CN215627401U - 一种超纯水制备设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种超纯水制备设备，包括通过管道顺次连通的过滤软化单元、换热单元、RO反渗透单元、EDI单元、氮封输出单元和两化学清洗单元；过滤软化单元用于对送入的自来水进行缓存和至少两级过滤，过滤后的水再通过软化；过滤软化后的水根据需要送入换热单元换热后或者直接送入RO反渗透单元；RO反渗透单元将升温后的水进行连续的两级反渗透处理，并将处理后的水后供EDI单元使用；EDI单元去除水中剩余的少部分导电离子，得到去除离子后的超纯水并送入氮封输出单元；氮封输出单元对超纯水施加正压氮气进行密封暂存；两化学清洗单元用于对RO反渗透单元或者EDI单元的内部进行清洗。
Description
技术领域
本实用新型涉及纯化水制备设备技术领域，尤其涉及一种超纯水制备设备。
背景技术
纯水是指通过反渗透或者蒸馏制备的水，而超纯水是在纯水的基础上经过电去离子、光氧化技术、和抛光混床精处理等一系列复杂的纯化技术制得的。超纯水将水中的导电介质、细菌、病毒、有机物以及微量矿物元素几乎完全去除。超纯水通常用于集成电路工业中，光电半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模板的制备和硅片氧化用的水汽源等。其他紧密电子器件的生产中，也需要大量的使用超纯水，因此提供品质稳定的超纯水，是保证半导体行业正常生产的有力保障。
超纯水制备时需要充分考虑用水需求的实时变化，能够随时匹配生产线产量波动对超纯水的产量需求，因此开发一种能动态响应用水点用水需求、具有在线再生能力的超纯水制备设备，是很有必要的。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型提出了一种适用流量范围广、具有在线再生能力、无需停机维护的超纯水制备设备。
本实用新型的技术方案是这样实现的：本实用新型提供了一种超纯水制备设备，包括通过管道顺次连通的过滤软化单元(1)、换热单元(2)、RO反渗透单元(3)、EDI单元(4)、氮封输出单元(5)和两化学清洗单元(6)；
过滤软化单元(1)，用于对送入的自来水进行至少两级过滤，过滤后的自来水再通过软化；过滤软化后的水送入换热单元(2)中；
换热单元(2)，其输入端与软化暂存的水连通，换热单元(2)用于对过滤软化单元(1)处理后的水进行换热升温后输入RO反渗透单元(3)中；
RO反渗透单元(3)，用于将换热单元(2)升温后的水进行连续的两级反渗透处理，并将处理后的水供EDI单元(4)使用；
EDI单元(4)，用于对RO反渗透单元(3)处理后的水进行直流电去离子，得到去除离子后的超纯水并送入氮封输出单元(5)；
氮封输出单元(5)将去除离子后的超纯水施加正压氮气进行密封，并根据需要将超纯水输出至超纯水用水点或者返回氮封输出单元(5)；
两化学清洗单元(6)，分别设置在RO反渗透单元(3)以及EDI单元(4)处，化学清洗单元(6)用于对RO反渗透单元(3)或者EDI单元(4)的内部进行清洗。
在以上技术方案的基础上，优选的，所述过滤软化单元(1)包括原水箱(11)、原水泵(12)、若干连续设置的过滤器(13)、水软化器(14)、软化水箱(15)、软化水外输泵(16)和第一微滤器(17)；原水箱(11)的进水口与自来水连通，原水箱(11)的出水口与原水泵(12)的进水口连通，原水泵(12)的出水口与若干连续设置的过滤器(13)的进水口连通，末端的过滤器(13)的出水口与水软化器(14)的进水口连通，水软化器(14)的出水口与软化水箱(15)的进水口连通，软化水箱(15)的出水口分别与换热单元(2)或者软化水外输泵(16)的进水口连通，软化水外输泵(16)的出水口分别与第一微滤器(17)的输入端和软化水箱(15)的进水口连通，软化水外输泵(16)选择性的将过滤软化后的水通过第一微滤器(17)输出或者返回至软化水箱(15)中。
优选的，所述换热单元(2)包括增压泵(21)、板式换热器(22)和加热器(23)；板式换热器(22)具有软水输入端、软水输出端、换热介质输入端和换热介质输出端，增压泵(21)的进水口与软化水箱(15)的出水口连通，增压泵(21)的出水口与板式换热器(22)的软水输入端连通，板式换热器(22)的软水输出端与RO反渗透单元(3)连通；板式换热器(22)的换热介质输入端和换热介质输出端分别与换热介质的循环管道连通，换热介质的循环管道上还设置有加热器(23)；过滤软化后的水在板式换热器(22)内与换热介质进行非接触式的热交换，使水温升高并送入RO反渗透单元(3)中；增压泵(21)的出水口还选择性的通过第一旁通管(24)直接与软水输出端连通。
进一步优选的，所述RO反渗透单元(3)包括一级高压泵(31)、一级反渗透装置(32)、加碱装置(33)、二级高压泵(34)、二级反渗透装置(35)和RO水箱(36)；其中一级高压泵(31)的进水口与板式换热器(22)的软水输出端连通，一级高压泵(31)的出水口与一级反渗透装置(32)的输入端连通，一级反渗透装置(32)的输出端与加碱装置(33)的输出端和二级高压泵(34)的进水口连通；二级高压泵(34)的出水口与二级反渗透装置(35)的输入端连通，二级反渗透装置(35)的输出端与RO水箱(36)的进水口连通；RO水箱(36)的出水口与EDI单元(4)的进水口连通；一级反渗透装置(32)的输出端还选择性的通过第二旁通管(37)与RO水箱(36)的进水口连通；二级反渗透装置(35)的输出端还选择性的与二级高压泵(34)的进水口、过滤软化单元(1)的软化水箱(15)或者氮封输出单元(5)连通。
进一步优选的，所述EDI单元(4)包括EDI给水泵(41)、UV紫外照射部(42)、第三微滤器(43)和EDI装置(44)；EDI装置(44)具有软水入口、淡水出口、浓水出口和补水口，EDI给水泵(41)的进水口与RO水箱(36)的出水口连通，EDI给水泵(41)的出水口与UV紫外照射部(42)的进水口连通，UV紫外照射部(42)的出水口与第三微滤器(43)的进水口连通，第三微滤器(43)的出水口分别与EDI装置(44)的软水入口或者补水口连通，EDI装置(44)的淡水出口与氮封输出单元(5)连通；UV紫外照射部(42)的进水口还选择性的通过第三旁通管(45)与其出水口直接连通。
更进一步优选的，所述氮封输出单元(5)包括氮封水箱(51)、氮气输入管(52)、纯水循环泵(53)、抛光混床(54)和第四微滤器(55)；氮封水箱(51)的进水口与EDI装置(44)的淡水出口连通，氮封水箱(51)的顶部与氮气输入管(52)连通，氮封水箱(51)的出水口与纯水循环泵(53)的进水口连通，纯水循环泵(53)的出水口与树脂混床(54)的进水口连通，树脂混床(54)的出水口与第四微滤器(55)的进水口，第四微滤器(55)的出水口与超纯水用水点或者氮封水箱(51)连通。
更进一步优选的，所述两化学清洗单元(6)均包括进液管(61)、清洗箱(62)、清洗泵(63)、清洗微滤器(64)和出液管(65)；进液管(61)与清洗箱(62)的进水口连通，清洗箱(62)的出水口与清洗泵(63)的进水口连通，清洗泵(63)的出水口分别与清洗箱(62)或者清洗微滤器(64)的进水口连通，清洗微滤器(64)的出水口与出液管(65)连通，清洗箱(62)上还设置有加药口和排污口；其中一套清洗单元的进液管(61)与RO反渗透单元(3)的一级反渗透装置(32)的输出端B与C1连通，其出液管(65)与一级反渗透装置(32)的输入端A1连通；另一套清洗单元的进液管(61)与EDI单元(4)的EDI装置(44)的浓水出口C2或者淡水出口C3连通，其出液管(65)与EDI装置(44)的补水口A2连通。
更进一步优选的，所述原水泵(12)的出水口还设置有絮凝加药口E，用于向该处的管道内加注絮凝剂。
更进一步优选的，还包括变频器，所述软化水外输泵(16)、一级高压泵(31)、二级高压泵(34)与纯水循环泵(53)均与变频器电性连接。
本实用新型提供的一种超纯水制备设备，相对于现有技术具有以下有益效果：
(1)本实用新型通过在过滤软化单元、RO反渗透单元与氮封输出单元均配置具有暂存功能的水箱，能够合理的储存中间状态的软水或者纯水，在应急状态时能够向前一级后置后一级用水需求位置调配，便于纯水的调度以适应不同的生产需求；两个化学清洗单元可以分别对RO反渗透单元及EDI单元局部管路进行加药清洗，消除管路中沉积的水垢或者离子，避免水质恶化；
(2)介质过滤器具有正洗和反洗功能，如杂质堵塞过滤器内部间隙，可通过定时正洗反洗交替方式进行过滤能力再生，保证对自来水的过滤能力；介质过滤器添加的絮凝加药口，可以提高在介质过滤器处的处理能力；不同的介质过滤器内的介质可以不同；
(3)RO反渗透单元通过两级连续膜分离，依靠反渗透膜的压力使水中的杂质被隔离掉，有效去除水中的无机物、胶体、带电粒离子以及细菌等；
(4)EDI单元通过向内部离子交换膜施加电场，被收集的离子形式浓水室，水进入淡水室得到除去离子后的超纯水；浓水室的浓水通过再生补回EDI单元中；(5)氮封输出单元通过输入加压氮气，防止空气中的二氧化碳等杂质溶解在超纯水中，并在输出管路持续循环，防止静置导致的水质劣化。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一种超纯水制备设备的结构框图；
图2为本实用新型一种超纯水制备设备的原水箱、原水泵、介质过滤器与水软化器管路连接示意图；
图3为本实用新型一种超纯水制备设备的软化水箱、软化水外输泵、第一微滤器和换热单元的管路连接示意图；
图4为本实用新型一种超纯水制备设备的RO反渗透单元的管路连接示意图；
图5为本实用新型一种超纯水制备设备的EDI单元的管路连接示意图；
图6为本实用新型一种超纯水制备设备的氮封输出单元的管路连接示意图；
图7为本实用新型一种超纯水制备设备的化学清洗单元的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施方式，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，图示展示了一种超纯水制备设备，包括通过管道顺次连通的过滤软化单元1、换热单元2、RO反渗透单元3、EDI单元4、氮封输出单元5和两化学清洗单元6等；
过滤软化单元1用于对送入的自来水进行暂存和至少两级介质过滤，过滤后的自来水再通过软化后进行软化暂存；过滤软化后的水送入换热单元2中；
换热单元2其输入端与软化暂存的水连通，换热单元2用于对过滤软化单元1处理后的水进行换热升温后输入RO反渗透单元3中；
RO反渗透单元3用于将换热单元2升温后的水进行连续的两级反渗透处理，并将处理后的水缓存后供EDI单元4使用；
EDI单元4用于吸附滤除RO反渗透单元3处理后的水中的离子，得到去除离子后的超纯水并送入氮封输出单元5；
氮封输出单元5将去除离子后的超纯水施加正压氮气进行密封暂存，并根据需要将超纯水输出至超纯水用水点或者返回至氮封输出单元5的输入端；
两化学清洗单元6分别设置在RO反渗透单元3以及EDI单元4处，化学清洗单元6用于对RO反渗透单元3或者EDI单元4的内部进行清洗。
本实用新型使用时，过滤软化单元具有若干各介质过滤环节，通过砾石、石英砂或者无烟煤等多种材质混合组成的多介质以及过滤以及由活性炭单介质组成的二级过滤，过滤后的水随后进行软化，去除自来水中的钙、镁等矿物质，降低水的硬度和水垢。减轻后续设备的处理负担。随后根据需要对水进行换热升温，使其维持在设定的温度进行进一步的RO反渗透处理，如果水温已经较高，则可跳过换热单元2直接进入RO反渗透单元3；RO反渗透单元3依靠反渗透膜的压力有效去除水中的无机物、胶体、带电粒离子以及细菌等，再进行EDI单元4处理，进一步去除水中的带电离子或者胶体得到超纯水，并由氮封输出单元5进一步进行用水点循环，即不管用水点是否用水，氮封输出单元5内的超纯水始终处于循环状态。
具体的，如图2结合图3所示，图示提供了一种过滤软化单元1的具体结构。过滤软化单元1包括原水箱11、原水泵12、两级连续设置的过滤器13、水软化器14、软化水箱15、软化水外输泵16和第一微滤器17；原水箱11的进水口与自来水连通，原水箱11的出水口与原水泵12的进水口连通，原水泵12的出水口与若干连续设置的过滤器13的进水口连通，末端的过滤器13的出水口与水软化器14的进水口连通，水软化器14的出水口与软化水箱15的进水口连通，软化水箱15的出水口分别与换热单元2或者软化水外输泵16的进水口连通，软化水外输泵16的出水口分别与第一微滤器17的输入端和软化水箱15的进水口连通，软化水外输泵16选择性的将过滤软化后的水通过第一微滤器17输出或者返回至软化水箱15中。本方案中的过滤器采用连续两级结构，当然可以根据需要进一步增设，在此不再赘述。
本实用新型中采用两级过滤器13，第一级过滤器为多介质过滤器，内部由砾石、石英砂、无烟煤等材料分层堆叠而成，每层的间隙逐渐减小，第二级过滤器为活性炭过滤器，内置多层具有微孔吸附功能的活性炭，通过两级介质过滤器13处理，清除水中的悬浮或者胶态杂质；水软化器14利用离子交换技术，通过树脂与水中溶解的钙、镁离子交换，降低水的硬度及盐类物质含量。处理后的水输入软化水箱15中临时存放。根据需要通过换热单元2或者软化水外输泵16进一步处理。介质过滤器13可通过开启其自带的蝶阀，改变的水的流向，如正洗时，水至上而下流过介质，反洗时，使水至下而上通过介质并带走介质缝隙中的杂质，实现反冲清洗，恢复吸附功能。
为了提高过滤软化的效果，如图2所示，原水泵12的出水口还设置有絮凝加药口E，用于向该处的管道内加注絮凝剂。以便提高介质过滤器13与水软化器14的效果。
同样如图3所示，合适的水温可以提高处理效率，为了获得合适的水温，可通过换热单元2实现热交换。换热单元2包括增压泵21、板式换热器22和加热器23；板式换热器22具有软水输入端、软水输出端、换热介质输入端和换热介质输出端，增压泵21的进水口与软化水箱15的出水口连通，增压泵21的出水口与板式换热器22的软水输入端连通，板式换热器22的软水输出端与RO反渗透单元3连通；板式换热器22的换热介质输入端和换热介质输出端分别与换热介质的循环管道连通，换热介质的循环管道上还设置有加热器23；过滤软化后的水在板式换热器22内与换热介质进行非接触式的热交换，使水温升高并送入RO反渗透单元3中；增压泵21的出水口还选择性的通过第一旁通管24直接与软水输出端连通。板式换热器22内部可以采用盘管或者翅片结构进行间接换热，水不会被污染。换热介质可以采用自来水或者导热油。如果水温合适或者在非冬季水温过低，则无需换热升温，可跳过换热单元2，即增压泵21的出水口直接从第一旁通管24流过，而不经过板式换热器22。
如图4所示，RO反渗透单元3包括第二微滤器30、一级高压泵31、一级反渗透装置32、加碱装置33、二级高压泵34、二级反渗透装置35和RO水箱36；其中一级高压泵31的进水口与板式换热器22的软水输出端连通，一级高压泵31的出水口与一级反渗透装置32的输入端连通，一级反渗透装置32的输出端与加碱装置33的输出端和二级高压泵34的进水口连通；二级高压泵34的出水口与二级反渗透装置35的输入端连通，二级反渗透装置35的输出端与RO水箱36的进水口连通；RO水箱36的出水口与EDI单元4的进水口连通；一级反渗透装置32的输出端还选择性的通过第二旁通管37与RO水箱36的进水口连通；二级反渗透装置35的输出端还选择性的与二级高压泵34的进水口、过滤软化单元1的软化水箱15或者氮封输出单元5连通。
如果RO水箱36内的水量不足，可以通过第二旁通管37应急将一级反渗透装置32的输出的水直接供应至RO水箱36内，满足正常生产需求。同样的，如果氮封输出单元5内的存水不足，在特殊情况下，可以将二级反渗透装置35的输出的水应急供应至氮封输出单元5内。
如图5所示，EDI单元4包括EDI给水泵41、UV紫外照射部42、第三微滤器43和EDI装置44；EDI装置44具有软水入口、淡水出口、浓水出口和补水口，EDI给水泵41的进水口与RO水箱36的出水口连通，EDI给水泵41的出水口与UV紫外照射部42的进水口连通，UV紫外照射部42的出水口与第三微滤器43的进水口连通，第三微滤器43的出水口分别与EDI装置44的软水入口或者补水口连通，EDI装置44的淡水出口与氮封输出单元5连通；UV紫外照射部42的进水口还选择性的通过第三旁通管45与其出水口直接连通。
EDI单元4通过UV紫外照射部42可降低水中的总有机碳含量TOC；EDI装置44利用内部电场将水中的带电离子进行分离，含离子的水形成浓水，不含离子的水形成淡水，通过不同的管路排出。
如图6所示，氮封输出单元5包括氮封水箱51、氮气输入管52、纯水循环泵53、抛光混床54和第四微滤器55；氮封水箱51的进水口与EDI装置44的淡水出口连通，氮封水箱51的顶部与氮气输入管52连通，氮封水箱51的出水口与纯水循环泵53的进水口连通，纯水循环泵53的出水口与抛光混床54的进水口连通，抛光混床54的出水口选择性与第四微滤器55的进水口连通，第四微滤器55的出水口与超纯水用水点或者氮封水箱51连通；氮封输出单元5的氮封水箱51顶部输入加压的氮气，防止空气中的二氧化碳或者细菌等杂质溶解在超纯水中，妨害超纯水的性能。如果超纯水用水点的用水需求发生变化，额外的超纯水可以通过管路循环流入氮封水箱51，防止超纯水静止而发生劣化。抛光混床54的进水口与纯水循环泵53的出水口之间也可以加设UV紫外照射部。
如图7结合图4和图5所示，两化学清洗单元6均包括进液管61、清洗箱62、清洗泵63、清洗微滤器64和出液管65；进液管61与清洗箱62的进水口连通，清洗箱62的出水口与清洗泵63的进水口连通，清洗泵63的出水口分别与清洗箱62或者清洗微滤器64的进水口连通，清洗微滤器64的出水口与出液管65连通，清洗箱62上还设置有加药口和排污口；其中一套清洗单元的进液管61与RO反渗透单元3的一级反渗透装置32的输出端B与C1连通，其出液管65与一级反渗透装置32的输入端A1连通；另一套清洗单元的进液管61与EDI单元4的EDI装置44的浓水出口C2或者淡水出口C3连通，其出液管65与EDI装置44的补水口A2连通。化学清洗单元6可对一级反渗透装置32的管路或者EDI装置44排除的浓水进行处理，清楚一级反渗透装置32内部沉积的杂质，或者为EDI装置进行补水。为了保证两化学清洗单元6的功能切换，管路上设置有阀门、压力表PI、压力开关PS和液位开关LS。
本实用新型还包括变频器，在软化水外输泵16、一级高压泵31、二级高压泵34与纯水循环泵53处均设置有变频器，改善水泵的启动性能，节省能源。变频器即附图中的VFD。
需要说明的是，本实用新型的方案中提到的各暂存用的水箱仅为匹配进出水的流量而设置，而不是用于水的长时间存储，长时间存放会导致水中微生物繁殖和水质劣化，影响纯水的效果。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施方式而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种超纯水制备设备，其特征在于：包括通过管道顺次连通的过滤软化单元(1)、换热单元(2)、RO反渗透单元(3)、EDI单元(4)、氮封输出单元(5)和两化学清洗单元(6)；
过滤软化单元(1)，用于对送入的自来水进行至少两级过滤，过滤后的自来水再通过软化；过滤软化后的水送入换热单元(2)中；
换热单元(2)，其输入端与软化暂存的水连通，换热单元(2)用于对过滤软化单元(1)处理后的水进行换热升温后输入RO反渗透单元(3)中；
RO反渗透单元(3)，用于将换热单元(2)升温后的水进行连续的两级反渗透处理，并将处理后的水供EDI单元(4)使用；
EDI单元(4)，用于对RO反渗透单元(3)处理后的水进行直流电去离子，得到去除离子后的超纯水并送入氮封输出单元(5)；
氮封输出单元(5)将去除离子后的超纯水施加正压氮气进行密封，并根据需要将超纯水输出至超纯水用水点或者返回氮封输出单元(5)；
两化学清洗单元(6)，分别设置在RO反渗透单元(3)以及EDI单元(4)处，化学清洗单元(6)用于对RO反渗透单元(3)或者EDI单元(4)的内部进行清洗。
2.根据权利要求1所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述过滤软化单元(1)包括原水箱(11)、原水泵(12)、若干连续设置的过滤器(13)、水软化器(14)、软化水箱(15)、软化水外输泵(16)和第一微滤器(17)；原水箱(11)的进水口与自来水连通，原水箱(11)的出水口与原水泵(12)的进水口连通，原水泵(12)的出水口与若干连续设置的过滤器(13)的进水口连通，末端的过滤器(13)的出水口与水软化器(14)的进水口连通，水软化器(14)的出水口与软化水箱(15)的进水口连通，软化水箱(15)的出水口分别与换热单元(2)或者软化水外输泵(16)的进水口连通，软化水外输泵(16)的出水口分别与第一微滤器(17)的输入端和软化水箱(15)的进水口连通，软化水外输泵(16)选择性的将过滤软化后的水通过第一微滤器(17)输出或者返回至软化水箱(15)中。
3.根据权利要求2所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述换热单元(2)包括增压泵(21)、板式换热器(22)和加热器(23)；板式换热器(22)具有软水输入端、软水输出端、换热介质输入端和换热介质输出端，增压泵(21)的进水口与软化水箱(15)的出水口连通，增压泵(21)的出水口与板式换热器(22)的软水输入端连通，板式换热器(22)的软水输出端与RO反渗透单元(3)连通；板式换热器(22)的换热介质输入端和换热介质输出端分别与换热介质的循环管道连通，换热介质的循环管道上还设置有加热器(23)；过滤软化后的水在板式换热器(22)内与换热介质进行非接触式的热交换，使水温升高并送入RO反渗透单元(3)中；增压泵(21)的出水口还选择性的通过第一旁通管(24)直接与软水输出端连通。
4.根据权利要求3所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述RO反渗透单元(3)包括一级高压泵(31)、一级反渗透装置(32)、加碱装置(33)、二级高压泵(34)、二级反渗透装置(35)和RO水箱(36)；其中一级高压泵(31)的进水口与板式换热器(22)的软水输出端连通，一级高压泵(31)的出水口与一级反渗透装置(32)的输入端连通，一级反渗透装置(32)的输出端与加碱装置(33)的输出端和二级高压泵(34)的进水口连通；二级高压泵(34)的出水口与二级反渗透装置(35)的输入端连通，二级反渗透装置(35)的输出端与RO水箱(36)的进水口连通；RO水箱(36)的出水口与EDI单元(4)的进水口连通；一级反渗透装置(32)的输出端还选择性的通过第二旁通管(37)与RO水箱(36)的进水口连通；二级反渗透装置(35)的输出端还选择性的与二级高压泵(34)的进水口、过滤软化单元(1)的软化水箱(15)或者氮封输出单元(5)连通。
5.根据权利要求4所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述EDI单元(4)包括EDI给水泵(41)、UV紫外照射部(42)、第三微滤器(43)和EDI装置(44)；EDI装置(44)具有软水入口、淡水出口、浓水出口和补水口，EDI给水泵(41)的进水口与RO水箱(36)的出水口连通，EDI给水泵(41)的出水口与UV紫外照射部(42)的进水口连通，UV紫外照射部(42)的出水口与第三微滤器(43)的进水口连通，第三微滤器(43)的出水口分别与EDI装置(44)的软水入口或者补水口连通，EDI装置(44)的淡水出口与氮封输出单元(5)连通；UV紫外照射部(42)的进水口还选择性的通过第三旁通管(45)与其出水口直接连通。
6.根据权利要求5所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述氮封输出单元(5)包括氮封水箱(51)、氮气输入管(52)、纯水循环泵(53)、抛光混床(54)和第四微滤器(55)；氮封水箱(51)的进水口与EDI装置(44)的淡水出口连通，氮封水箱(51)的顶部与氮气输入管(52)连通，氮封水箱(51)的出水口与纯水循环泵(53)的进水口连通，纯水循环泵(53)的出水口与抛光混床(54)的进水口连通，抛光混床(54)的出水口与第四微滤器(55)的进水口连通，第四微滤器(55)的出水口与超纯水用水点或者氮封水箱(51)连通。
7.根据权利要求5所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述两化学清洗单元(6)均包括进液管(61)、清洗箱(62)、清洗泵(63)、清洗微滤器(64)和出液管(65)；进液管(61)与清洗箱(62)的进水口连通，清洗箱(62)的出水口与清洗泵(63)的进水口连通，清洗泵(63)的出水口分别与清洗箱(62)或者清洗微滤器(64)的进水口连通，清洗微滤器(64)的出水口与出液管(65)连通，清洗箱(62)上还设置有加药口和排污口；其中一套清洗单元的进液管(61)与RO反渗透单元(3)的一级反渗透装置(32)的输出端B与C1连通，其出液管(65)与一级反渗透装置(32)的输入端A1连通；另一套清洗单元的进液管(61)与EDI单元(4)的EDI装置(44)的浓水出口C2或者淡水出口C3连通，其出液管(65)与EDI装置(44)的补水口A2连通。
8.根据权利要求5所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：所述原水泵(12)的出水口还设置有絮凝加药口E，用于向该处的管道内加注絮凝剂。
9.根据权利要求5所述的一种超纯水制备设备，其特征在于：还包括变频器，所述软化水外输泵(16)、一级高压泵(31)、二级高压泵(34)与纯水循环泵(53)均与变频器电性连接。
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