CN203118901U - 一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，包括上喷淋装置及下冷却板，该上喷淋装置有一惰性气体导入口，导入主管后会流向气体分配管，该分配管均匀的分布在衬底上方，且分配管上分布等距的小孔，惰性气体可透过小孔均匀地流向衬底；下冷却板设置于衬底下方，该下冷却板设置面积大于衬底，下冷却板通入冷却媒介，使整个冷却板保持一定温度且远低于衬底温度，由于辐射热由高温流向低温的特性，可使衬底温度向下冷却板辐射，使衬底降温。
Description
所属技术领域
本实用新型涉及一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，特别涉及一种用于物理气相沉积溅射设备衬底冷却装置。
背景技术
在薄膜溅射沉积过程中，为使衬能得到品质良好且均匀的薄膜，通常会透过加热的手段，使衬底达到一的温度，随后一直保持此一温度直到完成整个薄膜的沉积。现 有技术中，衬底加热有多种选择可达到薄膜溅射的要求，然而对于出系统前使衬底降到一定的温度的技术就略显不足，通常会采用自然冷却的方式，也就是增加冷却用的腔室，衬底保持一定的均速移载过冷却腔室，通过增加的时间，让衬底自然降温。此方式无疑会增加设备设置成本，且以自然冷却方式无法又效地降温，通常出系统后也会保持在100多度以上。依此有必要改良此一方式，使系统能不增加腔体设置下，以主动方式将衬底温度下降。
实用新型内容
本实用新型主要目的系提供一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，来解决现有技术中存在的无法有效降低衬底出炉温度。
为了达成上述实用新型目的，本实用新型的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，包括上喷淋装置及下冷却板，该上喷淋装置设有主管、气体分配管及惰性气体导入口，惰性气体由气体导入口导入主管后会流向气体分配管，该气体分配管均匀的分布在衬底上方，且气体分配管上分布等距的小孔，惰性气体可透过小孔均匀地流向衬底；下冷却板设置于衬底下方，该下冷却板设置面积大于衬底，下冷却板通入冷却媒介，使整个冷却板保持一定温度且远低于衬底温度，由于辐射热由高温流向低温的特性，可使衬底温度向下冷却板辐射温度，使衬底降温。
所述的上喷淋装置的气体分配管共51支，每支分配管有80个均匀分布的小孔，小孔直径0.7mm，导入的惰性气体最后由小孔流出。
所述的下冷却板厚度50mm，设置一进一出的冷却媒介管路，下冷却板内部设置弯曲的水道，水道均匀分布在整个下冷却板内部。
与现有技术相比，本实用新型具有如下优点：
本实用新型由上喷淋装置喷出惰性气体与衬底做实际接触，使用直接传导的方式将衬底的热源带到抽气口后抽出；同时，下冷却板又提供温差的方式使衬底的辐射热源传递到下冷却板，使衬底能在一定的时间内均匀的散热。
附图说明
图1系为本实用新型腔室结构示意图。
图2系为本实用新型下冷却板上视结构示意图。
图3系为本实用新型上喷淋装置俯视结构示意图。
主要组件符号说明
11．．．腔体。
12．．．上喷淋装置
13．．．传送装置
14．．．衬底
15．．．下冷却板
21．．．媒介进入端21
21．．．媒介出口端22
31．．．主管
32．．．气体分配管
具体实施方式
为使方便简捷了解本发明之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够更为显现，以下结合图1图3，详细说明本实用新型的具体实施方式，详细說明如下：
请參阅图1，是本实用新型的PVD设备冷却腔室的剖面示意图。其包含：设置于腔体11上方的上喷淋装置12，和下方的下冷却板15。
衬底14被传送装置13传送至腔体11，该下冷却板15保持一定的温度，造成与衬底14一定程度的温差，同时，上喷淋装置12由惰性气体导入口通入惰性气体，通常为氮气，惰性气体均匀地流向衬底。
请参阅图2所示，其显示了所述的下冷却板15的上视结构示意图。该下冷却板15包含一冷却媒介进入端21及冷却媒介出口端22来连接外部冷却媒介。其中，该下冷却板15内部均匀地分布弯曲的水道，使媒介固定且均匀地流向整个下冷却板15表面，使其表面温度达到设定的温度。
请参阅图3所示，其显示了所述的上喷淋装置12的俯视结构示意图。该上喷淋装置12包含二支主管31以支撑分配管32，该分配管32共有51支，其中分配管32上均匀分布80个小孔，使惰性气体均匀地流向衬底。
在本实施例中，所述的衬底14被传送装置13传送至腔体11，该下冷却板15保持一定的温度，且位于衬底14下方，当衬底14由下冷却板上方缓慢的通过时，辐射热源会由高温的衬底传向相对低温的下冷却板，以达到降温的动作，同时，上喷淋装置12开始有惰性气体由导入口16导入，当衬底14缓慢通过时，惰性气体均匀地流向衬底14，使衬底14温度直接藉由惰性气体传导的方式带到抽气口后抽出。
所述的下冷却板通常保持在40～60度的温度。
本实用新型由上喷淋装置喷出惰性气体与衬底做实际接触，使用直接传导的方式将衬底的热源带到抽气口后抽出；同时，下冷却板又提供温差的方式使衬底的辐射热源传递到下冷却板，使衬底能在一定的时间内均匀的散热。
综上所述，本实用新型在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合实用新型之申请要件，惟上列详细說明系针对本实用新型之一可行实施例之具体說明，该实施例并非用以限制本实用新型之专利范围，而凡未脱离本实用新型技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中。
Claims (4)
1.一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，包括上喷淋装置及下冷却板，该上喷淋装置有一惰性气体导入口，导入主管后会流向气体分配管，该分配管均匀的分布在衬底上方，且分配管上分布等距的小孔，惰性气体可透过小孔均匀地流向衬底。
2.根据权利要求1所述之一种用于异质结太阳能电池冷却腔室，其中该上喷淋装置包含主管、气体分配管及惰性气体导入口。
3.根据权利要求1所述之一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，其特征在于，该下冷却板，板厚度50mm，内部并设置水道。
4.根据权利要求2所述之一种用于异质结太阳能电池溅镀线冷却腔室，其特征在于，该上喷淋装置的气体分配管共有51支，每支气体分配管上分布0.7mm的小孔。
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