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CN1328133C - 处理及保管设备 - Google Patents

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Abstract

本发明为一种处理及保管设备，其是由物品的处理装置和保管处理前后的物品的自动仓库构成，由自动仓库和多个处理装置，搬送装置构成。自动仓库具有立体的保管收纳隔室的搁架和与搁架间可移载盒式箱K的出入库用起重器；处理装置沿搁架以适当的间隔配置，在对于自动仓库的搁架的与出入库起重器一侧的相反侧；搬送装置具有在自动仓库的搁架和处理装置间沿搁架形成的行走路径可行走的自动台车。自动仓库上，在相邻行走路径的位置，设置通过出入库用起重器可交接盒式箱K的出入库口，在搬送装置的自走台车上设置在各处理装置间和出入库口间可交接盒式箱K的移载机构。

Description

处理及保管设备
技术领域
本发明涉及处理及保管设备，其是由物品的处理装置和保管处理前后的物品的自动仓库构成的。
背景技术
在液晶用玻璃基板等的各种薄型显示用基板的制造生产线中，在处理装置上的各基板进行各种处理的前后，是将多枚的基板以收纳在盒式箱内的状态保存在自动仓库。也就是对于多个的处理装置配制了一个自动仓库，当处理装置空置下来时，向对应该空置的处理装置的位置供给保管在自动仓库的一个盒式箱，在处理装置顺次地处理盒式箱内的各个基板，完成了所有的基板处理时，将收纳处理完毕的基板的盒式箱再次保管在自动仓库内。
使用上述那样的以往的处理及保管设备，例如在日本发明专利申请公开公报第2001-44261号所记载的那样，是将自动仓库与各个处理装置直接连接着。这样的以往处理及保管设备虽然可以抑制初期的成本，但是由于制造计划的变更等，而变更处理装置的个数或者配置时，也必须变更自动仓库侧的对于各个处理装置的出入库口，这样需要花费大量的时间和费用。另外，自动仓库内的出入口用起重器所需要的负荷加大，所以需要能够胜任该负荷的起重器。
发明内容
本发明的目的在于解决以往所存在的问题，按照后述的本发明的处理及保管设备的构成的实施方式中赋予的参照符号，本发明的处理及保管设备包括：自动仓库、多个处理装置以及在所述自动仓库和多个处理装置之间搬送收纳被处理工件的盒式箱的搬送装置，其特征在于，所述自动仓库包括：具有立体的支承所述盒式箱的保管收纳隔室的搁架；在所述搁架的下部形成出、入库口；可沿所述搁架行走的、在保管收纳隔室及出、入库口之间移动所述盒式箱的出入库用的起重器；各处理装置，相对所述自动仓库的搁架，在所述出入库用的起重器行走路径一侧的相反侧沿着所述搁架以适当的间隔配置；所述处理装置包括：盒式箱支承部和工件移动机构，该工件移动机构取出该盒式箱支承部上的盒式箱内的工件，在搬送到处理位置的同时，将处理完的工件取回到该盒式箱支承部上的盒式箱内；所述搬送装置包括：在所述自动仓库的上述搁架与上述多个处理装置的列之间，沿该搁架形成的行走路径的地面上可自动行走的自动行走的台车；以及设置在该自动行走的台车上，位于行走路径的一侧的搁架下部的出入库口和位于行走路径的另一侧的各处理装置的盒式箱支承部之间，移载盒式箱的被搬送物移载机构；所述自动仓库的出入库用起重器的行走路径、所述搁架、所述搬送装置的自动行走的台车的行走路径以及上述多个处理装置按照该顺序排列成四列。
按照上述构成的本发明的处理及保管设备，不是像以往的那样自动仓库和多个处理装置，通过设置在该自动仓库的出入库口直接地连接，而是在两者间插入沿自动仓库搁架行走的具有搬送用行走体的搬送装置，通过该搬送装置，在自动仓库侧形成出入库口和各处理装置间交接被搬送物的结构，所以由于制造计划的变更等在变更处理装置数或者配置时，也不需要增减自动仓库侧的出入库口的数或者变更位置，此时可以削减必要的时间和费用。另外，自动仓库内的出入库用起重器的负荷也减少，实施起来更容易。
实施上述构成的本发明时，自走上述搬送装置3的搬送用行走体是由可在地面自动行走的台车17构成，上述自动仓库1的出入库口10、11可以形成在该自动仓库1的上述搁架5A内的下部。按照这样的构成，设置在自动仓库搁架的出入库口和搬送装置的搬送用行走体(自动行走台车)和各处理装置间的被搬送物的移载路径可以构成比地面低的大约水平状路径，被搬送物的移载路径变得简单，是容易实施的方式，而且可以效率高地进行被搬送物的移载。
另外，上述被搬送物是收纳了上述处理装置2A～2G处理了的多个工件W(例如液晶用玻璃基板等的各种薄型显示用基板)的盒式箱K时，各处理装置2A～2G上可以设置工件移载机构15，该移载机构15是用来取出从上述搬送装置3移载的盒式箱K内的工件W，搬送到处理位置14的同时，将处理完的工件W取回到盒式箱K内。按照这样的构成，可以构成液晶用玻璃基板等的各种薄型显示用基板的处理及保管的合适的设备。
附图说明
图1显示全体设备的概略俯视图。
图2上述的主视图。
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的适宜的实施方式，1是自动仓库、2A～2G是设置在自动仓库1一侧的多个的处理装置、3是配置在自动仓库1和处理装置列间的搬送装置。自动仓库1是由具有分别立体保管用隔室4的2列搁架5A，5B和该搁架5A，5B间的通路6内配置的出入库用起重器7构成的。该出入库用起重器7是公知的，在其升降托盘9上搭载着移载机构(工作叉等)8，其是用来接受在两个搁架5A，5B的保管用收纳隔室4间作为搬送物的盒式箱K。另外，在邻接搬送装置3侧的搁架5A上设置与搬送装置3间的出库口10和入库口11，其是利用保管用收纳隔室4内，最下段起重器行走方向的适当位置上的2个保管用收纳隔室4。
此外，盒式箱K，其内部收纳着工件W，例如液晶用玻璃基板等的各种薄型显示用基板，上下多层收纳，这些工件W对于盒式箱K可以水平地取出和放入。
虽然图中没有表示，但是自动仓库1的盒式箱K的入库用输送带和出库用输送带是并列设置在搁架间通路6的一端左右两侧，用入库用输送带搬入的盒式箱K由出入库用起重器7的移载机构8接受，收纳保管在搁架5A，5B内的任意保管收纳隔室4内。另外，搁架5A，5B内的任意保管收纳隔室4所收纳的盒式箱K，也就是，收纳处理完的工件W的盒式箱K，用出入库用的起重器7的移载机构8取出，搬送到上述的出库用输送带上，搬送到需要的地点。
在图中，只是对搁架5A，5B内的一侧的搁架5A并列设置处理装置2A～2G和搬送装置3，但是对另一方的搁架5B也可以并列设置处理装置2A～2G和搬送装置3。此时，在该搁架5B也可以设置与搬送装置3间的出库口10和入库口11。当然，只是在出入库用起重器7的通路6的一侧是设置了搁架5A的自动仓库也是可以的。
各处理装置2A～2G，可以设置位于搬送装置3侧的盒式箱支承部13及工件移载机构(机器手)15，其是用来在被盒式箱支承部13支承的盒式箱K内和处理位置14间交接工件W用的，所以对于供给处理位置14的工件W可以自动地进行规定的处理。
搬送装置3是利用在自动仓库1的搁架5A和处理装置列间的行走路径16内的地面，可自走的自走台车17的，在自走台车17上设置可以进行升降运动和左右两方向进退运动的工作叉等的移载机构18，通过该移载机构18，可以在邻接停止台车17的搁架5A内的出入库口10、11间，以及任意处理装置2A～2G的盒式箱支承部13间交接盒式箱K。
上述构成的处理及保管设备中，当处理装置2A～2G空置时，则对保管在自动仓库1的搁架5A，5B内的收纳隔室4的收纳未处理的工件的盒式箱K发出的出库指令传递给入库用起重器7。其结果，通过出入库起重器7的行走和升降托盘9的升降，移载机构8移动到对应出库对象的收纳隔室4的位置后，该移载机构8的接受盒式箱的动作启动，例如移载机构8是工作叉时，通过升降托盘9的升降运动和工作叉的进退运动的组合构成的抄起盒式箱，从出库对象的收纳隔室4将作业对象的盒式箱K拉出到升降托盘9上，而后，通过出入库起重器7的行走和升降托盘9的升降，将该升降托盘9移动到邻接出库口10的位置，而且，移载机构8送出盒式箱的动作启动，例如通过升降托盘9的升降运动和移载机构8(工作叉)的进退运动的组合使盒式箱K下降，将升降托盘9上的盒式箱K移载到出库口10。
搬送到出库口10的作业对象的盒式箱K，接着通过搬送装置3的自动台车17搬送到处理装置2A～2G内的空置状态的处理装置，例如处理装置2B。也就是，通过自走将自走台车17移动到对应出库口10的位置时，移载机构18的盒式箱的接受动作、例如移载机构18是工作叉时，通过升降运动和进退运动的组合而抄起盒式箱的动作，将出库口10的盒式箱K移载在自走台车17上，而后将该自走台车17移动到目的的处理装置2B。自走台车17停止在对应目的的处理装置2B的位置时，移载机构18的送出盒式箱的动作启动，例如移载机构18(工作叉)的升降运动和进退运动的组合使盒式箱卸下，将自动台车17上的盒式箱K移载在处理装置2B内的盒式箱支承部13上。在处理装置2B内，盒式箱K内的未处理的工件W通过工件移载机构(机器手)15移动到处理位置14，处理完毕后，处理后的工件W通过工件移载机器手15移回到在盒式箱支承部13上待机的盒式箱K内。
在上述处理装置2B中，对于盒式箱K内的所有的工件W处理完毕后，收纳处理完毕工件W的盒式箱K，通过与从出库口10向处理装置2B的搬送盒式箱K的操作相反的顺序，用搬送装置3从处理装置2B搬送到自动仓库1的入库口11。移载到入库口11的盒式箱K通过出入库用起重器7入库保管在搁架5A，5B内所选择出的空置状态的收纳隔室4内。该入库作业是与向出库口10将盒式箱K的进行出库作业时相反的顺序进行。
此外，出库口10是空置状态时，处理装置2A～2G即使不是空置状态，也可以将下步处理作业对象的盒式箱K从搁架5A，5B出库到出库口10。另外，设置在搁架5A内的出入库口10、11也可以在与出入库起重器7之间的移载位置和自走台车17的移载位置间具有搬送盒式箱K的搬送机构。进而，作为搬送装置3也可以使用顶上行走台车形式的搬送装置。此时，设置在自动仓库1侧的出入库口10、11也要设置成对应顶上行走台车的行走路径的高度，但是各个处理装置2A～2G要设置在顶上行走台车的行走路径的正下方的地面上，顶上行走台车侧具有移载机构的装物台要从该顶上行走台车可升降地吊下来，通过该升降装物台，在各处理装置2A～2G的盒式箱支承部13和其上方的顶上(头上)行走台车之间吊下盒式箱K来进行升降移载的机构。
此外，设置在自动仓库1侧的出入库口10、11图中表示出库口10和入库口11分开设置的例，但是也可以设置一个出入库兼用的口，或者出库口10和入库口11分别设置多个。另外，处理装置的个数增多时，可以配置多台搬送装置3的自走台车17(包括上述的顶上行走台车)，但是，此时各个行走台车17的各个路径要分开，特定接受处理装置也是可以的，或者在互相共同的行走路径上可以自由地进行行走的结构。前者的情况时，对各自行走台车17的行走路径在自动仓库1侧需要设置出入库口10、11，后者时，在各自走台车17可以设置共同的出入库口10、11。

Claims (1)

1.处理及保管设备，其包括：自动仓库(1)、多个处理装置(2A～2G)以及在所述自动仓库(1)和多个处理装置(2A～2G)之间搬送收纳被处理工件(W)的盒式箱(K)的搬送装置(3)，其特征在于，所述自动仓库(1)包括：
具有立体的支承所述盒式箱(K)的保管收纳隔室(4)的搁架(5A)；
在所述搁架(5A)的下部形成出、入库口(10，11)；
可沿所述搁架(5A)行走的、在保管收纳隔室(4)及出、入库口(10，11)之间移动所述盒式箱(K)的出入库用的起重器(7)；
各处理装置(2A～2G)，相对所述自动仓库(1)的搁架(5A)，在所述出入库用的起重器(7)行走路径(6)一侧的相反侧沿着所述搁架(5A)以适当的间隔配置；
所述处理装置(2A～2G)包括：
盒式箱支承部(13)和工件移动机构(15)，该工件移动机构(15)取出该盒式箱支承部(13)上的盒式箱(K)内的工件(W)，在搬送到处理位置(14)的同时，将处理完的工件(W)取回到该盒式箱支承部(13)上的盒式箱(K)内；
所述搬送装置(3)包括：
在所述自动仓库(1)的上述搁架(5A)与上述多个处理装置(2A-2G)的列之间，沿该搁架(5A)形成的行走路径(16)的地面上可自动行走的自动行走的台车(17)；以及设置在该自动行走的台车(17)上，位于行走路径(16)的一侧的搁架(5A)下部的出入库口(10，11)和位于行走路径(16)的另一侧的各处理装置(2A-2G)的盒式箱支承部(13)之间，移载盒式箱(K)的被搬送物移载机构；
所述自动仓库(1)的出入库用起重器(7)的行走路径(6)、所述搁架(5A)、所述搬送装置(3)的自动行走的台车(17)的行走路径(16)以及上述多个处理装置(2A-2G)按照该顺序排列成四列。
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