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DE10013949A1 - Filter material used for purifying air streams containing acidic or basic gaseous materials consists of a carrier layer connected to a first adsorbing layer, and a second additional adsorbing layer - Google Patents

Filter material used for purifying air streams containing acidic or basic gaseous materials consists of a carrier layer connected to a first adsorbing layer, and a second additional adsorbing layer

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DE10013949A1
DE10013949A1 DE10013949A DE10013949A DE10013949A1 DE 10013949 A1 DE10013949 A1 DE 10013949A1 DE 10013949 A DE10013949 A DE 10013949A DE 10013949 A DE10013949 A DE 10013949A DE 10013949 A1 DE10013949 A1 DE 10013949A1
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DE
Germany
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filter material
material according
layer
adsorbent
ion exchange
Prior art date
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Ceased
Application number
DE10013949A
Other languages
German (de)
Inventor
Peter Heinrich
Gerhard Heuberger
Jost Kames
Tanja Heilmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mann and Hummel GmbH
Original Assignee
MHB Filtration GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to EP01919375A priority patent/EP1268053A1/en
Priority to PCT/EP2001/002665 priority patent/WO2001070391A1/en
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Abstract

Filter material consists of a carrier layer connected to a first adsorbing layer; and a second additional adsorbing layer. Both adsorbing layers have a whole adsorbent surface.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Filtermaterial mit adsorbierenden Eigenschaften, bestehend aus einer Trägerschicht und einer mit der Trägerschicht verbundenen adsorbierenden Schicht.The present invention relates to a filter material with adsorbing properties, consisting of a carrier layer and an adsorbent bonded to the carrier layer Layer.

Es ist bekannt, Adsorptionsfilter anzuwenden, um unerwünschte Stoffe aus einem gasförmigen oder flüssigen Gemisch zu entfernen. So beschreibt z. B. die EP-A-0 340 542 Adsorptionsfilter, welche aus einem Trägergerüst mit einer Umhüllung von Adsorberteilchen besteht. Die am Trägergerüst fixierten Adsorberteilchen reinigen durch das Filter geführte Gase oder Flüssigkeiten von unerwünschten Stoffen. Solche Reinigungsvorgänge stellen immer ein Gleichgewicht zwischen stationärer und beweglicher Phase dar. Für normale Anforderungen stellen die bekannten Adsorptionsfilter ein ausreichendes Mittel dar, um eine Reinigung zu bewirken.It is known to apply adsorption filters to remove unwanted substances from a gaseous or remove liquid mixture. For example, B. EP-A-0 340 542 adsorption filter, which consists of a support frame with a coating of adsorber particles. The most Adsorber particles fixed in the support frame clean gases or gases passed through the filter Liquids from unwanted substances. Such cleaning processes always stop Balance between stationary and moving phase. For normal requirements the known adsorption filters represent a sufficient means for cleaning cause.

Moderne industrielle Entwicklungen haben dazu geführt, die Anforderungen für Reinluft erheblich zu steigern. Solche industriellen Entwicklungen sind z. B. die Herstellung hochempfindlicher Produkte, wie die Herstellung von Chips im Gigabitbereich in der Mikroelektronik und die Herstellung von Arzneimitteln. Die frühere Reinigungstechnik hatte sich auf die Entfernung von Partikeln konzentriert, wobei eine zusätzliche Entfernung von unerwünschten gasförmigen Stoffen dadurch zustande kam, daß den Filtern ein Adsorbenz zugesetzt wurde. Mit solchen Adsorbenzien war man in der Lage, in wirksamer Weise unerwünschte Stoffe zu entfernen, wie es z. B. in der EP-A-0 340 542 beschrieben wird. Die bekannten Adsorptionsfilter sind jedoch nicht in der Lage, die vollständige Bandbreite an gasförmigen Komponenten aus der Reinluft zu entferenen. Solche gasförmigen Komponenten kann man grob unterscheiden in hochsiedende Stoffe einerseits und sehr flüchtige Stoffe andererseits. Hochsiedende Stoffe, wie z. B. Wasser und Phenol, sind mit herkömmlichen Adsorptionsfiltern einfach und effektiv aus Gasgemischen zu entfernen. Solche herkömmlichen Adsorptionsfilter weisen z. B. Adsorptionspartikel aus Aktivkohle auf. So beschreibt bspw. die DE-A-195 13 658 ein Geruchsfilter für Staubsauger, das aus einem luftdurchlässigen Träger besteht, der synthetisch hergestellte kugelförmige Aktivkohle enthält. Aus der DE-A-19 67 755 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Filtermaterials bekannt, bei dem auf eine mit Polyolefin beschichtete Metallfolie thermisch körnige Adsorbenzien fixiert werden, wobei das bevorzugte Adsorbenz Aktivkohle ist.Modern industrial developments have led to the requirements for clean air to increase significantly. Such industrial developments are e.g. B. the manufacture highly sensitive products, such as the production of gigabit chips in the Microelectronics and drug manufacturing. The previous cleaning technology had focuses on removing particles, with an additional removal of unwanted gaseous substances came about that the filters an adsorbent was added. With such adsorbents one was able to effectively remove unwanted substances, such as z. B. is described in EP-A-0 340 542. The However, known adsorption filters are unable to provide the full bandwidth to remove gaseous components from the clean air. Such gaseous components one can roughly differentiate between high-boiling substances on the one hand and very volatile substances on the other hand. High-boiling substances, such as B. water and phenol are with conventional Easy and effective removal of adsorption filters from gas mixtures. Such conventional Adsorption filters have z. B. adsorbent particles of activated carbon. For example, describes DE-A-195 13 658 an odor filter for vacuum cleaners, which consists of an air-permeable carrier exists, which contains synthetically produced spherical activated carbon. From DE-A-19 67 755  a method for producing a filter material is known, in which on a with polyolefin coated metal foil thermally granular adsorbents are fixed, the preferred Adsorbent is activated carbon.

Völlig anders als die o. g. hochsiedenden Stoffe verhalten sich die flüchtigen Stoffe, wie z. B. SO2 und NH3. Sie werden durch die herkömmlichen Adsorptionsfilter nur unvollständig entfernt, und es stellt sich ein solches Gleichgewicht mit den Adsorptionspartikeln ein, daß die flüchtigen Stoffe nach anfänglicher Bindung später wieder freigesetzt werden. Eine dauerhafte Bindung ist somit nicht gewährleistet.Completely different from the abovementioned high-boiling substances, the volatile substances, such as B. SO 2 and NH 3 . They are only incompletely removed by the conventional adsorption filters, and the equilibrium with the adsorbent particles is such that the volatile substances are later released again after initial binding. A permanent bond is therefore not guaranteed.

Eine Möglichkeit, diese nicht ausreichende Adsorption zu verbessern, ist die vorherige Imprägnierung der Aktivkohle mit sauren oder basischen Hilfsmitteln. Will man z. B. NH3 aus einer gasförmigen Mischung entfernen, so kann eine solche Imprägnierung mit Phosphorsäure vorgenommen werden, soll andererseits SO2 entfernt werden, bietet sich eine vorherige Imprägnierung mit K2CO3 an. Die unerwünschten Stoffe gehen eine chemische Reaktion mit dem Imprägnierungsmittel ein und werden auf diese Weise dauerhaft und irreversibel aus dem Gasgemisch entfernt. Durch die Imprägnierung ist man also in der Lage, Filter mit einer verbesserten Reinigungswirkung zur Verfügung zu stellen. Dabei wird allerdings das Imprägnierungsmittel verbraucht, mit dem Ergebnis, daß nach einer bestimmten Zeit eine Erschöpfung der Reinigungskapazität eintritt. Die Imprägnierung der Adsorberteilchen beeinträchtigt also das ursprüngliche Adsorptionsvermögen dieser Teilchen sowohl bezüglich der Kapazität als auch der Adsorptionskinetik. Die Adsorberteilchen werden im Vergleich mit ihrer ursprünglichen Leistung unerwünschte Stoffe aus Gasgemischen langsamer und in einer geringeren Menge entfernen. Insoweit stellt sich an den Adsorberteilchen ein neues Gleichgewicht zwischen der ursprünglich vorhandenen Adsorption und der chemischen Adsorption der Imprägniersubstanz ein. Bei einer großen Menge Imprägniersubstanz wird eine erhebliche Verschlechterung der Adsorption festgestellt, insbesondere wenn eine ungünstige Verteilung der Imprägniersubstanz vorliegt. Verwendet man jedoch weniger Imprägniersubstanz, wird zwar die adsorbierende Kapazität weniger beeinträchtigt, man muß aber eine baldige Erschöpfung der Imprägniersubstanz in Kauf nehmen.One way to improve this insufficient adsorption is to impregnate the activated carbon with acidic or basic additives. Do you want z. B. remove NH 3 from a gaseous mixture, such an impregnation with phosphoric acid can be carried out; on the other hand, if SO 2 is to be removed, prior impregnation with K 2 CO 3 is appropriate. The undesirable substances enter into a chemical reaction with the impregnating agent and are permanently and irreversibly removed from the gas mixture in this way. The impregnation means that you are able to provide filters with an improved cleaning effect. However, the impregnating agent is consumed, with the result that after a certain time the cleaning capacity is exhausted. The impregnation of the adsorber particles thus affects the original adsorption capacity of these particles with regard to both the capacity and the adsorption kinetics. The adsorber particles will remove undesirable substances from gas mixtures more slowly and in a smaller amount compared to their original performance. In this respect, a new equilibrium is established in the adsorber particles between the originally existing adsorption and the chemical adsorption of the impregnating substance. With a large amount of impregnating substance, a considerable deterioration in the adsorption is found, especially if there is an unfavorable distribution of the impregnating substance. However, if less impregnating substance is used, the adsorbing capacity is less impaired, but one must accept that the impregnating substance will soon be exhausted.

In der DE-A-197 27 295 wird daher vorgeschlagen, einen Filter mit hoher Luftdurchlässigkeit bereitzustellen, an dem Ionenaustauscherkügelchen fixiert sind. Diese Ionenaustauscherkügelchen können stark basische Anionenaustauscher oder stark saure Kationenaustauscher sein. Werden stark basische Anionenaustauscher zur Beladung der Filter verwendet, so können insbesondere Luftströme von gasförmigen sauren Stoffen, vor allem von Schwefeldioxid, gereinigt werden. Die Verwendung von stark sauren Kationenaustauschern erlaubt die wirksame Entfernung von gasförmigen basischen Stoffen, wie z. B. Ammoniak.DE-A-197 27 295 therefore proposes a filter with high air permeability to provide, on which ion exchange beads are fixed. This Ion exchange beads can be strongly basic anion exchangers or strongly acidic  Be a cation exchanger. Become strongly basic anion exchangers for loading the filters used, especially air streams of gaseous acidic substances, especially of Sulfur dioxide. The use of strongly acidic cation exchangers allows the effective removal of gaseous basic substances, such as. B. ammonia.

Aber auch bei Verwendung dieser polymeren Austauschermaterialien kann nicht verhindert werden, daß geringe Mengen von säurebildenden Agentien oder von Ammoniak bzw. Aminen abgegeben werden. Dies ist jedoch bei den immer restriktiver werdenden Anforderungen bzgl. der Reinluft nicht tolerierbar. Des weiteren ist eine Ausgasung von Restmonomeren aus dem Polymergerüst der Ionenaustauscher unvermeidlich und auch unerwünscht.But even when using these polymeric exchange materials it cannot be prevented that small amounts of acid-forming agents or of ammonia or amines be delivered. However, this is due to the increasingly restrictive requirements regarding the clean air cannot be tolerated. Furthermore, outgassing of residual monomers from the Polymer structure of the ion exchanger is inevitable and also undesirable.

Es besteht daher nach wie vor der Bedarf nach einem Filtermaterial, das den Erfordernissen der heutigen Anforderungen an Reinluft gerecht wird.There is therefore still a need for a filter material that meets the requirements of meets today's requirements for clean air.

Die Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Filtermaterial bereitzustellen, das bei guter Adsorptionskinetik und Kapazität selbst geringste Spuren saurer und basischer Gase und anderer Verunreinigungen aus dem Luftstrom entfernen kann.The invention is therefore based on the object to provide a filter material which is good Adsorption kinetics and capacity even the slightest trace of acidic and basic gases and others Can remove contaminants from the airflow.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, die in den Ionenaustauschermaterialien verbliebenen Restmonomeren und die Reaktionsprodukte der Ionenaustauschermaterialien zu adsorbieren.Another object of the invention is that in the ion exchange materials remaining monomers and the reaction products of the ion exchange materials adsorb.

Diese Aufgabe wird durch ein Filtermaterial der genannten Art gelöst, das zusätzlich eine zweite adsorbierende Schicht aufweist.This object is achieved by a filter material of the type mentioned, which additionally has a second one has adsorbent layer.

In einer bevorzugten Ausführungsform besteht die erste adsorbierende Schicht aus imprägniertem Aktivkohlematerial und die zweite adsorbierende Schicht aus Ionenaustauschermaterialien.In a preferred embodiment, the first adsorbent layer consists of impregnated activated carbon material and the second adsorbent layer Ion exchange materials.

Eine andere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung enthält Ionenaustauschermaterialien als erste adsorbierende Schicht und imprägniertes Aktivkohlematerial als zweite adsorbierende Schicht. Another preferred embodiment of the invention contains ion exchange materials as first adsorbent layer and impregnated activated carbon material as the second adsorbent Layer.  

Das erfindungsgemäße Filtermaterial besteht aus einer Trägerschicht und einer mit dieser Trägerschicht verbundenen ersten adsorbierenden Schicht. Darauf liegt eine zweite adsorbierende Schicht, die aus Ionenaustauschermaterialien besteht. Beide adsorbierenden Schichten bilden somit eine Gesamtadsorbenzienauflage, wobei die zweite adsorbierende Schicht mehr als 60%, bevorzugt mehr als 75% der Gesamtadsorbenzienauflage ausmacht.The filter material according to the invention consists of a carrier layer and one with this Carrier layer connected first adsorbent layer. There is a second on top adsorbent layer consisting of ion exchange materials. Both adsorbent Layers thus form a total adsorbent pad, the second adsorbent Layer makes up more than 60%, preferably more than 75% of the total adsorbent layer.

Umgekehrt ist es auch möglich, daß die erste adsorbierende Schicht aus Ionenaustauschermaterialien und die zweite adsorbierende Schicht aus imprägniertem Aktivkohlematerial besteht, wobei dann die Schicht aus Aktivkohlematerial mehr als 60%, bevorzugt mehr als 75% der Gesamtadsorbenzienauflage ausmacht.Conversely, it is also possible for the first adsorbing layer to consist of Ion exchange materials and the second adsorbent layer made of impregnated Activated carbon material, the layer of activated carbon material then more than 60%, preferably accounts for more than 75% of the total adsorbent circulation.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weist die Gesamtadsorbentienauflage eine Flächendichte von 300 bis 700 g/m2, bevorzugt 400 bis 650 g/m2 auf.In a further preferred embodiment, the total adsorbent pad has a surface density of 300 to 700 g / m 2 , preferably 400 to 650 g / m 2 .

Die Trägerschicht und die Gesamtadsorbenzienauflage sind bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung mit einer damit fest verbundenen Abdeckschicht abgedeckt. Die erste und zweite Adsorbentienschicht können entweder lagenweise aufgetragen oder als einheitliche Schicht von verschiedenen Adsorbentien geeigneter Mischungsverhältnisse aufgebracht werden.The backing and total adsorbent pad are preferred Embodiment of the invention covered with a cover layer firmly connected thereto. The first and second adsorbent layers can either be applied in layers or as uniform layer of different adsorbents of suitable mixing ratios be applied.

Als Ionenaustauschermaterialien werden bevorzugt schwach bzw. stark saure Ionenaustauscher mit Sulfonsäure- bzw. Carboxylgruppen und zum anderen schwach bzw. stark basische Ionenaustauscher auf Styrolbasis mit einer Aminofunktion verwendet.Weakly or strongly acidic ion exchangers are preferred as ion exchange materials with sulfonic acid or carboxyl groups and on the other hand weak or strongly basic Styrene-based ion exchanger used with an amino function.

Für sulfonsäure- bzw. carboxylhaltige Ionenaustauscher werden in einer bevorzugten Ausführungsform alkalisch imprägnierte Aktivkohlematerialien zugesetzt, um geringste Abgaben von säurebildenden Agentien, die im Polymergerüst verblieben sind, zu unterbinden.For sulfonic acid or carboxyl-containing ion exchangers are preferred in a Embodiment alkaline impregnated activated carbon materials added to lowest levies to prevent acid-forming agents that have remained in the polymer structure.

Für aminohaltige Ionenaustauscher hingegen werden säure- oder metallsalzimprägnierte, z. B. mit Kupfersalz imprägnierte Aktivkohlematerialien eingesetzt, um die geringste Abgabe von Ammoniak bzw. Aminen aus der thermischen Zersetzung des Polymergerüsts zu unterbinden. Mit der beschriebenen vorteilhaften Kombination von Materialien ist es möglich, die hohe Effizienz und Aufnahmefähigkeit der polymeren Adsorbentien für reinraumrelevante Gase wie Ammoniak, Amine, stickstoffhaltige Heterozyklen, Silazane, Chlorwasserstoff, Fluorwasserstoff, Schwefeldioxid, NO2, und Essigsäure zu nutzen. Es ist anzumerken, daß diese Aufzählung nicht vollständig ist und daß der Fachmann ohne weiteres weitere Stoffe auffinden kann, die mit Hilfe der vorliegenden Erfindung aus dem Luftstrom entfernt werden können.For amino-containing ion exchangers, however, acid or metal salt impregnated, z. B. used with copper salt impregnated activated carbon materials to prevent the lowest release of ammonia or amines from the thermal decomposition of the polymer structure. With the advantageous combination of materials described, it is possible to use the high efficiency and absorption capacity of the polymeric adsorbents for gases relevant to clean rooms such as ammonia, amines, nitrogen-containing heterocycles, silazanes, hydrogen chloride, hydrogen fluoride, sulfur dioxide, NO 2 , and acetic acid. It should be noted that this list is not exhaustive and that the person skilled in the art can easily find further substances which can be removed from the air stream with the aid of the present invention.

Der Einsatz der Ionenaustauscher bewirkt dabei eine besonders vorteilhafte Verlängerung der Standzeiten bei hohen Effizienzen der Filtermaterialien.The use of the ion exchanger brings about a particularly advantageous extension of the Service life with high efficiency of the filter materials.

Die Zugabe von Aktivkohlematerialien unterdrückt die unerwünschte Spurenemission von Agentien und fängt des weiteren die unvermeidliche Ausgasung von Restmonomeren aus dem Polymergerüst auf.The addition of activated carbon materials suppresses the unwanted trace emission of Agents and also captures the inevitable outgassing of residual monomers from the Polymer structure.

Claims (17)

1. Filtermaterial mit adsorbierenden Eigenschaften, bestehend aus einer Trägerschicht und einer ersten mit der Trägerschicht verbundenen adsorbierenden Schicht, dadurch gekennzeichnet, daß das Filtermaterial eine zusätzliche zweite adsorbierende Schicht aufweist, wobei beide adsorbierenden Schichten eine Gesamtadsorbenzienauflage bilden.1. Filter material with adsorbent properties, consisting of a carrier layer and a first adsorbent layer connected to the carrier layer, characterized in that the filter material has an additional second adsorbent layer, both adsorbent layers forming a total adsorbent layer. 2. Filtermaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste adsorbierende Schicht aus imprägniertem Aktivkohlematerial und die zweite adsorbierende Schicht aus Ionenaustauschermaterialien besteht.2. Filter material according to claim 1, characterized in that the first adsorbent Layer of impregnated activated carbon material and the second adsorbent layer Ion exchange materials exist. 3. Filtermaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste adsorbierende Schicht aus aus Ionenaustauschermaterialien, und die zweite adsorbierende Schicht aus imprägniertem Aktivkohlematerial besteht.3. Filter material according to claim 1, characterized in that the first adsorbent Layer of ion exchange materials, and the second adsorbent layer impregnated activated carbon material. 4. Filtermaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die adsorbierenden Schichten entweder lagenweise aufgetragen oder als einheitliche Schicht von verschiedenen Adsorbentien geeigneter Mischungsverhältnisse aufgebracht sind.4. Filter material according to one of the preceding claims, characterized in that the adsorbent layers either applied in layers or as a uniform Layer of different adsorbents applied suitable mixing ratios are. 5. Filtermaterial nach einem der Ansprüch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß es sich um ein faltbares Flächenmaterial handelt.5. Filter material according to one of claims 1 to 4, characterized in that it is is a foldable sheet material. 6. Filtermaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ionenaustauschermaterialien enthaltende adsorbierende Schicht mehr als 60%, vorzugsweise mehr als 75% der Gesamtadsorbenzienauflage ausmacht.6. Filter material according to one of the preceding claims, characterized in that the adsorbent layer containing the ion exchange materials more than 60%, preferably accounts for more than 75% of the total adsorbent circulation. 7. Filtermaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtadsorbenzienauflage eine Flächendichte von 300-700 g/cm2, vorzugsweise 400-650 g/m2 aufweist. 7. Filter material according to claim 1, characterized in that the total adsorbent pad has a surface density of 300-700 g / cm 2 , preferably 400-650 g / m 2 . 8. Filtermaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Trägerschicht und Gesamtabsorbenzienauflage durch eine damit fest verbundene Abdeckschicht abgedeckt sind.8. Filter material according to one of the preceding claims, characterized in that Carrier layer and total absorbent layer by a firmly connected Cover layer are covered. 9. Filtermaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Ionenaustauschermaterial ein schwach oder stark saurer Ionenaustauscher mit Sulfonsäure- bzw. Carboxylgruppen ist.9. Filter material according to one of the preceding claims, characterized in that the ion exchange material has a weakly or strongly acidic ion exchanger Is sulfonic acid or carboxyl groups. 10. Filtermaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Ionenaustauschermaterial ein schwach oder stark basischer Ionenaustauscher auf Styrolbasis mit einer Aminofunktion ist.10. Filter material according to one of claims 1 to 8, characterized in that the Ion exchange material a weak or strongly basic ion exchanger Is styrene base with an amino function. 11. Filtermaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Aktivkohlematerial alkalisch imprägniert ist.11. Filter material according to one of the preceding claims, characterized in that the activated carbon material is alkaline impregnated. 12. Filtermaterial nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Aktivkohlematerial säure- oder metallsalzimprägniert ist.12. Filter material according to one of claims 1 to 10, characterized in that the Activated carbon material is acid or metal salt impregnated. 13. Filtermaterial nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das das Metall Kupfer ist.13. Filter material according to claim 12, characterized in that the metal is copper. 14. Verwendung des Filtermaterials nach einem der vorstehenden Ansprüche zur Reinigung von Luftströmen von sauren oder basischen gasförmigen Stoffen.14. Use of the filter material according to one of the preceding claims for cleaning of air flows from acidic or basic gaseous substances. 15. Verwendung des Filtermaterials nach Anspruch 14 zur Reinigung von Luftströmen von Stoffen, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus SO2, NO2, HCl, HF, H2S, HBr, HNO3, HNO2, H2SO3, CH3COOH, HCOOH, Phosphorsäuren, Borchloride, Borfluoride und Borsäure.15. Use of the filter material according to claim 14 for cleaning air flows from substances selected from the group consisting of SO 2 , NO 2 , HCl, HF, H 2 S, HBr, HNO 3 , HNO 2 , H 2 SO 3 , CH 3 COOH, HCOOH, phosphoric acids, boron chlorides, boron fluorides and boric acid. 16. Verwendung des Filtermaterials nach Anspruch 14 zur Reinigung von Luftströmen von Stoffen, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus NH3, Aminen, Stickstoffheterozyklen und Phosphinen. 16. Use of the filter material according to claim 14 for cleaning air flows from substances selected from the group consisting of NH 3 , amines, nitrogen heterocycles and phosphines. 17. Verwendung des Filtermaterials nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 13 in der Reinraumtechnik.17. Use of the filter material according to one or more of claims 1 to 13 in the Clean room technology.
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