DE10033631A1 - Vorrichtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelzform - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (13), mit der ein Quarzglastiegel (2) aus einer Schmelzform (3) entnommen werden kann. Hierzu hat die Vorrichtung (13) einen am Umfang einer Wandung (5) des Quarzglastiegels (2) umlaufend anliegenden Auflagekörper (15), der ein Volumen (V) im Inneren des Quarzglastiegels (2) gasdicht einschließt. Durch eine nachfolgende Evakuierung des eingeschlossenen Volumens (V) entsteht der erforderliche Kraftschluß für die aufzubringende Hubkraft, wobei ein Anschlag (18) der Vorrichtung (13) gegen den Glastiegel (2) anliegt und so das Hineingleiten der Vorrichtung (13) in das Innere des Glastiegels (2) verhindert. Durch die erfindungsgemäße Vorrichtung (13) ist es möglich, den Auflagekörper (15) ausschließlich oberhalb einer Schnitthöhe (10) zu positionieren und so Beeinträchtigungen der Oberflächengüte durch den kraftschlüssig anliegenden Auflagekörper (15) der Vorrichtung (13) unterhalb der Schnitthöhe (10) zuverlässig auszuschließen.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelzform mit einem gegen eine Wandung des Quarzglastiegels kraft­ schlüssig fixierbaren, flexiblen Auflagekörper.

Eine solche Vorrichtung, deren Auflagekörper mit einem Saugteller versehen ist, um so einen ausreichenden Kraftschluß zu erreichen, wird in der Praxis vielfach zum Herausheben von Quarzglastiegeln aus der Schmelzform verwendet und zählt somit zum Stand der Technik. Ein mit einem oder auch mehreren Saugtellern ausgestat­ teter Auflagekörper stellt in der Praxis häufig die einzige praktikable Möglichkeit dar, die zum Herausheben des Quarzglastiegels aus der Schmelzform erforderliche Hubkraft aufzubringen, da die im wesentlichen glatte Oberfläche der Wandung weder Angriffspunkte für ein formschlüssig fixierbares Hubmittel bietet, noch manu­ elles Herausheben des Quarzglastiegels gestattet. Der hierzu beispielsweise als Teller ausgestaltete Saugkörper wird hierzu auf einem im wesentlichen ebenen Bo­ den des Tiegels aufgesetzt und anschließend das von dem Saugteller und dem Bo­ den eingeschlossene Volumen evakuiert. Je nach Größe und Gewicht des Quarz­ glastiegels kommen hierbei bis zu 6 der Saugteller zum Einsatz.

Als nachteilig hat sich bei dem beschriebenen Stand der Technik herausgestellt, daß der zum Herausheben des Quarzglastiegels erforderliche Anpressdruck für einen zuverlässigen Kraftschluß in der Praxis zugleich auch mit einer unvermeidli­ chen Beeinträchtigung der Oberflächengüte im Bereich des Auflagekörpers verbun­ den ist. So sind neben Verschmutzungen durch Abrieb auch Kratzer an der Innenoberfläche des Tiegels nachweisbar, die aufgrund der hohen Qualitätsanforderungen insbesondere an solche Quarzglastiegel, die als Ausgangsprodukt für die Halbleiterfertigung dienen, zu unbrauchbaren Ergebnissen und damit zu Ausschuß führen.

Zur Vermeidung des genannten Problems ist bereits daran gedacht worden, den Auflagekörper in einen Randbereich oberhalb einer Schnittlinie des Glastiegels zu positionieren. Dieser Randbereich wird dann in einem nachfolgenden Arbeitsschritt, insbesondere zum Erreichen des Sollmaßes bzw. zur Vermeidung von unsauberen Kanten, abgetrennt und ist somit für die Qualität des Glastiegels unerheblich. Als problematisch hat sich dabei jedoch die ungünstige Wirkrichtung bei der Krafteinlei­ tung des gegen die Wandung des Tiegels anliegenden Auflagekörpers erwiesen, die dabei nicht senkrecht sondern im wesentlichen parallel zur Auflagefläche des Aufla­ gekörpers erfolgt. Je nach der erforderlichen Hubkraft führt dies in der Praxis dazu, daß die Saugteller an der Wandung abgleiten bzw. ausgehebelt werden. Erschwe­ rend kommt hinzu, daß die Wandung, anders als der Boden des Quarzglastiegels, bezüglich der Auflagefläche eine starke Wölbung aufweist, und der nötige Kraft­ schluß dadurch zusätzlich erschwert wird.

Es sind zur Überwindung des Problems auch bereits Vorrichtungen bekannt, bei denen die Schmelzform schwenkbar ist, um so den hinderlichen Einfluß der Schwerkraft zu verringern oder auch durch Schwenken um 180° derart zu nutzen, daß ein verminderter Kraftschluß für eine zuverlässige Entnahme ausreicht. Auf diese Weise lassen sich Kratzspuren oder Verschmutzungen durch die Saugteller erheblich verringern oder auch vollkommen vermeiden. Aufgrund des erheblichen Aufwandes, der mit einer hierbei erforderlichen Schwenkeinrichtung verbunden ist, scheidet diese Lösung zumindest bei bereits vorhandenen Vorrichtungen aus.

Vor diesem Hintergrund liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Entnahme eines Glastiegels zu schaffen, durch die eine Beeinträchtigung der Oberfläche in dem für die Qualität des Endproduktes entscheidenden Bereich un­ terhalb einer vorbestimmten Schnitthöhe vermieden wird. Hierbei soll der erforderli­ che Herstellungsaufwand gering gehalten werden, wobei insbesondere auf eine schwenkbare Schmelzform verzichtet werden kann.

Diese Aufgabe wird gelöst mit einer Vorrichtung gemäß den Merkmalen des Patent­ anspruchs 1. Die Unteransprüche betreffen besonders zweckmäßige Weiterbildun­ gen der Erfindung.

Erfindungsgemäß ist also vorgesehen, daß die Vorrichtung mit ihrem Auflagekörper zur kraftschlüssigen Fixierung zugleich gegen einander gegenüberliegende Ab­ schnitte der Wandung des Quarzglastiegels anlegbar ist. Hierdurch wird es möglich, den für das Herausheben des Quarzglastiegels aus der Schmelzform erforderlichen Kraftschluß zwischen dem Auflagekörper und der Wandung in einem oberhalb der Schnitthöhe befindlichen unkritischen Randbereich herzustellen und damit eine mögliche Beeinträchtigung der Oberfläche auf einen für die Qualitätsanforderungen an den Quarzglastiegel nicht relevanten Abschnitt der Wandung zu beschränken. Der erforderliche Kraftschluß wird dabei im wesentlichen durch die Spreizung auf­ gebracht, so daß die Kontur der Wandung von untergeordneter Bedeutung ist und die Belastbarkeit der Fixierung nicht beeinflußt. Der Auflagekörper ist an einander gegenüberliegenden Abschnitten verspannt, die hierzu nicht parallel zueinander sein müssen, so daß der erforderliche Kraftschluß auf vergleichsweise großflächige Abschnitte der Wandung verteilt werden kann. Der Herstellungsaufwand kann dabei zugleich vergleichsweise gering gehalten werden, da insbesondere eine schwenk­ bare Schmelzform entfällt und damit die Anwendbarkeit bei gewöhnlichen Schmelz­ vorrichtungen ohne weiteres gegeben ist.

Der Kraftschluß kann hierzu durch eine elastische Verformung des flexiblen Aufla­ gekörpers erreicht werden, wobei beispielsweise auch die Rückstellkraft eines Fe­ derelementes oder auch eine selbsttätige Spreizung unter dem Einfluß der nachfol­ gend aufgebrachten Hubkraft genutzt werden kann. Besonders vorteilhaft ist jedoch eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung, deren Auflagekörper mit der Wandung ein Volumen einschließt, welches zur kraftschlüssigen Verbindung des Auflagekörpers mit der Wandung mit einer Druckdifferenz gegenüber dem Um­ gebungsdruck beaufschlagbar ist. Hierdurch kann der erforderliche Kraftschluß durch eine Anpassung der hierzu erforderlichen Druckdifferenz optimal auf die je­ weiligen Eigenschaften des Quarzglastiegels bzw. der Entnahmebedingungen an­ gepaßt werden. Daher wird der erforderliche Kraftschluß, gegenüber einer rein me­ chanischen Spreizung, bei der im wesentlichen ein wegabhängiger Kraftschluß ent­ steht, zuverlässig auch bei einer mehrfach gewölbten Oberfläche der Wandung des Tiegels erreicht. Mehrere Auflagekörper der Vorrichtung können hierzu sowohl zen­ tral durch eine gemeinsame Pumpe versorgt oder einzeln unabhängig voneinander mit einer jeweils erforderlichen Druckdifferenz beaufschlagt werden. Der Auflage­ körper kann dabei eine annähernd beliebige Kontur aufweisen, insbesondere sind dabei sowohl gestreckte als auch im wesentlichen kreisförmige Gestaltungen des Auflagekörpers entsprechend der jeweiligen Größe bzw. der Kontur des Quarzgla­ stiegels problemlos realisierbar und wahlweise zur schnellen Anpassung an ver­ schiedene Quarzglastiegel auch auswechsebar.

Hierzu ist eine besonders günstige Ausgestaltung der Erfindung dadurch gegeben, daß der Auflagekörper durch Befüllen mit einem Fluid (Druckluft) gegen die Wan­ dung kraftschlüssig anlegbar ist. Der Auflagekörper kann dadurch in einfacher Wei­ se mit einem vergleichsweise hohen Druck gegen die Wandung des Quarzglastie­ gels kraftschlüssig angelegt werden. Dabei eignen sich sowohl im wesentlichen in­ kompressibie Flüssigkeiten als auch Gase, wobei auch Formtoleranzen des Tiegels mühelos ausgeglichen werden können. Der Auflagekörper wird hierzu zunächst mit geringem Abstand zu der Wandung in den Quarzglastiegel eingeführt und anschlie­ ßend mit dem Fluid befüllt. Hierzu sind sowohl eine beliebige Anzahl unabhängiger Auflagekörper als auch ein großflächiger und sich über die gegenüberliegenden Abschnitte der Wandung erstreckender Auflagekörper realisierbar.

Demgegenüber ist eine andere besonders zweckmäßige Weiterbildung der Erfin­ dung dann gegeben, wenn der Auflagekörper durch Evakuierung des zwischen der Wandung und dem Auflagekörper eingeschlossenen Volumens gegen die Wandung kraftschlüssig anlegbar ist. Hierdurch entsteht eine Druckdifferenz innerhalb des eingeschlossenen Volumens gegenüber dem Umgebungsdruck, wobei die hierdurch aufgebrachte, in radialer Richtung wirkende Saugkraft durch die jeweils gegenüber­ liegenden und im wesentlichen mit der gleichen Saugkraft beaufschlagten Auflage­ körper ausgeglichen wird. Es entsteht somit eine resultierende, insbesondere radiale Wirkkraft, so daß der Quarzglastiegel im Gegensatz zu druckbefüllten Aufla­ gekörpern, nicht auf Zugspannung, sondern im wesentlichen auf Druckspannung beansprucht wird und so mühelos aus der Schmelzform entnommen werden kann.

Eine besonders vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung ist dabei dadurch gegeben, daß der Auflagekörper einen mittels der Federkraft eines Federelementes gegen die Wandung vorspannbaren Saugteller hat. Hierdurch kann der Auflagekörper durch das Federelement zunächst in der gewünschten Position an der Wandung fixiert werden, um anschließend den nötigen Kraftschluß zwischen dem Auflagekörper und der Wandung durch die Druckdifferenz herzustellen. Die Handhabung wird dabei insbesondere bei der Verwendung mehrerer Auflagekörper wesentlich erleichtert.

Hierbei kann insbesondere auch ein zentralbetätigbares Federelement für eine be­ liebige Anzahl der Auflagekörper zum Einsatz kommen.

Dabei ist es besonders zweckmäßig, wenn die Vorrichtung mehrere am Umfang des Quarzglastiegels gleich verteilte gegen die Wandung anlegbare Auflagekörper hat. Hierdurch können die für den notwendigen Kraftschluß erforderlichen Anpresskräfte über den Umfang des Tiegel gleichmäßig aufgebracht werden und dadurch uner­ wünschte Spannungen in der Wandung des Quarzglastiegels verhindert werden. Hierzu sind insbesondere sich von der Mitte des Tiegels aus radial erstreckende und paarweise gegenüberliegende Auflagekörper geeignet.

Eine andere ebenfalls sehr empfehlenswerte Ausgestaltung der vorliegenden Erfin­ dung wird dadurch erreicht, daß der Auflagekörper als eine umlaufend gegen die Wandung anlegbare Dichtung ausgeführt ist. Hierdurch erfordert die Vorrichtung lediglich einen Auflagekörper, der sich hierbei am vollen Umfang des Quarzglastie­ gels über gegenüberliegende Abschnitte der Wandung erstreckt. Neben einem ver­ einfachten konstruktiven Aufbau der Vorrichtung wird dadurch auch eine gleichmä­ ßige Druckverteilung über die verschiedenen Abschnitte der Wandung sichergestellt und somit ein hoher Kraftschluß bei zugleich geringer Beanspruchung der Oberflä­ che der Wandung sichergestellt. Die Dichtung kann hierzu beispielsweise ringförmig ausgeführt sein, wobei der Kraftschluß mit der Wandung durch eine mechanische Verformung oder aber auch durch Befüllung der hierzu insbesondere als Schlauch ausgeführten Dichtung erreicht wird.

Die umlaufende Dichtung kann hierzu an einem ringförmigen Tragkörper angeord­ net sein, welcher durch eine Öffnung den Zugang zum Boden des Quarzglastiegels ermöglicht. Eine andere besonders wirkungsvolle Ausführungsform der Erfindung ist hingegen dann gegeben, wenn die Vorrichtung mit dem Auflagekörper derart um­ laufend gegen die Wandung des Tiegelsanlegbar ist, daß dabei zugleich eine Öff­ nung des Tiegels gegenüber der Umgebung dichtend verschlossen ist. Daher wird das Innere des Quarzglastiegels durch die Vorrichtung ähnlich eines Ver­ schlussstopfens vollständig eingeschlossen, so daß äußere Einflüsse vom Inneren des Quarzglastiegels gänzlich ferngehalten werden. Somit können Verschmutzun­ gen oder Beeinträchtigungen der Oberfläche der Wandung zuverlässig ausge­ schlossen werden. Der nötige Kraftschluß kann einerseits durch eine mechanische Anpresskraft gegen die Wandung, andererseits auch durch Evakuierung des gesamten durch die Vorrichtung im Innenraum des Tiegels eingeschlossenen Volu­ mens erreicht werden. Die hierdurch bezüglich des Umgebungsdruckes erreichbare Druckdifferenz führt zu einem äußerst wirkungsvollen Kraftschluß, durch den selbst Quarzglastiegel mit einem hohen Eigengewicht mühelos aus der Schmelzform ent­ nommen werden können.

Hierzu ist eine besonders einfache Abwandlung der Dichtung dadurch gegeben, daß der Auflagekörper durch eine Druckdifferenz des zwischen der Wandung und dem Auflagekörper eingeschlossenen Volumens gegenüber der Umgebung selbst­ tätig gegen die Wandung kraftschlüssig anlegbar ist. Hierdurch wird die Vorrichtung lediglich in den Tiegel eingeführt und positioniert, wobei die Dichtung bereits gegen die Wandung dichtend anliegt. Durch die Druckdifferenz, insbesondere durch Eva­ kuierung des Quarzglastiegels, entsteht ohne weiteres ein ausreichender Kraft­ schluß, durch den eine belastbare Verbindung zwischen Tiegel und Vorrichtung erreicht wird. Die Vorrichtung kann anschließend nach erfolgtem Druckausgleich problemlos aus dem Tiegel entnommen werden.

Hierbei ist es besonders vorteilhaft, wenn die Vorrichtung mit einem Anschlag aus­ gestattet ist, der ein Abgleiten des Auflagekörpers entlang der Wandung verhindert. Dieser Anschlag verhindert somit, daß die Druckdifferenz zwischen dem einge­ schlossenen Volumen und der Umgebung zu einer Verschiebung der Vorrichtung aus ihrer vorbestimmten Position in das Innere des Quarzglastiegels führt. Bei der Evakuierung des Volumens wird dabei das Abgleiten der Vorrichtung verhindert, indem der Anschlag den Randbereich des Tiegels umgreift. Dieser Anschlag ist da­ bei zweckmäßig auf verschiedene Quarzglastiegelgrößen einstellbar und beispiels­ weise zum erleichterten Einfügen in den Tiegel von einer Ruheposition in eine Ge­ brauchsposition beweglich.

Die Erfindung läßt zahlreiche Ausführungsformen zu. Zur weiteren Verdeutlichung ihres Grundprinzips sind drei davon in der Zeichnung dargestellt und werden nach­ folgend beschrieben. Diese zeigt in

Fig. 1 in einer geschnittenen Seitenansicht eine erfindungsgemäße Vor­ richtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelz­ form,

Fig. 2 eine Draufsicht auf die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung mit dem Tiegel und der Schmelzform,

Fig. 3 in einer geschnittenen Seitenansicht eine Vorrichtung für die Ent­ nahme des Tiegels mit einem als umlaufende Dichtung aus­ geführten Auflagekörper,

Fig. 4 eine Draufsicht auf die in Fig. 3 gezeigte Vorrichtung,

Fig. 5 in einer vergrößerten seitlichen Schnittdarstellung eine lediglich abschnittsweise dargestellte weitere Ausführungsform einer Vor­ richtung mit einem umlaufenden Auflagekörper.

In allen Figuren weisen gleiche Bauteile beziehungsweise Bauteilabschnitte die gleiche Bezifferung auf.

Fig. 1 zeigt in einer geschnittenen Seitenansicht eine Vorrichtung 1 für die Ent­ nahme eines Quarzglastiegels 2 aus einer Schmelzform 3. Der Quarzglastiegel 2 ist in der Schmelzform 3 angeordnet und weist eine im wesentlichen glatten Wandung 5 auf, die keinerlei Fixiermöglichkeit für eine formschlüssige Verbindung bietet. In einem oberen Randbereich 4 nimmt die Dicke der Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 kontinuerlich auslaufend ab. Um die erforderliche Hubkraft aufbringen zu können, hat die Vorrichtung 1 mehrere flexible Auflagekörper 6, die jeweils gegen einen Ab­ schnitt 7 der Wandung 5 anliegen. Die Auflagekörper 6 sind einander gegenüberlie­ gend am Umfang des Glastiegels 2 gleich verteilt angeordnet, so daß hierdurch eine zuverlässige kraftschlüssige Verbindung erreicht wird. Hierzu wird ein durch den Auflagekörper 6 und die Wandung 5 eingeschlossenes Volumen V mittels einer nicht dargestellten Pumpe evakuiert, so daß durch die so erzeugte Druckdifferenz eine ausreichende Anpresskraft des Auflagekörpers 6 gegen die Wandung 5 er­ reicht wird. Zur vereinfachten Handhabbarkeit sind die einzelnen Auflagekörper 6 jeweils mittels einer weiteren Vakuumleitung entgegen der Federkraft eines Fe­ derelementes 8 gegen der Wandung 5 zurücksetzbar, um so die Vorrichtung 1 mü­ helos durch eine Öffnung 9 des Tiegels 2 einführen und in einfacher Weise oberhalb einer Schnitthöhe 10 und unterhalb des Randbereiches 4 des Quarzglastiegels 2 positionieren zu können. Hierbei sind die Auflagekörper 6 jeweils mit einer Versor­ gungsleitung 11 in einem gemeinsamen Tragkörper 12 radial verschiebbar geführt und ermöglichen so eine flexible Anpassung an unterschiedliche Formen des Quarzglastiegels 2. Eine mögliche Beeinträchtigung der Wandung 5 des Tiegels 2 durch Verschmutzung oder Kratzer ist durch die Positionierung der Auflagekörper 6 zwischen Randbereich 4 und Schnitthöhe 10, an der in einem nachfolgenden Ar­ beitsgang Tiegel 2 der abgetrennt wird, für die Qualität des Endproduktes unbeacht­ lich.

Die vorstehend beschriebenen Zusammenhänge werden ergänzend auch in Fig. 2 beschrieben. Dabei sind zur besseren Übersichtlichkeit die Vorrichtung 1 mit ledig­ lich zwei einander gegenüberliegenden Auflagekörpern 6 dargestellt, während die Position weiterer Auflagekörper 6 durch eine gestrichelte Linie lediglich andeu­ tungsweise wiedergegeben. Die Auflagekörper 6 sind mittels der Versorgungslei­ tung 11 an dem gemeinsamen Tragkörper 12 radial verschiebbar geführt. Durch das jeweilige Federelement 8 wird dabei bereits eine Anpresskraft des Auflagekörpers 6 gegenüber der Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 erreicht, die eine einfache Posi­ tionierung ermöglicht und zum Erreichen eines ausreichenden Kraftschlusses für die erforderliche Hubkraft beiträgt. Die Auflagekörper 6 sind durch die Versorgungslei­ tung 11 mit dem Tragkörper 12 verbunden, wodurch eine gleichmäßige Evakuierung der Auflagekörper 6 mittels des zentralen Tragkörpers 12 erreicht wird.

Demgegenüber zeigt Fig. 3 ein anderes Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung 13, bei der die Öffnung 9 des Quarzglastiegels 2 zwischen Randbereich 4 und Schnitthöhe 10 durch die abgewandelte Vorrichtung 13 gegenüber der Umgebung vollständig verschließbar ist. Hierzu hat die Vorrichtung 13 einen Tragkörper 14, der mit einem gegen die Wandung 5 des Tiegels 2 umlaufend anliegenden und als Dichtung ausgeführten Auflagekörper 15 ausgestattet ist. Hierdurch wird ein gegen­ über der Umgebung abgeschlossenes und durch den Auflagekörper 15 und die Wandung 5 des Glastiegels 2 eingeschlossenes Volumen V begrenzt. Der Auflage­ körper 15 ist hierzu mittels einer zentralen Versorgungsleitung 16 mit einem Fluid, insbesondere Druckluft, befüllbar und dadurch dichtend gegen die Wandung 5 an­ legbar. Das eingeschlossene Volumen V kann daher anschließend durch eine Öff­ nung 17 mittels einer nicht dargestellten Pumpe evakuiert werden, so daß sich durch die Druckdifferenz zwischen dem eingeschlossenen Volumen V und dem Umgebungsdruck der erforderliche Kraftschluß einstellt. Die Vorrichtung 13 ist hier­ zu mit einem Anschlag 18 ausgestattet, der gegen die Schmelzform 3 anlegbar ist. Ein Abgleiten des Tragkörpers 14 an der Wandung 5 in das Innere des Tiegels 2 wird unter dem Einfluß der Druckdifferenz durch den Anschlag 18 verhindert. Weiterhin hat die Vorrichtung 13 einen Sensor 19 zur Bestimmung der Position der Vor­ richtung 13 bezogen auf einen Boden 20 des Tiegels 2, durch den insbesondere die zuverlässige Einhaltung einer Position der Vorrichtung 13 oberhalb der Schnitthöhe 10 sichergestellt werden kann.

Die Wirkungsweise der Vorrichtung 13 wird ergänzend auch in Fig. 4 beschrieben, in der die Vorrichtung 13 in einer Draufsicht dargestellt ist. Zu erkennen ist dabei insbesondere der Tragkörper 14 mit demaußenseitig angebrachten Auflagekörper 15, der gegen die Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 umlaufend dichtend anliegt. Die Öffnung 9 des Quarzglastiegels 2 ist somit gegenüber der Umgebung gasdicht verschlossen, so daß der gewünschte Kraftschluß durch Evakuierung des einge­ schlossenen Volumens problemlos erreicht wird. Aufgrund des mittels der Vorrich­ tung 13 abgeschlossenen Inneren des Tiegels 2 sind Verunreinigungen an der Wandung 5 zuverlässig ausgeschlossen.

Eine gegenüber der Fig. 4 abgewandelte Ausführungsform einer erfindungsgemä­ ßen Vorrichtung 21 zeigt Fig. 5 in einer vergrößerten seitlichen Schnittdarstellung. Hierbei ist lediglich abschnittsweise ein Tragkörper 22 der Vorrichtung 21 darge­ stellt, deren als Dichtung ausgeführter Auflagekörper 23 gegen die Wandung 5 des Quarzglastiegels 2 umlaufend anliegt. Der Auflagekörper 23 ist hierbei derart ausge­ formt, daß dieser bereits durch das Einsetzten der Vorrichtung 21 in das Innere des Tiegels 2 gegen die Wandung 5 dichtend anliegt. Durch eine anschließende Eva­ kuierung des von der Vorrichtung 21 und der Wandung 5 eingeschlossenen Volu­ mens V wird die Dichtung zusätzlich gegen die Wandung 5 gepreßt, wodurch der gewünschte Kraftschluß in einfacher Weise erreicht wird. Eine Befüllung mit einem Fluid oder eine mechanische Verformung des Auflagekörpers 23 ist daher nicht er­ forderlich.

Die Erfindung ist nicht auf die in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. So kann die Vorrichtung beispielsweise auch auf unterschiedliche Tie­ gelformen einstellbar sein oder auch zur erleichterten Handhabung vor Gebrauch in eine Ruhestellung beweglich sein. Weiterhin kann der gewünschte Kraftschluß bei den in den Fig. 3 bis 5 beschriebenen Vorrichtungen gegebenenfalls ohne Eva­ kuierung des eingeschlossenen Volumens lediglich durch Verspannen der Dichtung gegen einander gegenüberliegende Abschnitte der Wandung erreicht werden.

Bezugszeichenliste

1

Vorrichtung

2

Glastiegel

3

Schmelzform

4

Randbereich

5

Wandung

6

Auflagekörper

7

Abschnitt

8

Federelement

9

Öffnung

10

Schnitthöhe

11

Versorgungsleitung

12

Tragkörper

13

Vorrichtung

14

Tragkörper

15

Auflagekörper

16

Versorgungsleitung

17

Öffnung

18

Anschlag

19

Sensor

20

Boden

21

Vorrichtung

22

Tragkörper

23

Auflagekörper
V Volumen

Claims (10)

1. Vorrichtung zur Entnahme eines Quarzglastiegels aus einer Schmelzform mit einem gegen eine Wandung des Quarzglastiegels kraftschlüssig fixierbaren, flexiblen Auflagekörper, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (1, 13, 21) mit ihrem Auflagekörper (6, 15, 23) zur kraftschlüssigen Fixierung zugleich gegen einander gegenüberliegende Abschnitte (7) der Wandung (5) des Quarzglastiegels (2) anlegbar ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflage­ körper (6, 15, 23) mit der Wandung (5) ein Volumen (V) einschließt, welches zur kraftschlüssigen Verbindung des Auflagekörpers (6, 15, 23) mit der Wandung (5) mit einer Druckdifferenz gegenüber dem Umgebungsdruck be­ aufschlagbar ist.

3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflagekörper (15) durch Befüllen mit einem Fluid gegen die Wandung (5) kraftschlüssig anlegbar ist.

4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflagekörper (6, 23) durch Evakuierung des zwi­ schen der Wandung (5) und dem Auflagekörper (6, 23) eingeschlossenen Volumens (V) gegen die Wandung (5) kraftschlüssig anlegbar ist.

5. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflagekörper (6) einen mittels der Federkraft ei­ nes Federelementes (8) gegen die Wandung (5) vorspannbaren Saugteller hat.

6. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (1) mehrere am Umfang des Quarzglastiegels (2) gleich verteilte gegen die Wandung (5) anlegbare Auflagekör­ per (6) hat.

7. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflagekörper (15, 23) als eine umlaufend gegen die Wandung (5) anlegbare Dichtung ausgeführt ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrich­ tung (13, 21) mit dem Auflagekörper (15, 23) derart umlaufend gegen die Wandung (5) des Quarzglastiegels (2)anlegbar ist, das dabei zugleich eine Öffnung (9) des Quarzglastiegels (2) gegenüber der Umgebung dichtend verschlossen ist.

9. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Auflagekörper (6, 23) durch eine Druckdifferenz des zwischen der Wandung (5) und dem Auflagekörper (6, 23) eingeschlos­ senen Volumens (V) gegenüber der Umgebung selbsttätig gegen die Wan­ dung (5) kraftschlüssig anlegbar ist.

10. Vorrichtung nach zumindest einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (13, 21) mit einem Anschlag (18) aus­ gestattet ist, der ein Abgleiten des Auflagekörpers (15, 23) entlang der Wan­ dung (5) verhindert.