CN222838802U - 一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置，其中，晶圆插片翻转装置包括基座、翻转组件、承载组件以升降驱动件，翻转组件包括翻转驱动件和旋转支座，翻转驱动件安装在基座上，并与旋转支座连接，翻转驱动件能够带动旋转支座转动；承载组件包括支撑件，支撑件与升降驱动件连接，且支撑件具有多个第一容纳槽，第一容纳槽用于容纳晶圆，升降驱动件具有带动支撑件远离旋转支座的顶升状态，以及带动支撑件靠近旋转支座的复位状态。通过该插片翻转装置，晶圆无需在设备之间进行转移，即可完成晶圆的插片动作、翻转动作以及顶升动作，提高了晶圆的清洗效率，且该晶圆插片装置集成度高，减少了多个独立设备所需的占用空间。

Description

一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置。

背景技术

晶圆在不断加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属杂质等污染物接触，导致污染物附着在晶圆上，因此需要对晶圆进行清洗。晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要的工艺步骤，需要在不破坏晶圆表面特性及电特性的前提下有效地使用化学溶液或气体清除残留在晶圆表面的杂质。随着半导体制造要求的提高，对晶圆洁净度的要求也越来越高，由于无载具清洗方式(Cassette l ess)在清洗晶圆时只需要搬运晶圆而无需搬运载具，因此既节省了空间又更容易控制杂质(part ic l e)，所以该清洗方式得到了越来越广泛的应用。

晶圆在无载具清洗过程中，需要完成如翻转、夹持、插片、横移、顶升等一系列动作，而每个动作在对应的设备中进行，如翻转设备中进行晶圆的翻转动作，在插片设备中完成晶圆的插片动作，顶升设备中完成晶圆的顶升动作。然而，上述的无载具清洗过程中，晶圆需要在各个设备之间进行转移，导致晶圆的清洗效率较低，且各个设备的占用空间较大。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置，以解决现有的无载具清洗过程中，晶圆需要在各个设备之间进行转移，导致晶圆的清洗效率较低，且各个设备的占用空间较大的问题。

本实用新型提供了一种晶圆插片翻转装置，包括：

基座；

翻转组件，包括翻转驱动件和旋转支座，所述翻转驱动件安装在所述基座上，并与所述旋转支座连接，所述翻转驱动件能够带动所述旋转支座转动；

升降驱动件，所述升降驱动件安装在所述旋转支座上；

承载组件，包括支撑件，所述支撑件与所述升降驱动件连接，且所述支撑件具有多个第一容纳槽，所述第一容纳槽用于容纳晶圆；

所述升降驱动件具有带动支撑件远离所述旋转支座的顶升状态，以及带动所述支撑件靠近所述旋转支座的复位状态。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，所述支撑件包括：

承载支座，与所述升降驱动件固定连接；

第一子支撑件，与所述承载支座连接，沿所述第一子支撑件轴向方向间隔分布有多个第一限位槽；

第二子支撑件，与所述承载支座连接，沿所述第二子支撑件轴向方向间隔分布有多个第二限位槽；

任意一个所述第一限位槽均具有与对应的所述第二限位槽相对设置，以围成对应的所述第一容纳槽的第一装载状态。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，沿所述第一子支撑件轴向方向间隔分布有多个第三限位槽，多个所述第三限位槽与多个所述第一限位槽位于所述第一子支撑件的不同侧面上；沿所述第二子支撑件轴向方向间隔分布有多个第四限位槽，多个所述第四限位槽与多个所述第二限位槽位于所述第二子支撑件的不同侧面上；任意一个所述第三限位槽均具有与对应的所述第四限位槽相对设置，以围成对应的第二容纳槽的第二装载状态；

所述第一子支撑件和所述第二子支撑件具有在外力下转动，以切换所述第一装载状态和所述第二装载状态的第一切换状态。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，所述支撑件包括第一承载驱动件，其与所述承载支座固定连接，且所述第一承载驱动件通过第一皮带传动机构分别与所述第一子支撑件和所述第二子支撑件连接，所述第一承载驱动件能够带动所述第一子支撑件和所述第二子支撑件转动。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，所述承载组件还包括：

第一限位件，与所述旋转支座连接，沿所述第一限位件轴向方向间隔分布有多个第五限位槽；

第二限位件，与所述旋转支座连接，沿所述第二限位件轴向方向间隔分布有多个第六限位槽，且所述第一限位件和所述第二限位件的间距大于所述第一子支撑件和所述第二子支撑件的间距；

任意一个所述第五限位槽均具有与对应的所述第六限位槽相对设置的第一限位状态；

在所述第一装载状态下，所述第五限位槽和所述第六限位槽分别与对应的所述第一容纳槽内的所述晶圆两侧抵接。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，沿所述第一限位件轴向方向间隔分布有多个第七限位槽，多个所述第七限位槽与多个所述第五限位槽位于所述第一限位件的不同侧面上；沿所述第二限位件轴向方向间隔分布有多个第八限位槽，多个所述第八限位槽与多个所述第六限位槽位于所述第二限位件的不同侧面上；任意一个所述第七限位槽均具有与对应的所述第八限位槽相对设置的第二限位状态；在所述第二装载状态下，所述第七限位槽和所述第八限位槽分别与对应的所述第二容纳槽内的所述晶圆两侧抵接；

所述第一限位件和所述第二限位件具有在外力下转动，以切换所述第一限位状态和所述第二限位状态的第二切换状态；

和/或，任意一个所述第七限位槽(422)的尺寸公差均大于任意一个所述第五限位槽(421)的尺寸公差，任意一个所述第八限位槽的尺寸公差均大于任意一个所述第六限位槽(431)的尺寸公差。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，所述承载组件还包括第二承载驱动件，其与所述旋转支座固定连接，且所述第二承载驱动件通过第二皮带传动机构分别与所述第一限位件和所述第二限位件连接，所述第二承载驱动件能够带动所述第一限位件和所述第二限位件转动。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，所述旋转支座具有至少一个开口的容纳腔，所述升降驱动件、所述承载支座、所述第一限位件、所述第二限位件、所述第一子支撑件以及第二子支撑件均位于所述容纳腔内。

可选的，上述的晶圆插片翻转装置，还包括定位检测件，设置在所述旋转支座上，用于获取所述支撑件上的所述晶圆的定位信息。

本实用新型还提供一种晶圆清洗装置，包括上述的晶圆插片翻转装置。

本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的晶圆插片翻转装置，包括基座、翻转组件、承载组件以升降驱动件，翻转组件包括翻转驱动件和旋转支座，翻转驱动件安装在基座上，并与旋转支座连接，翻转驱动件能够带动旋转支座转动；承载组件包括支撑件，支撑件与升降驱动件连接，且支撑件具有多个第一容纳槽，第一容纳槽用于容纳晶圆，升降驱动件具有带动支撑件远离旋转支座的顶升状态，以及带动支撑件靠近旋转支座的复位状态。本实用新型提供的晶圆插片翻转装置，集成了承载组件、翻转组件以及升降驱动件，将晶圆放入各个第一容纳槽内，即可完成插片动作，然后翻转驱动件驱动旋转支座转动，以带动升降驱动件转动，升降驱动件带动支撑件转动，以带动第一容纳槽内的晶圆翻转，即可实现翻转动作，然后通过升降驱动件带动支撑件上升，以带动晶圆上升，实现晶圆的顶升动作，通过该插片翻转装置，晶圆无需在设备之间进行转移，即可完成晶圆的插片动作、翻转动作以及顶升动作，减少了晶圆在各个设备之间的转移的时间，提高了晶圆的清洗效率，且该晶圆插片装置集成度高，仅需单一设备即可实现插片、顶升以及翻转的功能，从而减少了多个独立设备所需的占用空间，提高了空间利用率，并简化了操作流程，降低了生产升本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型提供的插片翻转装置装载晶圆时的轴测图；

图2是本实用新型提供的插片翻转装置翻转后的轴测图；

图3是本实用新型提供的插片翻转装置翻转后的正视图；

图4是本实用新型提供的插片翻转装置顶升后的轴测图；

图5是本实用新型提供的插片翻转装置未装载晶圆时的正视图；

图6是本实用新型提供的插片翻转装置中第一子支撑件的示意图；

图7是本实用新型提供的插片翻转装置中第一限位件的示意图。

附图标记说明：

1、基座；

21、翻转驱动件；22、旋转支座；

3、升降驱动件；

41、支撑件；411、承载支座；412、第一子支撑件；4121、第一限位槽；4122、第三限位槽；4123、第一斜面；413、第二子支撑件；4131、第二限位槽；414、第一承载驱动件；415、第一皮带传动机构；42、第一限位件；421、第五限位槽；422、第七限位槽；43、第二限位件；431、第六限位槽；44、第二承载驱动件；45、第二皮带传动机构；

51、第一检测件；52、第二检测件；

6、晶圆。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

本实施例提供的晶圆插片翻转装置，如图1至图7所示，包括基座1、翻转组件、承载组件以升降驱动件3，翻转组件包括翻转驱动件21和旋转支座22，翻转驱动件21安装在基座1上，并与旋转支座22连接，翻转驱动件21能够带动旋转支座22转动；承载组件包括支撑件41，支撑件41与升降驱动件3连接，且支撑件41具有多个第一容纳槽，第一容纳槽用于容纳晶圆6，升降驱动件3具有带动支撑件41远离旋转支座22的顶升状态，以及带动支撑件41靠近旋转支座22的复位状态。

具体的，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，基座1包括底板以及两个竖板，两个竖板均与底板固定连接，固定方式可为焊接、螺栓连接、插接或其他固定连接方式，两个竖板间隔设置，且两个竖板均垂直于底板，任意一个竖板还通过三角形筋板与底板固定连接，三角形筋板的两个直角边分别与竖板和底板固定连接，通过三角形筋板增加竖板的稳固性；翻转驱动件21为电机和减速器，翻转驱动件21还可水轮机、汽轮机或其他可做圆周运动的装置，电机外壳与减速器外壳固定连接，减速器外壳与其中一个竖板外侧壁固定连接，电机通过减速器提升驱动旋转支座22的扭力；旋转支座22的两侧具有第一柱状凸出部和第二柱状凸出部，第一柱状凸出部穿过其中一个竖板并与减速器的输出轴固定连接，第二柱状凸出部穿过另一竖板，并与竖板转动连接，且伸出竖板外的部分第二柱状凸出部外周设有限位板，由于减速器输出轴以及限位板的限位，因此可避免旋转支座22左右移动；翻转驱动件21可带动第一柱状凸出部转动，从而带动旋转支座22转动，升降驱动件3可为液压缸，或凸轮机构或齿轮齿条机构或丝杠机构，支撑件41与升降驱动件3固定连接，升降驱动件3可带动支撑件41进行升降，从而可实现第一容纳槽内的晶圆6顶升。

本实施例提供的晶圆插片翻转装置，集成了承载组件、翻转组件以及升降驱动件3，将晶圆6放入各个第一容纳槽内，即可完成插片动作，然后翻转驱动件21驱动旋转支座22转动，以带动升降驱动件3转动，升降驱动件3带动支撑件41转动，以带动第一容纳槽内的晶圆6翻转，即可实现翻转动作，然后通过升降驱动件3带动支撑件41上升，以带动晶圆6上升，实现晶圆6的顶升动作，通过该插片翻转装置，晶圆6无需在设备之间进行转移，即可完成晶圆6的插片动作、翻转动作以及顶升动作，减少了晶圆6在各个设备之间的转移的时间，提高了晶圆6的清洗效率，且该晶圆6插片装置集成度高，仅需单一设备即可实现插片、顶升以及翻转的功能，从而减少了多个独立设备所需的占用空间，提高了空间利用率，并简化了操作流程，降低了生产升本。

如图2、图5和图6所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，支撑件41包括承载支座411、第一子支撑件412以及第二子支撑件413，承载支座411为中空的壳体，优选的，承载支座411为正方形的中空壳体，承载支座411由板件围合而成，承载支座411的底部与升降驱动件3固定连接；第一子支撑件412和第二子支撑件413均位于承载支座411内，第一子支撑件412和第二子支撑件413对称设置，如图6所示，第一子支撑件412包括第一轴体和其上套设的第一块体，第一块体与第一轴体固定连接，第一轴体的两端分别与承载支座411相对设置的两内侧壁连接，第一块体具有第一斜面4123，第一倾斜面上开设有多个第一限位槽4121，第一斜面上的多个第一限位槽4121沿第一轴体的轴向方向均匀间隔分布；第二子支撑件413包括第二轴体和其上套设的第二块体，第二块体与第二轴体固定连接，第二轴体的两端分别与承载支座411相对设置的两内侧壁连接，第一轴体和第二轴体并排设置，第二块体具有第二斜面，第二斜面上开设有多个第二限位槽4131，第二斜面上的多个第二限位槽4131沿第二轴体的轴向方向均匀间隔分布，第一斜面4123和第二斜面的间距沿升降驱动件3下降的方向逐渐较小，且第一斜面4123和第二斜面的最小间距小于晶圆6的直径，避免晶圆6从第一斜面4123和第二斜面之间掉落，任意第一限位槽4121均有与对应的第二限位槽4131相对设置，以围成第一容纳槽的第一装载状态，第一容纳槽为倒梯形槽，该第一容纳槽内用于插入其中一片晶圆6。通过相对设置的第一限位槽4121和第二限位槽4131，以夹持其内的晶圆6，避免晶圆6移动，由于设置多个第一限位槽4121和多个第二限位槽4131，因此可插入多片晶圆6，提高晶圆6的装载量。

在一个可替换的实施中，支撑件41为盒体，盒体呈倒梯形状，盒体的内侧壁开设有多个第一容纳槽，任意一个第一容纳槽均为倒梯槽，即盒体相对的两内侧壁上分别开设有第一子容纳槽和第二子容纳槽，盒体的底部未开设槽，当然，底部也可开设容纳槽，第一子容纳槽和第二子容纳槽围合形成第一容纳槽，第一容纳槽内用于插入一个晶圆6。

如图6所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，第一块体上具有第三斜面，第三斜面位于第一块体上与第一斜面相对的侧面上，当然，第三斜面也可位于第一块体上的其他侧面，第一斜面平行于第三斜面，第一块体的横截面形状可为平行四边形，第三斜面上开设有多个第三限位槽4122，第三斜面上的多个第三限位槽4122沿第一轴体的轴向方向均匀间隔分布；第二块体具有第四斜面，第二斜面平行于第四斜面，第二块体的横截面形状也可为平行四边形，第四斜面上开设有多个第四限位槽，第四斜面上的多个第四限位槽沿第二轴体的轴向方向均匀间隔分布，任意一个第三限位槽4122均具有与对应的第四限位槽相对设置，以围成第二容纳槽的第二装载状态，第二容纳槽也为倒梯形槽，该第二容纳槽内用于插入其中一片晶圆6；第一限位槽4121、第二限位槽4131、第三限位槽4122以及第四限位槽均为‘v’型槽，避免插入限位槽内的晶圆6出现晃动。当第一斜面朝向第二子支撑件413时，通过将第一子支撑件412旋转180°，可将第三斜面朝向第二子支撑件413；通过将第二子支撑件413旋转180°，可将第二斜面或第四斜面朝向第一子支撑件412；当第一限位槽4121和第二限位槽4131相对时，此为第一装载状态，用于装载清洗前的晶圆6，当第三限位槽4122与第四限位槽相对时，此为第二装载状态，用于装载清洗后的晶圆6，避免采用相同的限位槽装载清洗前和清洗后晶圆6，导致的交叉污染。任意一个第一限位槽4121的尺寸公差小于任意一个第三限位槽4122的尺寸公差，任意一个第二限位槽4131的尺寸公差小于任意一个第四限位槽的尺寸公差，从而使得第一容纳槽的尺寸公差小于第二容纳槽的尺寸公差，进而有利于第一容纳槽夹紧清洗前晶圆，且有利于清洗后的晶圆从第二容纳槽内的脱离，且能降低第二容纳槽的加工成本。

如图2、图4、图5所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，支撑件41还包括第一承载驱动件414和第一皮带传动机构415，第一承载驱动件414为电机和与其连接的减速器，电机的壳体与减速器的壳体固定连接，减速器的壳体与承载支座411的外侧壁固定连接，第一皮带传动机构415包括第一带轮、第二带轮、第三带轮、第四带轮、第五带轮以及皮带，第一带轮套设在减速器的输出轴上，输出轴与承载支座411外侧壁转动连接，第二带轮和第三带轮均与承载支座411外侧壁转动连接，第四带轮套设在伸出承载支座411外的第一轴体上，第五带轮套设在伸出承载支座411外的第二轴体上，皮带缠绕在第一带轮、第二带轮、第三带轮、第四带轮以及第五带轮上，第一承载驱动件414带动第一带轮转动，第一带轮通过皮带带动第二带轮、第三带轮、第四带轮以及第五带轮转动，从而带动第一子支撑件412和第二子支撑件413转动，进而实现第一装载状态和第二装载状态的切换；通过第一皮带传动机构415传递动力的同时，可起到缓冲、减震以及保护的作用，且皮带传动机构成本低廉，传动可靠，节约了制造成本和使用成本。

如图5和图7所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，承载组件还包括第一限位件42和第二限位件43，第一限位件42和第二限位件43并排设置，且第一限位件42和第二限位件43的间距大于第一子支撑件412和第二子支撑件413的间距，第一限位件42和第二限位件43均位于第一子支撑件412和第二子支撑件413的上方，第一限位件42包括第三轴体和其上套设的第三块体，第三轴体的两端分别与旋转支座22相对设置的两内侧壁连接，第三块体与第三轴体固定连接，第三块体具有第一平面，第一平面开设有多个第五限位槽421，第一平面上的多个第五限位槽421沿第三轴体的轴向方向均匀间隔分布；第二限位件43包括第四轴体和其上套设的第四块体，第四块体与第四轴体固定连接，第四轴体的两端分别与旋转支座22相对设置的两内侧壁连接，第四轴体和第三轴体并排设置，第四块体具有第二平面，第二平面上开设有多个第六限位槽431，第二平面上的多个第六限位槽431沿第四轴体的轴向方向均匀间隔分布，任意一个第五限位槽421均具有与对应的第六限位槽431相对设置的第一限位状态，在第一装载状态下，第五限位槽421和第六限位槽431分别与对应的第一容纳槽内的晶圆6两侧抵接，以进一步限位晶圆6，避免晶圆6在翻转过程中滑脱。

如图7所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，第一块体上具有第三平面，第三平面位于第三块体上与第一平面相对设置的侧面上，当然，第三平面也可位于第三块体上的其他侧面，第一平面平行于第三平面，第三块体的横截面形状可为矩形，第三平面上开设有多个第七限位槽422，第三平面上的多个第七限位槽422沿第三轴体的轴向方向均匀间隔分布；第四块体具有第四平面，第二平面平行于第四平面，第四平面上开设有多个第八限位槽，第四平面上的多个第八限位槽沿第四轴体的轴向方向均匀间隔分布，任意一个第七限位槽422均具有与对应的第八限位槽相对设置的第二限位状态，在第二装载状态下，第七限位槽422和第八限位槽分别与对应的所述第二容纳槽内的晶圆6两侧抵接，第五限位槽421、第六限位槽431、第七限位槽422、第八限位槽均为矩形槽，通过将第一限位件42旋转180°，可将第一平面或第三平面朝向第二限位件43；通过将第二限位件43旋转180°，可将第二平面或第四平面朝向第一限位件42；在第一装载状态下，第五限位槽421与第六限位槽431相对，用于限位清洗前的晶圆6，在第二装载状态下，第七限位槽422与第八限位槽相对，用于限位清洗后的晶圆6，避免采用相同的限位槽装载清洗前和清洗后晶圆6，导致的交叉污染。任意一个第五限位槽421的尺寸公差小于任意一个第七限位槽422的尺寸公差，任意一个第六限位槽431的尺寸公差小于任意一个第八限位槽的尺寸公差，有利于第五限位槽421和第七限位槽422夹紧清洗前晶圆，且有利于清洗后的晶圆从第六限位槽431和第八限位槽内的脱离，且能降低第六限位槽431和第八限位槽的加工成本。

如图1和图5所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，还包括第二承载驱动件44和第二皮带传动机构45，第一承载驱动件414为电机和与其连接的减速器，减速器的壳体与旋转支座22的外侧壁固定连接，第二带轮传动机构与第一带动传动机构相同，第二承载驱动件44通过第二带动传动机构分别带动第一限位件42和第二限位件43转动，以实现第一限位状态和第二限位状态的切换。

如图1所示，本实施例提供的晶圆插片翻转装置，旋转支座22由板件围合而成，旋转支座22为具有开口的容纳腔，以图1的视角为例，旋转支座22顶部具有开口，该开口用于进出晶圆6，升降驱动件3、承载支座411、第一限位件42、第二限位件43、第一子支撑件412和第二子支撑件413均位于容纳腔外，旋转支座22起到保护和隔离作用，避免灰尘进入。

如图3所示，本实施提供的晶圆插片翻转装置，还包括定位检测件，该定位检测件包括第一检测件51和第二检测件52，第一检测件51和第二检测件52均为反射型传感器(激光、超声波)，第一检测件51和第二检测件52均安装在旋转支座22上，第一检测件51的高度大于第二检测件52的高度，且第一检测件51和第二检测件52位于晶圆6的两侧，第一检测件51和第二检测件52用于反馈晶圆6的定位信息，避免晶圆6的位置出现偏差。

当需要对清洗前的晶圆6进行插片、翻转以及顶升时，首先，如图1所示，旋转支座22保持水平，将各个清洗前的晶圆6从旋转支座22的开口伸入，直至晶圆6的底部分别与第一限位槽4121和第二限位槽4131抵接，并且晶圆6的两侧与第五限位槽421和第六限位槽431抵接，然后第一检测件51和第二检测件52启动，当第一检测件51和第二检测件52反馈的定位信息满足要求时，翻转驱动件21工作，带动旋转支座22转动90°，如图2所示，此时旋转支座22为竖直状态，且将晶圆6由水平翻转为竖直，然后升降驱动件3工作，带动承载支座411上升，以使得第一限位槽4121和第二限位槽4131托举其上的晶圆6上升，直至晶圆6上升至设定位置。

当需要对清洗后的晶圆6进行插片、翻转以及顶升时，首先，第一承载驱动件414和第二承载驱动件44工作，以使得第一子支撑件412、第二子支撑件413、第一限位件42、第二限位件43均转动180°，从而使得第三限位槽4122和第四限位槽相对，第七限位槽422和第八限位槽相对，此后工作过程如上述对清洗前的晶圆6进行插片、翻转以及顶升所述。

实施例2

本实施例提供的晶圆6清洗装置，包括实施例1中的晶圆插片翻转装置以及夹持装置，当晶圆6插片翻转装置内的各个清洗前的晶圆6完成顶升后，夹持装置将顶升后的晶圆6移动至清洗区中进行清洗，然后翻转驱动件21工作，带动旋转支座22翻转90°，以使得旋转支座22复位为水平状态，以进行下一次的晶圆6插片、翻转、顶升动作。

虽然结合附图描述了本实用新型的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下做出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。

Claims (10)

1.一种晶圆插片翻转装置，其特征在于，包括：

基座(1)；

翻转组件，包括翻转驱动件(21)和旋转支座(22)，所述翻转驱动件(21)安装在所述基座(1)上，并与所述旋转支座(22)连接，所述翻转驱动件(21)能够带动所述旋转支座(22)转动；

升降驱动件(3)，安装在所述旋转支座(22)上；

承载组件，包括支撑件(41)，所述支撑件(41)与所述升降驱动件(3)连接，且所述支撑件(41)具有多个第一容纳槽，所述第一容纳槽用于容纳晶圆(6)；

所述升降驱动件(3)具有带动支撑件(41)远离所述旋转支座(22)的顶升状态，以及带动所述支撑件(41)靠近所述旋转支座(22)的复位状态。

2.根据权利要求1所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，所述支撑件(41)包括：

承载支座(411)，与所述升降驱动件(3)固定连接；

第一子支撑件(412)，与所述承载支座(411)连接，沿所述第一子支撑件(412)轴向方向间隔分布有多个第一限位槽(4121)；

第二子支撑件(413)，与所述承载支座(411)连接，沿所述第二子支撑件(413)轴向方向间隔分布有多个第二限位槽(4131)；

任意一个所述第一限位槽(4121)均具有与对应的所述第二限位槽(4131)相对设置，以围成对应的所述第一容纳槽的第一装载状态。

3.根据权利要求2所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，沿所述第一子支撑件(412)轴向方向间隔分布有多个第三限位槽(4122)，多个所述第三限位槽(4122)与多个所述第一限位槽(4121)位于所述第一子支撑件(412)的不同侧面上；沿所述第二子支撑件(413)轴向方向间隔分布有多个第四限位槽，多个所述第四限位槽与多个所述第二限位槽(4131)位于所述第二子支撑件(413)的不同侧面上；任意一个所述第三限位槽(4122)均具有与对应的所述第四限位槽相对设置，以围成对应的第二容纳槽的第二装载状态；

所述第一子支撑件(412)和所述第二子支撑件(413)具有在外力下转动，以切换所述第一装载状态和所述第二装载状态的第一切换状态。

4.根据权利要求3所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，所述支撑件(41)包括第一承载驱动件(414)，其与所述承载支座(411)固定连接，且所述第一承载驱动件(414)通过第一皮带传动机构(415)分别与所述第一子支撑件(412)和所述第二子支撑件(413)连接，所述第一承载驱动件(414)能够带动所述第一子支撑件(412)和所述第二子支撑件(413)转动。

5.根据权利要求3或4任一项所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，所述承载组件还包括：

第一限位件(42)，与所述旋转支座(22)连接，沿所述第一限位件(42)轴向方向间隔分布有多个第五限位槽(421)；

第二限位件(43)，与所述旋转支座(22)连接，沿所述第二限位件(43)轴向方向间隔分布有多个第六限位槽(431)，且所述第一限位件(42)和所述第二限位件(43)的间距大于所述第一子支撑件(412)和所述第二子支撑件(413)的间距；

任意一个所述第五限位槽(421)均具有与对应的所述第六限位槽(431)相对设置的第一限位状态；

在所述第一装载状态下，所述第五限位槽(421)和所述第六限位槽(431)分别与对应的所述第一容纳槽内的所述晶圆(6)两侧抵接。

6.根据权利要求5所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，沿所述第一限位件(42)轴向方向间隔分布有多个第七限位槽(422)，多个所述第七限位槽(422)与多个所述第五限位槽(421)位于所述第一限位件(42)的不同侧面上；沿所述第二限位件(43)轴向方向间隔分布有多个第八限位槽，多个所述第八限位槽与多个所述第六限位槽(431)位于所述第二限位件(43)的不同侧面上；任意一个所述第七限位槽(422)均具有与对应的所述第八限位槽相对设置的第二限位状态；在所述第二装载状态下，所述第七限位槽(422)和所述第八限位槽分别与对应的所述第二容纳槽内的所述晶圆(6)两侧抵接；

所述第一限位件(42)和所述第二限位件(43)具有在外力下转动，以切换所述第一限位状态和所述第二限位状态的第二切换状态；

和/或，任意一个所述第七限位槽(422)的尺寸公差均大于任意一个所述第五限位槽(421)的尺寸公差，任意一个所述第八限位槽的尺寸公差均大于任意一个所述第六限位槽(431)的尺寸公差。

7.根据权利要求6所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，所述承载组件还包括第二承载驱动件(44)，其与所述旋转支座(22)固定连接，且所述第二承载驱动件(44)通过第二皮带传动机构(45)分别与所述第一限位件(42)和所述第二限位件(43)连接，所述第二承载驱动件(44)能够带动所述第一限位件(42)和所述第二限位件(43)转动。

8.根据权利要求7所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，所述旋转支座(22)具有至少一个开口的容纳腔，所述升降驱动件(3)、所述承载支座(411)、所述第一限位件(42)、所述第二限位件(43)、所述第一子支撑件(412)和所述第二子支撑件(413)均位于所述容纳腔内。

9.根据权利要求2或8所述的晶圆插片翻转装置，其特征在于，还包括定位检测件，设置在所述旋转支座(22)上，用于获取所述支撑件(41)上的所述晶圆(6)的定位信息。

10.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的晶圆(6)插片翻转装置。