CN120164831A - 搬运晶圆载具的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种搬运晶圆载具的装置及方法，该搬运晶圆载具的装置包括有平台以及梯座。该平台具有第一轨道，该梯座贴靠该平台且具有开口，该开口承接藉由该第一轨道移动的该晶圆载具进入该梯座中，该梯座更包括有复数个承接座以及定位结构。当该平台置放该晶圆载具，以该第一轨道移动该晶圆载具至该承接座上，再以该梯座的第二轨道进行第一位移运动，并以该定位结构使另一该承接座对应该开口位置。经由上述，复数个晶圆载具处于叠层状态，并在该梯座内部，因此可以避免环境粉尘之污染，也能因连续性的负载与卸载该晶圆载具，而提高产能。

Description

搬运晶圆载具的装置及方法

技术领域

本发明系关于搬运的装置与方法，尤其是关于晶圆载具的开启与搬运的一种搬运晶圆载具的装置及方法。

背景技术

在半导体装置的制造，由于集成电路晶片的易碎性质，因此在制造中，半导体晶圆的传送尤其重要。此外，在制作时，亦常需要进行多重制作步骤来完成制程，使得半导体晶圆必须在各种工作站之间进行储存或运输以执行各种制程。

典型的半导体制造设施具有多个处理区，其包括半导体处理机台及晶圆集结设备。而每一处理区可都有储料器，储料器可临时盛放多个晶圆载具或者准备将晶圆载具运送到半导体处理机台的装载埠。在晶圆载具中通常储存多个半导体晶圆，用于将半导体晶圆在整个制造设施中移动到不同的半导体处理机台。

此外，自动化材料搬运系统(AMHS)已广泛用于半导体制作场所中，在各种处理机器之间自动地搬运及运输多组晶圆或多批晶圆。在半导体制程期间，多个晶圆通常被一起储存在晶圆载具中，除了顾及晶圆的易碎性外，也需要顾及环境粉尘对晶圆的污染，因此，采用空中起重运输工具(OHT)为常用于将晶圆载具从一个工具的装载埠运输到处理序列中的下一工具的装载埠，由OHT传递系统运输的晶圆载具在传递过程期间通常具有门来进行生产品质控制。

而熟知的方式，是需要手动地开启晶圆载具的门及将所述晶圆载具放入所述装载埠中，此方式在FAB中会造成工作效率瓶颈。在现今制造设施中，会限制操作人员出现在处理区中，以及需要提高半导体制造的效率。因此，需要除了自动将晶圆盒装载到装载埠及从装载埠卸载晶圆盒，以及最小人力需求时并提高制造效率的制造设施，同时还顾及环境粉尘对晶圆的污染，防护环境外部污染物进入，降低对晶圆载具内晶圆的污染，都是业界所期望的。

发明内容

有鉴于上述熟知的问题，本发明的一目的在于容许输入较多的晶圆载具，使得等待的晶圆载具处于叠层状态，因此提高连续性的负载与卸载，藉此提高产能。

本发明的另一目的在于输入较多的晶圆载具，再逐一的开启该晶圆载具，减少该晶圆载具内的晶圆接触外界环境，进而不受外界粉尘污染。

本发明提供一种搬运晶圆载具的装置，其包括有一平台以及一梯座。该平台具有复数个第一定位结构以及一第一轨道，复数个该定位结构设置于该平台的一承接台上，该平台置放一晶圆载具，且以该第一轨道移动该晶圆载具。该梯座贴靠该平台，该梯座一侧面具有一开口，以该开口承接由该第一轨道移动的该晶圆载具进入该梯座中，该梯座更包括有复数个开盖机构、一承载架以及复数个承接座。

复数个开盖机构排列在该梯座的一内表面上。该承载架设置于该梯座内，该承载架的四侧边皆以一第二轨道与该梯座相互连接，该承载架具有复数层储存面，用以承载复数个该晶圆载具，两个该储存面之间有一间距。该承接座具有复数个第二定位结构，每一该承接座被设置于每一该储存面上，且每一该承接座设置一移载机构。

其中，该承接台藉由该第一定位结构定位该晶圆载具底部，使得该晶圆载具置放至该承接台上，该平台以该第一轨道移动该晶圆载具往该开口，同时该承载架以该第二轨道进行一第一位移运动，使复数个该承接座之一移动至邻近该开口的一预定位置；其中，该平台以该第一轨道移动该晶圆载具进入该开口，该承接座藉由该第二定位结构定位该晶圆载具，使得该晶圆载具置放至该承接座上；其中，该承接座上的该晶圆载具，藉由该第二轨道进行一第一位移运动，以及该移载机构进行一第二位移运动，使该晶圆载具一侧贴靠复数个该开盖机构之一，开启该晶圆载具的一门盖。

在一较佳实施例中，该平台位于一第一环境，该梯座内为一第二环境，该第一环境与该第二环境中的环境粉尘数量状态为不同。

在一较佳实施例中，该第一轨道的移动方向与该第一位移运动的移动方向相垂直，该第一位移运动的移动方向与该第二位移运动的移动方向相垂直。

在一较佳实施例中，该搬运晶圆载具的装置更包括有一运输工具，该晶圆载具通过该运输工具而位于该平台上。

在一较佳实施例中，该梯座更包括有一取货盖门，该取货盖门位于相邻于该侧面的另一侧面，该梯座将开启该门盖的该晶圆载具移动至该取货盖门。

在一较佳实施例中，该搬运晶圆载具的装置更包括有一机械手臂，以该机械手臂至该取货盖门抽取该晶圆载具内的复数个晶圆。

在一较佳实施例中，位于该预定位置的该承接座顶部，低于移动至该梯座内的该晶圆载具底部。

在一较佳实施例中，该梯座更包括有一晶圆侦测器，该晶圆侦测器设置邻近于该取货盖门，用以侦测复数个该晶圆在该晶圆载具内的排列状态。

在一较佳实施例中，该移载机构包括有一推进气缸以及两个缓冲器，该推进气缸与两个该缓冲器分别设置于该承接座相对的两侧，该承接座底部与该推进汽缸的一推进部相连接，该推进汽缸推动该承接座进行该第二位移运动，当该承接座底部抵靠两个该缓冲器，则逐步减缓该第二位移运动至停止。

在一较佳实施例中，该承接座还包括有一载具扣具，该载具扣具与该推进气缸相连通，该推进汽缸推动该承接座进行该第二位移运动，同时，该载具扣具将该晶圆载具底部扣合，该晶圆载具稳定进行该第二位移运动以及开启该门盖。

此外，本发明亦提供一种搬运晶圆载具的方法，其包括有下列步骤：

a.提供一平台、一运输工具以及一梯座，该平台具有一第一轨道，该梯座贴靠该平台，该梯座一侧面具有一开口，该梯座更包括有：复数个开盖机构、一承载架、复数个承接座以及一取货盖门，复数个该开盖机构排列在该梯座的一内表面上，该承载架设置于该梯座内，且其四侧边皆以一第二轨道与该梯座相互连接，该承载架具有复数层储存面，每一该承接座被设置于每一该储存面上，且每一该承接座具有一移载机构，该取货盖门位于相邻于该开口的另一侧面上。

b.将一晶圆载具置于该平台上。

c.移动该晶圆载具通过该开口至该承接座上。

d.该承载架以该第二轨道进行一位移运动。

e.是否另一该承接座移动至一预定位置；若是，则以另一该承接座承载该晶圆载具；若否，重复该步骤d。

f.是否复数个该承接座皆承载该晶圆载具；若是，则以一机械手臂开启该取货盖门；若否，重复该步骤b。

在一较佳实施例中，该步骤f中，以该机械手臂开启该取货盖门前，将该晶圆载具贴靠该开盖机构。

在一较佳实施例中，该步骤c之后更包括有下列步骤：

c2.将该平台以该第一轨道移回至原位。

需要额外说明的是，在一较佳实施例中，步骤b还包括有以下步骤：

b1.以该运输工具自空中运送一晶圆载具至该平台正上方。

b2.该运输工具将该晶圆载具移动至邻近该平台正上方。

b3.该平台的一承接台移动至邻靠该晶圆载具，藉由设置于该承接台上的复数个第一定位结构定位该晶圆载具，并将该晶圆载具置放至该承接台上。

b4.该承接台移动至原位，使得该晶圆载具藉由该承接台置放至该平台上。

此外，步骤c还包括有以下步骤：

c11.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具至该开口。

c12.该承载架以该第二轨道进行一第一位移运动，使复数个该承接座之一移动至邻近该开口的一预定位置。

c13.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具通过该开口至该梯座内。

c14.该承载架以该第二轨道进行该第一位移运动，使该承接座藉由该第二定位结构定位该晶圆载具底部，使得该晶圆载具置放至该承接座上。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的另一视角结构示意图；

图3为图1的部分结构示意图；

图4为图3的部分结构示意图；

图5为本发明移载机构与晶圆载具的结构示意图；

图6为本发明移载机构与晶圆载具的另一视角结构示意图；

图7为本发明移载机构与晶圆载具的分解示意图；

图8为本发明搬运晶圆载具的方法的步骤图；

图9为图8中步骤b的详细步骤图；

图10为图8中步骤c的详细步骤图。

附图中，各标号所代表的部件名称如下：

1：搬运晶圆载具的装置

2：平台

21：第一轨道

22：承接台

3：梯座

31：开口

32：开盖机构

33：承接座

331：第二轨道

34：晶圆侦测器

35：移载机构

36：取货盖门

351：推进汽缸

3511：推进部

352：缓冲器

4：晶圆载具

41：门盖

42：载具扣具

5：第一定位结构

6：第二定位结构

7：承载架

71：储存面

81：第一位移运动

82：第二位移运动

91：第一环境

92：第二环境

D1：第一方向

D2：第二方向

D3：第三方向

R：间距

a～f：步骤

c2：步骤

b1～b4：步骤

c11～c14：步骤

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本发明说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”、“复数个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”、“下”可以是第一特征直接和第二特征接触，或第一特征和第二特征间接地通过中间媒介接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

除非另有定义，本发明的说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常知识的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本发明的说明书所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图4所示，本发明提供的一种搬运晶圆载具的装置1，其包括有：一平台2以及一梯座3。

该平台2具有复数个第一定位结构5以及一第一轨道21，复数个该定位结构5设置于该平台2的一承接台22上，该平台2置放一晶圆载具4，且以该第一轨道21移动该晶圆载具4。在本发明的一实施例中，该第一定位结构5可以是突出的锚点、带有纹路的接合定点，或是可停止该晶圆载具4晃动的稳固装置，但不以此为限。

该梯座3贴靠该平台2，该梯座3一侧面具有一开口31，以该开口31承接由该第一轨道21移动的该晶圆载具4进入该梯座3中，该梯座3更包括有：复数个开盖机构32、一承载架7以及复数个承接座33。

复数个开盖机构32排列在该梯座3的一内表面上。在本较佳实施例中，是以四个开盖机构32为示例，该开盖机构32是两两排列，分别位于该内表面的顶部与底部(图中未示)，但不以此为限。

该承载架7设置于该梯座3内，该承载架7的四侧边皆以一第二轨道331与该梯座3相互连接，该承载架7具有复数层储存面71，用以承载复数个该晶圆载具4，两个该储存面71之间有一间距R。在本较佳实施例中，该承载架7是以四层储存面71为示例，但不以此为限。该第二轨道331分别设置于该梯座3内部空间的四角落处(两个该第二轨道331图中遮蔽未示)，使得四个该第二轨道331将该承载架7相互连接，且该承载架7形成复数层排列。

该承接座33具有复数个第二定位结构6，每一该承接座33被设置于每一该储存面71上，且每一该承接座33具有一移载机构35。在本较佳实施例中，是以四个承接座33为示例，四个该承接座33分别位于四层储存面71上，并形成四层排列，但不以此为限。也就是说，通过上述的设置结构，该梯座3经由四个该第二轨道331的加固式设置，使得本发明搬运晶圆载具的装置1在执行工作时，该梯座3承载及运输该晶圆载具4时，得以持续且稳定的承载及运输该晶圆载具4，相较于熟知以吊臂进行执行工作，得以更加稳定保全该晶圆载具4以及其中承载的晶圆。在本发明的一实施例中，该第二定位结构6可以是突出的锚点、带有纹路的接合定点，或是可停止该晶圆载具4晃动的稳固装置，但不以此为限。

其中，该承接台藉由该第一定位结构5定位该晶圆载具4的底部，使得该晶圆载具4置放于该承接台22上，该平台2以该第一轨道21移动该晶圆载具4往该开口31，同时该承载架7以该第二轨道331进行一第一位移运动81，使复数个该承接座33之一移动至邻近该开口31的一预定位置，也就是说，该平台2以该第一轨道21自一第一方向D1移动该晶圆载具4至该开口31处，同时，该承载架7以该第二轨道331自一第二方向D2进行该第一位移运动81，将位于该储存面71上的复数个该承接座33之一移动至该预定位置。在本较佳实施例中，该第一位移运动81使得该承接座33可垂直方向升降，但不以此为限。额外说明的是，该第一方向D1与该第二方向D2为相互垂直。

此外，该平台2以该第一轨道21移动该晶圆载具4进入该开口31处至该梯座3内，该承接座33藉由该第二定位结构6定位该晶圆载具4的底部，使得该晶圆载具4置放至该承接座33上。也就是说，在本实施例中，位于该预定位置的该承接座33的顶部，低于移动至该梯座3内的该晶圆载具4的底部，藉由该承载架7进行该第一位移运动81后，该承接座33以该第二定位结构6定位该晶圆载具4，并将其置放至该承接座33上。另外，位于该承接座33上的该晶圆载具4，藉由该第二轨道331自该第二方向D2进行该第一位移运动81，以及该移载机构35自一第三方向D3进行一第二位移运动82，使该晶圆载具4一侧贴靠复数个该开盖机构32之一后，得以开启该晶圆载具4的一门盖41，在本较佳实施例中，该第三方向D3与该第二方向D2为相互垂直。

请附加参阅图4至图7所示，额外说明的是，在本较佳实施例中，该移载机构35包括有一推进汽缸351以及两个缓冲器352，在本较佳实施例中，该推进汽缸351为一体双汽缸类型的推拉式汽缸，可单杆或多杆的推拉汽缸，但不以此为限，该推进气缸351与两个该缓冲器352分别设置于该承接座33相对的两侧，该承接座33底部与该推进汽缸351的一推进部3511相连接，该推进汽缸351推动该承接座33进行该第二位移运动82，当该承接座33底部抵靠两个该缓冲器352，则逐步减缓该第二位移运动82至停止。

进一步说明的是，该推进汽缸351设置于邻靠该承接座33一侧的中央区域，该缓冲器352设置于邻靠该承接座33另一侧的两端区域，该推进汽缸351与该缓冲器352两者为相对方向，当该推进汽缸351推动该承接座33，该承接座33进行该第二位移运动82，而该承接座33底部抵靠两个该缓冲器352时，则以该缓冲器352逐步减缓该第二位移运动82至停止，以防止该晶圆载具4正在位移中产生瞬间停止时，使得其内承载的晶圆发生晃动或震动。当该承接座33逐步减缓至停止该第二位移运动82，该晶圆载具4一侧贴靠该开盖机构32并得以打开该门盖41。

额外说明的是，为了将该晶圆载具4得以更加稳定进行该第二位移运动82以及开启该门盖41，该承接座33还包括有一载具扣具42，该载具扣具42与该推进气缸351相连通，当该推进汽缸351开始推动该承接座33进行该第二位移运动82，连动该载具扣具42将该晶圆载具4底部稳固扣合，使得该晶圆载具4稳定的进行该第二位移运动82以及开启该门盖41。

在另一较佳的实施例中，该搬运晶圆载具的装置1更包括有一运输工具(图中未示)与一机械手臂(图中未示)，以及该梯座3更包括有一取货盖门36，该运输工具运送该晶圆载具4于该平台2上，该取货盖门36位于相邻于具有该开口31的该侧面的另一侧面，该梯座3将开启该门盖41的该晶圆载具4移动至该取货盖门36，以该机械手臂至该取货盖门36抽取该晶圆载具4内的复数个晶圆。

也就是说，本发明搬运晶圆载具的装置1也能通过该运输工具，如空中起重运输工具(OHT)或自动化材料搬运系统(AMHS)，但不以此为限，进行结合运送，将该晶圆载具4运送至该平台2上，藉由该第一轨道21将该晶圆载具4运送到该承接座33，由该第二轨道331运送该晶圆载具4至该开盖机构32打开该门盖41，再运送至该取货盖门36，由该机械手臂将一晶圆自该晶圆载具4取出，进行处理。额外说明的是，在一实施例中，该梯座3更包括有一晶圆侦测器34，该晶圆侦测器34设置邻近于该取货盖门36，在该机械手臂至该取货盖门36抽取该晶圆载具4内的复数个晶圆前，该晶圆侦测器34用以侦测复数个该晶圆在该晶圆载具4内的排列状态，当侦测排列状态有问题时，得以迅速排除状况，防止该晶圆伤害扩大，进而影响整个作业流程。

通过上述，可以在该晶圆载具4进入该梯座3后，再选择要开启该门盖41，可确保未开启该门盖41的该晶圆载具4，不受外界粉尘污染，以及对于已开启该门盖41的该晶圆载具4，减少其内存放的晶圆接触到外界环境，进而降低外界粉尘的污染。

需要另外说明的是，以PM5微粒来说，粒径为5000纳米，其尺寸大小是5纳米线宽的1000倍，这种肉眼看不见的细小微粒，掉落于晶圆上，相当于一颗巨大陨石降临市区街道，损害程度十分可观，因此，对环境粉尘的减少及减少将晶圆置放于环境粉尘中是相当重要的方向。

本发明搬运晶圆载具的装置1将该平台2位于一第一环境91，以及该梯座3内为一第二环境92，而该第一环境91就是一般半导体制造设施的处理区，而该第二环境92就是具有遮罩的特殊环境，因此该第二环境92的环境粉尘数量直会小于该第一环境91，且本发明是将该晶圆载具整体置入，不是直接将该晶圆载具内的晶圆置入该梯座，因此，本案还减少了将存放于该晶圆载具4内的晶圆接触到外界环境的时间，进而减少外界粉尘污染的机会。

请附加参阅图8至图10所示，此外，本发明亦提供一种搬运晶圆载具的方法，其包括有下列步骤：

a.提供一平台、一运输工具以及一梯座，该平台具有一第一轨道，该梯座贴靠该平台，该梯座一侧面具有一开口，该梯座更包括有：复数个开盖机构、一承载架、复数个承接座以及一取货盖门，复数个该开盖机构排列在该梯座的一内表面上，该承载架设置于该梯座内，且其四侧边皆以一第二轨道与该梯座相互连接，该承载架具有复数层储存面，每一该承接座被设置于每一该储存面上，且每一该承接座具有一移载机构，该取货盖门位于相邻于该开口的另一侧面上。

b.将一晶圆载具置于该平台上。

c.移动该晶圆载具通过该开口至该承接座上。

d.该承载架以该第二轨道进行一位移运动。

e.是否另一该承接座移动至一预定位置；若是，则以另一该承接座承载该晶圆载具；若否，重复该步骤d。

f.是否复数个该承接座皆承载该晶圆载具；若是，则以一机械手臂开启该取货盖门；若否，重复该步骤b。

需要额外说明的是，该步骤f中，以该机械手臂开启该取货盖门前，将该晶圆载具贴靠该开盖机构。也就是说，在此步骤时，需要先将该晶圆载具4贴靠该开盖机构32开启该门盖41，之后该晶圆载具4移动至该取货盖门36，该机械手臂开启该取货盖门36，将一晶圆从该晶圆载具4取出。

另外，需要补充的是，在该步骤c之后更包括有下列步骤：

c1.将该平台以该第一轨道移回至原位。藉由此步骤，可将另一个该晶圆载具4从该平台2运送至另一该承接座33。

此外，上述步骤b还包括有以下步骤：

b1.以该运输工具自空中运送一晶圆载具至该平台正上方。

b2.该运输工具将该晶圆载具移动至邻近该平台正上方。

b3.该平台的一承接台移动至邻靠该晶圆载具，藉由设置在该承接台上的复数个第一定位结构定位该晶圆载具底部，并将该晶圆载具置放至该承接台上。

b4.该承接台移动至原位，使得该晶圆载具藉由该承接台置放至该平台上。

以及步骤c还包括有以下步骤：

c11.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具至该开口。

c12.该承载架以该第二轨道进行一第一位移运动，使复数个该承接座之一移动至邻近该开口的一预定位置。

c13.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具通过该开口至该梯座内。

c14.该承载架以该第二轨道进行该第一位移运动，使该承接座藉由该第二定位结构定位该晶圆载具底部，使得该晶圆载具置放至该承接座上。

综上所述，本发明搬运晶圆载具的装置及方法，其优点在于：

1.该承载架以复数个该第二轨道与该梯座相互连接，并形成复数层叠构且各叠层间彼此相距一距离，进行该第一位移运动，可垂直升降，因此容许输入较多的该晶圆载具，使得所有的该晶圆载处于叠层状态，并传存于该梯座的内部，因此可以避免环境粉尘的污染，也能因达到连续性的负载与卸载，进而提高产能。

2.在该梯座内部装设能够打开该晶圆载具的复数个开盖机构，由于该开盖机构设置于该梯座内部，因此可以在该晶圆载具进入电梯后，再选择要开启该晶圆载具的该门盖，可确保未开启该门盖的该晶圆载具，不受外界粉尘污染，以及对于已开启该门盖的该晶圆载具，减少其内存放的晶圆接触到外界环境，进而降低外界粉尘的污染。

上列详细说明系针对本发明的可行实施例的具体说明，惟前述的实施例并非用以限制本发明的专利范围，凡未脱离本发明技艺精神所为的等效实施或变更，均应包含于本案的专利范围中。

Claims (10)

1.一种搬运晶圆载具的装置，其特征在于，其包括有：

一平台，具有复数个第一定位结构以及一第一轨道，复数个该定位结构设置于该平台的一承接台上，该平台置放一晶圆载具，且以该第一轨道移动该晶圆载具；

一梯座，贴靠该平台，该梯座一侧面具有一开口，以该开口承接由该第一轨道移动的该晶圆载具进入该梯座中，该梯座更包括有：

复数个开盖机构，排列在该梯座的一内表面上；

一承载架，设置于该梯座内，该承载架的四侧边皆以一第二轨道与该梯座相互连接，该承载架具有复数层储存面，用以承载复数个该晶圆载具，两个该储存面之间有一间距；

复数个承接座，该承接座具有复数个第二定位结构，每一该承接座被设置于每一该储存面上，且每一该承接座具有一移载机构；

其中，该承接台藉由该第一定位结构定位该晶圆载具底部，使得该晶圆载具置放至该承接台上，该平台以该第一轨道移动该晶圆载具往该开口，同时该承载架以该第二轨道进行一第一位移运动，使复数个该承接座之一移动至邻近该开口的一预定位置；

其中，该平台以该第一轨道移动该晶圆载具进入该开口，该承接座藉由该第二定位结构定位该晶圆载具，使得该晶圆载具置放至该承接座上；

其中，该承接座上的该晶圆载具，藉由该第二轨道进行该第一位移运动，以及该移载机构进行一第二位移运动，使该晶圆载具一侧贴靠复数个该开盖机构之一，开启该晶圆载具的一门盖。

2.根据权利要求1所述的搬运晶圆载具的装置，其特征在于，该梯座更包括有一取货盖门，该取货盖门位于相邻于该侧面的另一侧面，该梯座将开启该门盖的该晶圆载具移动至该取货盖门。

3.根据权利要求1所述的搬运晶圆载具的装置，其特征在于，位于该预定位置的该承接座顶部，低于移动至该梯座内的该晶圆载具底部。

4.根据权利要求2所述的搬运晶圆载具的装置，其特征在于，该梯座更包括有一晶圆侦测器，该晶圆侦测器设置邻近于该取货盖门，用以侦测复数个该晶圆在该晶圆载具内的排列状态。

5.根据权利要求1所述的搬运晶圆载具的装置，其特征在于，该移载机构包括有一推进气缸以及两个缓冲器，该推进气缸与两个该缓冲器分别设置于该承接座相对的两侧，该承接座底部与该推进汽缸的一推进部相连接，该推进汽缸推动该承接座进行该第二位移运动，当该承接座底部抵靠两个该缓冲器，则逐步减缓该第二位移运动至停止。

6.根据权利要求5所述的搬运晶圆载具的装置，其特征在于，该承接座还包括有一载具扣具，该载具扣具与该推进气缸相连通，该推进汽缸推动该承接座进行该第二位移运动，同时，该载具扣具将该晶圆载具底部扣合，该晶圆载具稳定进行该第二位移运动以及开启该门盖。

7.一种搬运晶圆载具的方法，其包括有下列步骤：

a.提供一平台、一运输工具以及一梯座，该平台具有一第一轨道，该梯座贴靠该平台，该梯座一侧面具有一开口，该梯座更包括有：复数个开盖机构、一承载架、复数个承接座以及一取货盖门，复数个该开盖机构排列在该梯座的一内表面上，该承载架设置于该梯座内，且其四侧边皆以一第二轨道与该梯座相互连接，该承载架具有复数层储存面，每一该承接座被设置于每一该储存面上，且每一该承接座具有一移载机构，该取货盖门位于相邻于该开口的另一侧面上；

b.将一晶圆载具置于该平台上；

c.移动该晶圆载具通过该开口至该承接座上；

d.该承载架以该第二轨道进行一位移运动；

e.是否另一该承接座移动至一预定位置；若是，则以另一该承接座承载另一该晶圆载具；若否，重复该步骤d；

f.是否复数个该承接座皆承载该晶圆载具；若是，则以一机械手臂开启该取货盖门；若否，重复该步骤b。

8.根据权利要求7所述的搬运晶圆载具的方法，其特征在于，该步骤c之后更包括有下列步骤：

c2.将该平台以该第一轨道移回原位。

9.根据权利要求7所述的搬运晶圆载具的方法，其特征在于，步骤b还包括有以下步骤：

b1.以该运输工具自空中运送一晶圆载具至该平台正上方；

b2.该运输工具将该晶圆载具移动至邻近该平台正上方；

b3.该平台的一承接台移动至邻靠该晶圆载具，藉由设置于该承接台上的复数个第一定位结构定位该晶圆载具底部，并将该晶圆载具置放至该承接台上；

b4.该承接台移动至原位，使得该晶圆载具藉由该承接台置放至该平台上。

10.根据权利要求7所述的搬运晶圆载具的方法，其特征在于，步骤c还包括有以下步骤：

c11.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具至该开口；

c12.该承载架以该第二轨道进行一第一位移运动，使复数个该承接座之一移动至邻近该开口的一预定位置；

c13.该平台以该第一轨道移动该晶圆载具通过该开口至该梯座内；

c14.该承载架以该第二轨道进行该第一位移运动，使该承接座藉由该第二定位结构定位该晶圆载具底部，该晶圆载具置放于该承接座上。