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DE1068473B - - Google Patents

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Publication number
DE1068473B
DE1068473B DENDAT1068473D DE1068473DA DE1068473B DE 1068473 B DE1068473 B DE 1068473B DE NDAT1068473 D DENDAT1068473 D DE NDAT1068473D DE 1068473D A DE1068473D A DE 1068473DA DE 1068473 B DE1068473 B DE 1068473B
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DE
Germany
Prior art keywords
modulation
measuring
image plane
planes
pulse
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DENDAT1068473D
Other languages
English (en)
Publication date
Publication of DE1068473B publication Critical patent/DE1068473B/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Einrichtung zur berührungslosen Materialstärkenmessung, insbesondere zur Messung von Blechstärken Die bekannten berührungslosen Verfahren zur Materialstärkenmessung von Stoffen mit begrenzter Durchlässigkeit haben den Nachteil, daß sie entweder nur die Messung von Stärken bis maximal 10 mm bei niedriger und konstanter Materialtemperatur und bestimmter Materialzusammensetzung oder nur die Messung von Materialstärken bis maximal 100 mm mit Hilfe harter Röntgen- oder Gammastrahlung erlauben. Das ist besonders nachteilig in der laufenden Blechproduktion, vor allem bei Warmwalzverfahren.
  • Die Anwendung von Röntgen- bzw. Gammastrahlen führt nicht nur zu außerordentlich aufwendigen Meßapparaturen, sondern birgt auch die Gefahr der Strahlenverseuchung und damit Personaigefährdung in sich.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Materialstärkenmeßeinrichtung zu schaffen, die nicht nur Stärken bis 200 mm und mehr mit einer Genauigkeit von etwa t/20 mm oder noch genauer mißt, sondern diese Messung weitestgehend ohne Rücksicht auf Materialzusammensetzung und Materialtemperatur erlaubt. Es ist ein Verfahren bekannt, bei der Dickenmessung von Gegenständen mit be--grenzter Durchlässigkeit so vorzugehen, daß das zu messende Material zwischen zwei Bezugsmeß ebenen, deren Abstand bekannt ist geführt wird. Dabei wird die Differenz des Abstandes der Bezugsmeßebenen einerseits und der Summe der Abstände der Bezugsmeßebenen von den ihnen zugekehrten Flächen des Meßobjekts andererseits als Maß der Matrialstärke dargestellt. Ferner werden zur Messung der Abstände der Bezugsmeßebenen von den ihnen zugekehrten Materialflächen die Wegverluste geeigneter reflexionsfähiger Wellen benutzt. Dieses in der USA.-Patentschrift 2 640 190 beschriebene Verfahren ist jedoch für eine genaue Materialstärkenmessung ungeeignet, da es Dickenabweichungen nur in der Größenordnung der Wellenlänge der ausgestrahlten Energie anzeigt.
  • Um Dickenänderungen von 1 mm oder gar 1/20 mm messen zu können, müßten also Millimeterwellen oder Wellen noch kürzerer Länge verwendet werden. Abgesehen von dem erheblichen apparativen und kostenmäßigen Aufwand, den eine solche Meßapparatur erfordern würde, müßte eine absolut gleichmäßig reflektierende Objektoberfläche vorhanden sein, da sonst der Reflexionsfaktor Fehler ergeben würde, die ein Mehrfaches der Dickenänderung betragen können.
  • Erfindungsgemäß läßt sich mit tragbarem Aufwand dennoch eine brauchbare Messung der Materialstärke undurchsichtiger Stoffe nach dem vorstehend beschriebenen Abstandsdifferenzverfahren auch mit Genauigkeiten von + 1/20 mm oder noch genauer dadurch erzielen, daß man die Meßpunkte oder Meßflächen des zu vermessenden Objekts optisch (z. B. mit einer Linsen- oder Spiegeloptik) abbildet und die Abweichun- gen der wirklichen (Istwert) Bildebenen von den vorgegebenen (Sollwert) Bildebenen als Kriterium der Materialstärkenabweichung anzeigt.
  • Die in der Literatur beschriebenen optischen Methoden der Dickenmessung beziehen sich nur auf die Dickenmessung durchsichtiger Materialien bzw. auf die Messung der Höhenunterschiede in Oberflächenreliefs (z. B. Rauhigkeit). Bei der bekannten optischen Dickenmessung derartiger Materialien wird so verfahren, daß man von einem Meßpunkt aus erst den Abstand zur oberenBegrenzungsfläche des Meßobjekts und dann durch das Meßobjekt hindurch den Abstand zur unteren Begrenzungsfläche, oder umgekehrt, visuell mißt.
  • Die vorhandenen Literaturstellen enthalten jedoch keinerlei Angaben über eine kontinuierlich erfolgende SimuItanmessung der Abstände zu den oberen und unteren Begrenzungsflächen des Meßobjekts zum Zweck der Dickenbestimmung.
  • Die Bestimmung der Materialstärke aus der Differenz des Abstandes der Bezugsmeßebenen einerseits und der Summe der Abstände der Bezugsmeßebenen von den ihnen zugekehrten Flächen des Meßobjekts andererseits dürfte als Regel für mathematisches und technisches Handeln angesehen werden.
  • In der Art der Messung der Abstände der Bezugsmeßebenen von den ihnen zugekehrten Flächen des Meßobjektes unterscheidet sich das erfindungsgemäße Verfahren jedoch grundsätzlich von dem in der angeführten USA.-Patentschrift und in der Literatur beschriebenen Meßverfahren.
  • Gemäß der Erfindung ist die Einrichtung zur Materialstärkenmessung, insbesondere zur Bestimmung vonBlechstärken, mikHilfa sichtbarer oder unsichtbarer Lichtstrahlen einschließlich der Wärmestrahlung, bei dem das Meßobjekt zwischen zwei die Strahlungsempfänger enthaltenden, parallel zueinander verlaufenden Bezugsmeßebenen oder Meßpunkten mit bekanntem Abstand derart untergebracht wird, daß die beiderseitigen Abstände oder, bei einseitiger Anlage des Objekts an einer Meßstelle, der einseitige Abstand zwischen Objekt und Meßstelle in einem optischen Meßvorgang bestimmt werden, und die Materialstärke als Differenz des Meßstellenabstandes und der gemessenen Abstände bzw. des gemessenen Abstandes ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß Abweichungen von vorgegebenen Bildebenen der Abbildungssysteme, die als Meßbereiche für die verschiedenen Materialstärken an der Meß einrichtung eingestellt werden können, und damit Materialstärkenänderungen innerhalb des jeweils eingestellten Meßbereiches als Kriterium der Abbildungsschärfenverhältnisse der angestrahlten oder eigenstrahlenden Materialoberflächen bestimmt werden.
  • In den Zeichnungen ist die Erfindung in mehreren Ausführungsbeispielen stark vereinfacht veranschaulicht.
  • Fig. 1 zeigt das grundsätzliche Meßprinzip in geometrisch/optischer Darstellung; Fig. 2 zeigt eine prinzipielle Meßanordnung in schaltschaubildlicher Darstellung (der Einfachheit halber nur einseitig dargestellt); Fig. 3 a zeigt das Raster eines Siemenssterns; Fig. 3b zeigt eine schematische Darstellung im Zusammenhang mit der Auswertung der Ergebnisse, die mit der Anordnung nach Fig. 2 gewonnen werden; Fig. 4 zeigt als Beispiel der verschiedenen Möglichkeiten einer Aufteilung eines Strahlenbündels in zwei intensitäts- und inhaltsgleiche Strahlenbündel die Strahlenteilung mittels eines halbdurchlässigen Spiegels sowie in schaltschaubildlicher Darstellung das Ausführungsbeispiel einer Gegenstandsweitenregelung durch Optikverstellung; Fig. 5 und 6 zeigen zwei Ausführungsformen einer Meßanordnung in schaltschaubildlicher Darstellung (der Einfachheit halber nur einseitig dargestellt) mit manueller bzw. automatischer Messung der Materialstärkenabweichung unter Anwendung des Differentialeffektes; Fig. 7 zeigt die Modulationskennlinien der Strahlung der Meßanordnungen nach Fig. 5 und 6 in den Modulationsebenen 11 a und 11 b als Funktion der Bildweiten; Fig. 8 zeigt die Modulationskennlinien der Strahlung der Meßanordnungen nach Fig. 5, 6 und 9 in den Bildebenen 3 a und 3 b bei konstanter Bildweite b1 und verschiedener Abweichung der Modulationsebenen von den zugehörigen Bildebenen; Fig. 9 zeigt die weitere Ausführung einer Meßanordnung zur automatischen Messung der Materialstärkenabweichung unter Anwendung des Differentialeffektes in schaltschaubildlicher Darstellung; Fig. 10a, 10b und 11 zeigen als Beispiel der verschiedenen Möglichkeiten einer periodischen Verschiebung der Modulationsebenen die prinzipielle Ausführung einer Schichtrasteranordnung (z. B. nach Art eines Siemenssterns) für die Meßanordnung Fig. 9; Fig. 12 und 13 zeigen als Beispiel der verschiedenen Anzeigemöglichkeiten der Nullimpulsabstände der Meßanordnung Fig. 9 die Anzeige auf einem Kathodenstrahlrohr mit kreisförmiger Strahlablenkung; Fig. 14a zeigt schaubildlich im Schnitt die Anordnung der Modulations- und Bildebenen sowie der Materialbegrenzung bei der Meßeinrichtung Fig. 9; Fig. 14b zeigt den Verlauf der Nullstellenwanderung der identischen zugehörigen Modulationsebenen (Schichtrasteranordnungen) sowie die Lage der Bild- ebenen (Bezugsmeßebenen) bei der Meß einrichtung Fig. 9; Fig. 15 und 16 zeigen weitere Anzeigemöglichkeiten der Impulsabstände und -richtungen der Meßanordnung Fig. 9.
  • Bei der Darstellung des grundsätzlichen Meßprinzips nach Fig. 1 befindet sich das Meßobjekt 1, dessen Stärke D bestimmt werden soll, zwischen den Bezugsmeßebenen 3 und 7, deren Abstand voneinander E beträgt. Wie Fig. 1 zeigt, ergibt sich die gewünschte Materialstärke D des Meßobjekts 1 als Differenz von E und der Summe der Abstände der Bezugsmeßebenen zu den ihnen zugekehrten Flächen des Meßobjekts.
  • D--E- (d, + d,) Nach bekannten optischen Gesetzen werden Gegenstände hinter einem Aufnahmeobjekt als reelle umgekehrte Bilder abgebildet. Die einzelnen scharfen Bildebenen haben je nach der Entfernung des Gegenstandes von der Aufnahmeoptik unterschiedliche Abstände voneinander. Bei vorgegebenem Abstand des Gegenstandes von der Aufnahmeoptik gibt es also nur eine genaue definierte Bildebene (unter der Voraussetzung, daß der Gegenstand eine Fläche ist). Verkleinert oder vergrößert sich der Abstand zwischen Gegenstand und Aufnahmeoptik, dann vergrößert bzw. verkleinert sich der Abstand der Bildebene von der Aufnahmeoptik.
  • Die Wanderung der Bildebene bei feststehender Aufnahmeoptik ist also ein Kriterium der Abstandsänderung des Gegenstandes.
  • Die in Fig. 1 dargestellte Anordnung zeigt das grundsätzliche erfindungsgemäße Meßprinzip unter Berücksichtigung der vorstehend erwähnten optischen Abbildungsgesetze. Bei dieser Anordnung werden die MeßpunktemO und u des Meßobjektes 1 mittels der Abbildungsobjektive bekannter Brennweite 2 und 6 scharf in den Bildebenen 3 und 7 abgebildet. Unter der Voraussetzung, daß der Abstand E der Bildebenen untereinander sowie die Bildweiten bl und b2 ebenfalls (durch Messung) bekannt sind, ergibt sich auf Grund der optisch festgelegten Größe von dl und d2 rechnerisch der Wert von D aus der oben angeführten Formel D=E- (d,+d2) Änderungen der Gegenstandsweiten al und a2 infolge Dickenabweichung des Meßobjekts 1 bewirken eine entsprechende Vergrößerung bzw. Verkleinerung der Bildweiten b1 und b2. Die Messung der durch die Dickenabweichung bedingten Bildweitenverschiebung aus vorgegebenen Ausgangspositionen bzw. die Messung der zur Erreichung dieser vorgegebenen Bildweiten-Ausgangspositionen notwendigen Verschiebung der Gegenstands weiten al und a2 ergibt den Wert der Dickenabweichung von einem vorgegebenen Sollwert.
  • Die in Fig. 1 zusätzlich aufgezeigte Beleuchtungseinrichtung, bestehend aus den Leuchtquellen 5 und 9 und den Beleuchtungsoptiken 4 und 8, ist für die Arbeitsweise des Verfahrens ohne grundsätzliche Bedeutung. Sie dient lediglich zur Beleuchtung der Meßpunkte in denFällen, in denen dieLicht- oderWärmeeigenstrahlung des Meßobjekts bzw. die sonstige Fremdbeleuchtung zu einer optischen Abbildung des Meßobjekts in den Bildebenen nicht ausreichen. Durch besondere Kennung (z. B. Idurch Impulstastung) der Zusatzbeleuchtung kann man mit bekannten Mitteln Fremdlichteinfiüsse auf den Meßvorgang ausschließen.
  • Die Messung der durch die Dickenabweichung des Meßobjektes von einem vorgegebenen Sollwert bedingten Verschiebung der Bildweiten b, und b2 kann auf verschiedene Art und Weise erfolgen. Da auf Grund der Verfahrenstechnik die Dickenmessung des Meßobjekts von oben und unten gleichzeitig durchgeführt werden muß, müssen auch zwei gleichgeartete Meß-Teilvorrichtungen vorhanden sein (falls das Meß objekt nicht auf einer definierten Bezugsunterlage liegt). Der Einfachheit halber sind die erfindungsgemäßen Einrichtungen in den Zeichnungen Fig. 1,4, 5 und 6 daher nur einseitig dargestellt und wird in der nachstehenden Beschreibung größtenteils nur auf diese einseitige Teilvorrichtung Bezug genommen. Für die Meßfälle, in denen die zweite Meß-Teilvorrichtung durch eine mechanische Bezugsunterlage (z.B. Rollengang) ersetzt wird, dürfte die einseitige Erläuterung der verschiedenen Meßeinrichtungen ebenfalls ausreichend sein.
  • Fig. 2 zeigt stark vereinfacht in schaltschaubildlicher Darstellung das grundsätzliche Meßprinzip zur Messung der Bildweitenverschiebung, wie es in ähnlicher Weise zur automatischen Entfernungseinstelluni von Filmkameras bereits verwendet wird. Das Meßobjekt 1 (hier der Meßpunkt mo) wird mittels der Abbildungsoptik 2 in der Bildebene 3 abgebildet. Im Strahlengang hinter der Abbildungsoptik 2 und parallel zu der Bildebene 3 liegend, befindet sich in vorgegebenem Abstand eine Modulationsrasterscheibe 11 mit definierter Modulationsebene (z. B. ein sogenannte Siemensstern), die durch den Motor 10 angetrieben wird. Dieser Siemensstern besteht aus einer durchsichtigen Scheibe, auf der ein Raster aus radial angeordneten, undurchsichtigen Flächen aufgetragen ist (s. Fig.3a). An Stelle der Modulationsrasterscheibe können auch Lochscheiben, Gitterwerke, Schlitzbleche usw. rotierend oder hin- und hergehend angeordnet werden. Der Abstand zwischen Abbildungsoptik 2 und Modulationsebene 11 kann mittels der Vorrichtung 15 in Richtung der Strahlenachse variiert werden. Hinter der Modulationsebene befindet sich ein Strahlungsempfängerelement, beispielsweise eine Fotozelle 12.
  • Rotiert nun die Rasterscheibe im Strahlenfeld hinter der Abbildungsoptik, so werden die Strahlen mit einer Frequenz moduliert, die der Dunkelfeldzahl des Rasters entspricht, die in l Sekunde durch einen gegebenen Punkt wandert. Befindet sich das Modulationsraster genau in der Bildebene 3 (wie in der Zeichnung Fig. 2), dann ist die Modulation der Strahlung aus Gründen der höchsten Strahlungsdichte am größten. Wandert die Bildebene 3 infolge einer Änderung der Gegenstandsweite a1 jedoch vor oder hinter die Modulationsebene, wird die Strahlungsmodulation schwächer und sogar fast Null, wenn die Entfernung zwischen Modulations- und Bildebene einen bestimmten Teil der Brennweite der Abbildungsoptik 2 erreicht. Die durch die Modulationsrasterscheibe gelangende modulierte Strahlung fällt auf die Fotozelle 12, die eine Wechselspannung abgibt. Die Amplitude dieser Wechselspannung, der sogenannte Modulationsgrad M, ist somit ein Maß für den Abstand der Bildebene von der Modulationsebene und damit für den Abstand der Modulationsebene 11 vom Meßpunkt mO.
  • Die von der Fotozelle 12 abgegebene Wechselspannung wird in dem Verstärker 13 bei Bedarf verstärkt und ihre Amplitude mit Hilfe des Meßinstruments 14 (Indikator für den Modulationsgrad M) angezeigt.
  • Fig. 3b zeigt eine schematische Darstellung im Zusammenhang mit der Auswertung der Ergebnisse, die mit der Anordnung nach Fig. 2 gewonnen werden.
  • A M ist der maximal erreichbare Modulationsgrad bei gegebener Strahlungsintensität des Meßobjekts im Augenblick der Übereinstimmung von Modulations- ebene und Bildebene. b, ist die Bildweite des Meßsystems bei Übereinstimmung von Bildebene und Modulationsebene. db, ist die Abweichung der Bildebene von der Modulationsebene. Xml ist der Modulationsgrad der Strahlung bei Abweichung der Bildebene aus der Modulationsebene um >1 b.
  • Bei Abweichung der wirklichen Bildebene (Istwert) aus einer vorgegebenen Bildebene (Sollwert, wenn Modulations- undBildebene übereinstimmen) kann bei der Einrichtung gemäß Fig. 2 mit Hilfe der Vorrichtung 15 die Modulationsebene so lange parallel in Richtung der Strahlenachse verschoben werden, bis diese mit der wirklichen Bildebene übereinstimmt, was an der Anzeige des Meßinstruments 14 (Maximalausschlag) deutlich erkennbar ist. Das Maß und die Richtung der Verschiebung der Modulationsebene ist gleichfalls ein Maß der Größe und Richtung der Abweichung der wirklichen von der vorgegebenen Bildebene.
  • Eine wesentlich genauere Messung der Bildweitenverschiebung läßt sich mit der Einrichtung gemäß Fig. 5 erzielen. Bei dieser Einrichtung wird die Strahlung hinter dem Aufnahmeobjektiv (das in der Zeichnung einfachheitshalber nicht aufgezeigt ist) zunächst in zwei intensitätsgleiche Strahlenbündel aufgeteilt.
  • Das kann z. B. mit Hilfe eines halbdurchlässigen Spiegels erfolgen, wie aus Fig. 4 ersichtlich ist. Der halbdurchlässige Spiegel 47 reflektiert die Hälfte der durch das Aufnahmeobj ektiv 2 kommenden Strahlung zur Seite, die somit hinter der Bildebene 3 b auf die Fotozelle 12 b fällt. Die andere Hälfte der Strahlung kann den Spiegel ungehindert passieren und fällt hinter der Bildebene 3 3a auf die Fotozelle 12a. Die Bildweiten beider Bildebenen (3a und 3 b) sind gleich und unterliegen bei Verschiebung der Gegenstandsweite den gleichen Veränderungen. Im Strahlengang jedes der beiden Strahlenbündel und parallel zu den beiden Bildebenen 3 3a und 3b liegend, befinden sich in der Nähe dieser Bildebenen die beiden Modulationsrasterscheibenlia und 11 b, beispielsweise Siemenssterne, und zwar liegt die Rasterscheibe 11 ci vor und die Rasterscheibe 11 b hinter der zugehörigen Bildebene. Diese Anordnung der Rasterscheiben kann auch umgekehrt erfolgen. Die Rasterscheiben werden durch die Motoren 10 cd und 10b angetrieben. An Stelle von zwei Motoren, wie in der Zeichnung angegeben, kann der Antrieb auch mittels eines gemeinsam wirkenden Motors erfolgen. Beide Rasterscheiben können mittels der Vorrichtung 15 manuell bzw. motorisch durch den Stellmotor 23 in Strahlenrichtung (s. Doppelpfeil) parallel zu den zugehörigen Bildebenen verschoben werden. Der Indikator 16 zeigt das Maß und die Richtung der Verschiebung der Modulationsrasterscheiben als Kriterium der Bildebenenabweichung an. DieModulation der beiden Strahlenbündel erfolgt auf ähnliche Art und Weise wie bei der Einrichtung nach Fig. 2, nur wird das eine Strahlenbündel vor und das andere Strahlenbündel hinter der zugehörigen Bildebene moduliert. Da beide Modulationsebenen einzeln gesehen einen Modulationsgradverlauf, wie in Fig. 3b dargestellt, aufweisen, verlaufen die Modulationskennlinien, gemeinsam im gleichen Koordinatensystem dargestellt, infolge der verschiedenenBildweiten der Modulationsebenenlla und 11 b der Einrichtung Fig. 5 entsprechend der Darstellung Fig. 7. d m2 ist der Modulationsgrad der Strahlung bei Abweichung der Modulationsebene 11 ci aus der Bildebene b1 um Ab2; Sm3 ist der Modulationsgrad der Strahlung bei Abweichung der Modulationsebene 116 aus der Bildebene bl um d b3 b2 und b3 sind die Bildweiten des Systems, bei denen einmal das Strahlenbündel mit der Modulationsebene 11a und das andere Mal das Strahlenbündel mit der Modulationsebene 11 b den maximalen Modulationsgrad aufweisen. Aus dem Verlauf beider Modulationsgradkurven ist ersichtlich, daß im Schnittpunkt z0 beide Modulationsgrade gleich groß sind, bei Verschiebung der Bildebenen nach beiden Seiten der Modulationsgrad der einen Ebene größer und der anderen Ebene kleiner wird, bzw. umgekehrt.
  • Dieser Differentialeffekt bestimmt die weitere Ausführung der Einrichtung Fig. 5. Die von den beiden Strahlungsempfängern (Fotozellen) abgegebenen Modul ationswechselspannungen werden bei Bedarf zunächst in den Verstärkern 17 und 18 verstärkt und dann den Gleichrichtern 19 und 20 zugeführt. Jede Wechselspannung wird also für sich gleichgerichtet.
  • Die so entstandenen Richtgleichspannungen werden einem differenzbildenden Netzwerk 21 (z. B. einem Differentialverstärker, einer Brückenschaltung oder einem ähnlich wirkenden Netzwerk) zugeführt, dem ein Null indikator 22 nachgeschaltet ist. Ist beispielsweise der Modulationsgrad beider Strahlenbündel infolge Abweichung der Bildebenen aus der Stellung b, (s. Fig. 7) verschieden groß, dann wird der Nullindikator einen bestimmten Ausschlagwert (außer Null) zeigen. Befinden sich die Bildebenen in der Position b1 (Fig. 7) - und diese Position ist dann erreicht, wenn beide Modulationsebenen zu den ihnen zugehörigen Bildebenen gleichen Abstand haben -, dann schneiden sich die Modulationskennlinien im Punkt zO; der Modulationsgrad beider Strahlenbündel ist also gleich groß. Das wiederum bedeutet, daß das Ausgangssignal des differenzbildenden Netzwerks 21 infolge Gleichheit der Richtgleichspannungen Null ist und von dem Nullindikator 22 als Nullwert angezeigt wird. Durch Vor- bzw. Rückverschiebung der Modulationsebenen in Strahlenrichtung kann also die Position zO, d. h. die Lage der wirklichen Bildebene (Istwert) an Hand der Anzeige des Nullindikators22 (Signal Null) eindeutig definiert werden. Das Maß der Modulationsebenenverschiebung und damit der Bildweitenverschiebung zeigt der Indikator 16 auf mechanischem oder mechanisch-elektrischem Wege an. Die Verschiebung der Modulationsebenen kann, wie schon gesagt, manuell mittels der Verschiebevorrichtung 15 erfolgen. Da am Ausgang des Netzwerks 21 jedoch eine Regelspannung wechselnder Polarität und Intensität zur Verfügung steht, kann die Verschiebung der Modulationsebenen auch automatisch erfolgen. Über einen Schalter 26 wird die Regelspannung, die positiv, negativ oder Null ist, je nach Richtung der Abweichung bzw. bei Abweichung Null, einem polarisierten Relais 25 (oder einer elektronischen Relaisanordnung) zugeführt, das den Anlauf und die Drehrichtung des Stellmotors 23 bestimmt. Der Stellmotor treibt die Verschiebevorrichtung 15 an und verschiebt bei Abweichungen der Bildebenen die Modulationsebenen (Modulationsrasterscheiben11a und 11 b) so lange, bis das Ausgangssignal des Netzwerks 21 wieder Null wird und das polarisierte Relais 25 wieder abfällt. Anstatt bei Abweichungen der wirklichenBildebenen aus der Bildebenenposition b1 (wenn das Ausgangssignal des Netzwerks 21 Null ist) die Modulationsebenen so lange zu verschieben, bis das Ausgangssignal des Netzwerks 21 wieder Null wird, kann man auch die Gegenstandsweite des Systems als Maß der Bildweitenänderung so lange verschieben, bis die Bildweitere wieder erreicht ist (das Ausgangssignal des Netzwerks 21 also ebenfalls Null wird). Die Gegen- standsweite der Meßvorrichtung kann beispielsweise so verschoben werden, daß man die Abbildungsoptik oder den dem Gegenstand (Meßobjekt) zugewandten Teil der Optik allein bzw. gemeinsam und um den gleichen Betrag mit den Modulationsebenen und den Strahlungsempfängern verschiebt.
  • Fig. 4 zeigt im Blockschaltbild eine derartige Einrichtung zur Verschiebung der Gegenstandsweite. Die Meßbrücke5l wird beispielsweise durch den Sollwertgeber 49 verstimmt. Über den in Stellung s stehenden Schalter 50 wird das polarisierte Relais 25 je nach Richtung der Brückenverstimmung ausgelöst und der Anlauf und die Drehrichtung des Stellmotors 23 bewirkt. Der Stellmotor dreht nun vorwärts bzw. rückwärts und bewegt damit den meßobjektnahen Teil des Aufnahmeobjektivs 2. Gleichzeitig wird die Objektivbewegung auf den Istwertgeber 52 übertragen, der die Verstimmung der Brücke 51 wieder kompensiert. Entspricht nun der Istwert der Sollwerteingabe, ist die Brückenspannung Null, und damit fällt das polarisierte Relais 25 ab. Der Motor bleibt stehen, und die Gegenstandsweite des Systems entspricht dem eingestellten Sollwert. Die Sollwert/Istwerteinstellung der Gegenstandsweite kann auch mit anderen technisch üblichen Mitteln erfolgen, die hier nicht näher angeführt werden sollen. Der Sollwert entspricht der Gegenstandsweite eines Meßobjekts, dessen Bildweite in der Position b1 liegen soll. Ist aber die Gegenstandsweite, beispielsweise infolge einer Dickenänderung oder infolge einer lagebedingten Abstandsänderung des Meßobjekts (Schwankung), abweichend vom Sollwert, dann wird infolge der verschiedenen Modulationsgrade beider Strahlenbündel das Netzwerk 21 verstimmt und gibt entweder eine positive oder negative Regelspannung ab. Legt man nun den Schalter 50 um auf die Stellung, dann spricht das polarisierte Relais bei genügend hoher Regelspannung des Netzwerks 21 an und setzt den Stellmotor 23 so lange in Bewegung, bis durch Verschiebung der Aufnahmeoptik die Bildweite der Position b1 (Fig. 7) erreicht ist und damit das Ausgangssignal des Netzwerks 21 wieder Null wird. Da mit der Verstellung der Optik 2 gleichzeitig der Istwertgeber 52 verstellt wird, ändert sich auch das Gleichgewicht der Brücke 51. An dem Brückeninstrument 53 kann man dann Richtung und Maß der Brückenverstimmung und damit Richtung und Maß der Abweichung der wirklichen Bildebene (Istwert) von der vorgegebenen Bildebene (Sollwert) ablesen. Diese Abweichung ist wiederum ein Kriterium der lage- bzw. dickenbedingten Entfernungsänderung zwischen Meßobjekt und Meßeinrichtung.
  • Der Differentialeffekt zweier Modulationsebenen läßt sich auch mit der Einrichtung gemäß Fig. 6 zur Messung der Bildweiten- und damit Abstandsänderungen verwenden. Bei dieser Einrichtung wird dieStrahlung abwechselnd durch zwei halbkreisförmige Segmentrasterscheiben 35 und 36 moduliert, wobei die eine dieser Rasterscheiben sich vor und die andere Rasterscheibe um die Achse 27 hinter der vorgegebenen Bildebene (Sollwert) dreht. Für die Arbeitsweise des Systems ist es gleichgültig, ob die Scheibe 36 sich vor (wie in Fig. 6) und die Scheibe 35 hinter der vorgegebenen Bildebene dreht oder ob die Anordnung der Scheiben umgekehrt ist. Jedenfalls ist immer nur eine Segmentscheibe im Strahleneingriff. Die Strahlung fällt nun durch diese sich drehenden Segmentscheiben (Modulationsebenen) - die beispielsweise als halbierte Siemenssterne aufgefaßt werden können - auf die Fotozelle 12. Die von der Fotozelle 12 abgegebene Modulationswechselspannung wird nach vorheriger Verstärkung durch den Verstärker 13 der Weiche 24 zugeführt, die die Modulationswechselspannungen je nach der gerade im Eingriff befindlichen Segmentrasterscheibe abwechselnd auf die Gleichrichter 19 und 20 führt. Die Richtgleichspannungen dieser Gleichrichter bestimmen wiederum die Polarität und Intensität des Ausgangssignals des differenzbildenden Netzwerks 21 und damit den Anzeigewert des Nullindikators 22. Fällt die Bildebene genau zwischen die Segmentrasterscheiben (wie beispielsweise in Fig. 6; s. auch Kennlinien Fig. 7), dann ist das Ausgangssignal des Netzwerks 21 Null. Wandert die Bildebene, dann wird das Ausgangssignal positiv oder negativ, je nach Richtung der Bildebenenabweichung. Durch manuelle oder automatische Nachstellung der Modulationsebenen mittels der Vorrichtungen 15, 16, 23, 25 und 26 (die gleicherweise erfolgen kann, wie schon bei der Einrichtung gemäß Fig. 5 beschrieben wurde) bzw. durch Verschiebung der Gegenstandsweite ähnlich der in Fig. 4 aufgezeigten Einrichtung mittels der Vorrichtungen 23, 25, 49, 50, 51, 52 und 53 (s. Beschreibung der Regelung der Einrichtung gemäß Fig. 5) kann das Gleichgewicht des differenzbildenden Netzwerks 21 (Ausgangssignal Null bei Gleichgewicht) wiederhergestellt werden. Dieses Gleichgewicht herrscht bekanntlich dann, wenn die Bildebene genau zwischen den Modulationsebenen steht.
  • Durch Eingabe der Meßwerte der mittels der Einrichtungen nach Fig. 2, 4, 5 und 6 gemessenen Bildebenenabweichungen des oberen und des unteren Abstandsmeßsystems (das untere ist in den Zeichnungen Fig. 2, 4, 5 und 6 einfachheitshalber fortgelassen) in eine dritte Brückenschaltung kann die gesamte Abweichung als Kriterium der Materialstärkenabweichung von einem vorgegebenen Sollwert am Brückeninstrument abgelesen werden.
  • Die vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Einrichtungen und Meßverfahren erlauben zwar eine sehr hohe Meßgenauigkeit, können jedoch nur bei in Ruhe befindlichen oder nur langsam schwankenden Meßobjekten verwandt werden. Die höchstzulässige Schwankungsperiode richtet sich dabei nach der Einstellzeit der Regeleinrichtung. Die in Fig. 9 aufgezeigte Einrichtung zeigt diesen Nachteil nicht und erlaubt auch Dickenmessungen an Meßobjekten, die mit relativ hoher Frequenz, beispielsweise 5 bis 8 Hz, ihren Abstand zu den gegenüberliegenden Bezugsmeßebenen ändern. Derartige Abstandsschwankungen sind beispielsweise im Walzbetrieb nicht selten. Prinzipiell handelt es sich bei dieser Einrichtung zunächst um eine Meßmethode, wie sie ähnlich bei der Einrichtung gemäß Fig. 5 angewandt wird. Das eine Strahlenbündel wird vor und das andere hinter der vorgegebenen Bildebene moduliert. Während jedoch bei der Einrichtung gemäß Fig. 5 die Modulationsebenen nur so lange verschoben werden, bis das Ausgangssignal des differenzbildenden Netzwerks 21 gleich Null wird (dasselbe gilt für das untere System) und damit das Kriterium der Abweichung gegeben ist, werden die Modulationsebenen 31 und 32 bei der Einrichtung gemäß Fig. 5 in regelmäßig wiederkehrenden Modulationsphasenfolgen periodisch und gleichsinnig in Richtung der zugehörigen Strahlenachse um den gleichen Betrag hin und her verschoben. Diese Verschiebung kann vorwärts, rückwärts oder in einem anderen Gleichlaufrhythmus, von einer definierten Mittenposition ausgehend, erfolgen; sie kann stetig oder stufenweise vonstatten gehen. Dadurch wird erreicht, daß in jeder Modulationsphasenfolge einmal der Bildebenenabstand zu den jeweils zugehörigen Modula- tionsebenen gleich ist und damit im differenzbildenden Netzwerk das Signal Null gebildet wird. Der Zeitpunkt der Nullsignalbildung wird also regelrecht als Kriterium der Modulationsphase (das ist die Phase der gerade wirksamen Modulationsebenen) abgetastet.
  • Der Abtastvorgang wiederholt sich simultan in der unter dem Meßobjekt angeordneten Meßeinrichtung der Fig. 9. Die vor bzw. hinter den Bildebenen 7a und 7b angeordneten Modulationsebenen 33 und 34 werden gleichlaufend verschoben und tasten mit gleicher Geschwindigkeit den Zeitpunkt der Nullsignalbildung des zugehörigen differenzbildenden Netzwerks 40 als Kriterium der Modulationsphase ab. DieSteuersignale für das differenzbildende Netzwerk 40 liefern die Strahlungsempfänger (Fotozellen) 39 cm und 39b nach vorheriger Verstärkung in den Verstärkern 37 und 38.
  • Die Verschiebung der oberen und unteren Modulationsebenen ist also richtungs- phasenmäßiggleich.
  • Wandert das obere Modulationsebenenpaar nach oben aus, also vom Meßobjekt fort, dann wandert das untere Modulationsebenenpaar um den gleichen Betrag ebenfalls nach oben aus, jedoch auf das Meßobjekt zu.
  • Fig. 14b zeigt beispielsweise den Verlauf der Modulationsebenenverschiebung als Kriterium der Modulationsphasen. H0 und Hu sind die gleich großen Modulationshübe (MaB der Modulationsebenenverschiebung) der oberen bzw. unteren Modulationsebenen; No und NU sind die Nulldurchgänge der oberen bzw. unteren Meßapparatur.
  • Bei der Messung eines Objekts von ungefähr bekannter Dicke werden die Gegenstandsweiten des oberen und unteren Meßsystems zunächst derart eingestellt (Sollwert), daß die Nulldurchgänge beider Systeme bei gleicher Modulationsphase erfolgen (falls die eingestellten Gegenstandsweiten den wirklichen Gegenstandsweiten entsprechen). Zweckmäßigerweise stellt man die Gegenstandsweiten beider Systeme auf einen mittleren (aber gleichen) Modulationsphasenwert ein. Weicht nun die Iststärke des Meßobjekts von der Sollstärke ab, dann verschiebt sich der Zeitpunkt der Nulldurchgänge der oberen und unteren Differentialsysteme um den Betrag der Abweichung auseinander, und zwar kann beispielsweise durch die Richtungsfolge der Verschiebung aller vier Modulationsebenen bewirkt werden, daß der Nulldurchgang des oberen Systems vor dem Nulldurchgang des unteren Systems erfolgt, wenn das Meßobjekt dicker ist als sein Sollwert, und daß der untere Nulldurchgang vor dem oberen Nulldurchgang erfolgt, wenn das Meßobjekt dünner ist als sein Sollwert. Schwankt das Meßobjekt in Richtung der Strahlenachse beider Meßsysteme (senkrecht zur Meßfläche), dann ändert sich zwar das zeitliche Verhältnis der Modulationsphase und der Nulldurchgänge, aber der zeitliche Abstand beider Nulldurchgänge bleibt bestehen. Bei genügend hoher Modulationsphasenfolge (beispielsweise 50 bis 100 Nulldurchgänge pro Sekunde) dürften auch noch bei Schwankungen des Meßobjekts von acht Schwingungen pro Sekunde einwandfreie Messungen der Materialstärke möglich sein. Die simultane Hin- und Herverschiebung der vier Modulationsebenen kann dermaßen erfolgen, daß man beispielsweise vier Siemenssterne synchron und parallel zueinander (im Sinne des erfindungsgemäßen optischen Meßverfahrens) mittels elektromagnetisch angetriebener und in Achsrichtung wirksamer Schwingspulen verschiebt.
  • Eine weitere Möglichkeit der Modulationsebenenverschiebung, die den Vorteil der höheren betriebsmäßigen Unempfindlichkeit gegenüber der Schwingspulenanordnung hat, zeigen Fig. 10a, lOb und 11.
  • Die in diesen Zeichnungen gezeigte Modulationsebenenanordnung besteht aus mehreren, in diesem Fall sechs dünnen Scheiben (in der Zeichnung Fig. 11 übertrieben dick gezeichnet) a, b, c, d, e und f, die übereinandergeschichtet sind. Ein Teil (in diesem Fall genau l/X2) dieser Scheiben ist, wie aus Fig. 10a ersichtlich, mit einer undurchsichtigen Schicht bedeckt.
  • Diese Schicht kann auch in sich gerastert sein. Durch versetztes Aufeinanderschichten der einzelnen Scheiben entsteht dann eine Scheibenkombination gemäß Fig. 10b mit dem Modulationshub H. Rotieren beispielsweise (durch die Motoren 10ci, b, 10c und 10d über die Achsen 43, 44, 45 und 46 mit gleicher Drehwinkelphase angetrieben) vier solcher Scheibenanordnungen im Strahlengang der vier Strahlenbündel der Einrichtung Fig. 9, und zwar an der Stelle der (breit) eingezeichneten Modulationsscheiben 31,32,33 und 34, und sind die einzelnen Sektorenschichtungen so ange ordnet, wie in Fig. 14a aufgezeigt ist, dann wird derselbe Effekt (stufenweise) erzielt, als würden vier Siemenssterne im Strahlenfeld sägezahnförmig hin-und herverschoben. Vorausgesetzt, eine solche Anordnung mit Schichten gemäß Fig. 10b würde sich rechtsherum drehen, dann würden erst die Schichten a, dann die Schichten b, dann die Schichten c, dann die Schichten d, dann die Schichten e und schließlich die Schichten f gemeinsam und gleichzeitig die Strahlenbündel modulieren. Der Drehwinkel der Schichtrasteranordnung entspricht dann der Modulationsphase und der Abstand der Ebenen a und f zueinander innerhalb der gleichen Anordnung dem maximalen Modulationshub.
  • Durch entsprechende Verminderung der Scheibendicke undErhöhung derAnzahl der Scheiben kann die wirksame Zahl der Modulationsebenenstufen innerhalb des gesamten Modulationshubes auf ein praktisch brauchbares Maß gebracht werden. Es muß eine möglichst hohe wirksameZahl von Modulationsebenen angestrebt werden, da die Auflösung des Meßergebnisses mit der Zahl dieser Ebenen besser wird. Ob die Herstellung einer derartigen Modulationsebenenanordnung durch Aufeinanderschichtung von einzelnen Rasterscheiben oder durch die Schaffung einer eingängigen Schraube aus durchsichtigem Material mit radial auf der Steigung angebrachten Rasterflächen erfolgt, muß den jeweiligen fachmännischen Möglichkeiten und Bedürfnissen überlassen bleiben. Die Anzeige der Nulldurchgänge (als Kriterium der Dickenabweichung) bei der Einrichtung nach Fig. 9 kann auf mehrere Art und Weise erfolgen. Grundsätzlich handelt es sich um die Aufgabe, den Abstand zweier Impulse genau zu bestimmen und zusätzlich die Reihenfolge des Auftretens dieser Impulse festzulegen. Dem Fachmann sind heute viele Verfahren zur Hand, um eine derartige Messung vornehmen zu können. Zur Erläuterung des erfindungsgemäßenMeßverfahrens sollen jedoch eineAnzahl derartiger Meßmethoden aufgeführt und erläutert werden.
  • Den differenzbildenden Netzwerken 21 und 40 sind je eine Koinzidenzröhrenstufe 28 und 41 nachgeschaltet, die bei jedem Ausgangssignal Null einen scharfen Impuls abgeben, der in den nachgeschalteten Impulsformerstufen nach Bedarf geformt und entsprechende Polarität erhält. Die Polaritäten beider (des oberen und des unteren Nullimpulses) Impulse sind entgegengesetzt, damit die Reihenfolge ihres Auftretens gekennzeichnet ist. In diesem hier beschriebenen Fall soll der obere Impuls immer positiv und der untere Impuls immer negativ sein. Führt man nun beide Impulse dem Impulsrichtungs- und Abstandsindikator 30 zu, dann ergibt sich die Materialstärkenabweichung aus dem gemessenen Impulsabstand und die Art der Abweichung (dünner oder dicker) aus der angezeigten Richtung.
  • Als geeigneten Indikator kann man beispielsweise einen » Kathodenstrahloszillographen« verwenden, dessen Elektronenstrahl K (s. Fig. 12 und 13) linien-bzw. kreisförmig auf dem Bildschirm der Kathodenstrahlröhre54 (wie in den Zeichnungen Fig. 12 und 13) in der Zeitbasis abgelenkt wind. Die Meßimpulse (Nullsignale) werden auf die Meßplatten des Oszillographen gegeben. Um eindeutige Ergebnisse zu erzielen, empfiehlt sich, den Elektronenstrahl synchron mit der Modulationsphasenfolge der Modulationsebenen, in diesem Fall also mit der Umlaufgeschwindigkeit der Schichtrasteranordnungen, abzulenken (s. Fig. 9: »Sync«). Die Reihenfolge, in der die Impulse erscheinen, zeigt an, ob das Meßobjekt dicker (in diesem Falle der Impulskennung erscheint erst der positive Impuls) oder dünner (der negative Impuls erscheint zuerst) ist. Die Anordnung der Positiv/ Negativ-Kennung kann auch umgekehrt erfolgen und bleibt dem Fachmann überlassen. Der Abstand der Nullimpulse, in den Zeichnungen Fig. 12 und 13 als dD bezeichnet, ergibt die Größe der Materialstärkenabweichung. J+ und J- sind der positive bzw. negative Impuls. Die Ablenkung des Elektronenstrahls erfolgt in Pfeilrichtung. Schwankt das Meßobjekt bei konstanter Materialstärke zwischen den Bezugsmeßebenen, dann bewegen sich die angezeigten Impulse auf der Meßbasis des Kathodenstrahlrohres im Rhythmus dieser Schwankungen hin und her, ohne jedoch ihren gegenseitigen Abstand zu verändern. Diese Art der Anzeige erschwert jedoch eine sichere Ablesung bei schwankendem Meßobjekt.
  • Die nachstehend beschriebene erfindungsgemäßeAnzeigevorrichtung vermeidet diese Nachteile und garantiert auch bei schwankendem Meßobjekt eine ruhig stehen;de Anzeige.
  • Auf dem Bildschirm der Zweistrahl-Kathoden Zweistrahl-Kathodenstrahlröhre 55 (s. Fig. 15) sind die Leuchtspuren der beiden Elektronenstrahlen K1 und K2 zu sehen, deren Nullinien mittels geeigneter Vorspannungen in vertikaler Richtung entgegengesetzt verschoben sind. Für die Wirkungsweise der Anzeige spielt diese Nullinienverschiebung keine Rolle. Ebenfalls kann man an Stelle der Zweistrahlröhre zwei Einstrahlröhren verwenden. Die Zeitablenkung beider Strahlen ist so eingerichtet, daß der eine Strahl, K1, nur dann einmal von links nach rechts abgelenkt wird, wenn ein positiver Impuls den Kippgenerator erreicht, und der andere Strahl, K2, nur dann einmal von links nach rechts abgelenkt wird, wenn ein negativer Impuls den Kippgenerator erreicht. Die Ablenkgeschwindigkeit beider Strahlen muß gleich sein und ist ein Kriterium des Meßbereiches. Sie darf nicht kleiner sein als die Modulationsphasenfolge, d. h. bei der Einrichtung gemäß Fig. 9 nicht kleiner als die Umlaufgeschwindigkeit der Schichtrasteranordnungen 31, 32, 33 und 34, da sonst zweideutige (doppelte oder mehrfache) Anzeigen auftreten. Sämtliche von den Impulsformerstufen 29 und 42 kommenden Impulse werden auf die Meßablenksysteme der Zweistrahlröhre geführt und lenken die beiden Elektronenstrahlen senkrecht zur Zeitauslenkung ab. Durch Maßnahmen bekannter Art (vorgeschaltete Dioden usw.) kann man ferner erreichen, daß der Elektronenstrahl K, nur durch negative und der Elektronenstrahl K2 nur durch positive Impulse vertikal ausgelenkt wird. Kommt nun als erster Impuls ein positiver Impuls, dann wird der Elektronenstrahl K2 bei geeigneter Meßbereichswahl (beispielsweise durch Spreizung des Anzeigebereiches, eine Maßnahme, die dem Fachmann geläufig sein dürfte) außerhalb des Sichtbereiches nach oben ausgelenkt; gleichzeitig startet der Elektronenstrahl K1 zu einer einmaligen Ablenkung von links nach rechts. Kommt nun als zweiter Impuls der Impulsfolge der negative Impuls, dann wird der Elektronenstrahl K1 vertikal nach unten abgelenkt (1- in Fig. 15 b). Der zurückgelegte Weg des Elektronenstrahls Kl von Beginn seiner Auslenkung links bis zum Eintreffen des negativen Impulses (J-) ist ein Maß der (positiven) Materialstärkenabweichung, und zwar ist bei der Reihenfolge der Abtastebenen der Einrichtungen nach Fig. 9 und 14a die Abweichung positiv. Gleichzeitig mit der Ankunft des negativen Impulses wurde auch der Elektronenstrahl K2 gestartet, der aber zu einer einmaligen Ablenkung von links nach rechts eilt, ohne innerhalb des Meßbereiches (und auch Sichtbereiches) von dem nächstfolgenden positiven Erstimpuls abgelenkt zu werden. Kommt dann der nächste Impuls, beginnt die oben beschriebene Ablenkfolge von neuem.
  • Ist jedoch der erste eintreffende Impuls ein negativer Impuls, z. B. wenn der Istwert der Materialstärke kleiner ist als der Sollwert, dann startet der Elektronenstrahl K2. Der darauf folgende positive Impuls lenkt diesen Strahl K2 in vertikaler Richtung nach oben ab (s. Fig. 15c) und startet gleichzeitig den Strahl K1 zu einer einmaligen Ablenkung, ohne daß dieser durch den nächstfolgenden negativen Impuls im Sichtbereich ausgelenkt wird. Der zurückgelegte Weg des Elektronenstrahls K2 von Beginn seiner Ablenkung links bis zum Eintreffen des positiven Impulses (J+) ist das Maß der negativen Materialstärkenabweichung.
  • Kommen nun (wenn Istwert=Sollwert) beide Impulse gleichzeitig, dann werden beide Strahlen auch gleichzeitig gestartet und außerhalb des Meßbereiches ausgelenkt. Das Anzeigebild auf dem Schirm der Zweistrahlröhre entspricht dann der Zeichnung Fig. 15a.
  • Die Art und Weise der Vertikalablenkung beider Elektronenstrahlen kann dem Ermessen des Fachmanns überlassen werden und hat für die grundsätzliche Arbeitsweise des Verfahrens keinerlei Bedeutung. Beide Nullinien können auch übereinanderliegen.
  • Ferner können beide Strahlen auch durch entsprechende Vorspannung verdunkelt sein und nur dann mit Hilfe bekannter Helltastmaßnahmen kurzzeitig aufgehellt werden, wenn der zugehörige Meßimpuls das jeweils indizierende Meßsystem erreicht.
  • Die Anzeige der Impulsabstände und Reihenfolgen als Kriterium der Materialstärkenabweichung kann auch folgendermaßen erfolgen (s. dazu Fig. 16): Ein Doppelstrahlrohr 56 ist derart angeordnet, daß die Zeitablenkung beider Strahlen in vertikaler und die Meßablenkung in horizontaler Richtung erfolgen kann.
  • (Man kann diese Anordnung auch um 900 drehen).
  • Die Zeitablenkung des einen Systems ist derart eingerichtet, daß der Elektronenstrahl K3, der mittels einer Kippvorrichtung zur einmaligen Strahlablenkung oben außerhalb des Sichtbereiches oder außerhalb einer auf oder vor dem Bildschirm 56 befindlichen Meßskala verdunkelt liegt, nur dann (verdunkelt) zur Mitte des Bildschirms zurückspringt, um aufgehellt einmal mit gleichmäßiger Ablenkgeschwindigkeit nach oben wieder auszuwandern, wenn ein positiver Impuls den Kippgenerator für die einmalige Zeitauslenkung erreicht. Die Zeitauslenkung des anderen Systems ist so eingerichtet, daß der Elektronenstrahl K4, der unten außerhalb des Sichtbereiches oder außerhalb der Meßskala verdunkelt liegt, nur dann (verdunkelt) zur Mitte des Bildschirms zurückspringt, um einmal mit gleicher Geschwindigkeit wie vorher der obere Strahl K2 nach unten auszuwandern, wenn ein negativer Impuls den Kippgenerator für die einmalige Auslenkung erreicht. Die Zuführung der Meßimpulse auf die Meßplatten und eine eventuelle Impulsunterdrückung kann in ähnlicher Weise erfolgen wie bei der Anzeigeeinrichtung gemäß Fig. 15. Die dann entstehenden Schirmbilder sind den Zeichnungen 16 a bis 16c zu entnehmen.
  • Fig. 16a zeigt das Schirmbild bei gleichzeitigem Eintreffen der Impulse (Istwert = Sollwert), Fig. 16b zeigt das Schirmbild, wenn der positive Impuls zuerst eintrifft (positive Abweichung der Materialstärke), und Fig. 16 c zeigt das Schirmbild, wenn der negative Impuls zuerst eintrifft (negative Abweichung der Materialstärke) .
  • Außer dieser Art der Anzeige und Auswertung der Impuls abstände und Reihenfolgen kann man auch anders verfahren. Beispielsweise sei der Weg aufgezeigt, daß man d-ie (positiven und negativen) Impulse zwei Netzwerken zuführt (z. B. monostabilen Multivibratoren),von denen das eine jeweils durch den positiven Impuls geöffnet und den negativen geschlossen wird und das andere Netzwerk durch einen negativen Impuls geöffnet und einen positiven geschlossen wird.
  • Durch Integration der durch den Offnungs- und Schließungsimpuls begrenzten, annähernd rechteckförmigen Netzwerkimpulse kann der Abstand der einzelnen Nullsignalimpulse innerhalb eines zugehörigen Impulspaares und damit die Materialstärkenabweichung gemessen werden. Das jeweils indizierende Netzwerk, das durch den ersten Impuls eines Impulspaares angestoßen wird, bezeichnet die Richtung der Abweichung (+ oder -).
  • PATENTANSPROCHE: 1. Einrichtung zur Materialstärkenmessung undurchsichtiger Stoffe, insbesondere zur Bestimmung von Blechstärken, mit Hilfe sichtbarer oder unsichtbarer Lichtstrahlen einschließlich der Wärmestrahlung, bei der das Meßobjekt zwischen zwei die Strahlungsempfänger enthaltenden, parallel zueinander verlaufenden Bezugsmeßebenen oder Meßpunkten mit bekanntem Abstand derart untergebracht wird, daß die beiderseitigen Abstände oder, bei einseitiger Anlage des Objekts an einer Meßstelle, der einseitige Abstand zwischen Objekt und Meßstelle(n) in einem optischen Meßvorgang bestimmt werden, und die Materialstärke als Differenz des Meßstellenabstandes und der gemessenen Abstände bzw. des gemessenen Abstands ermittelt wird, dadurch gekennzeichnet, daß Abweichungen von vorgegebenen Bildebenen der (des) Abbildungssysteme(systems), die als Meßbereiche für die verschiedenen Materialstärken an der Meßeinrichtung einstellbar sind, und damit Materialstärkenänderungen innerhalb des jeweils eingestellten Meßbereiches mittels fotoelektrisch oder ähnlich wirksamer Strahlungsempfänger als Kriterium der Abbildungsschärfenverhältnisse (Biidebenenabweichungen) der angestrahlten oder eigenstrahlenden Materialoberflächen bestimmt werden.

Claims (1)

  1. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messende(n) Fläche(n) des Materials nur an den Meßpunkten (mO, gu) angestrahlt wird (werden).
    3. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestrahlung der Materialfläche(n) mittels einer oder mehrerer Strahlungsquellen (5> 9) erfolgt, deren Strahlung eine besondere Kennung aufweist.
    4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem (den) Materialmeßpunkt(en) (mO, m) aufgenommene Fremd- oder Eigenstrahlung in der (den) vorgegebenen Bildebene(n) moduliert und dann einem Strahlungsempfänger (12), beispielsweise einer Fotozelle, zugeführt wird und daß der mittels dieses Strahlenempfängers (12) und einer Meßvorrichtung bekannter Art gemessene Modulationsgrad ein Kriterium der Abweichung der wirklichen Bildebene(n) von der (den) vorgegebenen darstellt.
    5. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 4, dadurch gekennzeichnet, daß die mit der (den) vorgegebenen Bildebene (n) (3) übereinstimmende(n) Modulationsebene(n) (11 cd, 11 b) auf den höchsten Modulationsgrad nachgestellt wird (werden) und daß der Nachstellwert der Modulationsebene(n) nach Größe und Richtung ein Maß für die Abweichung und deren Richtung vom vorgegebenen Sollwert darstellt.
    6. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge kennzeichnet, daß die von dem (den) Materialmeßpunkt(en) (mO, mu) aufgienommene Fremd- oder Eigenstrahlung hinter der (den) Abbildungsoptik(en) (2, 6) in jeweils zwei intensitätsgleiche Strahlenbündel aufgeteilt wird und beide Strahlenbündel in der Nähe der vorgegebenen Bildebenen gleichzeitig derart moduliert werden, daß die Modulation des einen Strahlenbündels in einer Ebene vor der zugehörigen vorgegebenen Bildebene und die Modulation des anderen Strahlenbündels in einer Ebene hinter der zugehörigen vorgegebenen Bildebene erfolgt, oder umgekehrt, und daß jeweils beide modulierte Strahlenbündel getrennt je einem Strahlungsempfänger (12 cm, 12 b), beispielsweise einer Fotozelle, zugeführt werden, denen ein differenzbildendes Netzwerk (21) mittelbar oder unmittelbar nachgeschaltet ist, mit dem der Modulationsgrad beider Strahlenbündel gegeneinander verglichen wird, und daß das Ausgangssignal des differenzbildenden Netzwerks (21) Null wird, sobald der Modulationsgrad beider Strahlengänge gleich groß ist und somit die Abstände der zugehörigen wirklichen Bildebenen von den zugehörigen Modulationsebenen gleich sind.
    7. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß beide Modulationsebenen gleichsinnig und um den gleichen Betrag vorwärts oder rückwärts in Richtung der Strahlenachse verschoben werden können und daß das Ausgangssignal des differenzbildenden Netzwerks (21) Null wird, sobald infolge der Verschiebung der Modulationsebenen die Abstände der zugehörigen wirklichen Bildebenen von den zugehörigen Modulationsebenen gleich sind, wobei das Maß und die Richtung der Verschiebung der Modulationsebenen aus der Grundstellung (wenn die vorgegebenen Bildebenen beider Strahlenbündel gleichen Abstand zu den zugehörigen Modulationsebenen aufweisen) ein Kriterium für Richtung und Größe der Abweichung vom Sollwert (vorgegebene Bildebene) darstellt.
    8. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die von dem (den) Materialmeßpunkt(en) (mO, m,) aufgenommene Fremd-oder Eigenstrahlung hinter der (den) Abbildungsoptik(en) (2, 6) in zwei Ebenen abwechselnd moduliert wird, wobei die eine dieser Modulationsebenen vor der vorgegebenen Bildebene und die andere Modulationsebene hinter der vorgegebenen Bildebene (in Strahlenrichtung gesehen) liegt, oder umgekehrt, die vorgegebenen Bildebenen sich also zwischen beiden Modulationsebenen befinden, und daß das in beiden Ebenen nacheinander modulierte Strahlenbündel auf einen Strahlungsempfänger (12a, 12b), beispielsweise eine Fotozelle, fällt, deren Ausgan gswechselspannung mittelbar oder unmittelbar über eine Weiche je nach der gerade im Eingriff liegenden Modulationsebene (lla, 11b) 11 b) abwechselnd zwei Gleichrichtern (19, 20) zugeführt wird, denen ein differenzbildendes Netzwerk (21) nachgeschaltet ist, mit dem der Modulationsgrad der beiden Teilspannungen gegeneinander verglichen wird, und daß das Ausgangssignal des differenzbildenden Netzwerks (21) Null wird, sobald die wirkliche Bildebene genau in der Mitte zwischen beiden Modulationsebenen liegt.
    9. Einrichtung nach den Ansprüchen 1, 6 und 8, dadurch gekennzeichnet, daß dem (den) differenzbildenden Netzwerk(en) (21) eine Stellautomatik nachgeschaltet ist, die bei Wanderung der wirklichen Bildebene(n) aus der (den) vorgegebenen Bildebene(n) die Abbildungsoptik oder einen Teil dieser Optik allein bzw. gemeinsam und um den gleichen Betrag mit den Modulationsebenen und den Strahlungsempfängern richtungs- und entfernungsgemäß so lange verschiebt, bis das Ausgangssignal des (der) differenzbildenden Netzwerks (Netzwerke) wieder Null wird und damit die wirkliche(n) Bildebene(n) mit der vorgegebenen übereinstimmt (übereinstimmen), wobei das Maß der Verschiebung ein Kriterium der Abstandsänderung darstellt.
    10. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß dem (den) differenzbildenden Netzwerk(en) (21) eine Stellautomatik nachgeschaltet ist, die bei Wanderung der wirklichen Bildebene(n) aus der (den) vorgegebenen Bildebene(n) das (die) Modulationsebenenpaar(e) so lange verschiebt, bis das Ausgangssignal des (der) differenzbildenden Netzwerks (Netzwerke) wieder Null wird und damit die wirkliche(n) Bildebene(n) mit der (den) vorgegebenen übereinstimmt (übereinstimmen).
    11. Einrichtung nach den Ansprüchen 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsebenen (31, 32) des oberen und (33, 34) des unteren Meßsystems parallel zu den Bildebenen in Richtung der zugehörigen Strahlenachsen periodisch und gleichsinnig, vorwärts, rückwärts oder in einem anderen Gleichlaufrhythmus um den gleichen Betrag hin- und herverschoben werden und daß die Verschiebung entweder stetig oder stufenweise in einem vorgegebenen Wiederholungsrhythmus erfolgt, wobei der Zeitpunkt der Nullsignalbildung des (der) differenzbildenden Netzwerks (Netzwerke) (21> 40) als Kriterium der Modulationsphase abgetastet wird, und daß dem (den) differenzbildenden Netzwerk(en) (21, 40) eine Anzeige- und/oder Registriereinrichtung nachgeschaltet ist, die die Abstände und die Richtungsfolge der Nullsignalimpulse des oberen und unteren Meßsystems als Kriterium der Abweichung der Materialstärke von einem Sollwert anzeigt.
    12. Einrichtung nach Anspruch 11 zur Anzeige der Nullsignalimpulsabstände und Impulsrichtungsfolgen, dadurch gekennzeichnet, daß die Nullsignalimpulse über eine Weiche, die die positiven von den negativen Impulsen trennt, den Ablenkorganen und -vorrichtungen einer Zweistrahl-Kathodenstrahlröhre oder zweier Einstrahl-Kathodenstrahlröhren derart zugeführt werden, daß der Zeitbasiskippvorgang des einen Elektronenstrahls jeweils nur einmal durch einen negativen Impuls ausgelöst wird und der Zeitbasiskippvorgang des anderen Elektronenstrahls jeweils nur einmal durch einen positiven Impuls ausgelöst wird und die positiven Nullsignalimpulse als Meßauslenkung nur auf den Elektronenstrahl mit negativer Kippauslösung und die negativen Nullsignalimpulse als Meßauslenkung nur auf den Elektronenstrahl mit positiver Kippauslösung einwirken bzw. sichtbar werden und daß der zurückgelegte Weg des durch den ersten Impuls eines Impulspaares ausgelösten Elektronenstrahls von Beginn seiner Auslenkung bis zum Eintreffen des ihn ablenkenden Meßimpulses ein Kriterium der Materialstärkenabweichung ist und daß ferner die Richtung dieser Abweichung durch den zuerst ausgelösten Elektronenstrahl bestimmt wird.
    13. Einrichtung nach Anspruch 11 zur Anzeige der Nullsignalimpulsabstände und Impulsrich- tungsfolgen, dadurch gekennzeichnet, daß man die positiven und negativen Impulse zwei Netzwerken (21, 40) zuführt, von denen das eine jeweils durch den positiven Impuls geöffnet und den negativen geschlossen wird und das andere Netzwerk durch einen negativen Impuls geöffnet und einen positiven Impuls geschlossen wird, wobei durch Integration der durch den Üffnungs- und Schließungsimpuls begrenzten annähernd rechteckförmigen Netzwerkimpulse der Abstand der einzelnen Nullsignalimpulse und damit die Materialstärkenabweichung gemessen wird, und daß die Richtung der Abweichung durch das zuerst ausgelöste Netzwerk bestimmt wird.
    14. Einrichtung nach Anspruch ll, dadurch gekennzeichnet, daß statt der Modulationsebenenver -schiebung eine aus mehreren dünnen Scheiben (10 a) bestehende Modulationsanordnung vorgesehen ist, wobei jede Scheibe einen Sektor hat, der entweder gerastert oder mit einer undurchsichtigen Schicht bedeckt ist und gegen den Sektor der nächsten Scheibe versetzt angeordnet ist.
    In Betracht gezogene Druckschriften: Deutsche Auslegeschrift Nr. 1 020 797; ATM-Blatt V 1124-7, Lieferung 273.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3131306A (en) * 1961-06-16 1964-04-28 Barnes Eng Co Process for gaging dimensions by means of radiations
DE2654478A1 (de) * 1976-12-01 1978-06-08 Siemens Ag Vorrichtung zur beruehrungsfreien dickenmessung
US4192612A (en) 1976-01-09 1980-03-11 Siemens Aktiengesellschaft Device for contact-free thickness measurement
DE102009016662A1 (de) * 2009-03-31 2010-10-14 Balluff Gmbh Lichtschrankenvorrichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1020797B (de) * 1957-04-09 1957-12-12 Dr August Wetthauer Optisches Messgeraet nach dem Autokollimationsverfahren

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1020797B (de) * 1957-04-09 1957-12-12 Dr August Wetthauer Optisches Messgeraet nach dem Autokollimationsverfahren

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3131306A (en) * 1961-06-16 1964-04-28 Barnes Eng Co Process for gaging dimensions by means of radiations
US4192612A (en) 1976-01-09 1980-03-11 Siemens Aktiengesellschaft Device for contact-free thickness measurement
DE2654478A1 (de) * 1976-12-01 1978-06-08 Siemens Ag Vorrichtung zur beruehrungsfreien dickenmessung
DE102009016662A1 (de) * 2009-03-31 2010-10-14 Balluff Gmbh Lichtschrankenvorrichtung
DE102009016662B4 (de) * 2009-03-31 2011-02-03 Balluff Gmbh Lichtschrankenvorrichtung

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