CN217816228U - 超纯水输送管路 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种超纯水输送管路包括：超纯水罐、CLEAN PVC管道和第一输送泵。超纯水罐适用于储存超纯水，超纯水罐设有进水口和出水口，进水口适用于与纯水产出装置连通通入超纯水。CLEAN PVC管道设有两个以上，两个以上的CLEAN PVC管道之间通过焊接连通。其中一CLEAN PVC管道的一端与出水口连通，另一CLEAN PVC管道的一端与第一输送泵连通。通过设置超纯水罐，对超纯水产出装置生产的超纯水进行缓存，再通过第一输送泵和CLEAN PVC管道将纯水罐中的超纯水使用设备，其中，CLEANPVC管道设有两个以上，相较于胶粘的连接方式，焊接后的CLEAN PVC管道在输送超纯水过程中不会对超纯水的质量产生影响。
Description
技术领域
本申请涉及超纯水输送技术领域，尤其涉及一种超纯水输送管路。
背景技术
在芯片、半导体等电子行业的超纯水输送常使用PVDF-HP管道进行输送， PVDF-HP管道具有极高的化学稳定性，可保证管道溶出物满足超纯水水质要求。由于PVDF原料供应紧张，PVDF-HP管道严重供应不足，使得同样具有极高化学稳定性的管道成为PVDF-HP管道的替代品。
同样具有极高化学稳定性的管道连接所使用的粘接工艺中，会使用粘接剂，粘接剂会污染管道中输送的超纯水，因此，如何替代PVDF-HP管道构建满足输送超纯水要求的输送管路，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本申请提出了一种超纯水输送管路，可替代PVDF-HP管道构建满足输送超纯水要求的输送管路。
根据本申请的一方面，提供了一种超纯水输送管路，其特征在于，包括：
超纯水罐、CLEAN PVC管道和第一输送泵；
所述超纯水罐适用于储存超纯水，所述超纯水罐设有进水口和出水口，所述进水口适用于与纯水产出装置连通通入超纯水；
所述CLEAN PVC管道设有两个以上，两个以上的所述CLEAN PVC管道之间通过焊接连通；
其中一所述CLEAN PVC管道的一端与所述出水口连通，另一所述 CLEAN PVC管道的一端与所述第一输送泵连通。
在一种可能的实现方式中，所述CLEAN PVC管道包括进水管道和出水管道；
所述进水管道的一端适用于与所述超纯水产出装置连通，所述进水管道的另一端与所述出水管道的一端焊接连通，所述超纯水罐的进水口通过三通连通在所述进水管道上；
所述出水管道的另一端适用于与超纯水使用设备连通。
在一种可能的实现方式中，还包括循环阀门；
所述循环阀门设置在所述进水管道与所述出水管道的连接处。
在一种可能的实现方式中，所述CLEAN PVC管道还包括第一管道；
所述第一管道的一端与所述第一输送泵的出水端连通，所述第一管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
在一种可能的实现方式中，还包括第二输送泵，所述CLEAN PVC管道还包括第二管道；
所述第二管道的一端与所述第二输送泵的出水端连通，所述第二管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
在一种可能的实现方式中，还包括第三输送泵，所述CLEAN PVC管道还包括第三管道；
所述第三管道的一端与所述第三输送泵的出水端连通，所述第三管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
在一种可能的实现方式中，所述CLEAN PVC管道还包括第四管道；
所述超纯水罐的所述出水口通过所述第四管道分别与所述第一输送泵、所述第二输送泵和所述第三输送泵连通。
在一种可能的实现方式中，还包括第一输送阀门；
所述第一输送阀门设置在所述第一管道上。
在一种可能的实现方式中，所述超纯水罐还设有紫外线杀菌灯；
所述紫外线杀菌灯位于所述超纯水罐的内部腔体，所述紫外线杀菌灯靠近所述进水口设置。
在一种可能的实现方式中，所述超纯水罐还设有压力检测装置；
所述压力检测装置的探测段位于所述超纯水罐的内部腔体。
本申请适用于在超纯水产出装置和超纯水使用装置之间对超纯水进行输送。通过设置超纯水罐，对超纯水产出装置生产的超纯水进行缓存，通过 CLEAN PVC管道和第一输送泵将纯水罐中的超纯水使用设备，其中， CLEAN PVC管道设有两个以上，用户完全可根据个人喜好和/或实际应用场景对两个以上的CLEAN PVC管道进行灵活设定，只需使相邻的两个CLEAN PVC管道之间通过焊接连通即可。因现有的CLEAN PVC管道粘接工艺较为成熟且操作方便，CLEAN PVC管道常采用胶粘的连接方式，但是胶粘剂会对CLEAN PVC管道中的超纯水产生污染。相较于胶粘的连接方式，将 CLEAN PVC管道进行焊接不会产生新的物质对输送中的超纯水质量产生影响，使本申请输送的超纯水电阻率≥18MΩ.cm，满足微电子、半导体和平板显示等行业的超纯水水质输送要求。
根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本申请的其它特征及方面将变得清楚。
附图说明
包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本申请的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本申请的原理。
图1示出本申请实施例的超纯水输送管路的主体结构图。
具体实施方式
以下将参考附图详细说明本申请的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。
其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
另外，为了更好的说明本申请，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本申请同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本申请的主旨。图1示出根据本申请一实施例的超纯水输送管路的主体结构图。如图1所示，该超纯水输送管路包括：超纯水罐100、CLEAN PVC管道和第一输送泵310。超纯水罐100适用于储存超纯水，超纯水罐100设有进水口和出水口，进水口适用于与纯水产出装置连通通入超纯水。CLEAN PVC管道设有两个以上，两个以上的CLEAN PVC管道之间通过焊接连通。其中一CLEANPVC管道的一端与出水口连通，另一 CLEAN PVC管道的一端与第一输送泵310连通。
本申请适用于在超纯水产出装置400和超纯水使用装置之间对超纯水进行输送。通过设置超纯水罐100，对超纯水产出装置400生产的超纯水进行缓存，通过CLEAN PVC管道和第一输送泵310将纯水罐中的超纯水使用设备，其中，CLEAN PVC管道设有两个以上，用户完全可根据个人喜好和/或实际应用场景对两个以上的CLEAN PVC管道进行灵活设定，只需使相邻的两个 CLEAN PVC管道之间通过焊接连通即可。因现有的CLEAN PVC管道粘接工艺较为成熟且操作方便，CLEAN PVC管道常采用胶粘的连接方式，但是胶粘剂会对CLEAN PVC管道中的超纯水产生污染。相较于胶粘的连接方式，将CLEAN PVC管道进行焊接不会产生新的物质对输送中的超纯水质量产生影响，使本申请输送的超纯水电阻率≥18MΩ.cm，满足微电子、半导体和平板显示等行业的超纯水水质输送要求。
应当指出的是，CLEAN PVC管道之间的焊接方式为热熔焊接，与传统 PVC管道的热熔连接方法相同，属于现有技术，此处不再赘述。
此处，需要进行说明的是，CLEAN PVC管道可应用于18MΩ超纯水管路系统，相较于PVDF-HP管道，CLEAN PVC管道同样具有极高的化学稳定性，且CLEAN PVC管道价格低廉，有效的降低了生产成本，通过热熔焊接的方式进行管道间的连通，相较于传统的使用胶粘剂粘接方式，进一步保障了所输送超纯水的质量。
在一种可能的实现方式中，CLEAN PVC管道包括进水管道210和出水管道220。进水管道210的一端适用于与超纯水产出装置400连通，进水管道210 的另一端与出水管道220的一端焊接连通，超纯水罐100的进水口通过三通连通在进水管道210上。出水管道220的另一端适用于与超纯水使用设备连通。通过设置三通使进水管道210可以分别与超纯水罐100和出水管道220连通，使超纯水产出装置400所产的超纯水可以通入超纯水罐100中进行缓存，或者直接通过出水管道220通入超纯水使用设备，进而使本申请对超纯水的输送方式更加灵活。
在一种可能的实现方式中，还包括循环阀门230。循环阀门230设置在进水管道210与出水管道220的连接处。通过设置循环阀门230，控制超纯水产出装置400所产的超纯水通入超纯水罐100或出水管。
在一种可能的实现方式中，CLEAN PVC管道还包括第一管道240。第一管道240的一端与第一输送泵310的出水端连通，第一管道240的另一端通过三通与出水管道220连通，使超纯水罐100中的超纯水可通过第一输送泵310 和第一管道240，通入出水管道220供超纯水使用设备使用，整体结构较为简单，有效的降低了生产成本。
在一种可能的实现方式中，还包括第二输送泵320，CLEAN PVC管道还包括第二管道250。第二管道250的一端与第二输送泵320的出水端连通，第二管道250的另一端通过三通与出水管道220连通。使超纯水罐100中的超纯水可通过第二输送泵320和第二管道250，通入出水管道220供超纯水使用设备使用，整体结构较为简单，有效的降低了生产成本。
在一种可能的实现方式中，还包括第三输送泵330，CLEAN PVC管道还包括第三管道260。第三管道260的一端与第三输送泵330的出水端连通，第三管道260的另一端通过三通与出水管道220连通。使超纯水罐100中的超纯水可通过第三输送泵330和第三管道260，通入出水管道220供超纯水使用设备使用，整体结构较为简单，有效的降低了生产成本。
在一种可能的实现方式中，CLEAN PVC管道还包括第四管道。超纯水罐100的出水口通过第四管道分别与第一输送泵310、第二输送泵320和第三输送泵330连通。整体结构较为简单，有效的降低了生产成本。
在一种可能的实现方式中，还包括第一输送阀门。第一输送阀门设置在第一管道240上，对第一管道240的连通和关闭进行控制。
此处，需要进行说明的是，第一管道240、第二管道250和第三管道260，分别设有第一输送阀门、第二输送阀门和第三输送阀门，对没有进行工作的输送泵关闭所在管道的的控制阀，使其他工作的输送阀可将超纯水输送至出水管道220并通入超纯水使用设备。
在一种可能的实现方式中，超纯水罐100还设有紫外线杀菌灯。紫外线杀菌灯位于超纯水罐100的内部腔体，紫外线杀菌灯靠近进水口设置。紫外线杀菌灯位于超纯水罐100的内部腔体，紫外线杀菌灯靠近进水口设置。通过设置紫外线杀菌灯，对储存在超纯水罐100中的超纯水进行紫外线杀菌。
在一种可能的实现方式中，超纯水罐100还设有压力检测装置。压力检测装置的探测段位于超纯水罐100的内部腔体。通过设置压力检测装置，实现对超纯水罐100中的压力进行检测，保证超纯水罐100的正常工作。
以上已经描述了本申请的各实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的各实施例。在不偏离所说明的各实施例的范围和精神的情况下，对于本技术领域的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。本文中所用术语的选择，旨在最好地解释各实施例的原理、实际应用或对市场中的技术的改进，或者使本技术领域的其它普通技术人员能理解本文披露的各实施例。
Claims (10)
1.一种超纯水输送管路，其特征在于，包括：
超纯水罐、CLEAN PVC管道和第一输送泵；
所述超纯水罐适用于储存超纯水，所述超纯水罐设有进水口和出水口，所述进水口适用于与纯水产出装置连通通入超纯水；
所述CLEAN PVC管道设有两个以上，两个以上的所述CLEAN PVC管道之间通过焊接连通；
其中一所述CLEAN PVC管道的一端与所述出水口连通，另一所述CLEAN PVC管道的一端与所述第一输送泵连通。
2.根据权利要求1所述的超纯水输送管路，其特征在于，所述CLEAN PVC管道包括进水管道和出水管道；
所述进水管道的一端适用于与所述超纯水产出装置连通，所述进水管道的另一端与所述出水管道的一端焊接连通，所述超纯水罐的进水口通过三通连通在所述进水管道上；
所述出水管道的另一端适用于与超纯水使用设备连通。
3.根据权利要求2所述的超纯水输送管路，其特征在于，还包括循环阀门；
所述循环阀门设置在所述进水管道与所述出水管道的连接处。
4.根据权利要求2所述的超纯水输送管路，其特征在于，所述CLEAN PVC管道还包括第一管道；
所述第一管道的一端与所述第一输送泵的出水端连通，所述第一管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
5.根据权利要求4所述的超纯水输送管路，其特征在于，还包括第二输送泵，所述CLEANPVC管道还包括第二管道；
所述第二管道的一端与所述第二输送泵的出水端连通，所述第二管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
6.根据权利要求5所述的超纯水输送管路，其特征在于，还包括第三输送泵，所述CLEANPVC管道还包括第三管道；
所述第三管道的一端与所述第三输送泵的出水端连通，所述第三管道的另一端通过三通与所述出水管道连通。
7.根据权利要求6所述的超纯水输送管路，其特征在于，所述CLEAN PVC管道还包括第四管道；
所述超纯水罐的所述出水口通过所述第四管道分别与所述第一输送泵、所述第二输送泵和所述第三输送泵连通。
8.根据权利要求4所述的超纯水输送管路，其特征在于，还包括第一输送阀门；
所述第一输送阀门设置在所述第一管道上。
9.根据权利要求1至8任一所述的超纯水输送管路，其特征在于，所述超纯水罐还设有紫外线杀菌灯；
所述紫外线杀菌灯位于所述超纯水罐的内部腔体，所述紫外线杀菌灯靠近所述进水口设置。
10.根据权利要求9所述的超纯水输送管路，其特征在于，所述超纯水罐还设有压力检测装置；
所述压力检测装置的探测段位于所述超纯水罐的内部腔体。
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