CN1320385C - 具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法 - Google Patents
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Abstract
一种具动力驱动的同轴旋转定位系统和定位方法。该定位系统包括一移动平台、一X轴和Y轴电动马达传动装置、一同轴旋转装置、一坐标显示器和一固定显微镜。该传动系统是带动该移动平台作X轴和Y轴方向移动；该同轴旋转装置是用以承载一显示面板和对该显示面板进行坐标轴对位；该坐标显示器是显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和标定一标的点的坐标，以便定位出该标的点；以及该固定显微镜的一十字记号，用作该同轴旋转装置调整该显示面板方位的参考坐标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号。藉由该具动力驱动的同轴旋转定位系统，在进行薄膜晶体管液晶显示面板的样品分析时，提供一快速而精确的定位方法。
Description
技术领域
本发明涉及一种定位系统和方法，特别是一种在进行薄膜晶体管液晶显示面板的样品分析时，可增进定位效率的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统(power driven coaxial-rotating fast-orientation system)和方法。
背景技术
随着薄膜晶体管(thin一film transistors；TFTs)制作技术的快速进步，具备了轻薄、省电和无幅射线等优点的液晶显示器(liquid crystal display；LCD)，大量的应用于计算机、个人数字助理器(PDA)、手表、笔记型电脑、数码相机、液晶显示器和移动电话等各式电子产品中。再加上业界积极的投入研发以及采用大型化的生产设备，使液晶显示器的生产成本不断下降，更令液晶显示器的需求量大增。
在对目前TFT制程的产品进行样品分析，例如电性分析时，是沿着该TFT面板上的闸极线(Gate-line)和信号线(Signa1-line)去检测其电性。若发现某条闸极线(Gate-line)与某条信号线(Signal-line)交会处的TFT具有缺陷，是先将该TFT面板上所标示的该条闸极线的编号，例如G，检测完该整个TFT面板并把其上所有缺陷处都记录起来后，例如(G100，S100)、(G100，S200)和(G200，S300)，再以激光注记装置(laser marker)在该等缺陷处的周围作标记，以便后续扫描式电子显微镜(Scanner Electron Microscopy；SEM)分析或聚焦式离子束显微镜(Focused Ion Beam；FIB)分析的进行。
目前在欲对该TFT面板上的缺陷处进行SEM分析或FIB分析之前，是先通过人工方式，由操作人员根据先前所记录的所有具缺陷的闸极线和信号线的编号，例如(G100，S100)、(G100，S200)和(G200，S300)，在机台的显微镜下，将该TFT面板上的该些缺陷点一一寻找出并依序即时以激光注记装置作标记，如此不但要花费许多找寻时间，约从30分钟到3小时不等的时间，端视该些缺陷点的位置是位在该TFT面板的边缘处或中间处而定，而且会由于人为失误因素，无法达到100％的准确性。
因此，亟需对现有的薄膜晶体管液晶显示面板在进行样品分析时的目标点的定位方式提出改善，以便能有效节省标的找寻时间和增加准确率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术的上述不足，提供一种具动力驱动的同轴旋转快速定位系统(power driven coaxial-rotatingfast-orientation system)和方法，以便有效节省标的找寻时间和增加定位准确率。
本发明所提供的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和方法是由如下技术方案来实现的。
一种具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其是用来对一显示面板的一标的点进行定位，该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号，其特征是包括：
一移动平台；
一X轴和Y轴电动马达传动装置，其是连接于该移动平台，以带动该移动平台作X轴和Y轴方向的移动；
一同轴旋转装置，其是设置于该移动平台上，用以承载一显示面板和对该显示面板进行坐标轴对位；
一坐标显示器，其是连接于该移动平台，用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和通过该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号来标定该标的点的坐标，以便定位出该标的点；以及
一固定显微镜，其是设置于该移动平台的上方，在该显微镜的视野内标有一十字记号，用以作为该同轴旋转装置调整该显示面板方位的参考坐标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的该闸极线和该信号线标号。
所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该同轴旋转装置包括：
一具方格线的平板，其是用来承载该显示面板，且在该平板的至少三个角落各形成一弧形滑槽，该至少三个弧形滑槽的滑动方向是位于同一圆周上，且该平板上的方格线是作为一对该显示面板坐标轴对位进行粗调的参考坐标；和
至少三个定位柱，其是各设置在相对应的该至少三个弧形滑槽中，且该定位柱的末端是固定在该移动平台上，该至少三个定位柱之一是一微调齿轮，该微调齿轮所相对应的该弧形滑槽的侧壁上具有一与该微调齿轮相配合的齿条，其余的定位柱的直径是与其相对应的弧形滑槽的口径相套合，旋转该微调齿轮带动该齿条，藉此使该平板沿着该圆周作角度移动。
所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该微调齿轮具有一刻度表尺，经换算成该平板的移动角度，以便于进行对该显示面板坐标轴对位的微调。
所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该显示面板是一待标记分析的薄膜晶体管液晶显示面板。
本发明还提供一种用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号，其特征是包括：
将该显示面板置放在一移动平台上：
藉由设置于该移动平台上方的一固定显微镜的视野内所标设的一十字记号，对该显示面板进行坐标轴对位，使该显示面板上的闸极线和信号线完全平行于该十字记号；
藉由连接于该移动平台的一X轴和Y轴电动马达传动系统，移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一闸极线标号：
将用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和用以标定该标的点的坐标的一坐标显示器的Y轴数值标定为y1；
藉由该传动系统移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一信号线标号；
将该坐标显示器的X轴数值标定为x1；以及
将该移动平台移动至该坐标显示器显示坐标为(x1，y1)处，此时在该固定显微镜的十字记号正下方所对应到该显示面板上的交会点，即为该标的点的位置。
所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：对该显示面板进行坐标轴对位的步骤，是藉由设置于该移动平台上的一同轴旋转装置来达成，该同轴旋转装置包括：
一具方格线的平板，其是用来承载该显示面板，且在该平板的至少三个角落各形成一弧形滑槽，该至少三个弧形滑槽的滑动方向位于同一圆周上，且该平板上的方格线是作为对该显示面板坐标轴对位进行粗调的参考坐标；
至少三个定位柱，其是各设置在相对应的该至少三个弧形滑槽中，且该定位柱的末端是固定在该移动平台上，该至少三个定位柱之一是一微调齿轮，该微调齿轮所相对应的该弧形滑槽的侧壁上具有一与该微调齿轮相配合的齿条，其余的定位柱的直径是与其相对应的弧形滑槽的口径相套合，其中，旋转该微调齿轮带动该齿条，藉此使该平板沿着该圆周作角度移动。
所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：在对该显示面板进行坐标轴对位粗调步骤时，该显示面板四个角落上的十字记号对准该平板的方格线的x轴和y轴，使该显示面板的水平和垂直方向大致各平行于该方格线的x轴和y轴。
所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：其中该微调齿轮具有一刻度表尺，经换算成该平板的移动角度，以便于进行对该显示面板坐标轴对位的微调。
本发明的第一实施态样是揭示一种具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其是用来对一显示面板的一标的点进行定位，其中该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号。该定位系统包括一移动平台、一X轴和Y轴电动马达传动装置、一同轴旋转装置、一坐标显示器和一固定显微镜。该传动系统是连接于该移动平台，以带动该移动平台作X轴和Y轴方向的移动；该同轴旋转装置是设置于该移动平台上，用以承载一显示面板和对该显示面板进行坐标轴对位；该坐标显示器是连接于该移动平台，用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和通过该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号来标定该标的点的坐标，以便定位出该标的点；以及该固定显微镜是设置于该移动平台的上方，该固定显微镜的视野内标有一十字记号，用以作为该同轴旋转装置调整该显示面板方位的参考坐标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的该闸极线和该信号线标号。
本发明的第二实施态样是揭示一种用来对一显示面板的一标的点进行定位的方法。首先，该定位方法是将该显示面板置放在一移动平台上，并藉由设置于该移动平台上方的一固定显微镜的视野内所标设的一十字记号，对该显示面板进行坐标轴对位，使该显示面板上的闸极线和信号线完全平行于该十字记号；之后，藉由连接于该移动平台的一X轴和Y轴电动马达传动系统，移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一闸极线标号后，将用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和用以标定该标的点的坐标的一坐标显示器的Y轴数值标定为y1；接着，藉由该传动系统移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一信号线标号后，将该坐标显示器的X轴数值定位为x1；最后，将该移动平台移动至该坐标显示器显示坐标为(x1，y1)处，此时在该固定显微镜的十字记号正下方所对应到该显示面板上的交会点，即为该标的点的位置。
本发明的优点在于：
利用本发明的同轴旋转快速定位系统来寻找出该些缺陷点，以便作激光标记和进行SEM分析或FIB分析，其所花费的找寻时间约只要3-5分钟，相对于目前通过人工寻找的方式，可大幅缩减10-60倍的找寻时间，且本发明的定位系统的准确率可达100％。再者，本发明的定位系统可适用于各种尺寸的面板，并适于离线(off-line)应用，例如实验室分析。因此，通过本发明的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统和定位方法，不但能有效节省标的找寻时间，且增加定位准确率。
藉由以下详细的描述结合所附图式，将可轻易地了解上述的技术内容及本发明的诸多优点。
附图说明
图1，是本发明的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统的一较佳实施态样的配置示意图；
图2A，是图1的同轴旋转装置的俯视图；以及
图2B，是图1的同轴旋转装置的微调齿轮的立体示意图。
具体实施方式
请参见图1，是本发明的动力驱动的同轴旋转快速定位系统10的一较佳实施态样的配置示意图。该定位系统10包括一移动平台11、一X轴和Y轴电动马达传动装置12、一同轴旋转装置13、一坐标显示器14和一固定显微镜15。其中，该移动平台11与该X轴和Y轴电动马达传动装置12连接，并用以承载和带动设置于其上的该同轴旋转装置13。该坐标显示器14连接于该移动平台11，并用以显示该传动装置12移动时的X轴和Y轴的数值以及用以监测和标定一标的点的坐标点。该同轴旋转装置13(请参见图2A所示的同轴旋转装置13的俯视图)包括一具方格线的平板131、三个定位柱132和一具有刻度表尺a的微调齿轮133，其中，该具方格线的平板131是用来承载一待标记分析的薄膜晶体管液晶显示面板16，且在该平板的四个角落各形成一弧形滑槽134，以便分别插入该三个定位柱132和该微调齿轮133，此四个弧形滑槽的滑动方向是位于同一圆周上，而该三个定位柱132和该微调齿轮133的末端是固定在该移动平台11上(未显示)，如图2B的该微调齿轮133的立体示意图所示，在该微调齿轮133所在的弧形滑槽134的侧壁上具有相对应于该微调齿轮133的齿条135，可在旋转该微调齿轮133时带动该齿条135，而使该平板131在该弧形滑槽内作角度移动，而该微调齿轮133上的刻度表尺a可经换算成该平板131的移动角度，以便于坐标轴对位的调整。该固定显微镜15是设置于该移动平台11的上方，其内具有一十字记号(未显示)，用以作为该微调齿轮调整在该平板上的该显示面板16方位的参考坐标。
本发明的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统10，如图1所示，可提供一快速而精确的定位方法，使操作员能循着该显示面板16上的闸极线和信号线的编号，快速寻找到交会的TFT标的点，以完成激光标记的工作。
首先，进行坐标轴对位步骤，将一待标记分析的显示面板16置放在该同轴旋转装置13的该具方格线的平板上。之后，先以该显示面板16四个角落上的十字记号(mark)均对准该平板的方格线的x轴和y轴，作四角对位粗调，使该显示面板16的水平和垂直方向大致各平行于该方格线的x轴和y轴。接着，转动该具有刻度表尺a的微调齿轮133，通过在该固定显微镜15内的十字记号的参考坐标，使该显示面板16上的闸极线(水平线)和信号线(垂直线)完全各平行于该固定显微镜15内的十字记号。此时，该显示面板16上的闸极线和信号线，即分别与该坐标显示器14所显示的X轴和Y轴平行(亦即沿同一条闸极线移动时，Y轴显示始终为一定值)。
然后，根据先前所记录的所有具缺陷的闸极线和信号线的编号，进行坐标点定位步骤。藉由该传动装置12移动置放在该移动平台11上的该显示面板16，并通过该固定显微镜15的十字记号寻找对准到在该显示面板16上侧边标示G100的闸极线，此时将该坐标显示器14的Y轴数值定位为y1，之后再移动在该移动平台11上的该显示面板16，将该显示面板16上侧边标示S100的信号线对准到该固定显微镜15的十字记号，此时将该坐标显示器14的X轴数值定位为x1。于是，通过该坐标显示器14，将该移动平台11移至该坐标显示器14显示坐标(x1，y1)处，此时在该固定显微镜15的十字记号正下方所对应到该显示面板16上的交会点，即为所欲寻找的第一个缺陷TFT标的点。之后便以激光注记装置在该第一个缺陷TFT的周围处作标记。然后，以相同于上述的坐标点定位步骤，找出位于(G100，S200)的第二个缺陷TFT标的点并完成激光标记。当把其他缺陷点都一一寻找出并即时以激光标记后，再将已完成标记的该显示面板16进行SEM分析或FIB分析。
以上所述，是利用较佳实施例详细说明本发明，而非限制本发明的范围，而熟知此类技艺人士皆能明了，适当而作些微的改变及调整，仍将不失本发明的要义所在，亦不脱离本发明的精神和范围。
Claims (8)
1、一种具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其是用来对一显示面板的一标的点进行定位，该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号，其特征是包括：
一移动平台；
一X轴和Y轴电动马达传动装置，其是连接于该移动平台，以带动该移动平台作X轴和Y轴方向的移动；
一同轴旋转装置，其是设置于该移动平台上，用以承载一显示面板和对该显示面板进行坐标轴对位；
一坐标显示器，其是连接于该移动平台，用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和通过该标的点在该显示面板上相对应的一闸极线和一信号线标号来标定该标的点的坐标，以便定位出该标的点；以及
一固定显微镜，其是设置于该移动平台的上方，在该显微镜的视野内标有一十字记号，用以作为该同轴旋转装置调整该显示面板方位的参考坐标和寻找对准到该标的点在该显示面板上相对应的该闸极线和该信号线标号。
2、根据权利要求1所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该同轴旋转装置包括：
一具方格线的平板，其是用来承载该显示面板，且在该平板的至少三个角落各形成一弧形滑槽，该至少三个弧形滑槽的滑动方向是位于同一圆周上，且该平板上的方格线是作为一对该显示面板坐标轴对位进行粗调的参考坐标；和
至少三个定位柱，其是各设置在相对应的该至少三个弧形滑槽中，且该定位柱的末端是固定在该移动平台上，该至少三个定位柱之一是一微调齿轮，该微调齿轮所相对应的该弧形滑槽的侧壁上具有一与该微调齿轮相配合的齿条，其余的定位柱的直径是与其相对应的弧形滑槽的口径相套合，旋转该微调齿轮带动该齿条，藉此使该平板沿着该圆周作角度移动。
3、根据权利要求2所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该微调齿轮具有一刻度表尺，经换算成该平板的移动角度，以便于进行对该显示面板坐标轴对位的微调。
4、根据权利要求1所述的具动力驱动的同轴旋转快速定位系统，其特征是：其中该显示面板是一待标记分析的薄膜晶体管液晶显示面板。
5、一种用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，该显示面板上具有矩阵式的闸极线和信号线的标号，其特征是包括：
将该显示面板置放在一移动平台上：
藉由设置于该移动平台上方的一固定显微镜的视野内所标设的一十字记号，对该显示面板进行坐标轴对位，使该显示面板上的闸极线和信号线完全平行于该十字记号；
藉由连接于该移动平台的一X轴和Y轴电动马达传动系统，移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一闸极线标号：
将用以显示该移动平台移动时的X轴和Y轴的数值和用以标定该标的点的坐标的一坐标显示器的Y轴数值标定为y1；
藉由该传动系统移动在该移动平台上的该显示面板，并通过该固定显微镜的十字记号，寻找对准到该标的点在该显示面板上的相对应的一信号线标号；
将该坐标显示器的X轴数值标定为x1；以及
将该移动平台移动至该坐标显示器显示坐标为(x1，y1)处，此时在该固定显微镜的十字记号正下方所对应到该显示面板上的交会点，即为该标的点的位置。
6、根据权利要求5所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：对该显示面板进行坐标轴对位的步骤，是藉由设置于该移动平台上的一同轴旋转装置来达成，该同轴旋转装置包括：
一具方格线的平板，其是用来承载该显示面板，且在该平板的至少三个角落各形成一弧形滑槽，该至少三个弧形滑槽的滑动方向位于同一圆周上，且该平板上的方格线是作为对该显示面板坐标轴对位进行粗调的参考坐标；
至少三个定位柱，其是各设置在相对应的该至少三个弧形滑槽中，且该定位柱的末端是固定在该移动平台上，该至少三个定位柱之一是一微调齿轮，该微调齿轮所相对应的该弧形滑槽的侧壁上具有一与该微调齿轮相配合的齿条，其余的定位柱的直径是与其相对应的弧形滑槽的口径相套合，其中，旋转该微调齿轮带动该齿条，藉此使该平板沿着该圆周作角度移动。
7、根据权利要求6所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：在对该显示面板进行坐标轴对位粗调步骤时，该显示面板四个角落上的十字记号对准该平板的方格线的x轴和y轴，使该显示面板的水平和垂直方向大致各平行于该方格线的x轴和y轴。
8、根据权利要求6所述的用具动力驱动的同轴旋转快速定位系统来对显示面板的标的点进行定位的方法，其特征是：其中该微调齿轮具有一刻度表尺，经换算成该平板的移动角度，以便于进行对该显示面板坐标轴对位的微调。
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| CN1566971A (zh) | 2005-01-19 |
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