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DE1087749B - Dampffaenger fuer Vakuumpumpen - Google Patents

Dampffaenger fuer Vakuumpumpen

Info

Publication number
DE1087749B
DE1087749B DEH36914A DEH0036914A DE1087749B DE 1087749 B DE1087749 B DE 1087749B DE H36914 A DEH36914 A DE H36914A DE H0036914 A DEH0036914 A DE H0036914A DE 1087749 B DE1087749 B DE 1087749B
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
steam trap
cooler
steam
baffle
frozen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DEH36914A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Albert Lorenz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WC Heraus GmbH and Co KG
Original Assignee
WC Heraus GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WC Heraus GmbH and Co KG filed Critical WC Heraus GmbH and Co KG
Priority to DEH36914A priority Critical patent/DE1087749B/de
Publication of DE1087749B publication Critical patent/DE1087749B/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps
    • F04F9/06Arrangement of vapour traps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Description

  • Dampffänger für Vakuumpumpen Dampffänger, auch »Baffle« genannt, dienen vor allem dazu, um Dämpfe an der Diffusion in einen evakuierten Raum zu verhindern, und ,sie durch Unterkühlung zu kondensieren und festzuhalten, so daß sie nicht mehr in den evakuierten Raum eindringen können.
  • Vor allen Dingen werden solche Dampffänger benutzt bei ölbetriebenen Dampfstrahl- oder Diffusionspumpen, bei denen selbst unter sorgfältigster Berücksichtigung entsprechender Maßnahmen aber ohne einen solchen Dampffänger gewisse Dampfmengen in den zu evakuierenden Raum eindringen. Dampffänger werden aber auch bei Rotationspumpen mit Erfolg benutzt, denn bei diesen Pumpen werden die Öle meist nur nach ihren Schmiereigenschaften ausgewählt und nicht danach, ob sie auch einen geringen Dampfdruck haben. Weiterhin können Dampffänger benutzt werden, um das Eindringen von schädlichen Dämpfen in vorgeschaltete Pumpen zu verhindern. So wird ein solcher Dampffänger mit Erfolg dazu benutzt, um Quecksilberdämpfe aus einer Quecksilberhochvakuumpumpe nicht in die ölbetriebenen Rotat.ionsvorpumpen eindringen zu lassen. Die Dampffänger werden üblicherweise so ausgestaltet, daß sie geradlinig fliegende Dampfmoleküle nicht hindurchlassen, also für einen Betrachter »undurchsichtig« erscheinen.
  • Dampffänger sind in der Hochvakuumtechnik seit langem bekannt. Bei dem Streben nach immer besserem Vakuum wurden sie in letzter Zeit nicht mehr nur hei Zimmertemperatur oder der Temperatur des zur Kühlung benutzten Leitungswassers betrieben, sondern mittels Kältemaschinen auf ziemlich niedrige Temperaturen, z. B. auf -70° C, gekühlt. Für gewisse Zwecke ist eine solche Tiefkühlung, die mittels einer Kältemaschine erreicht werden kann, sogar erforderlich. Die verwendetenKältemaschinen sind dabei meist so gebaut, daß ein gasförmiges Kältemittel in einem Kompressor auf höheren Druck gebracht oder in die flüssige Phase übergeführt wird, danach durch einen Kühler oder »Kondensator« auf Zimmertemperatur oder die Temperatur des Leitungswassers gekühlt und dann nach dem Entspannen einem- Apparateteil zugeführt wird, der zur Kühlung dient und kurz »Verdampfer« ;genannt wird.
  • Bisher wurden solche Einrichtungen in Verbindung mit einem Dampffänger in der Weise benutzt, daß das vom Kompressor auf höheren Druck .gebrachte Kältemittel in einem besonderen Luft- oder wassergekühlten Kühler- abgekühlt wird und danach zum Kühlen der im Vakuum befindlichen Auffängerflächen dient, die mit dem Verdampfer in enger, thermischer Berührung stehen. In vielen Fällen war eine solche Einrichtung ausreichend. In anderen Fällen machte sich aber der Nachteil bemerkbar, daß der unmittelbar z. B. auf eine geheizte Pumpe aufgesetzte und durch die Kühlmaschine gekühlte Dampffänger deshalb eine schlechte Wirkung hatte, weil die Heizurig der Pumpe zumindestens durch Wärmestrahlung auf den Dampffänger einwirkt. Dadurch wurden die der Strahlung ausgesetzten Teile auf etwas höhere als die gewünschte Temperatur aufgeheizt. Die Wirkung des Baffles war dementsprechend nicht ausreichend. Bei der Kondensation der vorhandenen Dämpfe trat weiterhin in Erscheinung, daß die tiefgekühlten Flächen durch leichtflüchtige Bestandteile bedeckt wurden und dickere Schichten dieser Stoffe eine Kondensation von Dämpfen von außerdem vorhandenen weniger leichtflüchtigen Stoffe verhinderten. So bedeckten sich beispielsweise die Auffängerflächen sehr schnell mit dickeren Schichten von Wasser oder organischen Ölen und boten dann noch vorhandenen Quecksilberdämpfen keine Möglichkeit mehr zu kondensieren. Die Dämpfe solcher schwerer flüchtiger Stoffe mit geringerem Dampfdruck wurden durch die bisher bekannten Dampffänger oft ungenügend beseitigt.
  • Hier wird nun ein überraschend einfacher Weg zur Abhilfe für solche tiefgekühlten Dampffänger vorgeschlagen, bei denen die Kompressionswärme des Kühlmittels mit Hilfe eines flüss.igkeitdurchströmten Kühlers abgeführt wird.
  • Er besteht darin, daß bei einem Dampffänger für Vakuumpumpen, bei dem der Verdampfer eines Kühlaggregates benutzt wird, um die im Dampffänger angeordneten Auffängerflächen auf niedriger Temperatur zu halten, und die Kompressionswärme des Kühlaggregates in einem Kühler mit Hilfe einer kalten Flüssigkeit, vorzugsweise. Wasser, abgeführt wird, außer den tiefgekühlten Auffängerflächen auch der von der kalten Flüssigkeit durchströmte Kühler in den Dampffänger eingebaut ist. Zweckmäßig wird dieser Kühler zwischen die Dampfquelle, also beispielsweise die Vakuumpumpe und den tiefgekühlten Auffängerflächen angeordnet, und so ausgestaltet, daß vor allem die zur Dampfquelle hin gerichteten Wandflächen der Kühlerteile mit der kalten Flüssigkeit in Berührung stehen. Der Kühler kann außerdem durch Auffangflächen. zu einer zweiten Baffle ausgebildet werden, das sich auf nicht ganz so tiefer Temperatur befindet, wie das Tieftemperaturbaffle.
  • An Hand der Zeichnungen wird ein Ausführungsbeispiel einer solchen Einrichtung beschrieben.
  • Dabei zeigt Fig. 1 die bisher bekannte Schaltung eines Baffles mit einer Kühlmaschine in schematischer Darstellung, Fig. 2 den Längsschnitt durch eine Diffusionspumpe mit aufgesetztem Baffle nach der Erfindung, Fit-. 3 zwei Querschnitte und den Kühlmittelkreislauf durch ein solches Baffle, und Fig. 4 eine weitere Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung.
  • In Fig. 1 ist als Dampfquelle eine Hochvakuum-Diffusionspumpe 1, deren Treibmitteldämpfe zurückgehalten werden sollen, gezeichnet. Auf ihren oberen Verbindungsflansch ist das Baffle 2 aufgesetzt, dem durch die Leitung 3 das tiefgekühlte Kühlmittel zugeführt wird, während es durch die Leitung 4 von dem Kompressors abgesaugt wird. Dieser Kompressor 5 bringt das Kühlmittel auf höheren Druck, wonach es durch die Leitung 6 in den Kondensator oder Kühler 7 gefördert wird. Dieser Kühler wird vielfach als Luftkühler ausgebaut; in der Zeichnung ist er jedoch als Wasserkühler dargestellt. Das Kühlwasser wird durch die Leitung 8 zu- und durch die Leitung 9 abgeführt. Bei dieser Schaltung ist das Baffle 2 unmittelbar der Strahlung der geheizten Pumpenteile der Diffusionspumpe 1 ausgesetzt.
  • In Fig.2 ist nun eine Einrichtung nach der vorliegenden Erfindung gezeigt. Der Bafflekörper 10 ist auf die Vakuumpumpe 1, ebenfalls eine Diffusionspumpe, unmittelbar aufgesetzt. Das Baffle besteht aus dem üblichen Hochvakuumbaffle 11, das hier als Fächerbaffle gezeichnet ist, mit den Kühlerleitungen 12, die von dem Kühlmittel durchströmt werden. Dieses Kühlmittel wird nun durch die Leitung 13 in den Kompressor 14 abgesaugt, dort auf höheren Druck gebracht und durch die Leitung 15 in den Kondensator oder Kühler 16 gefördert. Dieser Kondensator 16 besteht aus doppelwandigen Rohren 17, deren inneres Rohr 18 von dem Kühlmittel, während der Mantelraum zwischen dem inneren und dem äußeren Rohr vom Kühlwasser durchströmt wird, das durch den Rohrstutzen 19 abläuft und durch den in Fig. 2 nicht sichtbaren Rohrstutzen 20 zugeführt wird. Die doppelwandigen Rohre 17 können auch mit Kühlflächen 21 versehen sein, die in. bekannter Weise so angeordnet sind, daß sie »undurchsichtig« sind.
  • Die Fig. 3 zeigt zwei Schnitte durch ein erfindungsgemäßes Baffle nach Fig. 2. Im oberen Teil der Figur ist der Schnitt I-I in Höhe des tiefgekühlten Baffles 11 dargestellt, während im unteren Teil der Schnitt II-II in Höhe des Kühlers oder Kondensators 16 dargestellt ist. In beiden Figuren sind die eigentlichen Kühlflächen fortgelassen worden; um den Kreislauf des Kühlmittels und die prinzipielle Anordnung zu zeigen. Die Rohre 12 laufen sternförmig, da die Kühlflächen des Fächerbaffles in Fig. 2 in dieser Weise angeordnet sind; sie werden von dem entspannten und: dadurch tiefgekühlten Kühlmittel durchströmt, das durch das Rohr 13 von dem Kompressor 14 abgesaugt wird. Es gelangt dann durch das Rohr 15 in das Innere der Rohre 17, und zwar im Gegenstrom zu dem Kühlwasser, das im äußeren Rohr fließt und durch den Rohrstutzen 20 zugeführt und den Rohrstutzen 19 abgeführt wird. Vom Ende des Kühlers 16 gelangt das gekühlte und noch komprimierte Kühlmittel durch die schematisch gezeichnete Verbindungsleitung 22 zu dem Anfang 23 der Rohre 12 des Tieftemperaturbaffles.
  • Der Vorteil einer solchen Einrichtung ist, daß die strahlende Wärme, die von den geheizten Teilen der Diffusionspumpe 1 ausgeht, durch die Kühlflächen 21 und die Rohre 17 aufgefangen und durch das Kühlwasser abgeführt wird. Hier kondensieren aber auch alle leichtkondensierbarenBestandteile des rückdiffundierenden Dampfes, so daß in den Zwischenraum zwischen dem unteren Baffle 16 und dem oberen Baffle 11 nur noch hochsiedende Bestandteile gelangen, die dadurch sehr viel ungestörter kondensieren können. Diese Anordnung hat durch ihre Doppelstufigkeit eine besonders gute Wirkung Das Tieftemperaturbaffle 11 wird nicht oder nur wenig durch leichtflüchtige Stoffe verunreinigt, die sich auf dem unteren Baffle 16 niederschlagen und also nicht mehr die Kondensation höhersiedender Stoffe auf dem Tieftemperaturbaffle 11 verhindern können.
  • Als Kompressor 14 für das Kühlmittel wird die übliche vollständig hermetisch abgeschlossene Bauart benutzt.
  • Im weiteren Ausbau der vorliegenden Erfindung wird vorgeschlagen, diesen Kompressor unmittelbar in das Baffle selbst einzubauen. Eine solche Bauweise wird in Fig. 4 gezeigt, deren Bezeichnungen mit denen der anderen, Figuren übereinstimmen. Diese Bauweise hat den großen Vorteil, daß das Baffle als volle Einheit zusammen mit der Kühlmaschine ein- und ausgebaut werden kann und nur noch an die Wasser- und Stromzuführungen angeschlossen werden muß.
  • Die Handhabung ist einfach, und die Wirkung des Baffles wird dadurch nicht beeinträchtigt. Diese letztere sehr vorteilhafte Bauart ist besonders günstig dann, wenn.das@Baffle in Leitungen mit großemDurchgangsquerschnitt eingebaut wird, bei -denen der kleine Querschnitt, den, der Kompressor 14 einnimmt, keine Rolle mehr spielt. Diese erfindungsgemäße Bauart hat auch den Vorteil, daß der Kreislauf für das tiefgekühlte Kühlmittel völlig innerhalb des evakuierten Innenraumes des. Baffles verläuft, seine Rohrleitungen nicht mehr durch die auf Zimmertemperatur befindliche und gut wärmeleitende Wandung hindurchgeführt wird. Dadurch werden einerseits beträchtliche Energieverluste vermieden und die Durchführungsstellen, mit ihren starken Temperaturbeanspruchungen vermieden.
  • Vor allem beansprucht diese letztere Ausführung aber keinen Raum außerhalb der vorhandenen Va kuumleitungen, denn die bisher separat aufgestellte Kältemaschine und der Kondensator befinden sich erfindungsgemäß innerhalb des Baffles. Da insbesondere bei Vakuumanlagen häufig sehr wenig Raum zur Verfügung steht, bedeutet die vorgeschlagene Anordnung einen wesentlichen Fortschritt. Da die .ganzen notwendigen Teile der Einrichtung auf kleinstem Raum zu einer Einheit vereinigt sind, wird außer dem erforderlichen Raum auch derArbeitsaufwand bei der Montage wesentlich verringert.
  • Der häufigste Anwendungsfall eines Baffles ist der Schutz eines evakuierten Rezipienten vor eindringenden Treibmitteldämpfen der verwendeten Hochiakuum -Diffus.ionspumpen. Hier liegt nicht der in der Kältetechnik üblicheFall vor, daß einRaum und das in ihm befindliche Gut auf einer bestimmten Temperatur gehalten werden soll und eine bestimmte, von der Wärmeisolation abhängige Kälteleistung zur Verfügung stehen muß.
  • Hier kommt es vielmehr nur auf die Endtemperatur der Auffängerflächen, also auf die des Verdampfers an. Da mit abnehmender Verdampfertemperatur die Kälteleistung stark zurückgeht, ist es sehr wichtig, dem Verdampfer möglichst wenig Wärme zuzuführen.
  • So bewirkt der Schutz des tiefgekühlten Baffles 11 vor der Wärmestrahlung, die von der Pumpe 1 ausgeht und von dem wassergekühlten Kondensator und gleichzeitigen Ölfänger 16 abgeführt wird, eine fühlbare Erniedrigung -der Endtemperatur. In demselben Sinn wirkt die an sich bekannte Verwendung eines wassergekühlten Kondensators an Stelle des ebenfalls bekannten, aber häufiger benutzten luftgekühlten Kondensatoms. Alle vorgeschlagenen Maßnahmen haben nur und erreichen auch in überraschender Weise .das Ziel, die Endtemperatur des Tieftemperaturbaffles zu erniedrigen und dadurch eine nach größere Dampffreiheit des Vakuums zu erreichen.

Claims (5)

  1. PATENTANSPRÜCHE: 1. Dampffänger für Vakuumpumpen, bei dem der Verdampfer eines Kühlaggregates benutzt wird, um die im Dampffänger angeordneten Auffängerflächen auf niedriger Temperatur zu halten, und die Kompressionswärme des Kühlaggregates in einem Kühler mit Hilfe einer kalten Flüssigkeit, vorzugsweise Wasser, abgeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß außer den tiefgekühlten Auffängerflächen (11) auch der von der kalten Flüssigkeit durchströmte Kühler (16) in den Dampffänger (10) eingebaut ist.
  2. 2. Dampffänger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühler (16) so in den Dampffänger eingebaut ist, daß er zwischen der Dampfquelle, z. B. der Vakuumpumpe (1), und den tiefgekühlten Auffängerflächen (11) angeordnet werden kann.
  3. 3. Dampffänger nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühler (16) so ausgebildet ist, daß seine zur Dampfquelle, also z. B. zur Vakuumpumpe (1), hin gerichteten Wandflächen mit der kalten Flüssigkeit, die zum Abführen der Kompressionswärme dient, in Berührung stehen.
  4. 4. Dampffänger nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühler (16) mit Auffangflächen (21) versehen ist.
  5. 5. Dampffänger nach Anspruch 1 und einem oder mehreren der anderen vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auch der hermetisch abgeschlossene Kompressor (14) des Kühlaggregates in den Dampffänger (16) eingebaut ist. In Betracht gezogene ältere Patente: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1019 0'47; deutsche Auslegeschrift A 16343 Ia/27d (bekanntgemacht am 5. 1. 1956).
DEH36914A 1959-07-14 1959-07-14 Dampffaenger fuer Vakuumpumpen Pending DE1087749B (de)

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DEH36914A Pending DE1087749B (de) 1959-07-14 1959-07-14 Dampffaenger fuer Vakuumpumpen

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1256832B (de) * 1963-04-26 1967-12-21 Max Planck Gesellschaft Vorrichtung zur Temperatursteuerung eines Tiefkuehl-Baffles fuer Hochvakuumanlagen
DE1263975B (de) * 1961-12-29 1968-03-21 Alsacienne D Electronicque Et Treibmittelfaenger fuer eine Diffusionspumpe
DE1273740B (de) * 1961-05-10 1968-07-25 Jewgenij Andrejewitsch Kolenko Dampffaenger fuer Diffusionspumpen

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1019047B (de) * 1954-08-13 1957-11-07 Dr Hans Klumb Kuehlfalle fuer Hochvakuumpumpen

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