angegeben.
Dann wurden 13 Grünblätter laminiert, gepresst und durch
Stanzen zu einem Grünverbundkörper geschnitten, der einen
Durchmesser von 14 mm und eine Dicke von 0,5 mm hatte. Der
Grünverbundkörper wurde in einer Stickstoffatmosphäre auf
350°C erhitzt, um den Binder zu entfernen, und dann bei einer
in einer der Tabellen 18 oder 19 gezeigten Sintertemperatur
zwei Stunden lang in einer reduzierenden Atmosphäre auf
Wasserstoff-Stickstoff-Wasserstoffoxid-Basis gesintert, um
einen plattenförmigen Keramikverbundkörper herzustellen. Dann
wurden durch Beschichtung der beiden Hauptflächen des so
hergestellten Keramikverbundkörpers In-Ga-Elektroden
gebildet, um so einen einlagigen Keramikkondensator
herzustellen.
Elektrische Kennwerte jedes Keramikkondensators wurden
gemessen. Die elektrostatische Kapazität und der Q-Wert
wurden bei 20°C, der Frequenz 1 MHz und einer Spannung 1 Veff
gemessen. Die spezifische Dielektrizitätskonstante (εr) wurde
aus dem Durchmesser (D) und der Dicke (T) der Probe und der
elektrostatischen Kapazität berechnet. Der TCC wurde mit der
Gleichung (1) berechnet:
TCC = {(Cap85 - Cap20)/[Cap20 × (85 - 20)]} × 106 [ppm/°C] (1)
worin Cap20 die elektrostatische Kapazität [pF] bei 20°C und
Cap85 die elektrostatische Kapazität [pF] bei 85°C angeben.
Die Ergebnisse sind in den Tabellen 18 und 19 gezeigt. In den
Tabellen 18 und 19 geben die mit Sternchen markierten
Probennummern an, dass diese Proben außerhalb des Bereichs
der Erfindung liegen, wohingegen die anderen Proben innerhalb
des Bereichs der Erfindung liegen.
Wie die Tabellen 15 und 18 zeigen, haben die mit dem dritten
Aspekt der Erfindung übereinstimmenden Keramikkondensatoren
Zusammensetzungen, wie sie die Probennummern 204, 205, 207
bis 209, 211, 217 bis 219, 221 bis 223 und 225 bis 227
angeben und die jeweils aus dem primären Bestandteil, dem
bleioxidfreien auf SiO2 basierenden Glas als erstem
sekundärem Bestandteil und Manganoxid als zweitem sekundärem
Bestandteil bestehen. Jeder dielektrische Keramikkondensator
hat eine hohe spezifische Dielektrizitätskonstante von 60
oder mehr, einen hohen Q-Wert von 1000 oder mehr bei 1 MHz
und einen kleinen Temperaturkoeffizienten der Kapazität TCC
innerhalb des Bereichs ±120 ppm/°C. Darüber hinaus kann die
dielektrische Keramikzusammensetzung bei 1060°C oder weniger
gesintert werden, was unter dem Schmelzpunkt (1083°C) von
Kupfer liegt.
Ein Vergleich zwischen den Proben der Nummern 204 und 205
zeigt, dass, wenn der erste sekundäre Bestandteil ein auf
B2O3-SiO2 basierendes bleioxidfreies Glas ist, das Sintern der
dielektrischen Keramik bei niedriger Temperatur gefördert
wird.
Die Proben Nr. 248 und 249 in den Tabellen 16 und 19 zeigen,
dass, wenn CuO als dritter sekundärer Bestandteil enthalten
ist, das Sintern der dielektrischen Keramik bei niedriger
Temperatur weiter gefördert wird. Da keine der
Zusammensetzungen flüchtiges Bleioxid enthält, kann die
Keramikzusammensetzung ohne Fluktuation verschiedener
Kennwerte gesintert werden.
Nachstehend werden die Gründe für die Beschränkung der
Zusammensetzung in dem dritten erfindungsgemäßen Aspekt
beschrieben.
Bei den Proben Nr. 212 bis 215 in den Tabellen 15 bis 18 und
Proben Nr. 229, 232, 235, 242 und 243 in den Tabellen 16 und 19 liegt
der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und
Re2O3 in dem primären Bestandteil, der durch die Formel
x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x
+ y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0
≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist,
nicht in einem durch die Punkte A" (30, 70, 0), B" (30, 59,
11), C" (10, 59, 31), D" (10, 85, 5) und E" (15, 85, 0)
umgebene Bereich in dem in Fig. 3 gezeigten ternären
Diagramm. Deshalb ist die spezifische Dielektrizitäts
konstante kleiner als 60, der Q-Wert kleiner als 1000, und der
TCC-Wert liegt außerhalb des Bereichs von ±120 ppm/°C, oder
die Keramikzusammensetzung kann nicht bei einer Temperatur
gesintert werden, die unter dem Schmelzpunkt von Kupfer
(1083°C) liegt. Deshalb liegt der Molenbruch (x, y, z) in dem
primären Bestandteil bevorzugt innerhalb des Bereichs durch
die Punkte A" (30, 70, 0), B" (30, 59, 11), C" (10, 59,
31), D" (10, 85, 5) und E" (15, 85, 0) in dem ternären
Diagramm von Fig. 3 umgeben ist. Wenn der Gesamtmolenbruch x
von Ba, Ca und Sr kleiner als 10 ist, wie bei den Proben Nr. 212
und 229, ist die spezifische Dielektrizitätskonstante
kleiner als 60. Wenn der Molenbruch x den Wert 30 übersteigt,
wie bei den Proben Nr. 215 und 242, ist die Dielektrizitäts
konstante kleiner als 60, und der TCC-Wert fällt aus dem
Bereich ±120 ppm/°C heraus. Deshalb ist der bevorzugte
Bereich von x 10 ≦ x ≦ 30. Wenn der Gesamtmolenbruch y von Ti
und Zr kleiner als 59 ist, wie bei den Proben Nr. 214 und
235, lässt sich die Zusammensetzung nicht bei einer unter dem
Schmelzpunkt (1083°C) von Kupfer liegenden Temperatur
sintern. Wenn der Gesamtmolenbruch y 85 übersteigt, ist die
spezifische Dielektrizitätskonstante kleiner als 60, der Q-
Wert kleiner als 1000 und der TCC-Wert fällt aus dem Bereich
von ±120 ppm/°C heraus. Deshalb liegt y bevorzugt im Bereich
59 ≦ y ≦ 85.
Wenn Ba teilweise durch Ca und Sr ersetzt ist, wie bei den
Proben Nr. 221 bis 223, erhöht sich die Dielektrizitäts
konstante. Wenn der Gesamtbruch (β + γ) von Ca und Sr jedoch
0,8 oder mehr ist, wie bei der Probe Nr. 224, kann die
Zusammensetzung bei 1060°C nicht gesintert werden. Deshalb
liegt der bevorzugte Gesamtbruch im Bereich 0 ≦ β + γ < 0,8.
Wenn TiO2 teilweise durch ZrO2 ersetzt ist, verhindert dies
die Reduktion der Oxide im primären Bestandteil. Deshalb
lässt sich die keramische Zusammensetzung zusammen mit einem
Kupferleiter gleichzeitig in einer reduzierenden Atmosphäre
sintern. Wenn, wie bei Probe Nr. 228, der ZrO2-Bruch m 0,15
übersteigt, lässt sich die Zusammensetzung bei 1060°C nicht
sintern. Deshalb liegt der bevorzugte ZrO2-Bruch im Bereich 0
≦ m < 0,15.
Wenn die Zusammensetzung als ersten sekundären Bestandteil
bleioxidfreies auf SiO2 basierendes Glas enthält, wie die
Proben Nr. 217 bis 219, ist die Sinterfähigkeit gesteigert.
Wenn der Glasgehalt a kleiner als 0,1 Gewichtsteile ist, wie
bei Probe Nr. 216, kann die Zusammensetzung nicht bei 1060°C
gesintert werden. Wenn der Glasgehalt a 25 übersteigt, wie
bei der Probe Nr. 220, liegt der Q-Wert unter 1000. Deshalb
liegt der bevorzugte Glasgehalt a im Bereich 0,1 ≦ a ≦ 25.
Wenn die Zusammensetzung als zweiten sekundären Bestandteil
MnO enthält, wie die Proben Nr. 227 bis 229, ist die
Sinterfähigkeit verbessert und der TCC-Wert verringert und
zur positiven Seite hin verschoben. Wenn der MnO-Gehalt b 3,0 Gewichtsteile
oder weniger ist, wie bei Probe Nr. 206, liegt
der TCC-Wert außerhalb des Bereichs von ±120 ppm/°C. Wenn der
MnO-Gehalt b 20 Gewichtsteile übersteigt, wie bei der Probe
Nr. 210, ist der Q-Wert kleiner als 1000. Deshalb liegt der
bevorzugte MnO-Gehalt b im Bereich 3,0 < b ≦ 20.
Kupferoxid (CuO) als dritter sekundärer Bestandteil trägt zur
Verbesserung der Sinterfähigkeit bei. Wenn der CuO-Gehalt c
10 Gewichtsteile übersteigt, wie bei der Probe Nummer 250,
ist der Q-Wert kleiner als 1000. Deshalb liegt der bevorzugte
CuO-Gehalt c im Bereich c ≦ 10.
Monolithische Keramikkondensatoren, die mit dem dritten
Aspekt der Erfindung übereinstimmen, wurden wie folgt
bereitet.
Als pulverisierte Ausgangsstoffe wurden Bariumcarbonat
(BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3), Strontiumcarbonat (SrCO3),
Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3)
und Mangancarbonat (MnCO3) bereitet.
Diese pulverförmigen Stoffe wurden in einer Kugelmühle 16 Stunden
lang mit Ethanol zur Bildung von Breien nass gemischt
in Übereinstimmung mit den Rezepturen für den primären
Bestandteil, den zweiten sekundären Bestandteil und den
dritten sekundären Bestandteil, wie sie die Proben Nummer 261
bis 264 in der Tabelle 20 zeigen, und die Breie wurden dann
getrocknet. Jedes getrocknete Gemisch wurde bei 1040°C
calciniert zur Bildung calcinierter Pulver. In Tabelle 20 ist
der MnO-Gehalt als der zweite sekundäre Bestandteil durch
Gewichtsteile zu 100 Gewichtsteilen des primären Bestandteils
{x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3} angegeben, worin x + y
+ z = 100 auf Malbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m
< 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist.
Außerdem wurden auf SiO2 beruhende oder auf B2O3-SiO2
beruhende Glaspulver der Glasarten A, B, H und I als die
ersten sekundären Bestandteile gemäß der in der Tabelle 17
gezeigten Rezeptur bereitet, in der der Koeffizient jedes
Oxids durch Gewichtsprozente dargestellt ist.
Dann wurden 100 Gewichtsteile des calcinierten Pulvers und 5 Gewichtsteile
des Glaspulvers mit einer Polyvinyl-Butyral-
Lösung gemischt und ein Brei bereitet. Der Brei wurde mit
einer Rakel ausgestrichen, um Grünblätter zu bilden.
Dann wurde auf jedes Grünblatt eine primär aus Kupfer
bestehende Schicht aus leitender Paste zur Bildung einer
Innenelektrode aufgedruckt. Mehrere mit den Innenelektroden
versehene Grünblätter wurden so laminiert, dass die Lagen aus
leitender Paste abwechselnd an beiden Stirnseiten des
Laminats frei lagen und eine primär aus Kupfer bestehende
leitende Paste wurde auf beiden Stirnseiten des Laminats
aufgebracht und so ein Grünverbundkörper gebildet. Der
Grünverbundkörper wurde in einer Stickstoffatmosphäre auf
350°C erhitzt, um den Binder zu entfernen, und dann bei einer
in Tabelle 21 gezeigten Temperatur 2 Stunden lang in einer
reduzierenden, auf Wasserstoff-Stickstoff-Wasserstoffoxid-
basierenden Atmosphäre gesintert, um einen monolithischen
Keramikkondensator zu bilden.
Elektrische Kennwerte jedes Keramikkondensators wurden
gemessen. Die elektrostatische Kapazität und der Q-Wert
wurden bei 20°C, der Frequenz 1 MHz und der Spannung 1 Veff
gemessen. Dann wurde die Probe poliert, um die gegenüber
liegenden Flächen jeder Innenelektrode und die Dicke der
dielektrischen Lagen zwischen den Innenelektroden zu messen.
Die spezifische Dielektrizitätskonstante (εr) wurde aus der
Anzahl der effektiven dielektrischen Keramikschichten und der
elektrostatischen Kapazität berechnet. Der
Temperaturkoeffizient der Kapazität (TCC) wurde wie im
Beispiel 5 berechnet.
Die Ergebnisse sind in Tabelle 21 gezeigt.
Die Tabelle 21 zeigt, dass jeder monolithische
Keramikkondensator, der die erfindungsgemäßen
Zusammensetzungen der Proben Nr. 261 bis 264 hat, eine hohe
spezifische Dielektrizitätskonstante von 60 oder mehr und
einen hohen Q-Wert von 1000 oder mehr bei 1 MHz zeigt und
dass der Temperaturkoeffizient der Kapazität in einem Bereich
von ±120 ppm/°C liegt. Die keramische Zusammensetzung kann
bei 1060°C oder weniger gesintert werden, was unter dem
Schmelzpunkt (1083°C) von Kupfer liegt.
Ein Vergleich der Probe Nr. 261 mit den Proben Nr. 262 bis
264 zeigt, dass, wenn der erste sekundäre Bestandteil ein
bleioxidfreies, auf B2O3-SiO2 basierendes Glas ist, der
Sintervorgang der dielektrischen Keramik bei niedriger
Temperatur gefördert wird.
Wenn Kupferoxid als dritter sekundärer Bestandteil der
Zusammensetzung hinzugefügt wird, lässt sich der
monolithische Keramikkondensator bei niedrigeren Temperaturen
sintern. Darüber hinaus weist der bleioxidfreie
Keramikkondensator stabile Kennwerte auf.
In jedem der oben beschriebenen Beispiele wurde ein Gemisch
aus Bariumcarbonat (BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3),
Strontiumcarbonat (SrCO3), Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid
(ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3), Mangancarbonat (MnCO3) und
Kupferoxid (CuO) calciniert. Stattdessen können
Bariumcarbonat (BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3),
Strontiumcarbonat (SrCO3), Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid (ZrO2)
und Seltenerdoxide (Re2O3) calciniert und dann Mangancarbonat
(MnCO3) und Kupferoxid (CuO) hinzugefügt werden.
In dieser Erfindung sind die Ausgangsstoffe nicht auf
Bariumcarbonat (BaCO3), Calciumcarbonat (CaCO3),
Strontiumcarbonat (SrCO3), Titanoxid (TiO2), Zirkonoxid
(ZrO2), Seltenerdoxide (Re2O3), Mangancarbonat (MnCO3) und
Kupferoxid (CuO) beschränkt und können andere Verbindungen
mit unterschiedlichen chemischen Formeln sein. Beispiele
anderer Verbindungen, die als Ausgangsstoffe verwendet werden
können sind BaTiO3, Ba2Ti9O20, Ba4Ti13O30, BaZrO3, CaTiO3,
CaZrO3, SrTiO3, SrZrO3, Re2Ti2O7, Carbonate, Oxalate, Hydroxide
und Alkoxide.
Jede Zusammensetzung wurde bei 1040°C in jedem der Beispiele
gesintert, sie können jedoch auch bei einer Temperatur im
Bereich 900°C bis 1049°C gesintert werden. Obwohl in jedem
der Beispiele der mittlere Teilchendurchmesser der
calcinierten Pulver 0,9 µm war, lässt sich auch Pulver mit
einem mittlere Teilchendurchmesser im Bereich 0,81 bis 5,0 µm
wirksam zur Herstellung einer erfindungsgemäßen
dielektrischen Keramikzusammensetzung verwenden.
Die Zusammensetzungen des auf SiO2 basierenden Glases und des
auf B2O3-SiO2 basierenden Glases sind, so lange das Glas kein
Bleioxid enthält, nicht beschränkt.
Ein monolithisches LC-Filter, das einen aus der
dielektrischen Keramikzusammensetzung gemäß der Erfindung
hergestellten Kondensator enthält, hat auch die obigen
Vorteile.
Claims (10)
1. Dielektrische Keramikzusammensetzung, gekennzeichnet
durch:
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestandteils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 0,5 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist,
wobei der primäre Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der von den Punkten A (7, 85, 8); B (7, 59, 34); C (0, 59, 41) und D (0, 85, 15) in einem ternären Diagramm umgeben ist, wobei die Linie AB nicht enthalten ist.
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestandteils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 0,5 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist,
wobei der primäre Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der von den Punkten A (7, 85, 8); B (7, 59, 34); C (0, 59, 41) und D (0, 85, 15) in einem ternären Diagramm umgeben ist, wobei die Linie AB nicht enthalten ist.
2. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass der erste sekundäre Bestandteil
ein bleioxidfreies auf B2O3-SiO2 basierendes Glas aufweist.
3. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 1 oder
2, weiterhin gekennzeichnet dadurch, dass sie 10 Gewichtsteile
oder weniger Kupferoxid (CuO) als dritten
sekundären Bestandteil aufweist.
4. Dielektrische Keramikzusammensetzung gekennzeichnet durch:
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestand teils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 1,5 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist; wobei der primäre Bestandteil dargestellt ist durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der den Punkten A' (10, 85, 5), B' (10, 59, 31), C' (7, 59, 34) und D' (7, 85, 8) in einem ternären Diagramm umgeben ist, wobei die Linie A'B' nicht enthalten ist.
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestand teils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 1,5 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist; wobei der primäre Bestandteil dargestellt ist durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1-m(ZrO2)m] - zRe2O3, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der den Punkten A' (10, 85, 5), B' (10, 59, 31), C' (7, 59, 34) und D' (7, 85, 8) in einem ternären Diagramm umgeben ist, wobei die Linie A'B' nicht enthalten ist.
5. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, dass der erste sekundäre Bestandteil
ein bleioxidfreies auf B2O3-SiO2 basierendes Glas enthält.
6. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 4 oder
5, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin 10 Gewichtsteile
oder weniger Kupferoxid (CuO) als dritten
sekundären Bestandteil enthält.
7. Dielektrische Keramikzusammensetzung, gekennzeichnet
durch:
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestandteils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 3,0 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist; wobei der primäre Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1- m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist, und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der von den Punkten A" (30, 70, 0); B" (30, 59, 11); C" (10, 59, 31); D" (10, 85, 5) und E" (15, 85, 0) in einem ternären Diagramm umgeben ist.
100 Gewichtsteile eines primären Bestandteils;
0,1 bis 25 Gewichtsteile eines ersten sekundären Bestandteils, der ein bleioxidfreies, auf SiO2 basierendes Glas aufweist; und
mehr als 3,0 bis 20 Gewichtsteile eines zweiten sekundären Bestandteils, der Manganoxid (MnO) aufweist; wobei der primäre Bestandteil durch die Formel x(BaαCaβSrγ)O - y[(TiO2)1- m(ZrO2)m] - zRe2O3 dargestellt ist, worin x + y + z = 100 auf Molbasis; α + β + γ = 1; 0 ≦ β + γ < 0,8; 0 ≦ m < 0,15 sind und Re wenigstens ein Seltenerdelement ist, und der Molenbruch (x, y, z) von (BaαCaβSrγ)O, (TiO2)1-m(ZrO2)m und Re2O3 innerhalb eines Bereichs liegt, der von den Punkten A" (30, 70, 0); B" (30, 59, 11); C" (10, 59, 31); D" (10, 85, 5) und E" (15, 85, 0) in einem ternären Diagramm umgeben ist.
8. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass der erste sekundäre Bestandteil
ein bleioxidfreies auf B2O3-SiO2 basierendes Glas aufweist.
9. Dielektrische Keramikzusammensetzung nach Anspruch 7 oder
8, dadurch gekennzeichnet, dass sie weiterhin 10 Gewichtsteile
oder weniger Kupferoxid (CuO) als dritten
sekundären Bestandteil aufweist.
10. Monolithisches Keramikbauteil, gekennzeichnet durch:
mehrere dielektrische Keramikschichten (2a, 2b);
Innenelektroden (4), die zwischen den dielektrischen Keramiklagen gebildet sind; und
Außenelektroden (5, 6, 7), die mit den Innenelektroden (4) verbunden sind, wobei die dielektrischen Keramikschichten (2a, 2b) eine dielekrische Keramikzusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 aufweisen und die Innenelektroden als primären Bestandteil Cu oder Ag aufweisen.
mehrere dielektrische Keramikschichten (2a, 2b);
Innenelektroden (4), die zwischen den dielektrischen Keramiklagen gebildet sind; und
Außenelektroden (5, 6, 7), die mit den Innenelektroden (4) verbunden sind, wobei die dielektrischen Keramikschichten (2a, 2b) eine dielekrische Keramikzusammensetzung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 aufweisen und die Innenelektroden als primären Bestandteil Cu oder Ag aufweisen.
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