DE10024701A1 - Piezoaktor - Google Patents
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- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000001061 forehead Anatomy 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
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- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/874—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices embedded within piezoelectric or electrostrictive material, e.g. via connections
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- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
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Abstract
Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, bei dem der Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2), zwischen den Lagen angeordneten Innenelektroden (10, 11), die mit einer elektrischen Spannung beaufschlagbar sind und mit einer wechselseitigen Kontaktierung der Innenelektroden (10, 11) mittels äußeren Anschlusskontakten (3, 4), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, versehen ist. Die jeweils zusammengehörig kontaktierten Innenelektroden (10, 11) sind über wechselseitig zu den jeweils anderen Innenelektroden (10, 11) isoliert angeordnete Durchkontaktierungen (5, 6) in den Piezolagen (2) elektrisch miteinander verbunden.
Description
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise
zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil
oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des
Hauptanspruchs.
Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des soge
nannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material
mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden
kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung er
folgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in
Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebe
reiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in
eine vorgebbare Richtung darstellt.
Da die erforderlichen elektrischen Feldstärken zur Betä
tigung des Piezoaktors im Bereich von mehreren kV/mm lie
gen und in der Regel moderate elektrische Spannungen zur
Ansteuerung gewünscht sind, erfolgt der Aufbau dieses
Piezoaktors hier in mehreren Schichten von übereinander
gestapelten metallisierten Piezokeramiken zu einem sog.
Multilayer-Aktor. Hierzu sind jeweils zwischen den
Schichten Innenelektroden vorhanden, die z. B. mit einem
Druckverfahren aufgebracht werden, und es sind Außen
elektroden vorhanden, über die die elektrische Spannung
angelegt wird. Aufgrund dieses extrem schnellen und genau
regelbaren Hubeffektes können solche Piezoaktoren zum Bau
von Stellern, beispielsweise für den Antrieb von Schalt
ventilen bei Kraftstoffeinspritzsystemen in Kraftfahrzeu
gen vorgesehen werden. Hierbei wird die spannungs- oder
ladungsgesteuerte Auslenkung des Piezoaktors zur Positio
nierung eines Steuerventils genutzt, das wiederum den Hub
einer Düsennadel regelt.
Beispielsweise ist aus der EP 0 844 678 A1 ein solcher
Piezoaktor bekannt, bei dem zwei, an jeweils gegenüber
liegenden Seiten des Piezoaktorblocks angebrachte, Außen
elektroden unterschiedlicher Polarität vorhanden sind.
Bei einer von Schicht zu Schicht wechselnden Kontaktie
rung der Innenelektroden mit den seitlichen Außenelektro
den erfolgt die jeweilige Kontaktierung in dem Bereich,
in dem in der jeweils benachbarten Schicht keine Innen
elektrode an die Außenseite herangeführt ist.
Der eingangs beschriebene gattungsgemäße Piezoaktor ist
mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und in einem
piezoelektrisch aktiven Bereich zwischen den Lagen ange
ordneten Innenelektroden aufgebaut und mit einer von
Schicht zu Schicht wechselnden Kontaktierung der Innen
elektroden, zur Beaufschlagung mit einer elektrischen
Spannung, versehen. Gemäß der kennzeichnenden Merkmale
sind in vorteilhafter Weise die jeweils zusammengehörig
kontaktierten Innenelektroden über wechselseitig zu den
jeweils anderen Innenelektroden isoliert angeordnete in
nenliegende Durchkontaktierungen, z. B. in einer sogenann
ten Via-Technik, in den Piezolagen elektrisch miteinander
verbunden. Die Innenelektroden sind dabei bis auf die äu
ßeren Anschlusskontakte durch Einsintern abgedeckt.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Anschlusskontakte
für die Zuführung der elektrischen Spannung an den Stirn
seiten des Piezoaktors angeordnet sind, wobei die An
schlusskontakte bevorzugt metallisierte Flächen sind, die
mittels Klemmen kontaktiert werden. Durch die stirnseiti
ge Kontaktierung kann mit verschiedenen Aktorformen, z. B.
quaderförmig, beliebiges Vieleck, zylindrisch oder hohl
zylindrisch, der Einbauraum minimiert werden. Eine even
tuell notwendige Vorspannkraft beim Einbau des Piezoak
tors in ein Aggregat kann hierbei gleichzeitg als Kontak
tierkraft verwendet werden.
Vorteilhaft ist es außerdem, wenn an den im Lagenaufbau
am Ende liegenden Bereiche eine oder mehrere piezoelekt
risch neutrale Folien angeordnet sind, wobei die äußeren
Anschlusskontakte auf diesen Folien angebracht sind. Da
durch, dass die Anschlüsse damit nicht im aktiven Bereich
des Piezoaktors angeordnet sind, treten keine mechani
schen Spannungen durch den Aktorhub in den Anschlusskon
takten auf.
Um eine mechanische Schwächung des Piezoaktors durch e
ventuell übereinanderliegende Durchkontaktierungen zu re
duzieren, können die Durchkontaktierungen auf einfache
Weise im Lagenaufbau von Schicht zu Schicht an einem
Lochkreisdurchmesser versetzt zueinander angeordnet wer
den.
Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildun
gen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus
der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die
einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehre
ren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungs
form der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht
sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausfüh
rungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht
wird.
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors
werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht eines zylindrischen Piezoaktors
mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Piezokera
mik;
Fig. 2 eine Ansicht eines quaderförmigen Piezoaktors
mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Piezokera
mik
Fig. 3 eine Ansicht eines hohlzylindrischen Piezoak
tors mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Piezo
keramik und
Fig. 4 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit ei
ner Detailansicht von Innenelektroden und Durchkon
taktierungen in den Piezolagen.
In Fig. 1 ist ein Piezoaktor 1 gezeigt, der in an sich
bekannter Weise aus Lagen 2 eines piezoelektrischen oder
elektrostriktiven Keramikmaterials mit einer geeigneten
Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass beispielsweise
unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage
einer äußeren elektrischen Gleichspannung an hier im De
tail zwischen den Lagen 2 nicht erkennbare Innenelektro
den eine mechanische Reaktion des Piezoaktors 1 erfolgt.
Die elektrische Spannung wird über stirnseitige An
schlusskontakte 3 und 4 angelegt und über hier nur sche
matisch erkennbare Durchkontaktierungen 5 und 6 auf die
Innenelektroden weitergeleitet.
Bei Anlage eines elektrischen Feldes an den Innenelektro
den kann z. B. eine Längenänderung im Bereich von ca. 0,1
-0,3% der Länge des Piezoaktors 1 erfolgen. Die dafür
benötigten Feldstärken müssen mehrere kV/mm betragen, so
dass, um moderate Ansteuerspannungen von ca. 100-300 V
zu benutzen, der sog. Multilayeraufbau mit den alternie
renden Keramik- und Innenelektrodenschichten gewählt wur
de.
Aus Fig. 2 ist eine alternative Bauform eines Piezoak
tors 7 als Quader entnehmbar, der demzufolge entsprechen
angepasste Piezolagen 2 und Anschlusskontakte 3 und 4
aufweist. Fig. 3 zeigt eine weitere Variante eines Pie
zoaktors 8 mit einem hohlzylindrischen Aufbau.
In der Fig. 4 ist ein vergrößerter Schnitt durch einen
der Piezoaktoren 1, 7 oder 8 gezeigt. Beispielsweise ist
auf der linken Seite der Anschlusskontakt 3 für den Posi
tiven Pol der Spannung über die Durchkontaktierung 5
durch die Piezolage 2 mit einer Innenelektrode 10 verbun
den. Mit weiteren Durchkontaktierungen 5 ist beim Zusam
menbau jeweils unter Gewährleistung einer Isolation zu
Innenelektroden 11 der anderen Polarität eine elektrische
Verbindung zu den anderen Innenelektroden gleicher Pola
rität hergestellt.
Für den andern negativen Pol der Spannung am Anschluss
kontakt 4 gilt mit den Durchkontaktierungen 6 die adäquate
Anordnung. Die obere Piezolage 2, die die Anschluss
kontakte 3 und 4 trägt, ist hier eine nichtaktive
Schicht, da zwischen den Schichtseiten keine Feldstärke
aufgrund von verschieden gepolten Innenelektroden 10 und
11 auftritt. Eine untere Keramikschicht 12 ist hier eben
falls passiv aufgebaut und kann als Fußteil die mechani
sche Anbringung des Piezoaktors 1, 7 oder 8 unterstützen.
Die Durchkontaktierungen 5 und 6 können dabei nicht wie
aus der Fig. 4 erkennbar direkt übereinander, sondern
vorteilhaft auch im Aufbau der Lagen 2 von Schicht zu
Schicht an einem Lochkreisdurchmesser versetzt zueinander
angeordnet werden um die mechanische Stabilität des Pie
zoaktors 1, 7 oder 8 zu erhöhen.
Claims (5)
1. Piezoaktor, mit
- - einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen (2) und zwi schen den Lagen angeordneten Innenelektroden (10,11), die mit einer elektrischen Spannung beaufschlagbar sind und mit
- - einer wechselseitigen Kontaktierung der Innenelektro den (10,11) mittels äußeren Anschlusskontakten (3, 4<, über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, da durch gekennzeichnet, dass
- - die jeweils zusammengehörig kontaktierten Innenelekt roden (10,11) über wechselseitig zu den jeweils ande ren Innenelektroden (10,11) isoliert angeordneten Durchkontaktierungen (5, 6) in den Piezolagen (2) e lektrisch miteinander verbunden sind.
2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass
- - die Anschlusskontakte (3, 4) für die Zuführung der e lektrischen Spannung an den Stirnseiten des Piezoak tors (1; 7; 8) angeordnet sind.
3. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
dass
- - die Anschlusskontakte (3, 4) metallisierte Flächen sind, die mittels Klemmen kontaktierbar sind.
4. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
- - an den im Lagenaufbau am Ende liegenden Bereichen pie zoelektrisch neutrale Bereiche (2, 12) angeordnet sind, wobei die äußeren Anschlusskontakte (3, 4) an den neut ralen Bereichen angebracht sind.
5. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Durchkontaktierungen (5, 6) im Lagenaufbau von
Schicht zu Schicht an einem Lochkreisdurchmesser ver
setzt zueinander angeordnet sind.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10024701A DE10024701A1 (de) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | Piezoaktor |
| PCT/DE2001/001160 WO2001089002A1 (de) | 2000-05-18 | 2001-03-24 | Piezoaktor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10024701A DE10024701A1 (de) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | Piezoaktor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE10024701A1 true DE10024701A1 (de) | 2001-11-29 |
Family
ID=7642736
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE10024701A Ceased DE10024701A1 (de) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | Piezoaktor |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| DE (1) | DE10024701A1 (de) |
| WO (1) | WO2001089002A1 (de) |
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| WO2001089002A1 (de) | 2001-11-22 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| 8131 | Rejection |