TWM496010U - 光罩盒 - Google Patents

Description

光罩盒 【0001】

本創作係有關於一種光罩盒，尤指一種具有複數壓持件之光罩盒，其中該等壓持件能適用於各種尺寸之光罩。

【0002】

隨著科技技術的演變，使人類生活更加方便，在電子產品朝著輕薄短小的尺寸演進的同時，電子元件也隨之微縮至奈米尺寸，所有的製程技術也都會不斷的推陳出新。業界必須針對半導體研發合理的製造方法與用於製造所需應用之裝置，才能投入實際應用。

【0003】

就目前而言，晶圓為製造半導體晶片的重要材料之一，一片晶圓依其不同的尺寸就可製造出數十甚至於數百顆半導體晶片。光罩則為製作半導體晶片的模具，製作半導體晶片時，先將半導體晶片的積體電路設計結構製成光罩，再利用不同光罩於晶圓上沉積不同材料之薄膜，以完成半導體晶片之製作。其中，光罩的微影製程技術能力，通常扮演著製程能力中重要分水嶺的里程碑，無論是有關於製造光罩或使用光罩的能力方面，都代表著在此技術領域中是否成熟。

【0004】

上述有關於晶圓或光罩的相關技術中，比起技術上的進步與成熟，更為看重的是製造效率的提升與製作成本的降低。因為在同一面積中能製造出愈多的元件即代表製程會有更強的優勢，所以如何妥善的使用及維護光罩，便成為微影製程技術中關鍵且重要的一環。

【0005】

有關於光罩的使用及維護方面，現今大多數係仰賴光罩盒方面的技術，光罩盒顧名思義即為儲存光罩的盒子，主要用於避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染。而此方面的習知技術中，舊有光罩盒在盒體內部設有固定的壓條，以固定光罩在光罩盒內部的位置，針對不同尺寸的光罩，光罩盒內部的固定壓條也要相應的更換，使光罩能夠確實的被固定於光罩盒內部。以習知技術為例，大多使用ㄇ字型壓條固定光罩，但ㄇ字型壓條之開口寬度係固定的，因此光罩之尺寸改變後，ㄇ字型壓條就無法使用，所以必須更換其他尺寸之ㄇ字型壓條，故須依據不同光罩之尺寸生產不同尺寸的壓條，如此會造成使用上之不便利及整體成本的增加。

【0006】

故，本創作針對以上習知技術之缺點做進一步之改良，本創作提供一種光罩盒，其將複數壓持件設置於光罩盒體內，該等壓持件可依據光罩之尺寸來調整其設置於光罩盒體之位置，以分別抵壓光罩之側邊，且可適用於各種尺寸的光罩，有效降低整體之製造成本。

【0007】

本創作之一目的，在於提供一種光罩盒，光罩盒內具有複數壓持件，該等壓持件可固定光罩於光罩盒內，並適用各種尺寸之光罩。

【0008】

本創作之另一目的，在於提供一種光罩盒，其外表面具有複數定位結構，以使光罩盒透過該等定位結構穩固地堆疊於另一光罩盒，並有效減少儲存多個光罩盒之空間。

【0009】

為達上述所指稱之目的及功效，本創作提供一種光罩盒，其包含一盒體、複數壓持件與複數連接件，該盒體之內部具有一容置空間，該容置空間容置一光罩，該等壓持件設置於該盒體內，並依據該光罩之尺寸來調整其設置於該盒體之位置，且分別抵壓該光罩之側邊，該等連接件分別穿設於相對應之該等壓持件，以固定該等壓持件於該盒體內。

【0010】

再者，該盒體具有一上蓋體與一下蓋體，該上蓋體與該下蓋體各具有一內表面及一外表面，該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成該容置空間，該上蓋體之外表面具有一第一定位結構，該下蓋體之外表面具有一第二定位結構，該上蓋體之外表面堆疊於該下蓋體之外表面時，該第一定位結構與該第二定位結構嵌合。

1‧‧‧光罩盒
2‧‧‧光罩
21‧‧‧頂面
22‧‧‧側邊
23‧‧‧底面
10‧‧‧盒體
110‧‧‧容置空間
120‧‧‧上蓋體
121‧‧‧內表面
122‧‧‧外表面
130‧‧‧下蓋體
131‧‧‧內表面
132‧‧‧外表面
133‧‧‧鎖孔
140‧‧‧強化結構
20‧‧‧壓持件
210‧‧‧壓持部
2101‧‧‧第一端部
2102‧‧‧第二端部
211‧‧‧凹槽
212‧‧‧緩衝件
213‧‧‧緩衝部
214‧‧‧嵌合部
2140‧‧‧凸部
220‧‧‧固定部
221‧‧‧定位穿孔
30‧‧‧連接件
310‧‧‧鎖固件
410‧‧‧第一定位結構
411‧‧‧第一定位凸塊
420‧‧‧第二定位結構
421‧‧‧第二定位凹槽
50‧‧‧握持部
60‧‧‧氣密條
710‧‧‧第一卡扣結構
720‧‧‧第二卡扣結構
80‧‧‧運送元件
90‧‧‧輔助支撐部
910‧‧‧輔助緩衝件
920‧‧‧置放凹槽

【0011】

第一A圖：其係為本創作之第一實施例之光罩盒之立體圖；
第一B圖：其係為本創作之第一實施例之光罩盒之組裝圖；
第一C圖：其係為本創作之第一B圖之A區域之放大圖；
第一D圖：其係為本創作之第一實施例之光罩容置示意圖；
第一E圖：其係為本創作之第一實施例之A區域之剖面圖；
第一F圖：其係為本創作之第一實施例之A區域之剖面圖；
第一G圖：其係為本創作之第一B圖之B區域之放大圖；
第二A圖：其係為本創作之第二實施例之堆疊前之二光罩盒之示意圖；以及
第二B圖：其係為本創作之第二實施例之堆疊後之二光罩盒之示意圖。

【0012】

為對本創作之特徵及所達成之功效有更進一步之瞭解與認識，謹佐以實施例及配合詳細之說明如後：

【0013】

請參閱第一A圖到第一G圖，其係為本創作之第一實施例之光罩盒之立體圖、組裝圖、A區域之放大圖、光罩容置示意圖、A區域之剖面圖與B區域之放大圖。如圖所示，本實施例提供一種光罩盒1，其包含一盒體10、複數壓持件20與複數連接件30，該盒體10之內部具有一容置空間110，可容置一光罩2於容置空間110內。該等壓持件20設置於該盒體10內，該等壓持件20可依據該光罩2之尺寸來調整其設置於該盒體10之位置，並分別抵壓該光罩2之側邊22。該等連接件30分別穿設於相對應之該等壓持件20，以固定該等壓持件20於該盒體10內。

【0014】

本實施例之該盒體10具有一上蓋體120與一下蓋體130，該上蓋體120具有一內表面121及一外表面122，而該下蓋體130亦具有一內表面131及一外表面132。當該上蓋體120與該下蓋體130蓋合後，該上蓋體120之該內表面121與該下蓋體130之該內表面131之間形成該容置空間110，如此該光罩2可置於該上蓋體120與該下蓋體130之間的該容置空間110內。本實施例之該下蓋體130之該內表面131的中央更設有至少一強化結構140，用以強化該下蓋體130的強度及結構。本實施例之該上蓋體120與該下蓋體130係分別為一體成型，且係利用射出成型製作，與傳統組裝方式所製成之光罩盒相比，具有以下優點：有效增加該盒體10之氣密性、使該盒體10達到輕量化的效果以及可避免外部之汙染顆粒及水氣進入該盒體10內，以有效降低該盒體10內產生污染顆粒及水氣。

【0015】

本實施例之該上蓋體120及該下蓋體130可由含有抗靜電劑之材料(例如:含抗靜電高分子之高分子複合材料)所製成，可避免盒體10內產生靜電，以減少粉塵或細微粒子等汙染顆粒之吸附。然，亦可選擇該上蓋體120及該下蓋體130中之至少一者由一透明材質製成，如此使用者便可直接觀看該盒體10內是否有存放該光罩2或檢視該光罩2是否有損壞。

【0016】

復參閱第一D圖、第一E圖及第一F圖，本實施例之該等壓持件20係設置於該下蓋體130內，各該壓持件20具有一壓持部210與一固定部220，該固定部220係設置於該壓持部210之相對一側，該壓持部210呈一L形，即具有一第一端部2101及一第二端部2102。當該光罩2置於該盒體10之該容置空間110內時，該壓持部210之該第一端部2101抵壓於該光罩2之頂面21，該壓持部210之該第二端部2102抵接於該光罩2之側邊22，並且利用該等壓持件20之該第二端部2102互相抵壓該光罩2，將該光罩2維持懸置於該下蓋體130之該強化結構140上方。本實施例之該固定部220為一長板體，並具有至少一定位穿孔221，該定位穿孔221為一長型孔洞。當該壓持件20設置於該下蓋體130時，該連接件30係穿設於該壓持件20之該定位穿孔221內，並將該連接件30鎖固於與該定位穿孔221對應之該下蓋體130之鎖孔133，即將該連接件30鎖固於該定位穿孔221，以將該壓持件20固定於該下蓋體130。

【0017】

當該壓持件20固定於該下蓋體130之前，須先確認該壓持件20之該壓持部210已抵壓於該光罩2之側邊22，進而確認該壓持件20之該固定部220設置於該下蓋體130之位置。此意味著，隨著該光罩2之長寬尺寸不同，該壓持件20之該壓持部210可依據該光罩2之長寬尺寸往該光罩2移動做調整，直到該壓持部210抵壓於該光罩2之側邊22後，便利用該連接件30將該壓持件20之該固定部220鎖固在該下蓋體130之適當位置上。

【0018】

本實施例之該壓持件20的該定位穿孔221長度係大於該連接件30之直徑，而該壓持件20之該壓持部210往該光罩2移動之長度範圍即為該定位穿孔221之長度。本實施例之該等壓持件20係設置於該下蓋體130，但不限於此，該等壓持件20亦可設置於該上蓋體120，而該等壓持件20固定於該上蓋體120之方式與該等壓持件20固定於該下蓋體130之方式相同，故於此不再贅述。

【0019】

另外，本實施例之該壓持件20的該壓持部210為L形，該壓持部210之該第二端部2102未抵接於該光罩2之底面23，因此該光罩2之厚度不受該壓持部210之限制。當光罩2置於該下蓋體130時，若該光罩2之厚度不同，該光罩2凸出該下蓋體130之高度亦不同，同時該壓持件20之該固定部220與該下蓋體130間之距離也會不同，因此可依據該壓持件20之該固定部220與該下蓋體130間之距離，來調整該連接件30鎖固於該下蓋體130之該鎖孔133之深度，以固定該壓持件20於該下蓋體130，進而固定該光罩2於該容置空間110內。

【0020】

舉例說明，若該光罩2的厚度較薄，即表示該壓持件20之該固定部220與該下蓋體130間之距離越小，則該連接件30鎖固於該鎖孔133之深度越深；反之，若該光罩2之厚度尺寸較厚，即表示該壓持件20之該固定部220與該下蓋體130間之距離越大，則該連接件30鎖固於該鎖孔133之深度越淺。由上述可知，本實施例之該等壓持件20可適用於各種尺寸之光罩，無須再更換其他尺寸之該壓持件20。

【0021】

此外，因該連接件30鎖固於該鎖孔133之深度越淺，該連接件30與該壓持件20之該固定部220之間的距離及該固定部220與該下蓋體130之間的距離越大，所以於該連接件30與該壓持件20之該固定部220之間或該固定部220與該下蓋體130之間更設置至少一鎖固件310，如第一F圖所示。當該連接件30欲固定該壓持部20之該固定部220時，先將該鎖固件310設置於該固定部220上，並對應該定位穿孔221，待該連接件30穿設於該鎖固件310後，再穿設該定位穿孔221，進而鎖固於該下蓋體130之該鎖孔133，如此可避免該壓持件20相對該連接件30產生位移。

【0022】

然與該光罩2接觸之該壓持部210之該第二端部2102的表面上更設有一緩衝件212，該緩衝件212抵接於該光罩2之側邊22，以避免該光罩2與該壓持件20碰撞而產生污染顆粒，且該緩衝件212與該光罩2間之摩擦力較大，可固定該光罩2於該盒體10內，並避免該光罩2於該盒體10內移動。本實施例之緩衝件212係嵌設於該壓持部210，該壓持部210設有一凹槽211，該緩衝件212係設置於該凹槽211。該緩衝件212具有一緩衝部213與一嵌合部214，該嵌合部214係設置於該緩衝部213之相對一側。該嵌合部214係設置於該凹槽211內，該緩衝部213抵接於該光罩2之側邊22。

【0023】

本實施例之該緩衝件212更具有至少一凸部2140，該凸部2140設置於該嵌合部214接觸該凹槽211之至少一側，以利用該凸部2140與該凹槽211間產生較大的磨擦力，而將該緩衝件212固定於該凹槽內211。

【0024】

復參閱第一B圖與第一G圖，該下蓋體130之至少兩相對的角落處更分別設有一輔助支撐部90，當該光罩2置於該下蓋體130時，該光罩2之相對的邊角可置於該等輔助支撐部90處，該等輔助支撐部90可用於輔助支撐該光罩2。本實施例之該輔助支撐部90為一置放槽，該輔助支撐部90內更設有一輔助緩衝件910，該輔助緩衝件910與設置於該壓持部210之該緩衝件212之作用相同，其抵接於該光罩2之邊角，以避免該光罩2與該下蓋體130產生碰撞。本實施例之該輔助緩衝件910之設置方式與設置於該壓持部210之該緩衝件212相同，於該輔助支撐部90上設有一置放凹槽920，該輔助緩衝件910設置於該置放凹槽920內，其中該輔助緩衝件910為橡膠、矽膠或為軟性且磨擦係數大之材料所製成，而該輔助支撐部90亦可設置於該上蓋體120，於此不再贅述。

【0025】

請參閱第二A圖與第二B圖，其係為本創作之第二實施例之二光罩盒之堆疊前之示意圖與堆疊後之示意圖。如圖所示，本實施例之光罩盒1與上述實施例之光罩盒不同處在於，該上蓋體120之該外表面122與該下蓋體130之該外表面132分別設有一第一定位結構410及一第二定位結構420，該第一定位結構410具有至少一定位凸塊411，而該下蓋體130之該外表面132具有一第二定位結構420，該第二定位結構420具有至少一定位凹槽421。當光罩盒1堆疊於另一光罩盒1時，光罩盒1之該上蓋體120之該外表面122堆疊於另一光罩盒1之該下蓋體130之該外表面132，該定位凸塊411與該定位凹槽421對應嵌合，如此該等光罩盒1可穩固地相互堆疊，並可以減少儲存該等光罩盒1之空間。再者，於該上蓋體120之該外表面122及該下蓋體130之該外表面132更分別設有至少一握持部50，當使用者運送該光罩盒1時，使用者之手部可握持於該等握持部50，以方便推動或搬運光罩盒1。此外，分別於該盒體10之一側設置複數運送元件80，於本實施例中，該等運送元件80為輪子，如此可讓使用者方便推動該光罩盒1。

【0026】

該上蓋體120之一側具有至少一第一卡扣結構710，該下蓋體130之一側具有至少一第二卡扣結構720，該上蓋體120與該下蓋體130蓋合時，該至少一第一卡扣結構710卡扣住該至少一第二卡扣結構720。本創作並不限定該第一卡扣結構710及該第二卡扣結構720之型式，凡能固定該上蓋體120與該下蓋體130之卡扣結構皆為本創作之技術特徵。本創作之該上蓋體120與該下蓋體130蓋合處更設有至少一氣密條60，如此該上蓋體120可緊密地與該下蓋體130接合，以進一步增加該盒體10之氣密性。

【0027】

綜上所述，本創作之該光罩盒內具有該等壓持件與相對應之該等連接件能固定該光罩於該光罩盒內，尤其該等壓持件可適用於各種尺寸之光罩，因此無須更換其他符合該光罩之尺寸的壓持件。另外，於該光罩盒之該上蓋體之外表面的定位結構具有相對應於該下蓋體之外表面的定位結構，使多個光罩盒可穩固地相互堆疊，以節省儲存該等光罩盒之空間。故，與傳統組裝方式所製成之光罩盒相比，本創作之光罩盒之上下蓋體係採用一體成型所製成並使用含有抗靜電劑或/及透明材質之材料所製成以及握持部設計等，可進一步達成增進氣密性、降低靜電產生的可能性、可直接觀看光罩盒內部之光罩保存狀態、避免因外部之顆粒及水氣汙染的可能性以及增加搬運便利性等功效。

【0028】

惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，並非用來限定本創作實施之範圍，故舉凡依本創作申請專利範圍所述之形狀、構造、特徵及精神所為之均等變化與修飾，均應包括於本創作之申請專利範圍內。

【0029】

故本創作確實為一具有新穎性、進步性及可供產業上利用之新型，應符合我國專利法專利申請之要件無疑，爰依法提出新型專利申請，祈 鈞局早日賜准專利，至 為德感。

133‧‧‧鎖孔

20‧‧‧壓持件

210‧‧‧壓持部

211‧‧‧凹槽

212‧‧‧緩衝件

213‧‧‧緩衝部

214‧‧‧嵌合部

2140‧‧‧凸部

220‧‧‧固定部

221‧‧‧定位穿孔

30‧‧‧連接件

310‧‧‧鎖固件

Claims (19)

1. 【第1項】

   一種光罩盒，其包含：
   一盒體，其內部具有一容置空間，用以容置一光罩；
   複數壓持件，設置於該盒體內，該等壓持件係依據該光罩之尺寸來調整其設置於該盒體之位置，並分別抵壓該光罩之側邊；以及
   複數連接件，分別穿設於相對應之該等壓持件，以固定該等壓持件於該盒體內。
2. 【第2項】

   如請求項1所述之光罩盒，其中各該壓持件具有一壓持部及一固定部，該固定部係設置於該壓持部之相對一側，該壓持部抵壓於該光罩之側邊，該固定部固定於該盒體內。
3. 【第3項】

   如請求項2所述之光罩盒，其中該壓持部為一L形。
4. 【第4項】

   如請求項2所述之光罩盒，其中該壓持部具有一緩衝件，該緩衝件抵壓於該光罩之側邊。
5. 【第5項】

   如請求項4所述之光罩盒，其中該壓持部具有一凹槽，該緩衝件係設置於該凹槽。
6. 【第6項】

   如請求項2所述之光罩盒，其中該固定部具有至少一定位穿孔，各該連接件係鎖固於相對應之該定位穿孔。
7. 【第7項】

   如請求項6所述之光罩盒，其中各該定位穿孔之長度係大於該連接件之直徑，以調整該壓持件設置於該盒體之位置。
8. 【第8項】

   如請求項7所述之光罩盒，更包含至少一鎖固件，將該等鎖固件設置於該連接件與該固定部之間或/及該固定部與該盒體之間。
9. 【第9項】

   如請求項1所述之光罩盒，其中該盒體具有一上蓋體與一下蓋體，該上蓋體與該下蓋體各具有一內表面及一外表面，該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成該容置空間。
10. 【第10項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該等連接件係用以將該等壓持件固定於該上蓋體之該內表面上或該下蓋體之該內表面上。
11. 【第11項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體之外表面具有一第一定位結構，該下蓋體之該外表面具有一第二定位結構，該上蓋體之該外表面堆疊於該下蓋體之該外表面時，該第一定位結構與該第二定位結構嵌合。
12. 【第12項】

    如請求項11所述之光罩盒，其中該第一定位結構具有至少一定位凸塊，該第二定位結構具有至少一定位凹槽，該第一定位結構與該第二定位結構嵌合時，該至少一定位凸塊與該至少一定位凹槽對應嵌合。
13. 【第13項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體與該下蓋體係分別為一體成型所製成。
14. 【第14項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體之外表面或/及該下蓋體之外表面更設有至少一握持部。
15. 【第15項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體或/及該下蓋體係由一透明材質或含有抗靜電劑之材料所製成。
16. 【第16項】

    如請求項9所述之光罩盒，更包含至少一氣密條，該至少一氣密條係設置於該上蓋體與該下蓋體蓋合處。
17. 【第17項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體之一側具有至少一第一卡扣結構，該下蓋體之一側具有至少一第二卡扣結構，該上蓋體與該下蓋體蓋合時，該至少一第一卡扣結構卡扣住該至少一第二卡扣結構。
18. 【第18項】

    如請求項9所述之光罩盒，其中該上蓋體或該下蓋體內之相對的二角落分別設有一輔助支撐部，該光罩之相對之二邊角可設置於該輔助支撐部。
19. 【第19項】

    如請求項18所述之光罩盒，其中該輔助支撐部更設有一輔助緩衝件，該輔助緩衝件抵接於該光罩之邊角。