CN201194222Y - 具防呆装置的容器 - Google Patents

Abstract

本实用新型一种具防呆装置的容器，其是由一个第一盖体及一个第二盖体组合而成；容器中尚包括一底盘，设置于第二盖体上，与第二盖体形成可容纳对象的空间；第二盖体包含至少一第一防呆装置；底盘包含至少一第二防呆装置；当第二防呆装置与第一防呆装置互相卡合时，底盘与第二盖体的相对位置固定。本实用新型的防呆装置的设计是与容器原有结构结合，可确保容器中各部位的正确放置，避免在使用过程中对容器中的对象造成伤害。

Description

具防呆装置的容器

技术领域

本实用新型涉及一种容器，特别是指其中所包含的防止错误放置的防呆装置。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(siliconwafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态。现代的半导体制程皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。

现有的光罩盒多以高分子材质所构成，此种高分子材质具有成型容易、价格低廉以及可形成透明体的优点。此种绝缘电阻高的高分子材质容易因为磨擦或拨离而产生静电，尤其是无尘室的作业环境需要保持较低湿度，使高分子材质的光罩盒非常容易产生与累积电荷。光罩表面的静电容易吸引空气中的污染微粒，更甚者还会造成光罩上的金属线出现静电放电(electrostaticdischarge，ESD)效应。静电放电所产生的瞬间电流会引起电花(spark)或电弧(arc)，在电花与电弧发生的同时，强大的电流伴随着高温，导致金属线的氧化与溶解，因而改变了光罩的图案。

目前针对静电放电所解决的方法有许多，首先是改善作业环境，使空气中维持适当的湿度、作业人员穿着具接地效应的衣物或使用离子扇消除环境中的静电。但是改变作业环境的具有许多无法预测的变因，没有办法完全解决静电对光罩的伤害。

另一种方法是改变光罩盒组成元件的材质，美国专利号US6,513,654提出，设置具接地功能的光罩支撑件，在光罩盒与配合机台接触时，光罩支撑件可将光罩上的电荷导出。另外美国专利号US6,247,599提出，在光罩盒的底盘、罩盖或提把上增设导电板，通过此减少电荷的累积。增设导电板的方法已被广为使用，然罩盖与底盘的定位多倚赖螺丝锁固，锁固时的摩擦会产生微粒，形成污染源。

有鉴于以上缺失，本实用新型所提供的光罩盒，乃针对现有技术加以改良。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，是提供一种具有防呆装置的容器，其中防呆装置的设计是与容器原有结构结合，可确保容器中各部位的正确放置，避免在使用过程中对容器中的对象造成伤害。

本实用新型的另一目的，是提供一种具有防呆装置的容器，其中防呆装置的设计不需以螺丝锁固，可避免微粒产生，减少污染源。

本实用新型的又一目的，是提供一种具有防呆装置的容器，可以减少电荷累积，并且防止静电对光罩所造成的伤害。

本实用新型的再一目的，是提供一种具有防呆装置的容器，可在无需改变原有容器结构设计的情况下，增设一电荷屏蔽装置。

基于上述的目的，本实用新型首先提供一种容器，其是由一个第一盖体及一个第二盖体组合而成。容器中尚包括一底盘，设置于第二盖体上，与第二盖体形成可容纳对象的空间；第二盖体包含至少一第一防呆装置；底盘包含至少一第二防呆装置；当第二防呆装置与第一防呆装置互相卡合时，底盘与第二盖体的相对位置固定。

本实用新型接着提供一种具防呆装置的容器，其是由一个第一盖体及一个第二盖体组合而成，容器中尚包括一罩盖与一底盘。底盘包含至少一第三防呆装置，罩盖包括一第四防呆装置，当第三防呆装置与第四防呆装置互相卡合时，底盘与罩盖的相对位置固定不移动，底盘与罩盖组合成一可承放对象的空间。

本实用新型进一步提供一种具防呆装置的容器，其是由一个第一盖体及一个第二盖体组合形成一内部区域，容器中尚包括一罩盖，设置于第二盖体上。第二盖体罩盖包含至少一第五防呆装置，罩盖包含至少一第六防呆装置，当第六防呆装置与第五防呆装置互相对应时，罩盖与该二盖体组合成一可承放对象的空间。

本实用新型的有益效果是，除了可以使容器的各部分被放置在正确位置外，并且无须使用螺丝固定，避免微粒产生，减少污染源。当罩盖为导电材质时，更可防止静电对内容物造成伤害。本设计亦可增设使用于目前的光罩盒，无须进行设计上的变更。

附图说明

图1A本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图1B本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图1C本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图2本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图3本实用新型一较佳实施例的容器立体图；

图4本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图5A本实用新型一较佳实施例的容器剖面图；

图5B本实用新型一较佳实施例的容器立体图。

【主要元件符号说明】

100  光罩盒

102  第一盖体

104  第二盖体

1041 框体

1042 门体

106  内部区域

110  底盘

112a 第一防呆装置

112b 第一防呆装置

112c 第一防呆装置

115  罩盖

202a 第二防呆装置

202b 第二防呆装置

202c   第二防呆装置

300    容器

302    第一盖体

304    第二盖体

306    内部区域

310    底盘

312a   第三防呆装置

312b   第三防呆装置

312c   第三防呆装置

315    罩盖

317a   第四防呆装置

317b   第四防呆装置

400    光罩盒

402    第一盖体

404    第二盖体

4041   框体

4042   门体

406    内部区域

412    第五防呆装置

415    罩盖

417    第六防呆装置

具体实施方式

本新型的实施方式是以半导体制程中所使用容器为例进行说明，但是任何必须保持洁净或密封的应用，例如医学治疗用品、生化用品或光学仪器，均属本实用新型的应用范围。本实用新型所利用到的一些基本元件与彼此间结构原理，属于该领域具有通常知识的人士所能轻易理解，不再赘述。而以下文中所对照的图式，是表达与本实用新型特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制。

根据本实用新型一较佳实施例，提供一具防呆裝

的容器可用以保存或传送对象，如图1A与图1B所示，此容器100是一光罩盒，包含了一第一盖体102与一第二盖体104，第一盖体102具有一内部区域106，第二盖体104是用以隔绝内部区域106与外在环境。第二盖体104可以是一体成型，亦可以是由框体1041和门体1042所组成。第二盖体104面对内部区域106的表面可设置一底盘110。

如图2所示，第二盖体104包括三个第一防呆装置112a、112b、112c。底盘110包括三个第二防呆装置202a、202b、202c相对于第一防呆装置112a、112b、112c。当第二防呆装置202a、202b、202c与第一防呆装置112a、112b、112c互相卡合时，该底盘110与该第二盖体104的相对位置大致固定，不会相对移动。若第二防呆装置202a、202b、202c与第一防呆装置112a、112b、112c不能互相卡合时，底盘110则未被正确设置于第二盖体104表面，底盘110与第二盖体104会相对滑动，造成底盘的掉落或移位。

在本实施例中第一防呆装置112a、112b、112c为突起物，且第二防呆装置202a、202b、202c为相对该突起物的凹槽。亦可将第一防呆装置改为凹槽，而第二防呆装置为相对该凹槽的突起物。由于三个112a、112b、112c与三个第二防呆装置202a、202b、202c必需要互相卡合才能使底盘110与第二盖体104密合，因此底盘110必需要依特定方向设置于第二盖体104上

如图1C所示，容器100的内部区域内可增设一罩盖115，当罩盖115或底盘110至少其中之一为导体材质时，可以对对象10产升屏蔽作用，避免不必要的电荷累积产生，可达到静电防护的功效。

根据本实用新型另一较佳实施例，提供一容器可用以保存或传送对象，如图3与所示，此容器300是一光罩盒，包含了一第一盖体302与一第二盖体304，第一盖体302具有一内部区域306，第二盖体304是用以隔绝内部区域306与外在环境。第二盖体304可以是一体成型，亦可以是由框体和门体所组成。第二盖体304面对内部区域306的表面可设置一底盘310(未绘示)。

如图3与图4所示，底盘310包括第三防呆装置312a、312b。罩盖315的边缘即为第四防呆装置317a、317b，当罩盖315以特定方向设置于底盘310上，则第三防呆装置312a、312b与第四防呆装置317a、317b互相卡合，使底盘310与罩盖315的相对位置大致固定不移动，底盘310与罩盖315组合成一可承放对象的空间。当第三防呆装置312a、312b与第四防呆装置317a、317b未卡合时，该底盘310与该罩盖315的相对位置不固定。

在本实施例中，第三防呆装置312a、312b是底盘310的边墙，突出于底盘310面对内部区域306的表面。第四防呆装置317a、317b是罩盖315的边缘，底盘的边墙310与罩盖315的边缘互相对应，使得第四防呆装置得以抵靠第三防呆装置，组合成一可承放对象的空间。若未将罩盖315以特定方向设置于底盘310上，则第三防呆装置312a、312b与第四防呆装置317a、317b不相对应，使得罩盖315与底盘310无法互相密合，无法达成安全运送对象的目的。

根据本实用新型又一较佳实施例，提供一容器可用以保存或传送对象，如图5A所示，此容器400是一光罩盒，包含了一第一盖体402与一第二盖体404，第一盖体402具有一内部区域406，第二盖体404是用以隔绝内部区域406与外在环境。第二盖体404是由框体4041和门体4042所组成，框体404面对内部区域406的部分包含至少一个第五防呆装置412。容器400另包含一罩盖415，罩盖415是设置在第二盖体404上，罩盖415包括至少一第六防呆装置417，当第六防呆装置417与第五防呆装置412互相对应时，罩盖415与第二盖体404组合成一可承放对象的空间。

本实施例中，如图5B所示，框体4042上设置一第五防呆装置412，是一凸出于内部区域的物。第六防呆装置417是罩盖415的弯曲部，第六防呆装置417形成的缺口可供第五防呆装置412设置。当第五防呆装置412与第六防呆装置417未互相对应时，第二盖体404与罩盖415无法组合成可承放对象的空间，则不能安全保存或传送对象。

故，本实用新型所提供的具防呆装置的容器，其防呆装置的设计是与容器原有结构结合，可确保容器中各部位的正确放置，避免在使用过程中对容器中的对象造成伤害；且无须螺丝锁固，可避免微粒产生；亦可减少电荷累积，防止静电对内部对象的伤害。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (20)

1.一种具防呆装置的容器，用以保存或传送对象，其特征在于该容器包含：

一第一盖体，具有一内部区域；

一第二盖体，用以隔绝该内部区域与外在环境，该第二盖体包含至少一第一防呆装置；以及

一底盘，设置于该第二盖体面对该内部区域的表面，该底盘包含至少一第二防呆装置；

其中该第二防呆装置与该第一防呆装置以特定方向互相卡合时，该底盘与该第二盖体的相对位置大致固定。

2.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该第二防呆装置与第一防呆装置未卡合时，该底盘与该罩盖的相对位置不固定。

3.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该第一防呆装置为至少一凹槽，该第二防呆装置为相对该凹槽的至少一突起物。

4.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该第一防呆装置为至少一突起物，该第二防呆装置为相对该突起物的至少一凹槽。

5.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该第二盖体包括一框体与一门体。

6.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该容器为光罩盒或光罩传送盒。

7.如权利要求1所述的容器，其特征在于，还包含一罩盖。

8.如权利要求1所述的容器，其特征在于，该底盘为导体材质。

9.如权利要求8所述的容器，其特征在于，还包含一罩盖，该罩盖为导体材质且与该底盘电性相通。

10.一种具防呆裝置的容器，用以保存或传送对象，其特征在于该容器包含：

一第一盖体，具有一内部区域；

一第二盖体，用以隔绝该内部区域与外在环境；

一底盘，设置于该第二盖体面对该内部区域的表面，该底盘面对该内部区域的表面包含至少一第三防呆装置；以及

一罩盖，放置于该底盘上，该罩盖包括一第四防呆装置，

其中该第三防呆装置以特定方向与该第四防呆装置互相卡合时，该底盘与该罩盖的相对位置固定不移动，该底盘与该罩盖组合成一可承放对象的空间。

11.如权利要求10所述的容器，其特征在于，该第三防呆装置与第四防呆装置未卡合时，该底盘与该罩盖的相对位置不固定。

12.如权利要求10所述的容器，其特征在于，该第三防呆装置为至少一边墙。

13.如权利要求12所述的容器，其特征在于，该边墙是突出于该底盘面对该内部区域的表面。

14.如权利要求12所述的容器，其特征在于，该边墙是凹陷于该底盘面对该内部区域的表面。

15.如权利要求12所述的容器，其特征在于，该第四防呆装置抵靠该边墙。

16.一种具防呆装置的容器，用以保存或传送对象，其特征在于，该容器包含：

一第一盖体，具有一内部区域；

一第二盖体，用以隔绝该内部区域与外在环境，该第二盖体面对该内部区域的部分包含至少一第五防呆装置；以及，

一罩盖，设置于该第二盖体上，该罩盖包含至少一第六防呆装置；

其中该第六防呆装置与该第五防呆装置以特定方向互相对应时，该罩盖与该第二盖体组合成一可承放对象的空间。

17.如权利要求16所述的容器，其特征在于，该第五防呆装置与第六防呆装置未互相对应时，该第二盖体与该罩盖不能组合成该可承放对象的空间。

18.如权利要求16所述的容器，其特征在于，该第二盖体内设置一锁固装置，用以锁固该第一盖体与该第二盖体。

19.如权利要求18所述的容器，其特征在于，该第五防呆装置是该锁固装置的一部分。

20.如权利要求16所述的容器，其特征在于，该第六防呆装置是该罩盖的弯曲部。

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