CN1313331C - 洁净容器结构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种洁净容器结构，是将一支撑架直接由一洁净容器本体的前侧开口置入、并容设于洁净容器本体的内部容室内部，并再于洁净容器本体的上、下方分别设置有上、下取付板，且上、下取付板则再与支撑架相互组设。由于洁净容器本体并无须如传统般再于其它位置开设开孔以作为容置支撑架之用，因此，洁净容器本体不仅于制造上以及组装上极为方便，且洁净容器本体的结构强度亦不会受到破坏，同时，于洁净容器本体开孔面积减少的情形下，亦可维持洁净容器本体内部容室的气密性，而可避免外界水气或是微尘粒子进入洁净容器本体。

Description

洁净容器结构

技术领域

本发明涉及一种洁净容器结构，尤指一种适用于合理化荷重承载作用力传递方式、并可提高结构强度与精度、气密性、及静电防护的洁净容器结构。

背景技术

目前半导体厂所生产的晶圆片往往是容纳并水平排列于一晶舟内，此晶舟具有多个支撑凸缘而可用以插置多个晶圆片，此晶舟可再组设于一洁净容器本体的下侧板上，之后再通过洁净容器本体的盒盖加以罩盖以保护各个晶圆片，使其于生产制造的传送、储放及载卸的过程中，保持超高洁净度的环境，而不会受到微粒粉尘的污染。

请参阅图1，其是公知洁净容器结构的立体分解图，其中显示有一洁净容器本体91、一上取付板92、以及一晶舟93，且洁净容器本体91的上侧板911开设有一上组设孔913、下侧板912开设有一下组设孔914，而晶舟93则是由下组设孔914置入并容置于洁净容器本体91的内部容室910内，且上取付板92再穿经上组设孔913而与晶舟93的顶部931相互组设。

然而，直接于洁净容器本体91的上侧板911与下侧板912直接开设有一上组设孔913与一下组设孔914的设计方式，不仅于制造上及组装上非常不易且成本高昂，且亦容易造成洁净容器本体91的结构强度受到破坏。此外，洁净容器本体91的开孔过多且面积过大，其内部容室910的气密性亦容易受到影响，因而容易造成外界水气或是微尘粒子进入，并非十分理想，仅能增设气密垫圈以强化其气密效果。此外，由于洁净容器本体91等组件的死角过多，容易造成其利用相关清洗设备进行清洗时，清洗及烘干不易的现象。

发明内容

本发明的主要目的是在提供一种洁净容器结构，使能提高洁净容器本体的结构强度，且承载荷重时作用力传递方式较佳，洁净容器于自动化传送时，不会因荷重产生变形而影响精度，同时可维持洁净容器本体内部容室的气密性，还可提供静电防护的效果，并易于清洗、烘干等维护作业。

为达到上述目的，本发明的洁净容器结构主要包括有一洁净容器本体、一支撑架、一上取付板、以及一下取付板。其中，洁净容器本体还包括有一内部容室、一前侧开口、一上板、以及一下板，且于上板贯设有数个通孔，于下板贯设有数个穿孔。

此外，支撑架是容设于上述洁净容器本体的内部容室内部，且此支撑架包括有一上横板、以及二侧板，其中的二侧板是分别由上横板的二侧向下延伸，而上横板的上方还向上凸设有数个上固定结构，二侧板的底部还分别向下凸设有数个下固定结构，且二侧板还分别包括有一内侧面，于二内侧面上还分别设有数条插槽。

另外，上取付板是设置于上述洁净容器本体上板的上方，且此上取付板包括有数个上固定组件，其是分别对应穿经洁净容器本体上板的数个通孔且分别固定于支撑架上横板的数个上固定结构。而下取付板则是设置于上述洁净容器本体下板的下方，且此下取付板包括有数个下固定组件，其是分别对应穿经洁净容器本体下板的数个穿孔分别固定于支撑架二侧板底部的数个下固定结构。

由上述可知，本发明的支撑架可由洁净容器本体的前侧开口直接置入并容设于洁净容器本体的内部容室内部，因此，本发明的洁净容器本体并无须如公知技术般再于其它位置开设开孔以作为组装时容置支撑架之用，于此情形下，洁净容器本体不仅于制造上以及组装上极为方便，承载荷重时作用力传递方式较为优异，且洁净容器本体的结构强度亦不会受到破坏，有助于洁净容器于自动化传送时，不会因荷重产生变形而影响支撑架插槽位置精度。同时，于洁净容器本体开孔面积减少的情形下，亦可维持洁净容器本体内部容室的气密性，有效隔离外界水气或是微尘粒子进入洁净容器本体，还可提高洁净容器因功能或制造工艺需求须进行惰性气体充填时的保持效果。此外，支撑架更因模块化的组设方式与创新概念，对洁净容器本体整体的制作质量、材料选用的弹性、与生产成本的降低，皆有显著的效益。

另外，上述用以承载晶圆片的支撑架可以使用导电材质所制成，如此即可形成一静电防护功能(Electrostatic Discharge，ESD)，因此，对于洁净容器本体与支撑架的静电防护功能亦可获得良好的建立。

又本发明的支撑架尚可于其二侧板的底部连接有一下横板。此外，前述的支撑架其上横板、二侧板、与下横板则可以一体成形方式制造。

附图说明

图1是公知洁净容器结构的立体分解图。

图2是本发明第一较佳实施例的立体分解图。

图3是本发明第一较佳实施例的立体组合图。

图4是图3的固定结构与固定组件的剖面图。

图5是本发明第二较佳实施例的立体分解图。

图6是本发明第二较佳实施例的立体组合图。

其中，附图标记说明如下：

1洁净容器本体        11内部容室          12前侧开口

13上板               131通孔             14下板

141穿孔              15左侧板            151左侧握把

16右侧板             2支撑架             21上横板

211上固定结构        212扣合孔           22侧板

221底部              222下固定结构       223顶部

224扣合勾            225内侧面           226插槽

3上取付板            31上固定组件        311上螺栓

312上贯孔            4下取付板           41下固定组件

411下螺栓            412下贯孔           5支撑架

51上横板             52侧板              521底部

53下横板             61，62晶圆片        7 O形环

8接地件

具体实施方式

为使本发明的技术内容得到更进一步的了解，特举二较佳具体实施例说明如下。

请同时参阅图2是本发明第一较佳实施例的立体分解图、图3是本发明第一较佳实施例的立体组合图、及图4是图3的固定结构与固定组件的剖面图，其中显示有一洁净容器结构，其包括有一洁净容器本体1、一支撑架2、一上取付板3、以及一下取付板4。

所附附图中的洁净容器本体1还包括有一内部容室11、一前侧开口12、一上板13、一下板14、一左侧板15、以及一右侧板16，于左侧板15的外侧组设有一左侧握把151，于右侧板16的外侧相对组设有一右侧握把(图未示)，且于上板13贯设有数个通孔131，于下板14的二侧贯设有数个穿孔141。

此外，附图中的支撑架2于本实施例中是为一用以插置晶圆片61的晶舟，且其是由洁净容器本体1的前侧开口12直接置入并容设于洁净容器本体1的内部容室11内部，且此支撑架2包括有一上横板21、以及二侧板22，其中的二侧板22是分别由上横板21的二侧向下延伸，且此二侧板22分别包括有一内侧面225，于二内侧面225上则分别设有数条插槽226，其是用以插置数个晶圆片61。而上横板21的上方向上凸设有数个上固定结构211，二侧板22的底部221分别向下凸设有数个下固定结构222，且于本实施例中，上固定结构211与下固定结构222分别使用一螺孔。

另外，附图中的上取付板3设置于洁净容器本体1上板13的上方，且此上取付板3包括有数个上固定组件31，于本实施例中，每一上固定组件31分别包括有一上螺栓311、以及一上贯孔312，每一上螺栓311则分别穿经每一上贯孔312与洁净容器本体1上板13的每一通孔131，并再对应螺锁于支撑架2上横板21的每一上固定结构211的螺孔。

同样的，下取付板4是设置于洁净容器本体1下板14的下方，且此下取付板4的二侧分别包括有数个下固定组件41，于本实施例中，每一下固定组件41分别包括有一下螺栓411、以及一下贯孔412，每一下螺栓411则分别穿经每一下贯孔412与洁净容器本体1下板14的每一穿孔141，并再对应螺锁于支撑架2二侧板22底部221的每一下固定结构222的螺孔。

于上述组装过程中，左侧握把151与右侧握把(图未示)分别与下取付板4之间连接有一左接地件8与一右接地件(图未示)，其分别是由导电材质所制成，且左侧握把151、右侧握把(图未示)亦由导电材质所制成。此外，于每一上固定组件31与每一上固定结构211之间、以及于每一下固定组件41与每一下固定结构222之间，可分别组设有三个O形环7，其可用以密封洁净容器本体1的内部容室11而形成气密。

另上述结构于组装完成后，上、下取付板3，4与支撑架2之间是彼此直接组设而可形成一体受力的情形，如此当施力于上取付板3时，是直接由支撑架2受力而与洁净容器本体1无关，故可避免洁净容器本体1因为受不当外力而造成变形而影响支撑架的精度功能或损坏的问题。

由上述可知，支撑架2是直接由洁净容器本体1的前侧开口12置入并容设于洁净容器本体1的内部容室11内部，因此，洁净容器本体1无须如公知技术般再于其它位置开设开孔以作为容置支撑架2之用，于此情形下，洁净容器本体1不仅于制造上以及组装上皆极为方便，且洁净容器本体1的结构强度亦不会受到破坏，同时，于洁净容器本体1开孔面积减少的情形下，亦可维持洁净容器本体1内部容室11的气密性，而可避免外界水气或是微尘粒子进入洁净容器本体1。此外，支撑架2更因模块化的组设方式与创新概念，对洁净容器本体1整体的制作质量、材料选用的弹性、与生产成本的降低，皆有显著的效益。另外，由于洁净容器本体1的开孔面积已大为减少，相对使其不会产生死角过多的问题，因此于利用相关清洗设备进行清洗时，可易于清洗以及烘干。

请再参阅图2，于本实施例中，上述的支撑架2的上横板21的二侧是分别包括有二扣合孔212，且二侧板22的顶部223分别包括有二扣合勾224，其是可分别对应扣合于上横板21二侧的二扣合孔212，亦即上横板21与二侧板22于本实施例中是采用分件方式设计，当然亦可以一体成形方式设计。

请再参阅图3，上述用以承载晶圆片61的支撑架2于本实施例中是使用聚醚酰亚胺加碳纤(Polyetherimide，PEI & Carbon Fiber)的导电材质所制成，借此即可形成一静电防护功能(Electrostatic Discharge，ESD)，当然亦可使用聚醚醚酮加碳纤(Polyetheretherketon，PEEK & Carbon Fiber)等其它等效材质。通过前述设计方式，洁净容器本体1与支撑架2的静电防护功能亦可获得良好的建立。当然，上、下取付板3，4亦可使用导电材质所制成，如此可进一步增加静电防护功能。同时，左侧握把151与右侧握把(图未示)可配合亦由导电材质所制成的左、右接地件8而增加其静电防护功能。

请同时参阅图5是本发明第二较佳实施例的立体分解图、及图6是本发明第二较佳实施例的立体组合图，其主要结构皆与上述第一较佳实施例相同，差别仅在于本实施例中用以承载晶圆片62的支撑架5还包括有一下横板53，此下横板53是连接于支撑架5二侧板52的底部521，且此支撑架5的上横板51、二侧板52、与下横板53是以一体成形方式制造。当然，前述的上横板51、二侧板52、与下横板53亦可如同上述第一较佳实施例以分件方式制造。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的权利范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。本发明的承载物自然亦不限于半导体，如晶圆片，其它如光罩、玻璃基板等需要洁净制造工艺环境的产品皆是其应用。

Claims (20)

1.一种洁净容器结构，包括：

一洁净容器本体，包括有一内部容室、一前侧开口、一上板、及一下板，且该上板贯设有数个通孔，该下板贯设有数个穿孔；

一支撑架，容设于该洁净容器本体的内部容室内部，且该支撑架包括有一上横板、及二侧板其是分别由该上横板二侧向下延伸，该上横板的上方向上凸设有数个上固定结构，该二侧板的底部分别向下凸设有数个下固定结构，且该二侧板分别包括有一内侧面，该二内侧面分别设有数条插槽；

一上取付板，设置于该洁净容器本体上板的上方，且该上取付板包括有数个上固定组件其是分别对应穿经该洁净容器本体上板的所述通孔分别固定于该支撑架上横板的所述上固定结构；以及

一下取付板，设置于该洁净容器本体下板的下方，且该下取付板包括有数个下固定组件其是分别对应穿经该洁净容器本体下板的所述穿孔分别固定于该支撑架二侧板底部的所述下固定结构。

2.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该支撑架的该上横板与该二侧板是以一体成形方式制造。

3.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该支撑架上横板的所述上固定结构是分别为一螺孔，且该上取付板的所述上固定组件分别包括有一上螺栓、及一上贯孔，所述上螺栓分别穿经所述上贯孔而对应螺锁于所述螺孔。

4.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该支撑架二侧板底部的所述下固定结构分别为一螺孔，且该下取付板的所述下固定组件分别包括有一下螺栓、及一下贯孔，所述下螺栓分别穿经所述下贯孔而对应螺锁于所述螺孔。

5.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，所述上固定组件与所述上固定结构之间组设有至少一O形环，且所述下固定组件与所述下固定结构之间亦组设有至少一O形环。

6.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该支撑架的上横板的二侧分别包括有至少一扣合孔，且该二侧板的顶部分别包括有至少一扣合勾其是分别对应扣合于该上横板二侧的该至少一扣合孔。

7.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该支撑架、该上取付板、及该下取付板是由导电材质所制成。

8.如权利要求1所述的洁净容器结构，其中，该洁净容器本体还包括有一左侧板、及一右侧板，且该左侧板的外侧组设有一左侧握把，该右侧板的外侧组设有一右侧握把。

9.如权利要求8所述的洁净容器结构，其中，该洁净容器本体还包括有一左接地件、及一右接地件，该左接地件是连接于该左侧握把与该下取付板之间，该右接地件是连接于该右侧握把与该下取付板之间。

10.如权利要求9所述的洁净容器结构，其中，该左侧握把、该右侧握把、该左接地件、及该右接地件是分别由导电材质所制成。

11.一种洁净容器结构，包括：

一洁净容器本体，包括有一内部容室、一前侧开口、一上板、及一下板，且该上板贯设有数个通孔，该下板贯设有数个穿孔；

一支撑架，是容设于该洁净容器本体的内部容室内部，且该支撑架包括有一上横板、二侧板、及一下横板，其中该二侧板是分别由该上横板二侧向下延伸，该下横板是连接于该二侧板的底部，该上横板的上方向上凸设有数个上固定结构，该二侧板的底部分别向下凸设有数个下固定结构，且该二侧板分别包括有一内侧面，该二内侧面分别设有数条插槽；

一上取付板，是设置于该洁净容器本体上板的上方，且该上取付板包括有数个上固定组件其分别对应穿经该洁净容器本体上板的所述通孔并分别固定于该支撑架上横板的所述上固定结构；以及

一下取付板，设置于该洁净容器本体下板的下方，且该下取付板包括有数个下固定组件其是分别对应穿经该洁净容器本体下板的所述穿孔并分别固定于该支撑架二侧板底部的所述下固定结构。

12.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该支撑架的上横板、二侧板、与下横板是以一体成形方式制造。

13.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该支撑架上横板的所述上固定结构分别为一螺孔，且该上取付板的所述上固定组件分别包括有一上螺栓、及一上贯孔，所述上螺栓分别穿经所述上贯孔而对应螺锁于所述螺孔。

14.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该支撑架二侧板底部的所述下固定结构分别为一螺孔，且该下取付板的所述下固定组件分别包括有一下螺栓、及一下贯孔，所述下螺栓分别穿经所述下贯孔而对应螺锁于所述螺孔。

15.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，所述上固定组件与所述上固定结构之间组设有至少一O形环，且所述下固定组件与所述下固定结构之间亦组设有至少一O形环。

16.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该支撑架的上横板的二侧分别包括有至少一扣合孔，且该二侧板的顶部分别包括有至少一扣合勾其是分别对应扣合于该上横板二侧的该至少一扣合孔。

17.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该支撑架、该上取付板、及该下取付板是由导电材质所制成。

18.如权利要求11所述的洁净容器结构，其中，该洁净容器本体还包括有一左侧板、及一右侧板，且该左侧板的外侧组设有一左侧握把，该右侧板的外侧组设有一右侧握把。

19.如权利要求18所述的洁净容器结构，其中，该洁净容器本体还包括有一左接地件、及一右接地件，该左接地件连接于该左侧握把与该下取付板之间，该右接地件连接于该右侧握把与该下取付板之间。

20.如权利要求19所述的洁净容器结构，其中，该左侧握把、该右侧握把、该左接地件、及该右接地件分别由导电材质所制成。

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