DE1096539B - Ion vacuum pump with atomizing cathode - Google Patents
Ion vacuum pump with atomizing cathodeInfo
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- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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Description
DEUTSCHESGERMAN
Die Erfindung betrifft eine Ionen-Vakuumpumpe, hei der unter Anwendung eines die Elektronenbahnen verlängernden Magnetfeldes eine Glimmentladung zwischen einer Kathode und einer Anode zwecks Zerstäubens der ersteren und Auffangens der zerstäubten Kathodenpartikel auf Auffangflächen erzeugt wird. Ionen-Vakuumpumpen dieser Art sind bekannt und zeichnen sich dadurch aus, daß sie ein außerordentlich hohes, von Fremdgasen freies Vakuum liefern.The invention relates to an ion vacuum pump, namely using one of the electron trajectories Lengthening magnetic field a glow discharge between a cathode and an anode for the purpose of sputtering of the former and collecting the atomized cathode particles on collecting surfaces will. Ion vacuum pumps of this type are known and are characterized by the fact that they are extremely deliver high vacuum free of foreign gases.
Ein Vorschlag der Schutzrechtsinhaberin sieht vor, daß die Anode flächenmäßig und gegebenenfalls auch raummäßig so unterteilt ist, daß in einer Ebene senkrecht zum Magnetfeld eine Vielzahl gleichzeitig auftretender Entladungsbahnen gebildet wird; die Kathodenanordnung besteht dabei aus parallelen, in Richtung des Magnetfeldes hintereinanderliegenden Teilen, wobei zwischen je zwei Teilen der Kathode eine Anode liegt, die vorzugsweise zellenförmig mit in Richtung des Magnetfeldes Hegenden Zellen ausgebildet ist.A proposal by the proprietor of the property right provides that the anode be in terms of area and, if necessary, also is spatially subdivided so that in a plane perpendicular to the magnetic field a large number of simultaneously occurring Discharge paths are formed; the cathode arrangement consists of parallel, in Direction of the magnetic field parts lying one behind the other, with the cathode between each two parts an anode is located, which is preferably cell-shaped with cells lying in the direction of the magnetic field is.
Die Erfindung betrifft eine derartige Pumpenanordnung und sieht eine derartige Ausbildung des Pumpengehäuses vor, daß die Mittel zur Erzeugung der magnetischen Felder in günstiger Weise außen an das Pumpengehäuse angesetzt werden können. Dabei ergibt sich bei der erfindungsgemäßen Pumpenanordnung die Möglichkeit, eine große Anzahl elektronischer Pumpstrecken in gedrängter Bauweise in dem Pumpengehäuse unterzubringen, so daß die erfindungsgemäße Pumpe eine hohe Pumpgeschwindigkeit zu erreichen gestattet.The invention relates to such a pump arrangement and provides such a design of the Pump housing that the means for generating the magnetic fields in a favorable manner outside can be attached to the pump housing. This results in the pump arrangement according to the invention the possibility of a large number of electronic pump sections in a compact design in to accommodate the pump housing, so that the pump according to the invention has a high pumping speed allowed to reach.
Gemäß der Erfindung hat das in Längsrichtung sich erstreckende Pumpengehäuse nach außen gerichtete Kammern, die vorzugsweise durch zwei breitere Seitenwandflächen und eine schmalere Endfläche gebildet werden, und es sind die Elektrodenanordnungen, die aus parallelen Kathoden und dazwischen angeordneten, vorzugsweise zellenförmig ausgebildeten Anoden bestehen, in den Kammern angeordnet, während Permanentmagneten bzw. deren Polflächen an den Außenseiten der Kammerwandung so angeordnet sind, daß ein sich von der einen Kammerwandung zu der anderen Kammerwandung erstreckendes Magnetfeld erzeugt wind.According to the invention, the longitudinally extending pump housing has outwardly directed Chambers, which are preferably formed by two wider side wall surfaces and a narrower end surface are, and it is the electrode arrangements, which are made up of parallel cathodes and interposed, preferably cell-shaped anodes exist, arranged in the chambers while Permanent magnets or their pole faces are arranged on the outside of the chamber wall are that a magnetic field extending from one chamber wall to the other chamber wall generates wind.
Vorzugsweise besteht das in Form eines Prisanas sich in der Längsrichtung erstreckende Pumpengehäuse
aus mehreren radial sich erstreckenden Kammern rechteckigen Querschnittes, Die aus den Anodenanordnungen
und den Kathodenanordnungen bestehenden Elektrodensysteme .sind zweckmäßigerweise
so ausgebildet, daß sie Baugruppen bilden, von denen jede Gruppe als Ganzes in einer Kammer leicht einsatzfähig
und herausnehmbar ausgebildet ist, was Ionen -Vakuumpumpe
mit zerstäubender KathodeThe pump housing, which extends in the longitudinal direction in the form of a prisana, preferably consists of several radially extending chambers of rectangular cross-section Chamber is designed to be easy to use and removable, what ion vacuum pump
with sputtering cathode
Anmelder:Applicant:
Varian Associates,Varian Associates,
Palo Alto, Calif. (V. St. A.)Palo Alto, Calif. (V. St. A.)
Vertreter: Dr. phil, G. B. Hagen, Patentanwalt,
München 22, Widenmayerstr. 38Representative: Dr. phil, GB Hagen, patent attorney,
Munich 22, Widenmayerstr. 38
Beanspruchte Priorität:
V. St. v. Amerika vom 1. August 1958Claimed priority:
V. St. v. America August 1, 1958
William Arthur Lloyd, Los Altos, Calif.,
und Glen Andrew Huffman, Palo Alto, Calif.William Arthur Lloyd, Los Altos, Calif.,
and Glen Andrew Huffman, Palo Alto, Calif.
(V. St. Α.),
sind als Erfinder genannt worden(V. St. Α.),
have been named as inventors
sich für Reparatur und Ersatzarbeiten als zweckmäßig erweist.proves to be appropriate for repair and replacement work.
Die vorstehenden Merkmale und weiteren Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den Zeichnungen. Von den Figuren zeigtThe above features and further expediencies of the invention emerge from the following Description in conjunction with the drawings. From the figures shows
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung in teilweise gebrochener Form, wobei einzelne Teile der Vakuumpumpe auseinandergezogen dargestellt sind,Fig. 1 is a perspective view in partially broken form, with individual parts of the vacuum pump are shown exploded,
Fig. 2 eine vergrößerte Querschnittsdarstellung der in Fig. 1 wiedergegebenen Anordnung, wobei die Schnittlinie 2-2 für die Darstellung maßgeblich ist,FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the arrangement shown in FIG. 1, the Section line 2-2 is decisive for the representation,
Fig. 3 eine verkleinerte Querschnittswiedergabe der in Fig. 1 dargestellten Anordnung entsprechend der Schnittlinie 3-3,FIG. 3 is a reduced cross-sectional representation of the arrangement shown in FIG. 1 corresponding to FIG Section line 3-3,
Fig. 3 a eine der Fig. 3 entsprechende Darstellung in etwas vergrößerter Darstellung,3 a shows a representation corresponding to FIG. 3 in a somewhat enlarged representation,
Fig. 4 eine teilweise gebrochene Darstellung eines Teiles der in Fig. 1 wiedergegebenen Anordnung,FIG. 4 shows a partially broken representation of part of the arrangement shown in FIG. 1,
Fig. 5 eine vergrößerte perspektivische Darstellung eines Teiles der Anordnung gemäß Fig. 2 entsprechend der Linie 5-5,FIG. 5 shows an enlarged perspective illustration of part of the arrangement according to FIG. 2, correspondingly the line 5-5,
Fig. 6 einen Querschnitt in vergrößerter Darstellung, welcher einen Teil der Anordnung gemäß Fig. 3 wiedergibt,FIG. 6 shows a cross-section in an enlarged illustration, which shows part of the arrangement according to FIG reproduces,
Fig. 7 eine Schnittdarstellung eines Teiles der Anordnung der Fig. 6, entsprechend der Linie 7-7 in Fig. 6,FIG. 7 is a sectional view of part of the arrangement of FIG. 6, corresponding to the line 7-7 in FIG Fig. 6,
009 697/131009 697/131
3 43 4
Fig. 8 einen Querschnitt' eines Teiles der erfindungs- führt sind, die an dem Block 13 vorgesehen sind. Auf
gemäßen mit ionischer Zerstäubung arbeitenden An- diese Weise können die Platten 14 sich frei in bezug
Ordnung. auf den oberen Block 13 verschieben, und die Wärmein den Fig. 1 bis 4 ist mit 1 das rohrförmige ausdehnung der Platte 14 kann aufgenommen werden;
Vakuumgefäß bezeichnet, welches aus einer mittleren, 5 die Platte kann aber durch die Wirkung der Bolzen
rechtwinklig geformten Kammer 2 besteht, an die 16 sich nicht von dem Block 13 abheben,
eine Mehrzahl rechteckiger Kammern 3 geringerer Die beiden Blöcke 13 werden durch die dazwischen
Größe angesetzt ist, wobei die letzteren Kammern mit angeordnete, zellenförmig aufgebaute Anode 17, die
der mittleren rechteckigen ^Kammer 2 über sich in der beispielsweise aus Titanblech zusammengeschweißt
Längsrichtung erstreckende. Öffnungen in den Seiten- io ist, zusammengehalten. Die Anoden 17 sind auf einem
wandungen in Verbindung stehen. Das Vakuumgefäß 1 rechteckigen Rahmen 18, der aus Blechstreifen von
besteht beispielsweise aus einer Mehrzahl Platten, etwa lV2mm Stärke und aus nichtrostendem Stahl
deren Stärke etwa 3 mm beträgt und die aus nicht- besteht und in einer Anzahl von Punkten mit der
rostendem Stahl bestehen; die Platten sind in ge- zellenförmigen Anodenanordnung 17 verschweißt ist,
eigneter Weise zu einem treppenförmigen Gebilde ge- 15 gehalten. A^ier Sockel 19 erstrecken sich in Längsrichbogen.
Vier derartige Teile isind an den zusammen- tung von dem Rahmen 18 und tragen vier Kegelstoßenden
Kanten miteinander verbunden, beispiels- stumpfe aus Hochspannungsisoliermaterial 21, beiweise
im Wege der Schutzgasschweißung, so daß spielsweise aus Keramik. Die Isolatoren 21 sind
die Seitenwandungen des- rohrförmigen Gehäuses! mittels Befestigungsschrauben 23 in zylindrischen
entstehen. 20 Höhlungen 22 eines Blockes 13 angeordnet.8 is a cross section of a part of the invention which is provided on the block 13. In a manner that works appropriately with ionic atomization, the plates 14 can move freely with respect to order. move on the upper block 13, and the heat in Figures 1 to 4 is with 1 the tubular expansion of the plate 14 can be absorbed; Designates a vacuum vessel, which consists of a central chamber 2, 5 but the plate can be formed at right angles due to the action of the bolts, to which 16 do not stand out from the block 13,
a plurality of rectangular chambers 3 smaller The two blocks 13 are attached by the size in between, the latter chambers with arranged, cell-shaped anodes 17, which extend the middle rectangular ^ chamber 2 over in the longitudinal direction welded together, for example from titanium sheet. Openings in the side io is held together. The anodes 17 are connected on a wall. The vacuum vessel 1 rectangular frame 18, which consists of sheet metal strips from, for example, a plurality of plates, about lV2mm thick and made of stainless steel whose thickness is about 3 mm and which does not consist and in a number of points with the rusting steel; the plates are welded in a cell-shaped anode arrangement 17, suitably held to form a staircase-shaped structure. A ^ ier base 19 extend in a longitudinal arc. Four such parts are at the assembly of the frame 18 and have four conical edges connected to one another, for example blunt edges made of high-voltage insulating material 21, for example by means of inert gas welding, so that for example made of ceramic. The insulators 21 are the side walls of the tubular housing! arise by means of fastening screws 23 in cylindrical. 20 cavities 22 of a block 13 are arranged.
Das Bodenstück des Gehäuses 1 ist durch eine Die Kathodenplatten 14 des Pumpgefäßes 12 sindThe bottom piece of the housing 1 is through a The cathode plates 14 of the pump vessel 12 are
Fläche 4 gebildet, die ehehfalls mit den Seitenwan- in bezug auf den Block 13 verschiebbar angeordnet,Surface 4 is formed, which is arranged with the side walls in relation to the block 13 to be displaceable,
düngen des Gehäuses 1 zweckmäßigerweise durch so daß sich Sn dem Gefäß 12 keine Spannungenfertilize the housing 1 expediently by so that Sn the vessel 12 no stresses
Helium-Schutzgasschweißting verbunden ist. Das ergeben können, wenn eine ungleichmäßige thermischeHelium inert gas welding is connected. That can result when an uneven thermal
andere Ende des Gefäßes 1 ist mit einer Platte 5 ab- 25 Ausdehnung der Anodenteile 17, des Rahmens 18 undthe other end of the vessel 1 is with a plate 5 extending the anode parts 17, the frame 18 and
geschlossen, die in der Mitte eine Öffnung besitzt; die " der Kathodenplatten 14, welche im Betrieb sehr heißclosed, which has an opening in the middle; the "of the cathode plates 14, which are very hot during operation
Platte 5 besteht ebenfalls" zweckmäßigerweise aus werden, stattfindet.Plate 5 also consists of "expediently be made."
nichtrostendem Stahl und ist mit den Seitenwandun- Ungefähr in der Mitte der Längs ausdehnung der gen des Gefäßes durch Helium-Schutzgasschweißung zellenförmig aufgebauten Anode 17 ist ein größeres verbunden. ; . 30 Loch vorgesehen, durch welches zwei zylindrische, Ein zylindrischer Ansatzstutzen 6, der aus nicht- die Kathoden distanzierende Abstandsstücke 24, die rostendem Stahl bestehen kann, ist an der öffnung aus Titan bestehen können, geführt sind. Die Distander Abschlußwand 5 vorgesehen und steht mit der zierstücke 24 dienen dem Zweck, den richtigen Abmittleren Kammer 2 über die mittlere öffnung der stand zwischen den Kathodenplatten sicherzustellen Platte 5 in Verbindung. Ein ringförmiger Flansch 7, 35 und ein Durchbiegen derselben zu vermeiden, welches der aus nichtrostendem Stahl bestehen kann, besitzt den richtigen Abstand gegenüber der zellenförmigen geeignete Nuten und ist an dem Stutzen 6 vakuum- Anode 17 beeinträchtigen könnte. Dabei bestehen die dicht, zweckmäßigerweise durch Helium-Schutzgas- Distanzierstücke 24 aus reaktivem Material, beispielsschweißung, befestigt. Ein Pumprohr 8 hat einen mit weise aus Titan. Es hat sich gezeigt, daß eine beentsprechenden Nuten versehenen Flansch 9 und dient 40 trächtliche Pumpwirkung durch die Zerstäubung der zur Verbindung des Pumpengehäuses 1 mit der zu aus reaktivem Material bestehenden Distanzierstücke evakuierenden Anordnung. 24 unter dem Einfluß des Ionenbombardements be-stainless steel and is with the side walls approximately in the middle of the longitudinal extension of the gene of the vessel by helium inert gas welding cell-shaped anode 17 is a larger one tied together. ; . 30 hole provided through which two cylindrical, A cylindrical extension piece 6, which consists of non-cathode spacing spacers 24, the can be made of rusting steel, the opening can be made of titanium, are guided. The distander End wall 5 is provided and stands with the ornamental pieces 24 serve the purpose of finding the right mediator Chamber 2 via the middle opening to ensure the stand between the cathode plates Plate 5 in connection. To avoid an annular flange 7, 35 and bending thereof, which which can consist of stainless steel, has the correct distance from the cellular suitable grooves and is on the nozzle 6 vacuum anode 17 could affect. The tight, expediently by means of helium shielding gas spacers 24 made of reactive material, e.g. welding, attached. A pump tube 8 has a wise made of titanium. It has been shown that a corresponding Grooved flange 9 and serves 40 substantial pumping action through the atomization of the for connecting the pump housing 1 with the spacer pieces made of reactive material evacuating arrangement. 24 under the influence of ion bombardment
Die Flansche 7 und 9 werden durch mehrere BoI- dingt ist.The flanges 7 and 9 are dinged by several BoI- is.
zen 10, die durch entsprechende Öffnungen in den Rechteckige Führungslappen 25, die beispielsweise
Flanschfiächen hindurchgreifen, zusammengehalten. 45 aus nichtrostendem Stahl bestehen, sind an den
Wenn die Flansche 7 und 9 festgegeneinandergezogen inneren Enden der Führungsblöcke 13, beispielsweise
werden, so wird eine Dichtungsscheibe 11, die bei- im Wege einer Schutzgasschweißung, befestigt,
spielsweise aus einem Kupferblech bestehen kann, Diesen Lappen entsprechen Befestigungslappen 26 an
eingepreßt, so daß eine vakmimdiche Verbindung sich der Innenseite des Pumpengefäßes 1, «die an demselben
ergibt. 50 angeschweißt sein können und die Führungslappen 25 Mehrere Pumpgef äße 12 sind.in den kleineren recht- aufnehmen und dadurch die richtige Lage des die
eckigen Kammern 3 angeordnet und stehen mit der Pumpelemente enthaltenden Gefäßes 12 innerhalb der
mittleren Kammer 2 in Verbindung. Die Gefäße 12 kleinen Kammer 3 sicherstellen. Wenn das die Pumpsind
im einzelnen in den Fig. 5 bis 7 dargestellt und elemente enthaltende Gefäß 12 in seine Arbeitsstelbestehen
aus rechteckigen, an den Stirnseiten ange- 55 lung gebracht ist, so liegt es mit dem Block 13 auf
ordneten Blöcken 13, zweckmäßigerweise aus nicht- der unteren AbschUißwand 4 des Gehäuses 1 auf.
rostendem Stahl. Kathodenplatten 14 von etwa 3 mm Die oberen Sicherungslappen 26 haben Schlitze 27,
Stärke und aus reaktivem Material, wie Titan ader die Sicherungsschrauiben 28, die in entsprechende Ge-Zirkon,
bestehend, sind an den rechteckigen Blöcken windelöcher in die Lappen 25 eingreifen, aufnehmen;
13 mittels Schrauben 15 befestigt, welche Löcher in 60 die Schrauben sind nur hindurchgesteckt, so daß keine
den Kathodenplatten 14 durchsetzen und in entspre- feste Verbindung der Sicherungsschrauben 28 mit den
chende Gewindelöcher in den Teilen 13 eingreifen. Lappen 26 stattfindet. Die Sicherungsschrauben 28
Andere reaktive Materialien, die Anwendung finden dienen nur dem Zweck, zu verhindern, daß die die
können, sind Molybdän, Wolfram, Tantal, Niob, Pumpelemente enhaltenden Gefäße 12 aus den Lappen
Eisen, Chrom, Nickel, Barium, Alumimium, Thorkim, 65 26 herausfallen, wenn die Pumpe
>auf den Kopf geMagnesium, Kalzium, Strontium sowie Elemente der stellt wird.zen 10, which are held together by corresponding openings in the rectangular guide tabs 25, which for example reach through flange surfaces. 45 are made of stainless steel, if the flanges 7 and 9 are pulled tightly against each other, the inner ends of the guide blocks 13, for example, a sealing washer 11, which can be made of a sheet of copper, for example, is attached to this cloth corresponding fastening tabs 26 are pressed in, so that a vacuum connection is created on the inside of the pump vessel 1, which results on the same. 50 can be welded on and the guide tabs 25 several pump vessels 12 sind.in the smaller right and thus the correct position of the angular chambers 3 are arranged and are connected to the vessel 12 containing the pump elements within the middle chamber 2. Secure the vessels 12 small chamber 3. When the pumps are shown in detail in FIGS. 5 to 7 and contain the elements, the vessel 12 is placed in its working position consisting of rectangular, attached to the end faces, so it rests with the block 13 on ordered blocks 13, expediently not - The lower end wall 4 of the housing 1.
rusting steel. Cathode plates 14 of about 3 mm. The upper locking tabs 26 have slots 27, strength and made of reactive material, such as titanium or the locking screws 28, which are made of corresponding Ge-zirconium, are diaper holes in the tabs 25 engage on the rectangular blocks; 13 fastened by means of screws 15, which holes in 60 the screws are only pushed through so that none of the cathode plates 14 penetrate and engage in the corresponding threaded holes in the parts 13 in a corresponding connection of the securing screws 28. Flap 26 takes place. The locking screws 28 Other reactive materials that are used only serve the purpose of preventing that they can, are molybdenum, tungsten, tantalum, niobium, pumping elements containing vessels 12 made of iron, chromium, nickel, barium, aluminum, Thorkim , 65 26 fall out if the pump is turned upside down, magnesium, calcium, strontium and elements of the.
V. IV. und VI. Gruppe des Periodischen Systeme, An dem Zylinderstutzen 6 sind mehrere Hochinsbesondere seltene Erden·. An dem oberen, an der Spannungsisolatoren 29 radial angeordnet, welche eineV. IV. And VI. Group of the periodic systems, on the cylinder connector 6 are several highs in particular rare earth·. On the upper, on the voltage insulators 29 arranged radially, which a
Stirnseite vorgesehenen Block 13 haben die Kathoden- isolierte Durchführung einer entsprechenden AnzahlBlock 13 provided on the end face have a corresponding number of cathode-insulated leadthroughs
platten 14 Längsschlitze, durch welche Bolzen 16 ge- 70 von Hochspannungsleitungen 31 in das Pumpgehäuseplates 14 longitudinal slots, through which bolts 16 ge 70 of high-voltage lines 31 in the pump housing
Claims (7)
mittels einer Schraube an dem Anodenrahmen 18 be- 5 Durch die Glimmentladung werden positive Ionenallow in. Several metal strips 32 made of Gauss. The magnetic field is perpendicular to the copper can exist, are attached to the inner conductor 31 cathode plates 14, and a glow discharge results clamped using clamps 33. The other end of the current-carrying strip 32 is shaped anodes 17 and the cathode plates 14.
by means of a screw on the anode frame 18, positive ions are generated by the glow discharge
aus Nickel-Aluminium-Stahl bestehen können, ge- Dadurch, daß die Pumpelemente in Gefäßen 12 liefert. Die Permanentmagneten 35 haben Längs- zusammengefaßt sind, ist es sehr einfach, die Pumplöcher, in welche Bolzen 36 eingesetzt sind. Die elemente auszuwechseln. Um ein solches Gefäß 12 Bolzen durchsetzen die Permanentmagneten 35 und 25 auszuwechseln, muß der Streifen 32 von der Hochsind in Gewindebohrungen rechteckiger Pohlstücke 37 Spannungszuführung 31 durch Entfernen der Klameingeschraubt, die beispielsweise aus Eisen bestehen mer 33 gelöst werden. Dadurch, daß die Schrauben 28 können. Die Permanentmagneten 35 sind zu einem entfernt werden, kann das Gefäß 12, welches die Stapel zusammengefaßt, wobei sich die Ebene eines Pumpelemente enthält, angehoben, aus dem Ansatzsäulenförmigen Stapels im wesentlichen unter einem 30 zapfen 6 herausgeholt und durch ein neues Gefäß 12 rechten Winkel zu der des benachbarten Stapels be- mit Pumpelemienten ersetzt werden,
findet. Beim Zusammenbau <sind die säulenförmigen Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist in Stapel der Permanentmagneten mittels einer Stange Fig. 8 gezeigt. Die Ausführungsform gemäß Fig. 8 38 von quadratischem Querschnitt, die aus einem ähnelt der in Fig. 3 dargestellten Ausführungsform, magnetisch permeablen Material, beispielsweise aus 35 Es ist hier eine größere Anzahl rechteckiger Kam-Eisen, bestehen kann und Löcher zur Aufnahme der mern 3 vorgesehen, die mit der großen mittleren Bolzen 36 besitzt, zusammengefaßt. Kammer 41' in Verbindung steht. Die kleinerenA magnetic field of 1000 to 1800 Gauss pump experiences the gas which is in the pump from perpendicular to the surfaces of the cathode plates other parts of the apparatus that are to be evacuated, 14 generated; the magnetic field is diffused in by several right-hand 20, only little resistance, and it is angular permanent magnets 35, which for example, therefore, the pumping speed is very high,
can consist of nickel-aluminum steel, due to the fact that the pump elements in vessels 12 delivers. The permanent magnets 35 have been combined longitudinally, it is very easy to find the pump holes into which bolts 36 are inserted. Replace the elements. To enforce such a vessel 12 bolts to replace the permanent magnets 35 and 25, the strip 32 must be loosened from the high in threaded bores of rectangular pole pieces 37 voltage supply 31 by removing the clamps, which are made of iron for example 33. Because the screws 28 can. The permanent magnets 35 are to be removed, the vessel 12, which combines the stacks, the level of a pumping element containing itself, can be raised, removed from the column-shaped stack essentially under a peg 6 and through a new vessel 12 at right angles that of the adjacent stack can be replaced with pump elements,
finds. Another embodiment of the invention is shown in a stack of permanent magnets by means of a rod in FIG. 8. The embodiment according to FIG. 8 38 of a square cross-section, which is made of a magnetically permeable material similar to the embodiment shown in FIG provided, which has the large central bolt 36, summarized. Chamber 41 'is in communication. The smaller ones
anordnung zu befestigen, so daß sie von der Pumpe
nicht abfallen kann.to press the spacer plates39 and the magnet 10- 'mm Hg.
assembly to attach so that they are from the pump
cannot fall off.
einen Druck von etwa 10~2 mm Hg durch eine mechanische Vakuumpumpe ausgepumpt. Ein positives Poten- 1. Ionen-Vakuumpumpe, bei der unter Anwential von etwa 3000 Volt wird an die zellenförmige dung eines die Elektronenbahnen verlängernden Anodenanordnung 17 gelegt. Die Permanentmagneten Magnetfeldes eine Glimmentladung zwischen einer liefern ein magnetisches Feld von etwa 1000 bis 1800 70 Kathode und einer Anode zwecks Zerstäubens derIn operation, the vacuum pump is initially based on 65 patent claims:
pumped out a pressure of about 10 ~ 2 mm Hg by a mechanical vacuum pump. A positive potential 1st ion vacuum pump, in which at an application of about 3000 volts, is applied to the cellular formation of an anode arrangement 17 which extends the electron paths. The permanent magnets provide a glow discharge between a magnetic field of about 1000 to 1800 70 cathode and an anode for the purpose of sputtering the magnetic field
Deutsche Au'slegeschrift A 23048 I a/27 d (bekanntgemacht am 21. 6. 1956).Considered publications:
Deutsche Auslegeschrift A 23048 I a / 27 d (published June 21, 1956).
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Cited By (1)
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| WO1996018204A1 (en) * | 1994-12-05 | 1996-06-13 | Color Planar Displays, Inc. | Support structure for flat panel displays |
| US5655886A (en) * | 1995-06-06 | 1997-08-12 | Color Planar Displays, Inc. | Vacuum maintenance device for high vacuum chambers |
| JP2001332209A (en) * | 2000-03-13 | 2001-11-30 | Ulvac Japan Ltd | Sputter ion pump |
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| US10460917B2 (en) * | 2016-05-26 | 2019-10-29 | AOSense, Inc. | Miniature ion pump |
Family Cites Families (2)
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| US2636664A (en) * | 1949-01-28 | 1953-04-28 | Hertzler Elmer Afton | High vacuum pumping method, apparatus, and techniques |
| US2726805A (en) * | 1953-01-29 | 1955-12-13 | Ernest O Lawrence | Ion pump |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1194093B (en) | 1960-03-24 | 1965-06-03 | Varian Associates | Ion vacuum pump working with cathode atomization |
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