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CN111659222A - 一种新型气体自动纯化装置 - Google Patents

一种新型气体自动纯化装置 Download PDF

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CN111659222A
CN111659222A CN202010647284.9A CN202010647284A CN111659222A CN 111659222 A CN111659222 A CN 111659222A CN 202010647284 A CN202010647284 A CN 202010647284A CN 111659222 A CN111659222 A CN 111659222A
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CN
China
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regeneration
dryer
pneumatic valve
tower
valve
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CN202010647284.9A
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李�浩
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Suzhou Wanxuan Purification Equipment Co ltd
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Suzhou Wanxuan Purification Equipment Co ltd
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    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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    • B01D53/00Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
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Abstract

本发明属于气体纯化装置技术领域,尤其为一种新型气体自动纯化装置,包括机架,所述机架的中部并列固定有干燥器A塔和干燥器B塔,所述机架的底端固定安装有工作进气三通气动阀和再生出气三通气动阀。本发明工作时,气态的物质通过工作进气三通气动阀进入干燥器A或干燥器B,再从干燥器A塔或干燥器B塔经过工作出气三通气动阀从纯气流量计输送至使用点,再生时,气态的物质通过再生流量计至再生进气三通气动阀,再由再生进气三通气动阀回到干燥器B塔或干燥器A塔中继续干燥处理,而干燥器B塔或干燥器A塔中的再生气体传导至再生出气三通气动阀,最后由再生放空口排出。

Description

一种新型气体自动纯化装置
技术领域
本发明涉及纯化装置技术领域,具体为一种新型气体自动纯化装置。
背景技术
纯化装置是气体净化过程中的一个重要设备,在常压下脱除气体中杂质的装置,在半导体工业中,常压纯化器用于在线纯化氢氮混合气、氮气、氢气、氧气、氩气、氦气及某些品种的电子特种气体,在单质气体生产过程中安装纯化装置;纯化装置按杂质的类型采取化学方法或冷冻方法或物理吸附方法去除杂质,达到气体纯化的目的,因此诞生了相应的自动气体纯化装置。
目前的自动气体纯化装置存在下列问题:
1、目前的自动气体纯化装置不能很好地解决设备在停电状态下继续供气使用,导致不能保证生产的延续性。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种新型气体自动纯化装置,解决了目前的气体自动纯化装置不能很好地解决设备在停电状态下继续供气使用,导致不能保证生产的延续性的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种新型气体自动纯化装置,包括机架,所述机架的中部并列固定有干燥器A塔和干燥器B塔,所述机架的底端固定安装有工作进气三通气动阀和再生出气三通气动阀,所述机架的顶端固定安装有工作出气三通气动阀和再生进气三通气动阀,所述工作进气三通气动阀的进气口连通进气管道,所述工作进气三通气动阀的两个出气口分别连通所述干燥器A塔和所述干燥器B塔的底端,所述干燥器A塔的顶端连通有第一工作出气管,所述第一工作出气管的顶端连通所述工作出气三通气动阀的一侧,所述干燥器B塔的顶端固定连接有第二工作出气管,所述第二工作出气管连通工作出气三通气动阀的另一侧,所述机架的一侧固定有再生进气阀和气体出口阀,所述工作出气三通阀的底侧通过导管同时连通所述再生进气阀和所述气体出口阀的底端,所述再生进气阀的出口连通所述再生进气三通气动阀的进口,所述再生进气三通气动阀的出口分别连通所述第一工作出气管和第二工作出气管的底端,所述干燥器A塔和所述干燥器B塔的底端分别通过管道连通所述再生出气三通气动阀两侧的进口,所述再生出气三通气动阀底端的出口连通再生放空口,所述再生放空口上连通有放空阀门。
作为本发明的一种优选技术方案,所述再生进气阀与所述再生进气三通气动阀之间串联有再生流量计。
作为本发明的一种优选技术方案,所述气体出口阀的出口串联有纯气流量计。
作为本发明的一种优选技术方案,所述干燥器A塔和所述干燥器B塔中均固定安装有加热管。
作为本发明的一种优选技术方案,所述第一工作出气管的顶端连通有第一气压表,所述第二工作出气管的顶端连通有第二气压表。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明提供了一种新型气体自动纯化装置,具备以下有益效果:
1、该新型气体自动纯化装置,在停电状态下,气体依然可以通过工作进气三通气动阀回到干燥器A塔或干燥器B塔中继续干燥处理,而干燥器A塔或干燥器B塔中的气体经过工作出气三通气动阀输送,最后由纯气流量计输送到户用使用点。
2、该新型气体自动纯化装置,在停电状态下,气体依然可以通过再生进气阀经过再生流量计从再生进气三通气动阀,回到干燥器A塔或干燥器B塔中继续再生干燥处理,而干燥器A塔或干燥器B塔中的再生气体传导至再生出气三通气动阀,最后由再生放空口排出。
附图说明
图1为本发明主观结构正面示意图;
图2为本发明主观结构背面示意图;
图3为本发明侧剖结构和流动方向示意图。
图中:1、机架;2、干燥器A塔;3、干燥器B塔;4、工作进气三通气动阀;5、再生出气三通气动阀;6、工作出气三通气动阀;7、再生进气三通气动阀;8、进气管道;9、第一工作出气管;10、第二工作出气管;11、再生进气阀;12、气体出口阀;13、再生放空口;14、再生流量计;15、纯气流量计;16、加热管;17、第一气压表;18、第二气压表。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例
请参阅图1-3,本发明提供以下技术方案:一种新型气体自动纯化装置,包括机架1,机架1的中部并列固定有干燥器A塔2和干燥器B塔3,机架1的底端固定安装有工作进气三通气动阀4和再生出气三通气动阀5,机架1的顶端固定安装有工作出气三通气动阀6和再生进气三通气动阀7,工作进气三通气动阀4的进气口连通进气管道8,工作进气三通气动阀4的两个出气口分别连通干燥器A塔2和干燥器B塔3的底端,干燥器A塔2的顶端连通有第一工作出气管9,第一工作出气管9的顶端连通工作出气三通气动阀6的一侧,干燥器B塔3的顶端固定连接有第二工作出气管10,第二工作出气管10连通工作出气三通气动阀6的另一侧,机架1的一侧固定有再生进气阀11和气体出口阀12,工作出气三通气动阀6的底侧通过导管同时连通再生进气阀11和气体出口阀12的底端,再生进气阀11的出口连通再生进气三通气动阀7的进口,再生进气三通气动阀7的出口分别连通第一工作出气管9和第二工作出气管10的底端,干燥器A塔2和干燥器B塔3的底端分别通过管道连通再生出气三通气动阀5两侧的进口,再生出气三通气动阀5底端的出口连通再生放空口13,再生放空口13上连通有放空阀门。
本实施例中,工作时,需要纯化的气体由进气管道8进入工作进气三通气动阀4,然后由工作进气三通气动阀4根据设定的纯化工序分别或同时排放至干燥器A塔2和干燥器B塔3,经过干燥器A塔2和干燥器B塔3的初步纯化后由第一工作出气管9和第二工作出气管10导出至工作出气三通气动阀6,再由工作出气三通气动阀6传送至再生进气阀11和气体出口阀12之间,此时气体通过气体出口阀12排出,而一部分气体经过再生进气阀11和再生流量计14输送至再生进气三通气动阀7。再由再生进气三通气动阀7回到干燥器A塔2和干燥器B塔3中继续干燥处理,而干燥器A塔2和干燥器B塔3中的再生气体传导至再生出气三通气动阀5,最后由再生放空口13排出。
具体的,再生进气阀11与再生进气三通气动阀7之间串联有再生流量计14。
本实施例中,再生进气阀11与再生进气三通气动阀7之间串联有再生流量计14,再生流量计14采用LZB型玻璃转子流量计,用于测量再生的气体的流量。
具体的,气体出口阀12的出口串联有纯气流量计15。
本实施例中,气体出口阀12的出口串联有纯气流量计15,纯气流量计15采用LZB型玻璃转子流量计,用于测量流出的气体流量。
具体的,干燥器A塔2和干燥器B塔3中均固定安装有加热管16。
本实施例中,干燥器A塔2和干燥器B塔3中均固定安装有加热管16,用于对其中干燥器A塔2或干燥器B塔3中装载的分子筛进行加热,使其在设定的温度下进行再生。
具体的,第一工作出气管9的顶端连通有第一气压表17,第二工作出气管10的顶端连通有第二气压表18。
本实施例中,第一工作出气管9的顶端连通有第一气压表17,第二工作出气管10的顶端连通有第二气压表18,分别用于测量并显示干燥器A塔2和干燥器B塔3中的工作压力,避免压力过大对设备造成损坏,也避免压力过小造成的纯化压力不足。
本实施例中,再生流量计14和纯气流量计15为已经公开的广泛运用于工业生产和日常生活的已知技术。
本发明的工作原理及使用流程:工作时,需要纯化的气体由进气管道8进入工作进气三通气动阀4,然后由工作进气三通气动阀4根据设定的纯化工序排放至干燥器A塔2或干燥器B塔3,经过干燥器A塔2或干燥器B塔3的初步纯化后由第一工作出气管9和第二工作出气管10导出至工作出气三通气动阀6,再由工作出气三通气动阀6传送至再生进气阀11和气体出口阀12之间,此时气体通过气体出口阀12排出,而一部分气体经过再生进气阀11回流至再生进气三通气动阀7。再由再生进气三通气动阀7回到干燥器A塔2或干燥器B塔3中继续干燥处理,而干燥器A塔2或干燥器B塔3中的再生气体传导至再生出气三通气动阀5,最后由再生放空口13排出。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种新型气体自动纯化装置,包括机架(1),其特征在于:所述机架(1)的中部并列固定有干燥器A塔(2)和干燥器B塔(3),所述机架(1)的底端固定安装有工作进气三通气动阀(4)和再生出气三通气动阀(5),所述机架(1)的顶端固定安装有工作出气三通气动阀(6)和再生进气三通气动阀(7),所述工作进气三通气动阀(4)的进气口连通进气管道(8),所述工作进气三通气动阀(4)的两个出气口分别连通所述干燥器A塔(2)和所述干燥器B塔(3)的底端,所述干燥器A塔(2)的顶端连通有第一工作出气管(9),所述第一工作出气管(9)的顶端连通所述工作出气三通气动阀(6)的一侧,所述干燥器B塔(3)的顶端固定连接有第二工作出气管(10),所述第二工作出气管(10)连通工作出气三通气动阀(6)的另一侧,所述机架(1)的一侧固定有再生进气阀(11)和气体出口阀(12),所述工作出气三通气动阀(6)的底侧通过导管同时连通所述再生进气阀(11)和所述气体出口阀(12)的底端,所述再生进气阀(11)的出口连通所述再生进气三通气动阀(7)的进口,所述再生进气三通气动阀(7)的出口分别连通所述第一工作出气管(9)和第二工作出气管(10)的底端,所述干燥器A塔(2)和所述干燥器B塔(3)的底端分别通过管道连通所述再生出气三通气动阀(5)两侧的进口,所述再生出气三通气动阀(5)底端的出口连通再生放空口(13),所述再生放空口(13)上连通有放空阀门。
2.根据权利要求1所述的一种新型气体自动纯化装置,其特征在于:所述再生进气阀(11)与所述再生进气三通气动阀(7)之间串联有再生流量计(14)。
3.根据权利要求1所述的一种新型气体自动纯化装置,其特征在于:所述气体出口阀(12)的出口串联有纯气流量计(15)。
4.根据权利要求1所述的一种新型气体自动纯化装置,其特征在于:所述干燥器A塔(2)和所述干燥器B塔(3)中均固定安装有加热管(16)。
5.根据权利要求1所述的一种新型气体自动纯化装置,其特征在于:所述第一工作出气管(9)的顶端连通有第一气压表(17),所述第二工作出气管(10)的顶端连通有第二气压表(18)。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6171377B1 (en) * 1999-07-14 2001-01-09 Henderson Engineering Co., Inc. Regenerative compressed air/gas dryer
CN201404756Y (zh) * 2009-05-20 2010-02-17 重庆联合机器制造有限公司 三通阀闭式循环加热再生式气体干燥器
CN201439046U (zh) * 2009-06-05 2010-04-21 宁波星箭航天机械厂 高压微热再生吸附式过滤干燥器
CN205164448U (zh) * 2015-09-22 2016-04-20 上海涵延机械有限公司 无热再生吸附式干燥机
CN106139890A (zh) * 2015-04-01 2016-11-23 大连中鼎化学有限公司 冷轧钢板热处理用氮氢混合尾气回收提纯的装置和方法
CN210528460U (zh) * 2019-07-15 2020-05-15 苏州盛福祥净化科技有限公司 一种氨分解制氢装置
CN212236590U (zh) * 2020-07-07 2020-12-29 苏州皖轩净化设备有限公司 一种新型气体自动纯化装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6171377B1 (en) * 1999-07-14 2001-01-09 Henderson Engineering Co., Inc. Regenerative compressed air/gas dryer
CN201404756Y (zh) * 2009-05-20 2010-02-17 重庆联合机器制造有限公司 三通阀闭式循环加热再生式气体干燥器
CN201439046U (zh) * 2009-06-05 2010-04-21 宁波星箭航天机械厂 高压微热再生吸附式过滤干燥器
CN106139890A (zh) * 2015-04-01 2016-11-23 大连中鼎化学有限公司 冷轧钢板热处理用氮氢混合尾气回收提纯的装置和方法
CN205164448U (zh) * 2015-09-22 2016-04-20 上海涵延机械有限公司 无热再生吸附式干燥机
CN210528460U (zh) * 2019-07-15 2020-05-15 苏州盛福祥净化科技有限公司 一种氨分解制氢装置
CN212236590U (zh) * 2020-07-07 2020-12-29 苏州皖轩净化设备有限公司 一种新型气体自动纯化装置

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