TWI870575B - 適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法 - Google Patents

Abstract

一種適於半導體製程的可接管件膠桶及其使用方法。適於半導體製程的可接管件膠桶包括桶本體以及至少二快接裝置。桶本體具有多個通孔用於桶本體內部與外部的連通，至少二快接裝置分別對應多個通孔且設置於桶本體。至少二快接裝置可連接管件，用以供流體通過多個通孔進出桶本體。至少二快接裝置包括第一快接裝置用以供液體進出桶本體。

Description

適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法

本發明是有關一種容器，尤其是一種供液體卸載儲放之容器。

在半導體等高度精密產業，對於製程中相關化學品的潔淨度有很高的要求，因此用來容納化學品之容器除對於化學品應有耐受性外，還要能保持化學品之穩定與潔淨。習知的容器中，鋼材桶有強度高、耐壓的優點，惟重量大且不耐酸鹼，因此成本較高，又無法適用多數的化學品。即便使用較耐酸鹼且較具抗化性的塑膠桶，但塑膠桶在使用時仍然需要經常開蓋，不利於潔淨度管控。

本發明提供一種適於半導體製程的可接管件膠桶，具有質輕以及耐酸鹼之特性。

本發明所提供的適於半導體製程的可接管件膠桶包括桶本體以及至少二快接裝置。桶本體具有多個通孔用於桶本體內部與外部的連通。至少二快接裝置分別對應多個通孔且設置於桶本體。至少二快接裝置可連接管件，且用以供流體通過多個通孔進出桶本體。至少二快接裝置包括第一快接裝置用以供液體進出桶本體。

在本發明的一實施例中，上述之桶本體更包括桶身部以及桶蓋部。桶蓋部位於桶身部上方且配置有多個通孔。

在本發明的一實施例中，上述之桶本體更用以在常壓下容納液體。多個通孔包括第一通孔以及第二通孔，至少二快接裝置更包括第二快接裝置。第一快接裝置設置於第一通孔且用以供液體進出桶本體，第二快接裝置設置於第二通孔且用以供氣體進出桶本體。

在本發明的一實施例中，上述之第二快接裝置更用以供液體進入該桶本體。

在本發明的一實施例中，上述之適於半導體製程的可接管件膠桶更包括液流管。液流管設置於桶本體內部且與第一通孔相連通。

在本發明的一實施例中，上述之多個通孔更包括第三通孔，至少二快接裝置更包括第三快接裝置。第三快接裝置設置於第三通孔且用以供液體進入桶本體。

在本發明的一實施例中，上述之第二快接裝置更包含主體部、液流部以及氣流部。液流部及氣流部可分別連接管件，其中液體更經由第二快接裝置的主體部及液流部進入桶本體，而氣體經由主體部以及氣流部進出桶本體。

在本發明的一實施例中，上述之至少二快接裝置更分別具有至少一開啟狀態以及至少一關閉狀態，且藉由管件之連接啟動為至少一開啟狀態。

在本發明的一實施例中，上述之適於半導體製程的可接管件膠桶更包括至少二轉接件。每一轉接件設置於每一通孔及每一快接裝置之間且連接每一快接裝置於桶本體。

本發明還提供一種適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法，包括於第一快接裝置接上第一管件，藉以開啟第一快接裝置並使液體透過第一快接裝置以及第一管件流出桶本體。

本發明因採用快接裝置且具有多個通孔，因此密閉性高，能保持所卸載儲放之液體的潔淨，並能調控桶內壓力，實現液體在常壓下之卸載儲放。

為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

1、1a:可接管件膠桶

10:桶本體

200:桶身部

220:桶蓋部

250:通孔

251:第一通孔

252:第二通孔

253:第三通孔

300:快接裝置

310:第一快接裝置

320:第二快接裝置

330:第三快接裝置

3201:液流部

3202:氣流部

40:液流管

50:轉接件

502:第一轉接件

504:第二轉接件

5041:主體部

5042:轉接部

5043:分支結構

61:第一管件

62:第二管件

70:動力裝置

80:過濾裝置

圖1A為本發明之一實施例的可接管件膠桶的示意圖。

圖1B為圖1A所示實施例的另一示意圖。

圖2A為本發明之一實施例的快接裝置的示意圖。

圖2B為本發明之另一實施例的快接裝置的示意圖。

圖3為圖2B所示實施例的局部示意圖。

圖4為本發明之另一實施例的可接管件膠桶的示意圖。

圖5A為圖1A~1B所示實施例的使用示意圖。

圖5B為圖1A~1B所示實施例的另一使用示意圖。

有關本發明之前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考圖式之一較佳實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或後等，僅是參考附 加圖式的方向。因此，本揭露內容中所使用的方向用語僅係說明性用語，而並非用來限制本發明。

除本發明另有明確定義外，本揭露內容中的進出、流入、流出、進入等類似用語，其意義僅係指涉移動，並非特別限定移動或進出的方向。

除本發明另有明確定義外，本揭露內容中的液體、氣體、流體、或類似用語，其意義僅係泛指各種流體，並非特別限定僅能用於特定的液體、氣體或流體。

本發明提供一種可接管件膠桶，可供液體之卸載儲放。如圖1A~1B所示實施例，可接管件膠桶1包括桶本體10及快接裝置300。在本發明之其他若干實施例中，可接管件膠桶1還可包含液流管40。在本發明之若干實施例中，可接管件膠桶1還可包含轉接件50。在本發明之其他若干實施例中，可接管件膠桶1還可包含任何適當的組件。

桶本體10、桶身部200、桶蓋部220

在本發明之實施例中，桶本體10可包括桶身部200及桶蓋部220。在本發明之若干實施例中，桶本體10還可包含多個通孔250。其中，桶蓋部220相對而言位在桶身部200的上方。在本發明之一實施例中，桶本體10可一體成形而桶身部200與桶蓋部220不可分離。在本發明之另一實施例中，桶身部200、桶蓋部220可分別形成再組裝成桶本體10。桶本體10內之空間可用以儲放液體。桶本體10之材質例如為聚乙烯(PE)、高密度聚乙烯(HDPE)、聚丙烯(PP)。

通孔250

在本發明之實施例中，桶本體10具有多個通孔250，用於桶本體10內部及外部的連通。因此即使桶蓋部220可相對桶身部200打開，也 不必然需打開桶蓋部220以進行液體卸載儲放之作業。在本發明之一實施例中，如圖1A~1B所示，可接管件膠桶1具有第一通孔251及第二通孔252，且更包括至少二快接裝置300設置於桶本體10，對應且連通多個通孔250。第一通孔251及第二通孔252較佳配置於桶蓋部220。

快接裝置300

在本發明之實施例中，快接裝置300沒有特別的限制，僅需達成快速連接及脫離管件的效果即可。在至少一示範性實施例中，快接裝置300包括一壓扣式快接裝置(snap-fit connector)、一有螺紋的快接裝置、或任何其它適合的快接裝置。

在本發明之實施例中，快接裝置300較佳可拆卸地設置於桶本體10，且可連接管件，用以供流體，包含但不限於液體、氣體或其組合通過通孔250進出桶本體10。在本實施例中，至少二快接裝置300包括第一快接裝置310及第二快接裝置320分別對應第一通孔251以及第二通孔252。

本發明之實施例之第一快接裝置310是用以供液體進出桶本體10，且具體如圖2A所示。第一快接裝置310可拆卸地設置於桶本體10。舉例來說，第一快接裝置310的一端與桶本體10之間可透過螺牙與螺孔的配合而緊固連接，而另一端可供適配的管件插上連接。

液流管40

在本發明之若干實施例中，可接管件膠桶1可更包括液流管40。液流管40可設置於桶本體10內部。液流管40可伸進可接管件膠桶1中的液體，以供液體藉以流出或流入桶本體10。在本發明之若干實施例中，液流管40與第一通孔251相連通。

轉接件50

具體如圖2A所示，本發明實施例可更包括轉接件50，設置於通孔250如第一通孔251與第一快接裝置310之間，且連接第一快接裝置310於桶本體10。轉接件50與第一快接裝置310、第一通孔251間亦可透過螺牙與螺孔的配合而連接。轉接件50之材質相對於第一快接裝置310較佳更為堅固，可承受更多外力且免於其本身、甚至第一快接裝置310或第一通孔251的變形。

第一實施例

在本發明一實施例中，如圖1A至圖3所示，可接管件膠桶1包括：桶本體10、至少二快接裝置300、液流管40及轉接件50。其中，桶本體10包括桶身部200、桶蓋部220以及多個通孔250，桶蓋部220位於桶身部200上方且配置有多個通孔250，這些多個通孔250用於桶本體10內部與外部的連通。多個通孔250包括第一通孔251以及第二通孔252。桶本體10更用以在常壓下容納液體。

至少二快接裝置300分別對應多個通孔250且透過轉接件50設置於桶本體10，至少二快接裝置300可連接管件，用以供流體通過多個通孔250進出桶本體10。更具體而言，至少二快接裝置300包括第一快接裝置310以及第二快接裝置320，第一快接裝置310藉由第一轉接件502設置第一通孔251且用以供液體進出桶本體10，第二快接裝置320藉由第二轉接件504設置於第二通孔252並包含液流部3201以及氣流部3202，第二轉接件504則包含主體部5041及轉接部5042，液流部3201及氣流部3202均連接到主體部5041。液流部3201與氣流部3202之具體結構並沒有特別限制，於本實施例中，兩者差異係因液體及氣體流量大小差異。此外，液流部3201及氣流部3202均可分別連接管件，使得液體經由管件、液流部3201以及第二轉接件504依序進出桶本體10，而氣體則經由管件、氣 流部3202以及第二轉接件504進出桶本體。其中至少二快接裝置300更分別具有至少一開啟狀態以及至少一關閉狀態，且藉由管件之連接啟動為至少一開啟狀態。液流管40設置於桶本體10內部且與第一通孔251相連通。

第二快接裝置320可用以供氣體進出桶本體10。舉例來說，當液體透過第一快接裝置310進入桶本體10時，第二通孔252可供排氣，而當液體透過第一快接裝置310流出桶本體10時，氣體可透過第二快接裝置320經第二通孔252進入桶本體10，從而維持桶內壓力，避免桶身變形。

第二快接裝置320亦可拆卸地設置於桶本體10，且更用以供液體進入或流出桶本體10。而如圖2B所示，第二快接裝置320與第二轉接件504間可透過例如螺牙與螺孔的配合而連接，且第二轉接件504的轉接部5042與桶本體10間亦可透過例如螺牙與螺孔的配合而連接。第二轉接件504的主體部5041的一側更形成分支結構5043。液流部3201及氣流部3202可分別供適配的管件插上連接，且液體經由液流部3201以及主體部5041進入桶本體10，而氣體經由氣流部3202、分支結構5043及主體部5041進出桶本體10。

第二實施例

圖4所示為本發明另一實施例。為了說明簡便，與前一實施例相同或類似之處即不再贅述。與第一實施例不同的是，本實施例的第二快接裝置並無複雜管路機構，而係將不同流體的進出由不同的快接裝置與不同的轉接件連接。如圖4所示，可接管件膠桶1a之桶本體10更具有第三通孔253，且更包括第三快接裝置330設置於桶本體10，對應且連通第三通孔253。第一快接裝置310用以供液體進出桶本體10，第二快接裝置 320用以供氣體進出桶本體10而第三快接裝置330可供液體進出桶本體10。

前述之快接裝置300較佳具有至少一開啟狀態以及至少一關閉狀態，且當為開啟狀態，則快接裝置300與外部連通而可供流體通過通孔250進出桶本體10，相反地，快接裝置300的關閉狀態能阻隔桶本體10內、外部的連通，進一步避免桶內環境的暴露。開啟狀態可藉由例如管件與快接裝置300連接而啟動，相反地，管件的脫離將關閉快接裝置300。快接裝置300與管件的配合及伴隨之開啟、關閉可參照習知技藝，於此不贅述。此外管件的連接僅是一例，亦可透過其他方式來開啟、關閉快接裝置300。

以下例示可接管件膠桶1與其他設備的搭配及使用方法。

示例1：如圖5A所示，第一快接裝置310供適配的第一管件61插上連接並啟動為開啟狀態。第一管件61並通往其他單元，例如接到預卸入桶1中液體的容器。第二快接裝置320的液流部3201、氣流部3202亦可分別藉由適配管件之連接而啟動為開啟狀態。在圖5A之例子中，第二快接裝置320的氣流部3202更接上第二管件62，而第二管件62的另一端可接上氣源。當液體流出桶本體10時，氣源給氣經由第二管件62進入桶本體10，從而維持桶內壓力，避免桶身變形。流出的液體可經第一管件61流向其他單元。

此外可接管件膠桶1還可與動力裝置70如幫浦等配合使用以抽取桶1內液體，而氣源所提供者例如為氮氣。

示例2： 如圖5B所示，第一快接裝置310接上第一管件61，且第一管件61更接到第二快接裝置320的液流部3201而形成封閉之路徑。此時從桶本體10所抽出之液體可從液流部3201再流回桶本體10(大箭號示意液體流向)。示例2還具有如以下的作用：

(1)使液體回流攪動而能充分混合。

(2)搭配過濾裝置80，使流出桶本體10的液體經過濾後再回到桶1內而實現液體的淨化。

(3)當液體為水或清潔液，藉其循環流動能清洗可接管件膠桶1，並得以重覆使用可接管件膠桶1。

(4)氣流部3202可供氣體進出桶1內而在(1)、(2)、或(3)的過程中調控桶內壓力，避免桶身變形。此外桶身變形的避免能降低對桶1內液體的不當擾動。

此外可接管件膠桶1還可與更多管件配合使用，例如以更多管件來達到可接管件膠桶1與動力裝置70、過濾裝置80的連接，並完成可供液體循環流動之封閉路徑。

綜上，本發明實施例的可接管件膠桶1、1a具有質輕、耐酸鹼之特性，且透過快接裝置300及通孔250能實現桶之清潔以及液體在常壓下之卸載儲放，密閉性高。如此一來，本發明得避免桶內環境暴露於外界環境、造成汙染，從而適於高規格、高潔淨度要求之物的卸載儲放。舉例來說，本發明實施例可接管件膠桶1、1a所卸載儲放的化學品可達pH≦3的酸鹼值以及金屬濃度≦10ppt，粒子數量(particle size 40nm)≦10pcs/ml的半導體級要求。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍 內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

1:可接管件膠桶

10:桶本體

200:桶身部

220:桶蓋部

250:通孔

251:第一通孔

252:第二通孔

300:快接裝置

310:第一快接裝置

320:第二快接裝置

40:液流管

Claims (4)

1. 一種適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法；該可接管件膠桶包括一桶本體以及至少二快接裝置，其中：該桶本體具有多個通孔，該多個通孔用於該桶本體內部與外部的連通；以及該至少二快接裝置分別對應該多個通孔且設置於該桶本體；該至少二快接裝置可連接管件，且用以供流體通過該多個通孔進出該桶本體；其中該桶本體更包括一桶身部以及一桶蓋部，該桶蓋部位於該桶身部上方；該多個通孔全部位於該桶本體的同一側；該至少二快接裝置包括一第一快接裝置用以供液體進出該桶本體；該使用方法包括步驟：於該第一快接裝置接上一第一管件，藉以開啟該第一快接裝置並使一液體透過該第一快接裝置以及該第一管件流出該桶本體；以及使該第一管件的另一端接上另一快接裝置，並使該液體流出該桶本體後再經該另一快接裝置進入該桶本體，藉以使該液體維持在以下條件：酸鹼值pH≦3、金屬濃度≦10ppt、40nm粒子數量≦10pcs/ml或選自其之組合。
2. 如請求項1所述之適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法，更包括使接上有該第一管件的該另一快接裝置在該液體流出該桶本體時，有氣體透過該另一快接裝置進出該桶本體。
3. 如請求項1所述之適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法，更包括於接上有該第一管件的該另一快接裝置接上一第二管件，藉以開 啟該另一快接裝置並使氣體透過該另一快接裝置以及該第二管件進出該桶本體。
4. 如請求項1所述之適於半導體製程的可接管件膠桶的使用方法，其中該另一快接裝置為一第二快接裝置，而該使用方法更包括開啟一第三快接裝置以在該液體流出該桶本體時使氣體透過該第三快接裝置進出該桶本體。

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