DD53506A1 - Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen - Google Patents

Einblickeinrichtung für Vakuumanlagen

Info

Publication number: DD53506A1
Authority: DD; German Democratic Republic
Prior art keywords: vacuum systems; insight device; insight; vacuum; systems
Prior art date: 1965-11-24

Application number

DD11432565A

Other languages

English (en)

Inventor

Willy Roggenbuck

Horst Liebergeld

Rudolf Pochert

Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)

1965-11-24

Filing date

1965-11-24

Publication date

1967-01-20

1965-11-24 Application filed filed Critical

1965-11-24 Priority to DD11432565A priority Critical patent/DD53506A1/de

1967-01-20 Publication of DD53506A1 publication Critical patent/DD53506A1/de

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number	Priority date	Publication date	Assignee	Title
DE102008048586A1 (de)	2008-09-23	2010-04-01	Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh	Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen
DE102013211127A1 (de) *	2013-06-14	2014-12-18	Singulus Technologies Ag	Erkennung von Carriern für Substrate in Beschichtungskammern

1965
- 1965-11-24 DD DD11432565A patent/DD53506A1/de unknown

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number	Priority date	Publication date	Assignee	Title
DE102008048586A1 (de)	2008-09-23	2010-04-01	Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh	Einblickvorrichtung für Vakuumanlagen
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