DE10015449A1 - Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops und ein Mikroskop-Aufbau - Google Patents

Abstract

Ein Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops, insbesondere eines konfokalen Mikroskops, mit einer Lichtquelle (1), einer Mikroskopoptik, einer Detektionsblende (12) und einer Detektionseinrichtung (13), ist im Hinblick auf ein vereinfachtes Justieren mit reduzierten Service- und Wartungskosten derart ausgestaltet, daß die Detektionsblende (12) als optische Referenz verwendet wird. Des weiteren ist ein Mikroskop-Aufbau mit einer Lichtquelle (1), einer Mikroskopoptik, einer Detektionsblende (12) und einer Detektionseinrichtung (13) bereitgestellt, bei dem die Detektionsblende (12) als optische Referenz verwendbar ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops, insbesondere eines konfokalen Mikroskops, mit einer Licht­ quelle, einer Mikroskopoptik, einer Detektionsblende und einer Detektionsein­ richtung.

Des weiteren betrifft die vorliegende Erfindung einen Mikroskop-Aufbau, insbe­ sondere konfokales Mikroskop, mit einer Lichtquelle, einer Mikroskopoptik, einer Detektionsblende und einer Detektionseinrichtung.

Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops sowie entsprechende Mikroskop-Aufbauten sind aus der Praxis bekannt und existieren in den unterschiedlichsten Ausführungsformen. Derartige Verfahren und Mikroskop-Aufbauten finden beispielsweise in der Konfokalmikroskopie ihre An­ wendung. In der Konfokalmikroskopie wird eine Probe mit einem fokussierten Lichtstrahl, der durch die Lichtquelle erzeugt wird, abgerastert. Ein konfokales Rastermikroskop umfaßt im allgemeinen des weiteren einen Strahlteiler, eine Scanvorrichtung zur Strahlsteuerung, eine Mikroskopoptik, eine Detektions­ blende und eine Detektionseinrichtung mit Detektoren zum Nachweis des Detek­ tions- und Fluoreszenzlichts. Falls man mehrere spektral verschiedene Fluores­ zenzen beobachten möchte, die beispielsweise mit einem Mehrlinienlaser ange­ regt wurden, so muß man häufig den Detektionslichtstrahl nach dem Durchtritt durch die Detektionsblende spektral auffächern und mehrere Detektoren ver­ wenden, die entsprechend auf die aufgefächerten Teillichtstrahlen zu justieren sind.

Wie bei jedem optischen Justiervorgang muß man Referenzorte festlegen, auf die sich alle Justiervorgänge beziehen. Hierzu wird meistens eine Beleuchtungs­ blende als "optische Masse" verwendet. Alle folgenden Elemente sowie die Lichtquelle sind dann relativ zu diesem fest montierten Element zu justieren.

Die Beleuchtungsblende befindet sich fast am Anfang des gesamten Strahlen­ gangs. Die optischen Elemente, die in ihrer unmittelbaren Nähe angeordnet sind - beispielsweise die Lichtquelle oder Lichtquellen -, lassen sich in Bezug auf die durch die Blende festgelegte optische Achse leichter justieren als beispielsweise die Detektoren, die am Ende des Strahlengangs liegen. Dies erklärt sich da­ durch, daß sich auf die Justierung der Detektoren die Justierung sämtlicher zwi­ schen Beleuchtungsblende und den Detektoren liegender Bauelemente auswirkt. Man muß sich quasi auf die bereits erfolgte Justierung aller zwischen Beleuch­ tungsblende und den Detektoren liegender Bauelemente verlassen. Hinzu kommt noch, daß die Einrichtung mehrerer Detektoren bezüglich mehrerer Teil­ lichtstrahlen, die durch spektrale Auffächerung aus einem Lichtstrahl entstanden und in unterschiedliche Raumrichtungen reflektiert werden müssen oder aufwen­ dige Filteranordnungen durchlaufen müssen, ohnehin sehr schwierig und auf­ wendig ist.

Bei dem bekannten Verfahren und dem bekannten Mikroskop-Aufbau ist des weiteren problematisch, daß bei jeder Nachjustierung eines optischen Bauteils - beispielsweise des Strahlteilers - alle nachfolgenden Elemente ebenfalls nach­ zujustieren sind. Dies betrifft insbesondere die schwierig zu justierenden Detek­ toren und spektralen Auffächerungsanordnungen, die folglich immer Gegenstand eines Justiervorgangs sind. Dies führt letztendlich zu erheblichen Service- und Wartungskosten.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops der eingangs ge­ nannten Art sowie einen entsprechenden Mikroskop-Aufbau anzugeben, wonach ein vereinfachtes Justieren mit reduzierten Service- und Wartungskosten mit konstruktiv einfachen Mitteln erreicht ist.

Erfindungsgemäß wird die obige Aufgabe durch ein Verfahren mit den Merkma­ len des Patentanspruchs 1 gelöst. Danach ist ein Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops der eingangs genannten Art derart ausgestaltet, daß die Detektionsblende als optische Referenz verwendet wird.

In erfindungsgemäßer Weise ist zunächst erkannt worden, daß die aufwendig zu justierenden Detektionselemente viel einfacher justierbar sind, wenn auf die sich in unmittelbarer Nähe befindliche Detektionsblende Bezug genommen wird. Ins­ besondere wird das Justieren der Detektionselemente der Detektionseinrichtung in Bezug auf die von der Detektionsblende festgelegte optische Achse erheblich präziser. Des weiteren wird die Detektionseinrichtung durch die Detektionsblende quasi von den übrigen Elementen optisch isoliert. Dies hat zur Folge, daß in der Regel eine Nachjustierung nur für die durch erforderliche mechanische Bewe­ gungen viel mehr belasteten mikroskop- und beleuchtungsseitigen Elemente nö­ tig ist. Mit andere Worten ist die Detektionseinrichtung durch die Wahl der Detek­ tionsblende als optische Referenz von zahlreichen Justiervorgängen abgekop­ pelt.

Die obige Aufgabe ist des weiteren durch einen Mikroskop-Aufbau der eingangs genannten Art gelöst, bei dem die Detektionsblende als optische Referenz ver­ wendbar ist.

Insgesamt ist mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und dem erfindungsge­ mäßen Mikroskop-Aufbau ein vereinfachtes Justieren mit reduzierten Service- und Wartungskosten mit konstruktiv einfachen Mitteln erreicht.

In einer konkreten Ausführung könnte die Lichtquelle eine Punktlichtquelle sein. Hierbei ist insbesondere an eine beleuchtete Lochblende - die sogenannte Be­ leuchtungsblende - gedacht.

In einer weiter vorteilhaften Ausgestaltung könnte die Lichtquelle ein Laserreso­ nator sein. Unter den Begriff Lichtquelle können jegliche Lampen, Laser, Glasfa­ serenden usw. fallen. Hierdurch ist insbesondere ein konfokales Laser-Scanning- Mikroskop realisierbar.

Als Punktlichtquelle könnte in weiter einfacher Weise der Fokus des Resonator­ lichtbündels des Laserresonators im Laserresonator verwendet werden. Hier­ durch ist eine laserinterne Punktlichtquelle realisiert. Ein derartiger Fokus ist in jedem optisch stabilen Laserresonator vorhanden und kann somit als "virtuelle" Punktlichtquelle verwendet werden. Hierdurch wird der Einsatz einer Beleuchtungsblende überflüssig. Der Laserresonator ist dann als das am weitesten von der optischen Referenz entfernte Element leichter zu justieren als bei Verwen­ dung einer Beleuchtungsblende als Referenz.

Alternativ zu einem laserinternen Fokus könnte die Punktlichtquelle durch einen laserexternen Fokus gebildet werden. Herbei wird der laserexterne Fokus durch Fokussieren des Beleuchtungslichts mit einer Linse oder einem Hohlspiegel au­ ßerhalb des Lasers erzeugt.

In besonders vorteilhafter Weise könnte der gesamte Strahlengang an zwei Re­ ferenzpunkten oder in zwei Ebenen festgelegt werden. Hierbei könnten sich die Referenzpunkte in zueinander konjugierten Ebenen befinden. Des weiteren könnten die Ebenen Fourierebenen sein.

Dabei ist nicht nur der Durchgang des Strahlengangs durch die Referenzpunkte gewährleistet, sondern liegt auch der Strahlengang selbst eindeutig fest.

In der Praxis hat sich gezeigt, daß sich als feste Referenzpunkte besonders die Detektionsblende und die Objektivpupille eignen. Sind diese einmal hinreichend genau einjustiert, so läßt sich jede Nachjustierung nach außen auf eine Justie­ rung des Beleuchtungssystems verlagern. Alle übrigen optischen Elemente kön­ nen bezüglich dieser Referenzpunkte justiert werden. Auch nach dem Austausch eines mikroskopinternen Bauteils läßt sich mit den angegebenen Referenzen schnell und unkompliziert eine Rejustierung erzielen. Dabei wird die Justierung der Detektorelemente der Detektionseinrichtung durch die räumliche Nähe zur Detektionsblende als optische Referenz vereinfacht. Diese Detektorelemente sind bezüglich Dejustierungen optischer Bauteile durch die Detektorblende vom übrigen System "isoliert". Ein Nachjustieren der Detektorelemente, das durch eine Dejustierung anderer Elemente hervorgerufen wird, läßt sich vermeiden.

Bei dem Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs könnte es sich um ein iteratives Justierverfahren handeln. Dabei könnte nur die Justierung des Lasers erforderlich sein. Insgesamt konvergiert das Verfahren nach wenigen Zyklen. Zur Justierung könnten zwei Justiervorgänge alternativ oder kombiniert ein­ gesetzt werden.

Zum einen könnte die Punktlichtquelle zur Justierung lateral verschoben werden. Hierdurch wird eine Verschiebung des Fokus auf der Detektionsblende erreicht. Dabei könnte die Ebene, in der die Punktlichtquelle liegt, eine zur Ebene der Detektionsblende korrespondierende Ebene sein. Mit Hilfe einer X-Y-Verschie­ beeinrichtung könnte die Punktlichtquelle einjustiert werden, bis der Fokus des Detektionslichts genau das Detektionspinhole bzw. die Detektionsblende trifft.

Bei Verwendung einer Beleuchtungsblende könnte die laterale Verschiebung der Punktlichtquelle durch eine laterale Verschiebung der Beleuchtungsblende erfol­ gen. Bei Verwendung eines laserinternen Fokus als Punktlichtquelle ist zur Ju­ stierung eine Lateralverschiebung des Lasers nötig. Bei Verwendung eines la­ serexternen Fokus könnte der Beleuchtungslichtstrahl durch laterale Verschie­ bung des Lasers samt fokussierender Linse lateral verschoben werden. Des weiteren könnte bei einem laserexternen Fokus der Beleuchtungslichtstrahl durch Drehen des Lasers um die Pupille der fokussierenden Linse lateral ver­ schoben werden. Mit anderen Worten wird bei Verwendung eines laserexternen Fokus als Punktlichtquelle eine Lateralverschiebung durch Drehen des Laser­ ausgangslichtstrahls um die Pupille der den Punktlichtquellenfokus erzeugenden Linse ermöglicht.

Als Optimierungsmeßgröße bei der Justierung könnte in besonders einfacher Weise die von der Detektionseinrichtung hinter der Detektionsblende gemessene Lichtleistung verwendet werden.

Als weiterer Justiervorgang könnte zum anderen der Beleuchtungslichtstrahl um den Ort der Punktlichtquelle gedreht oder verkippt werden. Mit einer derartigen Drehung des Beleuchtungsstrahlengangs um den Ort der Punktlichtquelle er­ reicht man eine Strahlverschiebung am Ort der Eintrittspupille des Objektivs, da die Pupille in einer zur Punktlichtquelle konjugierten Fourierebene liegt. Im kon­ kreten könnte der Beleuchtungslichtstrahl um eine vorgesehen Beleuchtungsblende gedreht oder verkippt werden. Eine solche Drehung ist durch Verschie­ ben des parallelen Laserausgangslichtstrahls senkrecht zur Hauptebene der das Pinhole beleuchtenden Linse möglich. Verwendet man den laserinternen Fokus als Punktlichtquelle, so ist zur Justierung des Strahlengangs bezüglich der Pu­ pille des Mikroskopobjektivs der Laser um seinen internen Fokus zu drehen.

Bei einem laserexternen Fokus könnte der Beleuchtungslichtstrahl durch Drehen des Lasers samt fokussierender Linse um den Fokus gedreht werden. Alternativ hierzu könnte, wie bereits oben erwähnt, bei einem laserexternen Fokus der Be­ leuchtungslichtstrahl durch Verschieben des Lasers parallel zur Hauptebene der fokussierenden Linse um den Fokus gedreht werden.

Insgesamt kann der laserexterne Fokus, der anstelle einer Beleuchtungsblende als "virtuelle" Punktlichtquelle dient, bezüglich des Strahlengangs justiert werden.

Die Justierung eines laserinternen Fokus könnte durch räumliches Justieren des Lasers erfolgen.

Ob die Pupille zentrisch ausgeleuchtet wird, läßt sich durch Leistungsmessung nach dem Mikroskopobjektiv leicht verifizieren.

Bei einem besonders bevorzugten Justierverfahren könnte das laterale Verschie­ ben der Punktlichtquelle und das Drehen oder Verkippen des Beleuchtungslicht­ strahls um den Ort der Punktlichtquelle abwechselnd erfolgen.

Hinsichtlich der Vorteile eines erfindungsgemäß ausgestalteten Mikroskop-Auf­ baus wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf die im Rahmen des erfin­ dungsgemäßen Verfahrens beschriebenen konstruktiven und vorteilhaften Aus­ gestaltungen verwiesen.

In besonders vorteilhafter Weise könnten die Detektionseinrichtung und die De­ tektionsblende als ein vorzugsweise austauschbares Gesamtmodul ausgeführt sein. Bei der Anordnung einer Einrichtung zur spektralen Auffächerung des zu detektierenden Lichtstrahls könnten des weiteren die Detektionseinrichtung, die Einrichtung zur spektralen Auffächerung des zu detektierenden Lichtstrahls und die Detektionsblende als ein vorzugsweise austauschbares Gesamtmodul aus­ gebildet sein.

Insgesamt ist mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und dem erfindungsgemäßen Mikroskop-Aufbau ein Verfahren zur verbesserten Justie­ rung und eine Anordnung zur praktikableren, stabileren und besser rejustierbare­ ren Einstellung des optischen Strahlengangs eines vorzugsweise konfokalen Mi­ kroskops bereitgestellt.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nachfolgende Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbin­ dung mit der Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens anhand der Zeich­ nung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen und Weiterbil­ dungen der Lehre erläutert. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 in einer schematischen Darstellung den Zustand optimaler Justie­ rung eines Mikroskop-Aufbaus,

Fig. 2 in einer schematischen Darstellung den Einfluß einer lateralen Ver­ schiebung der Punktlichtquelle, wobei man eine Verkippung des Strahlengangs um die Objektivpupille und eine Verschiebung des Strahlengangs senkrecht zur Ebene des Detektionspinholes er­ kennt,

Fig. 3 in einer schematischen Darstellung den Einfluß einer Drehung des Beleuchtungslichtstrahls um den Ort der Punktlichtquelle, wobei hier als Punktlichtquelle eine Beleuchtungsblende verwendet wird und man eine Verschiebung des Strahlengangs am Ort der Objek­ tivpupille erkennt,

Fig. 4 in einer schematischen Darstellung eine Ausgestaltungsform einer justierbaren Punktlichtquelle bei laserexternem Fokus,

Fig. 5 eine weitere Ausgestaltungsform einer justierbaren Punktlichtquelle bei laserexternem Fokus,

Fig. 6 eine Ausgestaltungsform einer justierbaren Punktlichtquelle bei la­ serinternem Fokus und

Fig. 7 eine weitere Ausgestaltungsform einer justierbaren Punktlichtquelle bei laserinternem Fokus.

Die Fig. 1 bis 3 zeigen jeweils den Strahlengang eines Konfokalmikroskop-Auf­ baus. Der Aufbau weist eine Lichtquelle 1 auf, die ein Laserresonator ist. Das Beleuchtungslicht der Lichtquelle 1 wird mittels einer Linse 2 auf eine Beleuch­ tungsblende 3 fokussiert. Ein Strahlteiler 4 reflektiert das Beleuchtungslicht auf eine Linse 5 und einen Scanspiegel 6. Der Scanspiegel 6 ermöglicht das Führen des Lichtstrahls in X-Y-Richtung.

Nach dem Scanspiegel 6 verläuft der Strahlengang durch zwei weitere Linsen 7 und 8, wobei nach der Linse 8 die Pupille 9 des Objektivs 10 gebildet ist. Nach dem Objektiv 10 ist eine Probe 11 angeordnet, über die der Beleuchtungsstrahl mittels des Scanspiegels 6 gerastert wird.

Von der Probe reflektiertes Licht und/oder Fluoreszenzlicht wird mittels des Strahlteilers 4 auf eine Detektionsblende 12 geleitet. Hinter der Detektionsblende 12 ist die Detektionseinrichtung 13 mit einem Detektor vorgesehen. Mit anderen Worten wird der von der Lichtquelle 1 erzeugte Beleuchtungslichtstrahl 14 zur Probe 11 und wieder zurück zum Strahlteiler 4 und dann weiter zur Detektions­ einrichtung 13 geleitet.

Fig. 1 zeigt den Zustand optimaler Justierung. Fig. 2 zeigt den Einfluß einer late­ ralen Verschiebung der Lichtquelle 1, wobei man eine Verkippung des Strahlengangs um die Objektivpupille 9 und eine Verschiebung des Strahlengangs senk­ recht zur Ebene der Detektionsblende 12 erkennt. Fig. 3 zeigt den Einfluß einer Drehung des Beleuchtungslichtstrahls 14 um den Ort der Punktlichtquelle bzw. der Beleuchtungsblende 3. Dabei erkennt man eine Verschiebung des Strahlen­ gangs am Ort der Objektivpupille 9.

Fig. 4 zeigt eine Ausgestaltungsform einer justierbaren Lichtquelle 1 bei la­ serexternem Fokus 18. Durch Verschieben der Lichtquelle 1 parallel zur Hauptebene der fokussierenden Linse 2 wird der Beleuchtungslichtstrahl 14 um den Fokus 18 gedreht.

Fig. 5 zeigt eine weitere Ausgestaltungsform einer justierbaren Lichtquelle 1 bei laserexternem Fokus 18. Dabei bezeichnet die Ziffer 17 die Pupille der Linse 2. Durch Drehen der Lichtquelle 1 um die Pupille 17 der fokussierenden Linse 2 wird der Beleuchtungslichtstrahl 14 lateral verschoben.

Fig. 6 zeigt eine Ausgestaltungsform einer justierbaren Punktlichtquelle bei la­ serinternem Fokus 19. Die Ziffer 15 bezeichnet einen planen Laserresonator- Endspiegel. Die Ziffer 16 bezeichnet einen gekrümmten Laserresonator-End­ spiegel. Fig. 7 zeigt eine weitere Ausgestaltungsform einer justierbaren Punkt­ lichtquelle bei laserinternem Fokus 19. Die Justierung des Beleuchtungslicht­ strahls erfolgt bei dem laserinternen Fokus 19 gemäß den in den Fig. 6 und 7 gezeigten Ausführungsbeispielen durch räumliches Justieren des Lasers.

Hinsichtlich weiterer vorteilhafter Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Ver­ fahrens bzw. des erfindungsgemäßen Mikroskop-Aufbaus wird zur Vermeidung von Wiederholungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung sowie auf die beigefügten Patentansprüche verwiesen.

Schließlich sei ausdrücklich darauf hingewiesen, daß das voranstehend erörterte Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. des erfindungs­ gemäßen Mikroskop-Aufbaus lediglich zur Erörterung der beanspruchten Lehre dient, diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.

Claims (48)

1. Verfahren zur Justierung des optischen Strahlengangs eines Mikroskops, insbesondere eines konfokalen Mikroskops, mit einer Lichtquelle (1), einer Mi­ kroskopoptik, einer Detektionsblende (12) und einer Detektionseinrichtung (13), dadurch gekennzeichnet, daß die Detektionsblende (12) als optische Referenz verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) eine Punktlichtquelle ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) ein Laserresonator ist.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Fokus des Resonatorlichtbündels des Laserresonators im Laserresonator als laserinterne Punktlichtquelle (19) verwendet wird.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktlicht­ quelle durch einen laserexternen Fokus (18) gebildet wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der laserex­ terne Fokus (18) durch Fokussieren des Beleuchtungslichts mit einer Linse (2) oder einem Hohlspiegel erzeugt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktlichtquelle durch eine Beleuchtungsblende (3) erzeugt wird.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der gesamte Strahlengang an zwei Referenzpunkten oder in zwei Ebenen festgelegt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Refe­ renzpunkte in zueinander konjugierten Ebenen befinden.

10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebenen Fourierebenen sind.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß neben der Detektionsblende (12) die Objektivpupille (9) als Referenzpunkt verwendet wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß alle optischen Elemente bezüglich der Referenzpunkte oder Ebenen justiert werden.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren ein iteratives Justierverfahren ist.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß zur Justierung die Punktlichtquelle lateral verschoben wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebene, in der die Punktlichtquelle liegt, eine zur Ebene der Detektions­ blende (12) korrespondierende Ebene ist.

16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die laterale Verschiebung der Punktlichtquelle durch eine laterale Verschiebung der Beleuchtungsblende (3) erfolgt.

17. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch laterale Ver­ schiebung des Lasers samt fokussierender Linse lateral verschoben wird.

18. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15 oder 17, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Dre­ hen des Lasers um die Pupille der fokussierenden Linse lateral verschoben wird.

19. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß als Optimierungsmeßgröße die von der Detektionseinrichtung (13) hinter der Detektionsblende (12) gemessene Lichtleistung verwendet wird.

20. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 19, dadurch gekennzeichnet, daß zur Justierung der Beleuchtungslichtstrahl um den Ort der Punktlichtquelle gedreht oder verkippt wird.

21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Beleuch­ tungslichtstrahl um die Beleuchtungsblende (3) gedreht oder verkippt wird.

22. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Drehen des Lasers samt fokussierender Linse (2) um den Fokus gedreht wird.

23. Verfahren nach Anspruch 20 oder 22, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Verschieben des Lasers parallel zur Hauptebene der fokussierenden Linse (2) um den Fokus gedreht wird.

24. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 bis 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Justierung eines laserinternen Fokus (19) durch räumliches Justieren des Lasers erfolgt.

25. Verfahren nach einem der Ansprüche 14 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß das laterale Verschieben der Punktlichtquelle und das Drehen oder Verkip­ pen des Beleuchtungslichtstrahls um den Ort der Punktlichtquelle abwechselnd erfolgen.

26. Mikroskop-Aufbau, insbesondere konfokales Mikroskop und insbesondere für ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 25, mit einer Lichtquelle (1), einer Mikroskopoptik, einer Detektionsblende (12) und einer Detektionseinrich­ tung (13), dadurch gekennzeichnet, daß die Detektionsblende (12) als optische Referenz verwendbar ist.

27. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) eine Punktlichtquelle ist.

28. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 26 oder 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (1) ein Laserresonator ist.

29. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß der Fokus des Resonatorlichtbündels des Laserresonators im Laserresonator als laserinterne Punktlichtquelle (19) dient.

30. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktlichtquelle durch einen laserexternen Fokus (18) gebildet ist.

31. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß der laserexterne Fokus (18) durch Fokussieren des Beleuchtungslichts mit einer Linse (2) oder einem Hohlspiegel erzeugt ist.

32. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 27 oder 28, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktlichtquelle durch eine Beleuchtungsblende (3) erzeugt ist.

33. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 26 bis 32, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der gesamte Strahlengang an zwei Referenzpunkten oder in zwei Ebenen festgelegt ist.

34. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 33, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Referenzpunkte in zueinander konjugierten Ebenen befinden.

35. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 33 oder 34, dadurch gekennzeichnet, daß die Ebenen Fourierebenen sind.

36. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 26 bis 35, dadurch gekenn­ zeichnet, daß neben der Detektionsblende (12) die Objektivpupille (9) als Refe­ renzpunkt dient.

37. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 26 bis 36, dadurch gekenn­ zeichnet, daß alle optischen Elemente bezüglich der Referenzpunkte oder Ebe­ nen justierbar sind.

38. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 27 bis 37, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Justierung die Punktlichtquelle lateral verschiebbar ist.

39. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß die laterale Verschiebung der Punktlichtquelle durch eine laterale Verschiebung der Beleuchtungsblende (3) realisierbar ist.

40. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 38, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch laterale Ver­ schiebung des Lasers samt fokussierender Linse lateral verschiebbar ist.

41. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 38 oder 40, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Dre­ hen des Lasers um die Pupille der fokussierenden Linse lateral verschiebbar ist.

42. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 27 bis 41, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zur Justierung der Beleuchtungslichtstrahl um den Ort der Punkt­ lichtquelle drehbar oder verkippbar ist.

43. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß der Beleuchtungslichtstrahl um die Beleuchtungsblende (3) drehbar oder verkippbar ist.

44. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Drehen des Lasers samt fokussierender Linse (2) um den Fokus drehbar ist.

45. Mikroskop-Aufbau nach Anspruch 42 oder 44, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem laserexternen Fokus (18) der Beleuchtungslichtstrahl durch Ver­ schieben des Lasers parallel zur Hauptebene der fokussierenden Linse (2) um den Fokus drehbar ist.

46. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 28 bis 42, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Justierung eines laserinternen Fokus (19) durch räumliches Justieren des Lasers realisierbar ist.

47. Mikroskop-Aufbau nach einem der Ansprüche 26 bis 46, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Detektionseinrichtung und die Detektionsblende als ein vor­ zugsweise austauschbares Gesamtmodul ausgebildet sind.

48. Mikroskop-Aufbau nach einem der Anspräche 26 bis 46, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Detektionseinrichtung, eine Einrichtung zur spektralen Auffä­ cherung des zu detektierenden Lichtstrahls und die Detektionsblende als ein vor­ zugsweise austauschbares Gesamtmodul ausgebildet sind.