DE1069816B

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Publication number: DE1069816B
Application number: DENDAT1069816D
Authority: DE
Publication date: 1959-11-26

Description

DEUTSCHESGERMAN

Bei der Durchführung von Arbeiten auf dem Gebiete der Höchstvakuumtechnik wird als Standardausrüstiung ein Behälter benötigt, in dem durch eingeschlossene und/oder angeschlossene Hochvakuumpumpen, vorzugsweise unter Verwendung von Diffusionspumpen, Ionengetterpumpen oder Getterpumpen, ein extrem hohes Vakuum erzeugt wird. Die Konstruktion eines solchen Höchstvakuumbehalters stellt vor allem hinsichtlich der Abdichtung und der notwendigen Ausheizung schwierige konstruktive Probleme, die bisher nur unbefriedigend gelöst werden konnten. Wegen des extrem hohen Vakuums werden sowohl an die starren Durchführungen durch die Behälterwand, wie sie beispielsweise zur Stromzuführung in den Behälterinnenraum erforderlich sind, aber auch an eventuell benötigte Drehdurchführungen höchste Anforderungen gestellt. Mit den bisher bekannten Mitteln ist es praktisch unmöglich, eine für Dauerbetrieb geeignete höchstvakuumdichte Durchführung herzustellen, wenn sich der Behälter in der atmosphärischen Luft befindet. Da zur Erzeugung der gewünschten extrem hohen Vakuumwerte in jedem Fall ein vollständiges Ausheizen aller im Vakuumraum liegenden metallischen Oberflächen zur Loslösung der gebundenen Gase notwendig erscheint, hat man bisher versucht, die Ausheizung des Behälters sowohl durch direkte Wärmezufuhr als auch durch induktive Beheizung der Metallwände im, Hochfrequenzwechselfeld durchzuführen. When carrying out work in the field of high vacuum technology, the standard equipment a container is required in which enclosed and / or connected high vacuum pumps, preferably using diffusion pumps, ion getter pumps or getter pumps, an extremely high vacuum is generated. The construction of such a high vacuum tank presents Difficult constructive problems, especially with regard to the sealing and the necessary heating, the so far could only be solved unsatisfactorily. Because of the extremely high vacuum, both the rigid bushings through the container wall, such as those used for power supply in the Container interior are required, but also the highest demands on any rotary feedthroughs that may be required posed. With the means known up to now, it is practically impossible to find one that is suitable for continuous operation Establish highly vacuum-tight implementation when the container is in the atmospheric air is located. Since to generate the desired extremely high vacuum values in each case a complete All metallic surfaces in the vacuum space are baked out to release the bound gases appears necessary, attempts have been made to bake out the container both by direct Heat supply as well as through inductive heating of the metal walls in the high-frequency alternating field.

Die vorliegende Erfindung betrifft demnach einen Behälter, in dem durch eingeschlossene und/oder angeschlossene Hochvakuumpumpen, vorzugsweise-durch Diffusionspumpen, Getterpumpen oder Ionengetterpumpen, ein extrem hohes Vakuum erzeugt wird. Das Kennzeichnende wird darin gesehen, daß dieser Behälter aus einem Werkstoff von entsprechender elektrischer Leitfähigkeit dünnwandig als Widerstand in einem Stromkreis ausgebildet' ist, so daß er durch die beim Stromdurchgang erzeugte Stromwärme ausgeheizt werden kann, und daß dieser Behälter außerdem im Innenraum eines ihn umgebenden Vakuumbehälters liegt. Dabei ist die Ausheizung des Behälters durch die in den Wandteilen erzeugte Stromwärme besonders wirkungsvoll, weil sich der Behälter in einem Vakuumraum befindet, in dem wegen des relativ hohen umgebenden Vakuums eine wesentliche Verringerung der Wärmeverluste durch Konvektion und Wärmeleitung eintritt. Durch eine solche Ausbildung werden außerdem in einfachster Weise die aufgezeigten Schwierigkeiten hinsichtlich der Abdichtung beseitigt. Da der Umgebungsraum des Höchstvakuumbehalters ebenfalls sehr hoch evakuiert werden kann, besteht zwischen dem Innenraum und dem umgebenden Vakuum nur ein relativ geringes Druckgefälle, so daß konstruktiv ein-The present invention therefore relates to a container in which by enclosed and / or connected High vacuum pumps, preferably by diffusion pumps, getter pumps or ion getter pumps, an extremely high vacuum is generated. The distinctive feature is seen in the fact that this container made of a material with appropriate electrical conductivity thin-walled as a resistor in a circuit is formed so that it is baked out by the current heat generated when the current passes through can be, and that this container also in the interior of a vacuum container surrounding it lies. The heating of the container through the electrical heat generated in the wall parts is special effective because the container is in a vacuum space, in which because of the relatively high surrounding Vacuum a significant reduction in heat losses through convection and heat conduction entry. Such a training also eliminates the difficulties outlined in the simplest possible way eliminated in terms of sealing. Since the surrounding space of the maximum vacuum tank also can be evacuated very highly, there is only one between the interior and the surrounding vacuum relatively low pressure gradient, so that structurally

Behälter, ;Container, ;

in dem durch eingeschlossenein which included by

Hochvakuumpumpen ein extrem hohes Vakuum erzeugt wirdHigh vacuum pumps generate an extremely high vacuum

Anmelder: .,._: - _M Applicant:.,. _: - _M

Leybold Hochvakuum-Anlagen G.m.b.H., Köln-Bayenthal, Bonner Str. 504 πLeybold Hochvakuum-Anlagen G.m.b.H., Cologne-Bayenthal, Bonner Str. 504 π

Dipl.-Phys. Dr. Justus Moll, Meschenich über BrühlDipl.-Phys. Dr. Justus Moll, Meschenich on Brühl

(Bez. Köln), . ' , ^! ;(District Cologne),. ', ^! ;

ist als Erfinder genannt worden V '.'. ', has been named as the inventor V '. '. ',

fache Vakuumdurchführungen bzw. Drehdurchführungen auch eine ausreichende Abdichtung von Höchstvakuumräumen ermöglichen. Besonders vorteilhaft erweist sich die Beheizung durch direkten Stromdurchgang, bei der einerseits mit entsprechender Stromstärke innerhalb kurzer Zeit eine höhe Temperatur des Behälters erreicht werden kann und bei dör andererseits keinerlei komplizierte Soridereinrichtungen zur Wärmeerzeugung, wie sie beispielsweise: beider .Induktionserhitzung bekannt sind, benötigt; werden;,- An sich sind doppelwandige Behälter bei Bauelementen der Vakuumtechnik bekannt. Eine derartige Konstruktion wird beispielsweise bei Tiefkühlfallen,; welche; eine rohrförmige Vakuumleitung, umschließen, in der Weise angewendet,, daß das Aufbewahrungsgefäß·; für ,dasmultiple vacuum feedthroughs or rotary feedthroughs also provide adequate sealing of maximum vacuum spaces enable. Heating through direct current flow proves to be particularly advantageous, on the one hand with a corresponding current intensity within a short time a high temperature of the Container can be achieved and at dör on the other hand no complicated sorider facilities for Heat generation, such as: both induction heating are known, required; are;, - In themselves, double-walled containers are used in construction elements of the Known vacuum technology. Such a construction is used, for example, in freezer traps; Which; one tubular vacuum line, enclosed, applied in such a way that the storage vessel ·; for the

t Kühlmittel zwei metallische Zylindermaritelflächen.aufweist, wobei die innere dünnwandiger ausgebildet ist. t coolant has two metallic cylinder casing surfaces, the inner one being thinner-walled.

Der zwischen den Zylindermantelflächen eingeschlossene Hohlraum steht durch Verbindungsöffriungen mit-dem ■Inneren der rohrförmigen Vakuumleitung;'iri Verbindung und wird entsprechend dem Druck.in dieser LeL· tung evakuiert. Die dünnwandige Ausführung.geschieht jedoch nicht unter dem Gesichtspunkt der elektrischen Widerstandserhitzung, sondern wird durch besondere Festigkeitsverhältnisse der Anordnung ermöglicht; ■.}. The cavity enclosed between the cylinder jacket surfaces is connected to the interior of the tubular vacuum line through connection openings and is evacuated according to the pressure in this line. The thin-walled execution, however, does not take place from the point of view of electrical resistance heating, but is made possible by the special strength conditions of the arrangement; ■.}.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform eines Behälters, in dem ein extrem hohes Vakuum, erzeugt werden soll, ist dieser Behälter aus Metallteilen in Zylinderform gebildet, und -die Stromzuführung-des Heizstromes erfolgt an den Stirnflächen dieses; Zylinders, vorzugsweise durch außen aufgebrachte Elektroden. Bei einem solchen Aufbau wird eine besonders· gleich-In an advantageous embodiment of a container, In which an extremely high vacuum is to be generated, this container is made of metal parts in the shape of a cylinder formed, and -the power supply-the heating current takes place at the end faces of this; Cylinder, preferably by externally applied electrodes. With such a structure, a particularly equal

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mäßige Erhitzung des Behälters sichergestellt. Der Behälter kann selbstverständlich, abweichend von der Zylinderform, auch beliebige andere P'ormen aufweisen, die zur Anwendung der direkten Stromwärmeerzeugung geeignet erscheinen. Die Bezeichnung »Zylinderform« soll insbesondere nicht nur Kreiszylinder, sondern" Va-uth-Uähäere'.· allgemeinere Zylinderformen einschließen. moderate heating of the container ensured. The container can of course, deviating from the cylindrical shape, also have any other P'ormen that are used for direct electricity heat generation appear suitable. The term »cylindrical shape« is intended in particular not only to be a circular cylinder, but also Va-uth-Uähäere '. · Include more general cylindrical shapes.

"Zur Erhöhung des bei der Verwendung von Diffusionspumpen erzielbaren Vakuums erscheint es gegebenenfalls zweckmäßig, innerhalb des Behälters in einem Teil des Metallzylinders in an sich bekannter Weise im Bereich' der inneren Wandfläche eine Tiefkühlvorrichtung, insbesondere in Form einer kühlmitteldurchflossenen Rohrspirale, anzubringen. Gegenüber den in die Ansaugleitung zur Hochvakuumpumpe eingeschalteten tiefgekühlten Kondensationsflächen erweist sich-die Anordnung im Inneren des Behälters als besonders wirkungsvoll.'.Es können jedoch selbstverständlich auchin der Ansaugleitung der Vakuumpumpe zusätzliche" nach beliebigen Prinzipien arbeitende, insbesondere mit tiefgekühlten Abscheideflächen versehene Abscheidevorrichtungen eingeschaltet werden.' Als Material für den Behälter kann beispielsweise Nickelblech verwendet werden, aber auch andere Metalle mit entsprechendem.elektrischem Leitvermögen, z. B. korrosionsbeständige Stahllegierungen, sind verwendbar. Der 'geteilte-Metallbehälter in Zylinderform wird zweckmäßig so ausgebildet, daß ein oberer abnehmbarer Teil entsteht, in dem zunächst keine Einbauteile, wie Getter- oder Ionengetterpumpen, bzw. Stromdurchführungen ioder ι Teile-, der. Tiefkühlspirale, vorgesehen sind. Dieser Teil des Innenraumes steht zur Durchführung der gewünschten Arbeiten zur Verfügung und erhält den hierfür durch die Problemstellung bestimmten Inneriaufbau. Durch die Anwendung der erfindungsgemäßen Maßnahmen läßt sich eine relativ einfach aufgebaute Höchstvakuumapparatur schaffen, bei der ein genügend -großer freier^ Behälterinnenraum unter Höchstvakuum gehalten wird und somit zur Durchführung-^;der·' gewünschten Arbeiten verwendet werden"To increase the vacuum that can be achieved when using diffusion pumps, it may appear expedient to mount a freezer, in particular in the form of a pipe spiral through which coolant flows, inside the container in a part of the metal cylinder in a manner known per se in the area of the inner wall surface the suction line to the high vacuum pump switched on deep-frozen condensation surfaces proves to be particularly effective - the arrangement inside the container. Of course, additional separating devices working according to any principle, in particular provided with deep-frozen separating surfaces, can also be switched on in the suction line of the vacuum pump. ' Nickel sheet, for example, can be used as the material for the container, but also other metals with corresponding electrical conductivity, e.g. B. corrosion-resistant steel alloys can be used. The 'divided metal container in cylinder shape is expediently designed so that an upper removable part is created in which initially no built-in parts, such as getter or ion getter pumps, or current feedthroughs i or ι parts, the. Freezer coil, are provided. This part of the interior is available for carrying out the desired work and receives the interior structure determined for this by the problem. By applying the measures according to the invention, a relatively simply constructed maximum vacuum apparatus can be created in which a sufficiently large free container interior is kept under maximum vacuum and thus for implementation ^; the · 'desired work can be used

-'- ^; ■ In^;' der Zeichnung - ist ■ ein Ausführungsbeispiel des Gegenständeis der (Erfindung schematisch dargestellt. -Man; erkennt^ einen äußeren Vakuumbehälter 1, in dessen Innenraum-ein zur Erzeugung eines extrem hohen Vakuums bestimmter Behälter 2 auf wärmeisolierend'enJ'Hältestützen 3 angeordnet ist. Der Höchstvakuumbehälters. besteht aus einem oberen Teil 4 so-■wie'äus einem-Unteren Teil 5, in dem alle Einbauteile, die zur Erzeugung und Aufrechterhaltung des Höchstvakuums im Behälterinnenraum benötigt werden, eingebaut sind; Im oberen Teil 4 befindet sich eine Durchblicköffnung 6, ■. die durch ein ohne besondere Dichtungsmittel unmittelbar auf die plangeschliffene Oberfläche aufgelegtes Schauglas 7 abgedeckt ist.Zur-Stromzuführungan der einen Stirnfläche ist eine ringförmige Elektrode ^vorgesehen, die über eine Zuleitung 9 mit der Stromversorgung in Verbindung steht. Die Durchführung, der Zuleitung 9 durch die Wand des Vakuumbehälters 1 erfolgt in einer Stromdurchführung 10. Im unteren: Teil 5 ; des Höchstvakuumbehälters 2 befindet sichi-eine lönengetterpumpe-ll mit- einem Heizfaden aus'ver dampf baren Gettermetall 12 sowie einer hohlzylinderförmigen Auffangelektrode i3. Diese Auffangelektrode 13 ^sowie der Heizfaden 12 sind über Strom- ^uführungsleitungen 14, 15,16 an ein Stromversorgürigsgerät-17 angeschlossen. Ihre Durchführung durch die>Wändteile-des Höchstvakuumbehälters 2 und des Vakuümbehälters 1 'erfolgt in besonderen Mehrfachdurchführungen 18, 19. Die Elektrodenteile der Ionengetterpumpe 11 sind auf einem wärmebeständigen keramischen Isolierstück 20 aufgebaut, das seinerseits über Befestigungsstützen 21 mit der Bodenfläche des unteren Teiles 5 des Höchstvakuumbehälters 2 verbunden ist. -'- ^; ■ In ^; In the drawing , an embodiment of the subject matter of the invention is shown schematically. One recognizes an outer vacuum container 1, in the interior of which a container 2 intended to generate an extremely high vacuum is arranged on heat-insulating holding supports 3. The maximum vacuum container consists of an upper part 4 as well as a lower part 5, in which all built-in parts that are required to generate and maintain the maximum vacuum in the interior of the container are built; in the upper part 4 there is a viewing opening 6 Which is covered by a sight glass 7 placed directly on the ground surface without any special sealing means.A ring-shaped electrode is provided on one end face, which is connected to the power supply via a supply line 9. The bushing, the supply line 9 through the wall of the vacuum container 1 takes place in a power feedthrough 10. In the lower part 5; The maximum vacuum container 2 is located - a lone getter pump - 11 with a heating filament made of evaporable getter metal 12 and a hollow cylindrical collecting electrode 13. This collecting electrode 13 ^ and the filament 12 are connected to a power supply device 17 via power supply lines 14, 15, 16. Their implementation through the> wall parts of the maximum vacuum container 2 and of the vacuum container 1 'takes place in special multiple feedthroughs 18, 19. The electrode parts of the ion getter pump 11 are built on a heat-resistant ceramic insulating piece 20, which in turn is connected to the bottom surface of the lower part 5 of the Maximum vacuum tank 2 is connected.

Zur Stromzuführung an der unteren Stirnfläche ist eine Mittelelektrode 22 vorgesehen, an die eine weitere Verbindungsleitung 23 angeschlossen und durch eine Isolierdurchführung 24 in der Behälterwand des Vakuumbehälters 1 geführt und an einen Pol eines einpoligen Schalters 25 angeschlossen ist. Der andere Pol des einpoligen Schalters 25 liegt an der Stromversorgung, und beim Schließen dieses Schalters 25 entsteht ein geschlossener Stromkreis, in dem sich die Wandteile des Höchstvakuumbehälters 2, aber auch Teile der Stirnflächen als Arbeitswiderstand zur Stromwärmeerzeugfung befinden. Beim Aufbau ist besonders darauf zu achten, daß die Verbindungsleitungen 9, 23, die zur Zuführung des Heizstromes beim Ausheizvorgang benutzt werden, einen entsprechend hohen Querschnitt aufweisen und aus gut leitfähigem Material, vorzugsweise aus Kupfer, bestehen, da anderenfalls in diesen Verbindungsleitungen 9,23 ebenfalls eine dort unerwünscht hohe Stromwärmeerzeugung nach dem Verhältnis der Widerstandswerte eintritt. Man kann an Stelle einer einzigen Verbindungsleituhg auch mehrere parallel geschaltete Verbindungsleitungen benutzen und dadurch die Strombelastung einer einzelnen Leitung von gegebenem Widerstand verringern. An den unteren Teil 5 des Höchstvakuumbehälters 2 ist eine Ansaugleitung 26 angeschlossen, die über eine Flanschverbindung 27 mit einer Diffusionspumpe 28 in Verbindung steht. In der Ansaugleitung befindet sich zusätzlich ein hand-^:;oder elektromagnetisch betätigtes Absperrventil 29.A center electrode 22 is provided for supplying power to the lower end face, to which a further connecting line 23 is connected and passed through an insulating bushing 24 in the container wall of the vacuum container 1 and connected to one pole of a single-pole switch 25. The other pole of the single-pole switch 25 is connected to the power supply, and when this switch 25 is closed, a closed circuit is created in which the wall parts of the maximum vacuum container 2, but also parts of the end faces are located as a working resistance for generating electricity. When setting up, particular care must be taken that the connecting lines 9, 23, which are used to supply the heating current during the heating process, have a correspondingly high cross-section and are made of a highly conductive material, preferably copper, otherwise these connecting lines 9, 23 there is also an undesirably high amount of electricity generated there according to the ratio of the resistance values. Instead of a single connecting line, several connecting lines connected in parallel can also be used, thereby reducing the current load on a single line of a given resistance. A suction line 26 is connected to the lower part 5 of the maximum vacuum container 2 and is connected to a diffusion pump 28 via a flange connection 27. In the suction in addition there is a ^hand-:; or solenoid operated shut-off valve 29.

Zur Evakuierung des Vakuumbehälters 1 ist eine weitere Ansaugleitung -30 vorgesehen, die über eine Flanschverbindung 31 mit einer weiteren Diffusionspumpe 32 unter Zwischenschaltung eines hand- oder elektromagnetisch betätigten Absperrventiles 33 in Verbindung steht. Da sich das Vakuum im Vakuumbehälter 1 bei genügender Abdichtung ohne Schwierigkeiten längere Zeit auf einem festgelegten Wert halten läßt, ist für die beiden Treibmittelpumpen 28, 32 nur eine gemeinsame mechanische Vorpumpe 34 vorgesehen, die von einem Elektromotor 35 angetrieben werden kann. Die Vorväkuumleitungen 36, 37 führen zu einem Dreiwegehahn 38, der über eine Rohrleitung 39 mit dem Ansaugstutzen der gemeinsamen mechanischen Vorpumpe 34 in Verbindung steht/ Je nach der Stellung dieses Dreiwegehahnes 38 ist der Ansaugstutzen der mechanischen Vorpumpe 34 ^: entweder mit der Treibmittelpumpe 32 oder mit der Treibmittelpumpe 28 bzw. über eine zur Außenluft mündende Leitung 40 unmittelbar mit der Umgebüngsatmosphäre in Verbindung gebracht. An Stelle des gezeigten Dreiwegehahnes 38 kann auch ein T-Stück mit zwei getrennten Ventilen derart vorgesehen sein, daß die mechanische Vorpumpe 34 wahlweise mit der Treibmittelpumpe32 und/oder der Treibmittelpumpe28 verbunden werden kann. Bei geeigneter Größe der mechanischen Vorpumpe 34 kann diese gleichzeitig als gemeinsame Vorpumpe für beide Treibmittelpumpen betrieben werden.For evacuating the vacuum container 1, a further suction line -30 is provided, which is connected via a flange connection 31 to a further diffusion pump 32 with the interposition of a manually or electromagnetically operated shut-off valve 33. Since the vacuum in the vacuum container 1 can be kept at a fixed value for a longer period of time with sufficient sealing without difficulty, only one common mechanical backing pump 34, which can be driven by an electric motor 35, is provided for the two propellant pumps 28, 32. The pre-vacuum lines 36, 37 lead to a three-way valve 38, which is connected to the intake port of the common mechanical pre-pump 34 via a pipe 39 / Depending on the position of this three-way valve 38, the intake port of the mechanical pre-pump 34 is ^: either with the propellant pump 32 or with the propellant pump 28 or brought directly into connection with the ambient atmosphere via a line 40 opening to the outside air. Instead of the three-way valve 38 shown, a T-piece with two separate valves can also be provided in such a way that the mechanical backing pump 34 can optionally be connected to the propellant pump 32 and / or the propellant pump 28. If the mechanical backing pump 34 is of a suitable size, it can be operated simultaneously as a common backing pump for both propellant pumps.

Im Inneren des unteren Teiles 5 des Höchstvakuumbehälters 2 befindet sich eine Tiefkühlvorrichtung in Form einer Rohrspirale 41, die über ein Zuleitungsrohr 43 sowie ein Ableitungsrohr 42 an eine an sich bekannte Kompressionskältemaschine angeschlossenIn the interior of the lower part 5 of the maximum vacuum container 2 there is a freezer in Form of a spiral pipe 41, which via a supply pipe 43 and a discharge pipe 42 to a per se known compression refrigeration machine connected

7" werden kann.7 "can be.

Der Vakuumbehälter 1 ist ebenfalls aus einem oberen Teil 44 und einem unteren Teil 45 zusammengesetzt, wobei in den unteren Teil 45 eine Bodenplatte 46 eingelegt ist. An einem Ansatzstutzen 47 ist ein weiteres Schauglas 48 in üblicher Weise vakuumdicht befestigt, das über das Schauglas 7 einen unmittelbaren Einblick in den im Inneren des oberen Teiles 4 des Höchstvakuumbehälters 2 befindlichen freien Höchstvakuumraum ermöglicht.The vacuum container 1 is also composed of an upper part 44 and a lower part 45, a base plate 46 being inserted into the lower part 45. On a connecting piece 47 is another Sight glass 48 attached vacuum-tight in the usual way, which via the sight glass 7 provides a direct view into the free maximum vacuum space located inside the upper part 4 of the maximum vacuum container 2 enables.

Das dargestellte Ausführungsbeispiel soll lediglich das in der Erfindung niedergelegte allgemeine Prinzip veranschaulichen. Man kann im Einzelfall auch eine .andere Anordnung der Vakuumpumpen, gegebenenfalls unter Weglassung der im unteren Teil 5 befindlichen Ionengetterpumpe, vorsehen. Auch die Verwendung getrennter und gegebenenfalls mehrstufiger mechanischer Vorpumpen ist möglich. Als Treibmittelpumpen können sowohl öldiffusionspumpen als auch Quecksilberpumpen verwendet werden.The illustrated embodiment is only intended to follow the general principle laid down in the invention illustrate. In individual cases, a different arrangement of the vacuum pumps can also be used, if necessary omitting the ion getter pump located in the lower part 5. Also the use separate and possibly multi-stage mechanical backing pumping is possible. As propellant pumps Both oil diffusion pumps and mercury pumps can be used.

Claims

PAT ENT A N S PR 0 C HE:

1. Vessel in which, by means of enclosed and / or connected high vacuum pumps,

preferably by diffusion pumps, getter pumps or ion getter pumps, an extremely high one Vacuum is achieved, characterized in that this container is made of a material of appropriate electrical conductivity thin-walled as a resistor in a circuit is, so that it can be baked out by the current heat generated during the passage of current, and that this container is also in the interior of a vacuum container surrounding it.

2. Container according to claim 1, characterized in that this container made of metal parts in Cylindrical shape is formed and that the power supply of the heating current to the end faces of the cylinder takes place.

3. Container according to claim 2, characterized in that in a part of the metal cylinder in a manner known per se, a freezer, in particular, in the area of the inner wall surface in the form of a pipe spiral through which coolant flows.

Considered publications:
French Patent No. 983 216.

1 sheet of drawings