DE1053715B

DE1053715B - Vacuum pump system

Info

Publication number: DE1053715B
Application number: DEN13071A
Authority: DE
Inventors: Peter Sadler
Original assignee: N G N ELECTRICAL Ltd
Current assignee: N G N ELECTRICAL Ltd
Priority date: 1955-12-09
Filing date: 1956-12-10
Publication date: 1959-03-26

Description

Vakuumpumpenanlage Es ist bekannt, in einer Vakuumpumpenanlage sowohl eine Diffusionspumpe als auch eine mechanische Pumpe, zu welcher die Diffusionspumpe hinarbeitet, zusammenzufassen. Diese Pumpen sind gewöhnlich durch Rohrleitüngep und von Hand zu betätigende Ventile derart verbünden, daß man' zuerst nur mit der mechanischen Saügpümpe den Apparat oder das Gefäß evakuieren kann; danach können die Verbindungen so geändert werden, daß die Diffusionspumpe in Hintereinanderschaltung mit der mechanischen Saugpumpe in 2 Betrieb gesetzt wird, um eine'- 'fast vollständige Evakuierung zu erreichen.Vacuum pump system It is known both in a vacuum pump system a diffusion pump as well as a mechanical pump, to which the diffusion pump working towards summarize. These pumps are usually by piping and assemble manually operated valves in such a way that one 'at first only with the mechanical suction pump can evacuate the apparatus or vessel; after that you can the connections are changed so that the diffusion pump is connected in series with the mechanical suction pump in 2 operation is set to a '-' almost complete To achieve evacuation.

Zur Betätigung der Absc'nlußorgane solcher Vakuumpumpenanlagen hat man auch schon eine Einrichtung vorgesehen, mittels derer man sowohl das Einlaßventil der Diffusionspumpe als auch ein Ventil bedienen kann, über welches die mechanische Saugpumpe unmittelbar mit dem Einlaß verbunden wird. Diese Einrichtung erlaubt es aber nicht, beide Pumpen gegen das reaktivierende Gefäß gleichzeitig abzuschließen.Has to operate the shut-off organs of such vacuum pump systems one already provided a device by means of which one both the inlet valve the diffusion pump as well as a valve via which the mechanical Suction pump is connected directly to the inlet. This facility allows but not to shut off both pumps against the reactivating vessel at the same time.

Der Erfinder hat sich die Aufgabe gestellt, die Bedienung von Vakuumpunipenanlagen, bestehend aus einer mechanischen Saugpumpe und einer Diffusionspumpe mit Einlaßventil und Ventile enthaltenden Umgehungsleitungen, um die Saugpumpe gewünschtenfalls unmittelbar mit dem Einlaß zu verbinden, und einem Bedienungsorgan für die Ventile in den Umgehungsleitungen und das Einlaßventil, mittels dessen diese Ventile in zwei Schaltstellungen betätigt werden, weiter zu vereinfachen und zu verbessern. Gemäß der Erfindung ist eine dritte Schaltstellung des Betätigungs-. Organs vorgesehen; in welcher sowohl die mechanische Saugpumpe als auch die Diffusionspumpe von dem zu evakuierenden Gefäß abgeschlossen ist, während in einer vierten Schaltstellung die so abgeschlossene Anlage mit einer Ventileinrichtung zum Einlaß von Luft verbunden ist.The inventor has set himself the task of operating vacuum pump systems, consisting of a mechanical suction pump and a diffusion pump with inlet valve and bypass lines including valves to immediately close the suction pump if desired to be connected to the inlet, and an operating element for the valves in the bypass lines and the inlet valve, by means of which these valves are actuated in two switching positions continue to simplify and improve. According to the invention is a third Switching position of the actuation. Organ provided; in which both the mechanical The suction pump and the diffusion pump are closed off from the vessel to be evacuated is, while in a fourth switch position, the completed system with a Valve means is connected to the inlet of air.

Die gemäß der Erfindung ausgestaltete Betätigungseinrichtung von Vakuümpumpenanlagen der oben näher geschilderten Art bringt bei- der Bedienung bzw. beim Betrieb einen erheblichen Fortschritt. Es werden nämlich die beim Auspumpen erforderlichen vier Betriebszustände - Stufen - durch die aufeinanderfolgenden Schwenkbewegungen eines einzigen Hebels jeweils über 90° geschaltet, wodurch sich baulich wie im Betrieb eine bedeutende Vereinfachung und Verbesserung ergibt.The actuating device of vacuum pump systems designed according to the invention of the type described in more detail above brings both operation and operation one significant progress. Namely, there will be the four required for pumping out Operating states - stages - through the successive swivel movements of a single lever each switched over 90 °, which is structurally like in operation results in a significant simplification and improvement.

Bei einer vorteilhaften Weiterbildung des Erfindüngsgegenständes ist ein an sich bekanntes, auch das Ventil in der Umgehungsleitung und die Ventilbetätigüngseinrichtüng enthaltendes Gehäuse für das Einlaßventil an dem Eintritt der Diffusionspumpe voxhänden@ünd ein Bedienungsorgan für diese Anordnung vöri Ventilen vorgesehen, die aus einer ei nzigeri-vön außen zu betätigenden Spindel besteht. Die Verwendung nur einer Betätigungsspindel vermindert die Gefahr von Undichtheiten.In an advantageous development of the subject matter of the invention a known per se, including the valve in the bypass line and the valve actuating device containing housing for the inlet valve at the inlet of the diffusion pump voxhehand @ ünd an operating member for this arrangement vöri valves provided, which consists of a Ei nzigeri-vön externally operated spindle consists. The use of only one operating spindle reduces the risk of leaks.

Das Ventil in der Umgehungsleitung und das Einlaßventil können in an sich bekannter Weise mechanisch zu betätigen sein.The valve in the bypass line and the inlet valve can be in be mechanically operated in a known manner.

IIan kann auch die Ventileinrichtung zum Einlaß von Luft mittels eines Druckschalters - Mikro-Schalters - elektrisch betätigen, welcher seinerseits dprch Nocken geschaltet wird, die um die Bedienungsörgane angeordnet sind. Vorteilhaft ist die Zusammenfassung der Bauteile zu einer selbsttragenden Baueinheit. Bei dieser Ausbildung ist die Saugpumpe in dem das ölbadgehäusebildenden Grundgestell untergebracht und die Diffusionspumpe unmittelbar auf dem Grundgestell angeordnet. Das Ventilgehäuse ist auf -der. Diffusionspumpe vorgesehen. Es können im oberen Teil der Diffusionspumpe. und im oberen Teil des Ventilgehäuses miteinander verbundene Kühlmäntel vorgesehen sein.IIan can also the valve device for the inlet of air by means of a Push button switch - micro switch - actuate electrically, which in turn dprch Cams is switched, which are arranged around the operating elements. Advantageous is the combination of the components into a self-supporting structural unit. At this Training, the suction pump is housed in the base frame forming the oil bath housing and the diffusion pump arranged directly on the base frame. The valve body is on the. Diffusion pump provided. It can be in the upper part of the diffusion pump. and interconnected cooling jackets are provided in the upper part of the valve housing be.

Es ist vorteilhaft, den zum Antrieb für. die mechanische Saugpumpe dienenden Elektromotor auf dem das Grundgestell der Anordnung bildende Ölbad-- Dadurch wird ein zusätzIiclier Rahmen für die Anlage, der sonst benötigt -wird; über= flüssig. In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Es zeigt Fig. 1 eine Seitenansicht der neuen Anlage, Fig.2 eine Draufsicht auf die #Tentilbetätigungseinrichtung, Fig. 3 einen senkrechten Schnitt in der Linie 3-3 der Fig. 2, Fig. 4 einen Schnitt in der Linie 4-4 der Fig. 2 Fig. 5 eine Ansicht eines Teils der Fig. 2 von links teilweise in der Linie 5-5 der Fig. 2 geschnitten, Fig. 6 einen Schnitt in der Linie 6-6 der Fig. 2, Fig. 7 eine Seitenansicht des Grundgestells, bei dem die Seitenwand teilweise entfernt ist, und Fig. 8 einen Schnitt durch die auf dem Grundgestell angeordnete Diffusionspumpe.It is beneficial to use the drive for. the electric motor serving the mechanical suction pump on the oil bath forming the base frame of the arrangement - this creates an additional framework for the system that is otherwise required; over = liquid. An exemplary embodiment of the invention is shown in the drawing. 1 shows a side view of the new system, FIG. 2 shows a plan view of the valve actuating device, FIG. 3 shows a vertical section along line 3-3 of FIG. 2, FIG. 4 shows a section along line 4-4 of FIG 2, FIG. 5 is a view of a part of FIG. 2 from the left, partially cut along the line 5-5 of FIG. 2, FIG. 6 is a section along the line 6-6 of FIG. 2, FIG. 7 is a side view of the base frame, in which the side wall has been partially removed, and FIG. 8 shows a section through the diffusion pump arranged on the base frame.

Die Anlage besteht aus einem Leichtmetall- bzw. Leichtmetall-Legierungs-Grundgestell 11 (vgl.Fig.l), welches als Ölgefäß ausgebildet ist und eine mechanische Saugpumpe der in Fig. 7 in ihren Einzelheiten dargestellten Bauart enthält. Diese Pumpe besteht aus einem zylindrischen Gehäuse 13 mit einem zylindrischen, auf einem exzentrischen Zapfen umlaufenden Verdrängungskörper, welcher mit einem hin- und hergleitenden Blatt (Flügel) 15 in Verbindung steht. Auf der einen Seite dieses Flügels ist die Eintrittsöffnung und auf der anderen Seite die Austrittsöffnung 17 vorgesehen. Der Verdrängungskörper sitzt auf dem Kurbelzapfen einer das Gehäuse auf einer Seite durchdringenden Welle 18, die auf dem aus dem Gehäuse herausragenden '\@Tellenstumpf eine Riemenscheibe 19 trägt. Die Riemenscheibe wird über einen Keilriemen von dem auf der schrägen, einen Teil des Grundgestells bildenden Fläche 21 angeordneten Elektromotor 20 angetrieben. Die Pumpe arbeitet in dem Ölbad 22 und hat ein unter dem Ölspiegel liegendes Austrittsventil 23. Auf der Saugseite hat sie einen einstellbaren Öleintritt 24, und das in die Pumpe gelangende Öl wird durch das Auslaßventil für die Luft nach außen gedrückt.The system consists of a light metal or light metal alloy base frame 11 (see Fig. 1), which is designed as an oil vessel and contains a mechanical suction pump of the type shown in detail in FIG. 7. This pump consists of a cylindrical housing 13 with a cylindrical displacement body which revolves on an eccentric pin and which is connected to a blade (vane) 15 sliding back and forth. The inlet opening is provided on one side of this wing and the outlet opening 17 is provided on the other side. The displacement body sits on the crank pin of a shaft 18 which penetrates the housing on one side and which carries a belt pulley 19 on the stump protruding from the housing. The belt pulley is driven via a V-belt by the electric motor 20 arranged on the inclined surface 21 which forms part of the base frame. The pump works in the oil bath 22 and has an outlet valve 23 located below the oil level. On the suction side, it has an adjustable oil inlet 24, and the oil entering the pump is forced to the outside through the outlet valve for the air.

Das gegossene Grundgestell 11 hat eine ebene Oberseite, auf welcher der Unterteil 25 der in Fig. 8 dargestellten Diffusionspumpe festgeschraubt ist.The cast base frame 11 has a flat top on which the lower part 25 of the diffusion pump shown in FIG. 8 is screwed tight.

Die Diffusionspumpe besteht aus einem kräftigen, zylindrischen Metallgehäuse 26, das unten durch eine abnehmbare Platte verschlossen und so im Grundgestell angeordnet ist, daß sein unteres Ende in eine Heizkammer hineinragt. Ein elektrisches Heizelement 27 ist an der unteren Abschlußplatte des Pumpengehäuses befestigt. Im Pumpengehäuse ist ein Ölgefäß 28 vorgesehen, das das vom Heizelement 27 beheizte Öl aufnimmt. Von bz«,-. aus dem Ölgefäß 28 erstrecken sich zwei konzentrisch zueinander und zum Pumpengehäuse angeordnete Dampfrohre 29, 30, die übereinanderliegende Diffusionshauben 31, 32 und 33 tragen. Der obere Teil des Pumpengehäuses ist außen abgedreht, und über den so entstandenen dünneren Wandteil ist ein Rohr 34 geschoben, wodurch ein Wassermantel entsteht. Der untenliegende Austritt aus dem Wassermantel ist mit 35 und der obenliegende Eintritt -. 1). Unterhalb des Wassermit 36 bezeichnet (vgl. Fit' mantels, der sich bis zur obersten der drei Hauben erstreckt, ist eine nah der Seite führende Austrittsleitung 37 aus dem Pumpengehäuse vorgesehen.The diffusion pump consists of a strong, cylindrical metal housing 26, which is closed at the bottom by a removable plate and so arranged in the base frame is that its lower end protrudes into a heating chamber. An electrical heating element 27 is attached to the lower end plate of the pump housing. In the pump housing an oil vessel 28 is provided which receives the oil heated by the heating element 27. From bz «, -. from the oil vessel 28 extend two concentrically to each other and to Pump housing arranged vapor pipes 29, 30, the superimposed diffusion hoods 31, 32 and 33 wear. The upper part of the pump housing is turned off on the outside, and A tube 34 is pushed over the thinner wall part thus created, whereby a Water jacket is created. The bottom outlet from the water jacket is at 35 and the overhead entry -. 1). Marked below the water with 36 (cf. Fit 'mantels, which extends to the top of the three hoods, is a close one the side leading outlet line 37 is provided from the pump housing.

Das Pumpengehäuse hat oben einen Flansch 38 (vgl. Fig. 8), aufwelchem ein Ventilgehäuse40 festgeschraubt ist. Der Unterteil dieses Ventilgehäuses hat einen durch die Außenwand 41 begrenzten Wassermantel. Der unten vorgesehene Austritt 42 aus diesem Wassermantel ist zu dem Eintritt 36 des Wassermantels der Diffusionspumpe geführt. Der Eintritt 43 in den Wassermantel des Ventilgehäuses steht mit der Wasserregulierungseinrichtung 44 in Verbindung. Durch die Leitung 35 wird das Wasser aus dem Wassermantel der Diffusionspumpe abgeführt. Das Ventilgehäuse 40 hat oben einen Flansch 140, mit dem es an die Unterseite einer beliebigen zu evakuierenden Vorrichtung angeschraubt werden kann.The pump housing has a flange 38 at the top (see FIG. 8) on which a valve housing 40 is screwed tight. The lower part of this valve housing has a water jacket delimited by the outer wall 41. The exit provided below 42 from this water jacket is to the inlet 36 of the water jacket of the diffusion pump guided. The inlet 43 into the water jacket of the valve housing is connected to the water regulating device 44 in connection. Through the line 35, the water from the water jacket is the Diffusion pump discharged. The valve housing 40 has a flange 140 at the top which it is screwed to the underside of any device to be evacuated can be.

In der Unterseite, mit der es an den Flansch 38 der Diffusionspumpe angeschraubt ist, enthält das Gehäuse 40 eine verhältnismäßig große kreisförmige Öffnung 45 (vgl. Fig. 3 und 4). Diese Öffnung hat einen Durchmesser, der etwa so groß ist, wie der Durchmesser der Eintrittsöffnung der Diffusionspumpe. Die Ventilöffnung 45 ist von einem nach oben abgehenden Ventilsitz 46 umgeben, auf welchem die Ventilscheibe 47 abdichtet. Diese ist an ihrer Unterseite mit einem auswechselbaren Dichtungsring 48 versehen, der aus Kunstgummi, z. B. dem unter dem Handelsnamen »Nygon« bekannten Material besteht. Die Dichtungsscheibe 47 dient nicht nur dazu, den Einlaß in die Diffusionspumpe zu steuern, also zu öffnen oder abzuschließen, sondern sie wirkt auch, wenn sie angehoben ist, als eine Drossel, welche das Eindringen von Ölnebeln, die sich durch Kondensieren des Öldampfes bilden, in den zu evakuierenden Raum verhindert. Auf dem oberen Ende der Dampfrohranordnung in der Diffusionspumpe ist ebenfalls eine Drosselscheibe 48 angeordnet (vgl. Fig. 8). Diese Drosselscheibe und die Ventilscheibe 47, welche in dem vom Wassermantel umgebenen Teil der Pumpe bzw. des Ventilgehäuses liegen, erhöhen den Wirkungsgrad der Anlage. Oberhalb des Plattenventils in der Nähe des oberen Endes des Wassermantels des Ventilgehäuses ist eine Blende 49 mit einer mittigen Öffnung 50 für das zu evakuierende Gas vorgesehen. Diese Öffnung wird von einem dreiarmigen Kreuz 51 überspannt (vgl. Fig. 2), das in der Mitte eine Führung 52 hat (vgl. Fig. 3 und 4), welche zur Führung des die Nockenrolle 54 tragenden zylindrischen Teils 53 dient. Der Teil 53 ragt unten aus der Führung heraus und trägt einen Kugelkörper 56 mit dem Schaft 55. Die Kugel 56 liegt in einem entsprechend geformten Teil auf der Rückseite der Ventilscheibe 47. Durch Anheben und Absenken des Teils 52 wird das Plattenventil geöffnet und geschlossen.In the bottom that connects it to the flange 38 of the diffusion pump is screwed, the housing 40 includes a relatively large circular Opening 45 (see. Figs. 3 and 4). This opening has a diameter that is about this is as large as the diameter of the inlet opening of the diffusion pump. The valve opening 45 is surrounded by an upwardly extending valve seat 46 on which the valve disc 47 seals. This is on the underside with a replaceable sealing ring 48 provided, made of synthetic rubber, e.g. B. the one known under the trade name "Nygon" Material. The sealing washer 47 is not only used to open the inlet into the To control the diffusion pump, i.e. to open or close it, but it works also, when it is raised, as a throttle, which prevents the penetration of oil mists, which are formed by the condensation of the oil vapor in the room to be evacuated. On the top of the vapor tube assembly in the diffusion pump is also a throttle plate 48 is arranged (see. Fig. 8). This throttle disc and the valve disc 47, which in the part of the pump or valve housing surrounded by the water jacket increase the efficiency of the system. Above the plate valve in the Near the upper end of the water jacket of the valve housing is a screen 49 with a central opening 50 is provided for the gas to be evacuated. This opening is spanned by a three-armed cross 51 (see. Fig. 2), the one in the middle Guide 52 has (see. Fig. 3 and 4), which for guiding the cam roller 54 supporting cylindrical part 53 is used. The part 53 protrudes below from the guide and carries a spherical body 56 with the shaft 55. The ball 56 lies in a corresponding molded part on the back of the valve disc 47. By raising and lowering of part 52, the plate valve is opened and closed.

Quer durch das Ventilgehäuse, oberhalb des Teils 53 erstreckt sich eine Ventilbetätigungs-Spindel 57, welche in dem abgedichteten Lager 58 an der einen Wand des Gehäuses gelagert ist und durch eine Öffnung in. der anderen Seitenwand hindurchgeht, hinter welcher eine Abdichtung 59 vorgesehen ist. Etwa in der Mitte der Länge der Spindel ist eine Nockenscheibe 60 für die Ventilbetätigung vorgesehen. Diese ist über den größeren Teil ihres Umfangs kreisförmig und konzentrisch zur Spindel angeordnet. An einer Stelle hat die Nockenscheibe60 eine Vertiefung 61, neben der beiderseits, also die Seitenflächen der Nockenscheibe60 überragend (vgl. Fig. 3), Führungen 62, 63 angeordnet sind, die dem Verlauf der Vertiefung folgen. Der Teil 53 der Ventilscheibe 47 berührt die Unterseite der Nockenscheibe und hat zwei Arme 64, 65 (vgl. Fig. 3), welche sich beiderseits der Nockenscheibe 60 nach oben erstrecken und nach innen gerichtete Nockenrollen66, 67 tragen. Diese Nockenrollen können auf die inneren, also zur Welle bin gelegenen Flächen der Führungsstücke 62, 63 auflaufen, welche sich an die Vertiefung 61 anschließen. Wenn die Spindel 57 so gedreht wird, daß die Vertiefung 61 unten liegt, kommen die Nockenrollen 66, 67 mit den Führungsstücken 62, 63 in Berührung, und die Ventilscheibe 47 wird angehoben. Während des Umlaufs des übrigen, dreiviertel des Umfangs der Nockenscheibe ausmachenden Teils wird das Plattenventil fest geschlossen gehalten. Der Schaft 55 mit der Kugel 56 kann durch die Einstellschraube 68 und die Gegenmutter 69 eingestellt werden.Extends across the valve housing, above part 53 a valve actuating spindle 57, which in the sealed bearing 58 on one Wall of the housing is mounted and through an opening in. The other side wall goes through, behind which a seal 59 is provided. About in the middle A cam disk 60 is provided along the length of the spindle for actuating the valve. This is circular and concentric to the greater part of its circumference Spindle arranged. At one point the cam disk 60 has a recess 61, in addition to the two sides, i.e. protruding over the side surfaces of the cam disk 60 (cf. Fig. 3), guides 62, 63 are arranged, which follow the course of the recess. The part 53 of the valve disc 47 contacts the underside of the cam disc and has two arms 64, 65 (see. Fig. 3), which on both sides of the cam disk 60 after extend up and carry inwardly facing cam rollers 66,67. These cam rollers can be used on the inner surfaces of the guide pieces, i.e. those facing the shaft 62, 63 which adjoin the recess 61. When the spindle 57 is rotated so that the recess 61 is below, the cam rollers 66 come, 67 with the guide pieces 62, 63 in contact, and the valve disc 47 is raised. During the rotation of the rest, three quarters of the circumference of the cam disk making up Part will the plate valve kept tightly closed. The shaft 55 with the ball 56 can be adjusted by means of the adjusting screw 68 and the counter nut 69 will.

Die Betätigungsspindel 57 tritt aus der Dichtung 59 in die Schalterkammer 70 ein, die zwei 1fikroschalter 71, 72 und zwei '-NTocken 73, 74 auf der Spindel 57 zur Betätigung dieser Schalter enthält. Die Spindel 57 ist aus der Kammer 70 nach außen geführt und trägt einen Handgriff 75 mit der Nabe 76 und dem Zeiger 77, der sich über der mit einer Skaleneinteilung versehenen Scheibe 78 bewegt und dadurch die Stellung der innenliegenden Teile anzeigt (vgl. Fig. 3).The actuating spindle 57 enters the switch chamber 70 from the seal 59, which contains two microswitches 71, 72 and two n-pins 73, 74 on the spindle 57 for actuating these switches. The spindle 57 is led out of the chamber 70 and carries a handle 75 with the hub 76 and the pointer 77, which moves over the graduated disk 78 and thereby indicates the position of the internal parts (see Fig. 3 ).

An einer Seite der Ventilbetätigungsspindel57 ist eine Erweiterung 80 des Ventilgehäuse vörgeseheri (vgl. Fig. 2), an deren Ende der Eintritt 81 der Umgehungsleitung 82 (vgl. Fig. 1) befestigt ist. In dieser ist eine Ventilscheibe 83 (vgl.Fig.2 und 4) vorgesehen, welche auf dem in einer Kugel endenden Schaft 85 befestigt ist. Dieser wird von dem Teil 84 in der Führung 86 geführt, ähnlich wie die Anordnung der Teile 53 und 52 für den Ventilteller 47 am Eintritt der Diffusionspumpe. Die Führung 86 ist mittels der Bolzen 87 auf dem die Erweiterung 80 abschließenden Deckel 88 befestigt. Der Teil 84 hat eine Nockenrolle89, die auf den Nocken 60 läuft und seitlich angeordnete Arme 90, 91 mit innenliegenden Nockenrollen 92, 93, die unter die Führungsstücke 62, 63 beiderseits der Vertiefung 61 greifen. Diese Anordnung bewirkt, daß - sobald die Spindel 57 um einen Winkel von 90° von dem Punkt aus gedreht wird, in welchem die Eintrittsöffnung 45 der Diffusionspumpe offen ist -da,s Ventil 47 für den Eintritt in die Diffusionspumpe geschlossen wird und der Ventilteller 83 in der Umgehungsleitung geöffnet wird. Wenn die Spindel um weitere 90° gedreht wird, sind beide Ventile geschlossen.On one side of the valve actuating spindle 57 there is an extension 80 of the valve housing (see FIG. 2), at the end of which the inlet 81 of the bypass line 82 (see FIG. 1) is attached. In this a valve disc 83 (see Fig. 2 and 4) is provided, which is attached to the shaft 85 ending in a ball. This is guided by the part 84 in the guide 86, similar to the arrangement of the parts 53 and 52 for the valve plate 47 at the inlet of the diffusion pump. The guide 86 is fastened to the cover 88 closing the extension 80 by means of the bolts 87. The part 84 has a cam roller 89 which runs on the cam 60 and laterally arranged arms 90, 91 with internal cam rollers 92, 93, which engage under the guide pieces 62, 63 on both sides of the recess 61. This arrangement has the effect that - as soon as the spindle 57 is rotated through an angle of 90 ° from the point at which the inlet opening 45 of the diffusion pump is open - the valve 47 for the inlet to the diffusion pump is closed and the valve disk 83 is opened in the bypass line. When the spindle is turned another 90 °, both valves are closed.

Die Umgehungsleitung 82 ist vom Ventilgehäuse 40 nach unten zur Saugseite 16 der mechanischen Pumpe geführt. Auf ihrem Weg vereinigt sie sich mit einer waagerechten Leitung 95, welche mit der Druckseite 37 der Diffusionspumpe verbunden ist. Unterhalb der Verbindung zwischen der Leitung 82 und 95 ist ein Flüssigkeitsabschluß 96 vorgesehen, also vor dem Eintritt in das Grundgestell 11. Von dort geht die Leitung 82 zur Saugseite 16 der Pumpe.The bypass line 82 is from the valve housing 40 down to the suction side 16 out of the mechanical pump. On its way it unites with a horizontal one Line 95, which is connected to the pressure side 37 of the diffusion pump. Below the connection between the line 82 and 95 is a liquid seal 96 is provided, that is, before entering the base frame 11. From there the line 82 goes to the suction side 16 of the pump.

Die Druckseite 37 der Diffusionspumpe ist mit der Umgehungsleitung 82 über ein magnetisches Rückschlagventi197 verbunden. Außerdem sind an dem Ventilgehäuse 40 ein Lufteintritt 98, der durch das magnetisch betätigte Lufteintrittsventil 99 geschlossen werden kann und auf der Seite des Abschlusses 96 ein weiteres magnetisch betätigtes Lufteintrittsventi1100 vorgesehen. Die magnetisch betätigten Ventile 97, 99 und 100 sind von bekannter Bauart und mit den Mikroschaltern 71, 72 in der Kammer 70 verbunden.The pressure side 37 of the diffusion pump is with the bypass line 82 connected via a magnetic check valve197. Also are on the valve body 40 an air inlet 98, which is passed through the magnetically actuated air inlet valve 99 can be closed and on the side of the termination 96 another magnetically Actuated air inlet valve 1100 provided. The solenoid operated valves 97, 99 and 100 are of known design and with the microswitches 71, 72 in the Chamber 70 connected.

Wenn der Handhebel 75 der Betätigungsspindel 57 in die Stellung gebracht wird, in der sowohl das Ventil 83 in der Umgehungsleitung. wie auch das Einlaßventil 47 geschlossen sind, sind die magnetisch betätigten Lufteintrittsventile99und100geöffnet, und die Pumpe kann ohne Belastung in Betrieb genommen werden.When the hand lever 75 of the actuating spindle 57 is brought into the position in which both the valve 83 in the bypass line. just as the inlet valve 47 is closed, the solenoid-operated air inlet valves 99 and 100 are open and the pump can be operated without load.

Wenn die Spindel 57 in Richtung des Uhrzeigers (vgl. Fig. 4) um 90° gedreht wird, wird der Punkt erreicht, bei welchem das Umgehungsventil 83 geöffnet wird. Dann evakuiert die mechanische Saugpumpe 13 im Gestell der Anlage unmittelbar den oberhalb des Flansches 140 liegenden Raum, mit welchem die Pumpe verbunden ist. Sobald ein angemessenes Vakuum erreicht ist, kann durch Drehung des Handhebels 75 um weitere 90° das Ventil 83 der Umgehungsleitung 82 geschlossen und die Diffusionspumpe 26 in Betrieb genonimen werden. In dieser Stellung ist das Ventil 83 der Umgehungsleitung 82 geschlossen., und der Ventilteller 47 über der Eintrittsöffnung 45 der Diffusionspumpe ist geöffnet. Auch das Rückschlagventil 97 der Diffusionspumpe ist durch die Betätigung eines der Mikroschalter 71, 72 geöffnet. Indem man den Handhebel 75 um weitere 9n° dreht, werden alle Ventile geschlossen.When the spindle 57 is rotated in the clockwise direction (see FIG. 4) by 90 °, the point is reached at which the bypass valve 83 is opened. Then the mechanical suction pump 13 in the frame of the system evacuates the space immediately above the flange 140 to which the pump is connected. As soon as an adequate vacuum is reached, the valve 83 of the bypass line 82 can be closed by turning the hand lever 75 by a further 90 ° and the diffusion pump 26 can be started. In this position, the valve 83 of the bypass line 82 is closed, and the valve disk 47 above the inlet opening 45 of the diffusion pump is open. The check valve 97 of the diffusion pump is also opened by actuating one of the microswitches 71, 72. By turning the hand lever 75 a further 9n °, all valves are closed.

Der die Saugpumpe 13 antreibende Elektromotor 20 wird durch einen besonderen Schalter in Betrieb genommen, und das Luftei@ntrittsventil 100 für den Flüssigkeitsabschluß 96 und das Magnetventil 97 zwischen der Diffusionspumpe und der umlaufenden Verdrängungspuriipe werden durch denselben Schalter betätigt wie der Motor. Dadurch wird ein Schutz für die Anlage erreicht, indem durch das Schließen des Ventils 97 die Diffusionspumpe abgesperrt wird und gleichzeitig durch das Luftventil 100 selbsttätig der Saugseite der umlaufenden Verdrängungspumpe Luft zugeführt wird. Dadurch wird der Druck auf den Atmosphärendruck gebracht und verhindert, daß Öl in das System aus dem Gehäuse 11 angesaugt wird, wenn der Motor 20 außer Betrieb gesetzt wird.The electric motor 20 driving the suction pump 13 is operated by a special switch, and the air inlet valve 100 for the liquid seal 96 and the solenoid valve 97 between the diffusion pump and the circulating displacement pipe are operated by the same switch as the motor. This provides protection for the system in that the diffusion pump is shut off by closing the valve 97 and air is simultaneously automatically supplied to the suction side of the circulating displacement pump through the air valve 100. This brings the pressure to atmospheric and prevents oil from being drawn into the system from the housing 11 when the engine 20 is taken out of service.

Die Kontakte für die Regulierungseinrichtung 44 für das Kühlwasser sind mit den Zuleitungen für das elektrische Heizelement 27 der Diffusionspumpe in Serie geschaltet. Wenn die Menge des durch den Kühlmantel der Diffusionspumpe fließenden Wassers geringfügig von dem Wert abweicht, auf den die Reguliereinrichtung eingestellt ist, wird durch die Einrichtung 44 der Strom für das Heizelemente 27 abgeschaltet.The contacts for the regulating device 44 for the cooling water are with the leads for the electrical heating element 27 of the diffusion pump connected in series. When the amount of through the cooling jacket of the diffusion pump flowing water deviates slightly from the value to which the regulating device is set, the current for the heating element 27 is set by the device 44 switched off.

Claims

PATENT CLAIMS: 1. Valcuumpuin plant, consisting of the combination a mechanical suction pump, a diffusion pump with inlet valve and valves containing bypass lines to the suction pump, if desired, directly with to connect the inlet, and an operating element for the valves in the bypass lines and the inlet valve, by means of which these valves are actuated in two switching positions are marked. that in a third switching position of the actuator (57, 55) this both the mechanical suction pump and the diffusion pump (26) from the vessel to be evacuated closes, and that in a fourth switching position the so closed system with a valve device (99, 100) for the inlet of Air is connected.

2. Plant according to claim 1, characterized by a per se known, including the valve in the bypass line and the valve actuator containing housing for the inlet valve, which is located at the inlet of the diffusion pump is arranged and by an operating element, which consists of a single, in the housing walls sealed spindle, by means of which this arrangement of valves of is operated externally.

3. Plant according to claim 1 or 2, characterized in that that in a manner known per se, the valve in the bypass line and the inlet valve can be operated mechanically by the control element.

4. Plant according to claim 1 to 3, characterized in that the valve device for the intake of air through the operating element can be operated electrically by means of a pressure switch - microswitch - Which by to control organs arranged cams (73, 74) is switched.

5. Plant according to claim 1, characterized by the summary of the components to a self-supporting structural unit in such a way that the mechanical suction pump The diffusion pump is housed in the base frame that forms the oil bath housing arranged directly on this base frame and on this the valve housing is.

6. Plant according to claim 5, characterized by cooling jackets connected to one another in the upper part of the diffusion pump and in the lower part of the valve housing.

7. Plant according to claim 5 or 6, characterized by one directly on the base frame the arrangement representing oil bath housing arranged electric motor as a drive for the mechanical suction pump. Documents considered: German patent application V 3132 Ia / 27d (published June 3, 1954).