DD237916A1 - Anordnung zur halterung von messobjekten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Halterung von Messobjekten, vorzugsweise mit ebenen Formen wie Schablonen, Wafer u. ae. und kann in solchen Messgeraeten eingesetzt werden, bei denen des Messvorganges keine Verschiebung der Messobjekte zueinander oder zu einem Bezugspunkt eintreten darf. Durch Vakuum wird ein Messobjekt am Messobjekthalter, und dieser selbst an einem beweglichen Feintisch quasi absolut fixiert. Fig. 1

Description

ein Aufnahmerahmen durch mindestens vier Metallbälge, von denen sich je zwei Metallbälge an der linken und rechten Seite des Aufnahmerahmens befinden, mit dem Meßobjekthalter in Wirkverbindung steht, daß der Meßobjekthalter durch mindestens jeweils einem Metallbalg mit jeder Führung in Wirkverbindung steht, daß jeweils für zwei Taschen, zwei Metallbälge und mindestens eines einem Metallbalg über Vakuumkanäle und einem Vakuumkanal ein gemeinsamer Vakuumanschluß vorhanden ist und daß der Aufnahmerahmen an seiner Rückseite mittels mindestens zwei stellbaren Anschlägen und mindestens zwei Metallbälgen, die jeweils einen Vakuumanschluß besitzen, mit dem Feintisch in Wirkverbindung steht. Durch die erfindungsgemäße Lösung wird eine sichere, quasi absolute Anlage des Meßobjektes an den Meßobjekthalter erreicht, in dem durch Vakuum auch der Aufnahmerahmen gegen den Meßobjekthalter gezogen wird, wodurch gegenüber den bisher bekannten Lösungen ein zusätzlicher Andruck des Meßobjektes an den Meßobjekthalter erzeugt wird. Die Sicherung der justierten Lage des Meßobjekthalters zum Feintisch wird durch vier stellbare Füße in Verbindung mit einem zusätzlichen Andruck des Meßobjekthalters an die mit dem Feintisch verbundenen Führungen bewirkt. Damit können die genannten Nachteile bisher bekannten technischen Lösungen beseitigt werden.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in

Figur 1: in Draufsicht eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen Anordnung zur Halterung von Meßobjekten, Figur 2: einen Schnitt ÄÄ durch die Figur 1 und Figur 3: einen Schnitt BB durch die Figur 1.

Die Figur 2 zeigt ein Meßobjekt 12, das im Aufnahmerahmen 8 eingelegt ist. Das Meßobjekt 12 wird mittels eines Schubes 7 an die Unterseite des Meßbbjekthalters 9 gebracht.

Die Schubbewegung wird begrenzt durch die lageorientierenden, zum Aufnahmerahmen 8 justierbaren stellbaren Anschläge 16 und den entsprechenden Anschlägen im Feintisch 1, in der Figur 1 dargestellt. Die Lageorientierung in den Koordinaten χ und y erfolgt mittels eines stellbaren Anschlages 16 in einer prismatischen Nut 17 im Feintisch 1, wobei als bewegliche Koordinate ζ erhalten bleibt. Durch den zweiten stellbaren Anschlag 16 in Verbindung mit einer Planfläche am Feintisch 1 erfolgt die Fixierung des Winkels φ senkrecht zur Koordinate z. Über mindestens vier Stößel 2, in Figur 2 dargestellt, jeder Ecke des Aufnahmerahmens 8 ist ein Stößel 2 zugeordnet, wird der Aufnahmerahmen 8 mit dem Meßobjekt 12 zur Anlage der Referenzebene an die Finger 13 (siehe auch Figur 1) gebracht, wobei die Anlage durch die federnde Wirkung der Metallbälge 11 gedämpft erfolgt.

Der auswechselbare Meßobjekthalter 9, in Figur 1 und 3 dargestellt, wird durch die stellbaren Füße 19,20,21 in Verbindung mit einer Kegelsenkung für den stellbaren Fuß 19 und einer nicht dargestellten prismatischen Nut für den stellbaren Fuß 20 in der auf der linken Seite befindlichen Führung 3 und mit jeweils einer ebenen Auflagefläche für jeden der zwei stellbaren Füße 21 in der auf der rechten Seite befindlichen Führung 3 lageorientiert.

Die kraftschlüssige, reproduzierbare₍quasi absolute Fixierung des Meßpbjektes 12 zum Meßobjekthalter erfolgt mittels vier mit dem Aufnahmerahmen 8 fest verbundenen Metallbälgen 11, in Figur 1 und 2 dargestellt, die über die Vakuumkanäle 10 im Meßobjekthalter 9 evakuiert werden, unterstützt durch die Taschen 14 in den Fingern 13. Die Verbindung vom Vakuumanschluß 4 zu den Vakuumkanälen 10 im Meßobjekthalter 9 erfolgt über den Metallbalg 6 durch" dessen Boden der Vakuumkanal 5 geführt

Für jeweils zwei Taschen 14, zwei Metallbälge 11 und mindestens einem Metallbalg 6 ist ein gemeinsamer Vakuumanschluß 4 vorgesehen. Dadurch wird gleichzeitig mittels den Taschen 14 und den Metallbälgen 11 in Verbindung mit dem Aufnahmerahmen 8 das Meßobjekt 12 an den Meßobjekthalter 9 und der Meßobjekthalter 9 selbst mittels den Metallbälgen 6 über die Führungen 3 an den Feintisch 1 angedrückt, wodurch ein stabiles geschlossenes Kräftesystem entsteht.

Weiterhin wird der Aufnahmerahmen 8 mittels der Metallbälge 18 kraftschlüssig und reproduzierbar an den Feintisch 1 fixiert.

Claims (2)

1. Patentanspruch:

   Anordnung zur Halterung von Meßobjekten,bei der ein Meßobjekthalter, mit einem Fenster und vier in das Fenster hineinragende Finger mit je einer Tasche und Vakuumkanälen, mittels vier stellbaren Füßen auf zwei Führungen, die sich auf der linken und rechten Seite des Meßobjekthalters befinden und mit dem Feintisch verbunden sind, gelagert ist, zwischen den Führungen unmittelbar über dem Feintisch ein horizontal beweglicher, in den Führungen geführter Schub angeordnet ist, auf dem Schub ein vertikalbeweglicher auswechselbarer Aufnahmerahmen und auf diesem ein Meßobjekt angebracht sind und der Aufnahmerahmen von Unten durch vier Stößel unterstützt wird, gekennzeichnet dadurch, daß der Aufnahmerahmen (8) durch mindestens vier Metallbälge (11), von denen sich je zwei Metallbälge (11) an der linken und rechten Seite des Aufnahmerahmens (8) befinden, mit dem Meßobjekthalter (9) in Wirkverbindung steht, daß der Meßobjekthalter (9) durch mindestens jeweils einem Metallbalg (6) mit jeder Führung (3) in Wirkverbindung steht, daß jeweils für zwei Taschen (14), zwei Metallbälge (11) und mindestens einem Metallbalg (6) über Vakuumkanäle (10) und einem Vakuumkanal (5) ein gemeinsamer Vakuumanschluß (4) vorhanden ist und daß der Aufnahmerahmen (8) an seiner Rückseite mittels mindestens zwei stellbaren Anschlägen (16) und mindestens zwei Metallbälgen (18), die jeweils einen Vakuumanschluß (15) besitzen, mit dem Feintisch (1) in Wirkverbindung steht.

   Hierzu
2. 2 Seiten Zeichnungen

   Anwendungsgebiet der Erfindung

   Die Erfindung kann für die Halterung von Meßobjekten, wie Schablonen, Wafer, Maßstäbe, Strichplatten u.a. eingesetzt werden.

   Vor allem in solchen Meßgeräten, bei denen während des Meßvorganges keine Verschiebung der Meßobjekte zu einander oder zu einem Bezugspunkt eintreten darf.

   Charakteristik der bekannten technischen Lösungen

   Es sind Meßgeräte bekannt.bei denen die zu prüfenden Meßobjekte, z. B. Schablonen, jeweils in einem Aufnahmerahmen eingelegt und mittels eines Schubes an die Unterseite der Meßobjekthalter gebracht werden. In diener Stellung wird ein Pneumatiksystem zugeschaltet, welches den Aufnahmerahmen solange anhebt, bis das auf diesenraufliegenden Meßobjekt an den, am Meßobjekthalter befindlichen Fingern anliegt. Die Finger des Meßobjekthalters sind an der dem Meßobjekt zugewandten Seite mit Taschen versehen, die bei Anwendung von Unterdruck die lageorientierte, reproduzierbare Fixierung des Meßobjektes gewährleisten sollen. Der Meßobjekthalter wird durch seine Eigenmasse mittels mindestens drei stellbaren Füßen auf dem System der Feintische fixiert.

   In der Regel sind in einem Meßgerät zwei Aufnahme-und Haltereinrichtungen für jeweils ein Meßobjekt vorhanden (Prospektmaterial zum „SVG 160" des Kombinates VEB Carl Zeiss JENA, Prospektmaterial zum „MVG" der Fa. Leitz, Wetzlar, BRD). Der Nachteil dieser Lösungen ist der, daß durch dynamische Kräfte, die von Außen auf das Meßgerät wirken und der, die während des Meßvorganges im Meßgerät selbst erzeugt werden, eine Verschiebung der hochgenaufixierten Meßobjekte zueinander eintritt, die eine Meßgenauigkeit in der Größenordnung von 1 χ 10~⁴mm nicht garantiert. Ein weiterer Nachteil besteht in dem ungedämpften, harten Anschlag des Meßobjektes an den Fingern des Meßobjekthalters, während des Anhebens des Aufnahmerahmens.

   Weiterhin sind technische Lösungen bekannt, bei denen das Meßobjekt mittels einer mechanischen Klemmvorrichtung fixiert und gehalten wird. Der Nachteil dieser Lösungen ist der hohe gerätetechnische Aufwand, ein niederer Bedienkomfort und ein geringerer Automatisierungsgrad der Vorbereitung des Meßobjektes auf den Meßvorgang.

   Ziel der Erfindung

   Das Ziel der Erfindung besteht in der Schaffung einer Anordnung zur Halterung von Meßobjekten mit geringstem gerätetechnischem Aufwand, hohem Bedienkomfort bei der Zuführung des Meßobjektes und geringem Zeitaufwand für die Vorbereitung des Meßobjektes auf den Meßvorgang.

   Wesen der Erfindung

   Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde eine Anordnung zur Halterung von Meßobjekten, z. B. Schablonen für die Herstellung integrierter Schaltkreise, zu schaffen, bei der mittels am Meßgerät vorhandener Bauelemente und über automatisch arbeitende Vakuumbauelemente in Verbindung mit mechanischen Anschlägen eine quasi absolute, kraftschlüssige, reproduzierbare Fixierung des Meßobjektes gewährleistet ist, eine Dämpfung der Anlage des Meßobjektes an die Finger des Meßobjekthalters erfolgt und Meßgenauigkeiten von 1 χ 10~⁴mm reproduzierbar erzielt werden. Die Aufgabe wird durch eine Anordnung zur Halterung von Meßobjekten bei der ein Meßobjekthalter, mit einem Fenster und vier in das Fenster hineinragende Finger mit je einer Tasche und Vakuumkanälen, mittels vier stellbaren Füßen auf zwei Führungen, die sich auf der linken und rechten Seite des Meßobjekthalters befinden und mit dem Feintisch verbunden sind, gelagert ist, zwischen den Führungen unmittelbar über dem Feintisch ein horizontal beweglicher, in den Führungen geführter Schub angeordnet ist, auf dem Schub ein vertikalbeweglicher auswechselbarer Aufnahmerahmen und auf diesem ein Meßobjekt angebracht sind und der Aufnahmerahmen von Unten durch vier Stößel unterstützt wird, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß