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CN111136060B - 一种硅片清洗用换料装置 - Google Patents

一种硅片清洗用换料装置 Download PDF

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杨兆安
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    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B08B3/04Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Abstract

本发明属于硅片清洗技术领域,尤其是一种硅片清洗用换料装置,针对现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时,将硅片放置于置物箱中,继而将其移动至清洗箱中进行清洗,但是,清洗后进行硅片的换料较为繁琐,需要一个个将置物箱中的硅片取出,继而更换另一批硅片,极大的降低硅片清洗效率,缺乏实用性,现提出以下方案,包括底板、升降组件和固定组件。本发明通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱,硅片清洗后,取下储料箱,将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上,使得储料箱上的进水管对准固定柱,继而转动支撑板至限位板下方,再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围,调节液压杆带动限位板对其进行固定,完成硅片的更换,方便快捷。

Description

一种硅片清洗用换料装置
技术领域
本发明涉及硅片清洗技术领域,尤其涉及一种硅片清洗用换料装置。
背景技术
在米粒大的硅片上,已能集成16万个晶体管,这是科学技术进步的又一个里程碑;地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉;由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场(mass market)的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一,硅片在使用后,需要对其进行清洗,清洗的过程中需要进行硅片的更换。
现有的硅片清洗用换料装置存在有不足之处:现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时,将硅片放置于置物箱中,继而将其移动至清洗箱中进行清洗,但是,清洗后进行硅片的换料较为繁琐,需要一个个将置物箱中的硅片取出,继而更换另一批硅片,极大的降低硅片清洗效率,缺乏实用性。
发明内容
基于现有的硅片清洗装置进行硅片清洗时,将硅片放置于置物箱中,继而将其移动至清洗箱中进行清洗,但是,清洗后进行硅片的换料较为繁琐,需要一个个将置物箱中的硅片取出,继而更换另一批硅片,极大的降低硅片清洗效率,缺乏实用性,本发明提出了一种硅片清洗用换料装置。
本发明提出的一种硅片清洗用换料装置,包括底板、升降组件和固定组件,所述底板的顶部外壁设有连接轴,且连接轴的外壁通过键固定有两个限位环,连接轴位于两个限位环之间的外壁套接有支撑板,支撑板的顶部外壁固定连接有固定柱,所述底板位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱,且清洗箱的一侧外壁固定连接有排水管,排水管的外壁通过法兰连接有排水阀。
优选地,所述升降组件包括固定架,且固定架的顶部外壁设有气缸,气缸的底部外壁固定连接有吊杆。
优选地,所述吊杆的底部外壁设有上固定板,且上固定板的底部外壁等距离设有连接杆,多个连接杆的底部外壁设有同一个下固定板。
优选地,所述下固定板的顶部外壁设有电机,且电机的输出轴通过联轴器固定有转轴,转轴的底部外壁固定连接有固定环。
优选地,所述固定组件包括多个固定杆,且多个固定杆均固定连接于固定环的外壁,多个固定杆的相对一侧外壁均设有液压杆,每个液压杆的另一端均固定连接有限位板,多个限位板之间固定有同一个储料箱,多个液压杆连接有同步液压系统。
优选地,所述底板的一侧外壁设有连接架,且连接架的一侧外壁设有液压缸,液压缸的另一端设有调节板,调节板的顶部外壁固定连接有二号固定柱。
本发明中的有益效果为:
1、通过设置有连接轴、限位环、支撑板和固定柱,硅片清洗后,通过气缸带动储料箱上移,调节液压杆松开限位板对储料箱的固定,继而取下储料箱,将另一个放置有硅片的储料箱放置于支撑板上,使得储料箱上的进水管对准固定柱,继而转动支撑板至限位板下方,再次调节气缸使得限位板位于储料箱周围,调节液压杆带动限位板对其进行固定,完成硅片的更换,方便快捷。
2、通过设置有电机和转轴,将硅片的储料箱放置于清洗箱中后,启动电机,电机通过转轴带动储料箱转动,从而提高储料箱中的硅片清洗效果。
3、通过设置有液压缸、调节板和二号固定柱,进行储料箱卸载时,通过调节液压缸带动调节板移动至储料箱下方,使得储料箱中的进水管对准二号固定柱,液压缸驱动替代人工操作,提高工作效率,降低劳动力投入,从而提高该换料装置的实用性。
附图说明
图1为本发明提出的一种硅片清洗用换料装置的结构示意图;
图2为本发明提出的一种硅片清洗用换料装置的结构侧视图;
图3为实施例2提出的一种硅片清洗用换料装置的结构示意图;
图4为实施例2提出的一种硅片清洗用换料装置的结构俯视图。
图中:1底板、2限位板、3储料箱、4固定架、5液压杆、6连接杆、7气缸、8上固定板、9下固定板、10固定杆、11连接轴、12限位环、13固定柱、14支撑板、15清洗箱、16排水阀、17排水管、18转轴、19电机、20吊杆、21固定环、22连接架、23液压缸、24调节板、25二号固定柱。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1
参照图1-2,一种硅片清洗用换料装置,包括底板1、升降组件和固定组件,底板1的顶部外壁通过螺钉固定有连接轴11,且连接轴11的外壁通过键固定有两个限位环12,连接轴11位于两个限位环12之间的外壁套接有支撑板14,支撑板14的顶部外壁固定连接有固定柱13,底板1位于固定组件下方的顶部外壁通过螺钉固定有清洗箱15,且清洗箱15的一侧外壁固定连接有排水管17,排水管17的外壁通过法兰连接有排水阀16,硅片清洗后,通过气缸7带动储料箱3上移,调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定,继而取下储料箱3,将另一个放置有硅片的储料箱3放置于支撑板14上,使得储料箱3上的进水管对准固定柱13,继而转动支撑板14至限位板2下方,再次调节气缸7使得限位板2位于储料箱3周围,调节液压杆5带动限位板2对其进行固定,完成硅片的更换,方便快捷。
本发明中,升降组件包括固定架4,且固定架4的顶部外壁通过螺钉固定有气缸7,气缸7的底部外壁固定连接有吊杆20。
本发明中,吊杆20的底部外壁通过螺钉固定有上固定板8,且上固定板8的底部外壁等距离通过螺钉固定有连接杆6,多个连接杆6的底部外壁通过螺钉固定有同一个下固定板9。
本发明中,下固定板9的顶部外壁通过螺钉固定有电机19,且电机19的输出轴通过联轴器固定有转轴18,转轴18的底部外壁固定连接有固定环21。
本发明中,固定组件包括多个固定杆10,且多个固定杆10均固定连接于固定环21的外壁,多个固定杆10的相对一侧外壁均通过螺钉固定有液压杆5,每个液压杆5的另一端均固定连接有限位板2,多个限位板2之间固定有同一个储料箱3,多个液压杆5连接有同步液压系统。
使用时,需要进行储料箱3上的硅片更换时,气缸7带动储料箱3从清洗箱15中移出,调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定,人工将储料箱3移走,将另一个储料箱3放置于支撑板14上,使得另一个储料箱3的进水挂对准支撑板14上的固定柱13,转动支撑板14至限位板2下方,再次调节气缸7使得限位板2位于该储料箱3周围,调节液压杆5带动限位板2对该储料箱3进行固定,固定完成后,将箱盖盖在储料箱3上,调节气缸7将储料箱3下降至清洗箱15中,完成更换操作。
实施例2
参照图3-4,一种硅片清洗用换料装置,包括底板1、升降组件和固定组件,底板1的顶部外壁通过螺钉固定有连接轴11,且连接轴11的外壁通过键固定有两个限位环12,连接轴11位于两个限位环12之间的外壁套接有支撑板14,支撑板14的顶部外壁固定连接有固定柱13,底板1位于固定组件下方的顶部外壁通过螺钉固定有清洗箱15,且清洗箱15的一侧外壁固定连接有排水管17,排水管17的外壁通过法兰连接有排水阀16,硅片清洗后,通过气缸7带动储料箱3上移,调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定,继而取下储料箱3,将另一个放置有硅片的储料箱3放置于支撑板14上,使得储料箱3上的进水管对准固定柱13,继而转动支撑板14至限位板2下方,再次调节气缸7使得限位板2位于储料箱3周围,调节液压杆5带动限位板2对其进行固定,完成硅片的更换,方便快捷。
本发明中,升降组件包括固定架4,且固定架4的顶部外壁通过螺钉固定有气缸7,气缸7的底部外壁固定连接有吊杆20。
本发明中,吊杆20的底部外壁通过螺钉固定有上固定板8,且上固定板8的底部外壁等距离通过螺钉固定有连接杆6,多个连接杆6的底部外壁通过螺钉固定有同一个下固定板9。
本发明中,下固定板9的顶部外壁通过螺钉固定有电机19,且电机19的输出轴通过联轴器固定有转轴18,转轴18的底部外壁固定连接有固定环21。
本发明中,固定组件包括多个固定杆10,且多个固定杆10均固定连接于固定环21的外壁,多个固定杆10的相对一侧外壁均通过螺钉固定有液压杆5,每个液压杆5的另一端均固定连接有限位板2,多个限位板2之间固定有同一个储料箱3,多个液压杆5连接有同步液压系统。
相较于实施例1,底板1的一侧外壁通过螺钉固定有连接架22,且连接架22的一侧外壁通过螺钉固定有液压缸23,液压缸23的另一端通过螺钉固定有调节板24,调节板24的顶部外壁固定连接有二号固定柱25,进行储料箱3卸载时,通过调节液压缸23带动调节板24移动至储料箱3下方,使得储料箱3中的进水管对准二号固定柱25,液压缸23驱动替代人工操作,提高工作效率,降低劳动力投入,从而提高该换料装置的实用性。
使用时,需要进行储料箱3上的硅片更换时,气缸7带动储料箱3从清洗箱15中移出,然后调节液压缸23,液压缸23带动调节板24移动至储料箱3下方,继而调节液压杆5松开限位板2对储料箱3的固定,储料箱3放置于调节板24上,储料箱3上的进水管插接于二号固定柱25上,液压缸23带动调节板24复位,然后将另一个储料箱3放置于支撑板14上,使得另一个储料箱3的进水挂对准支撑板14上的固定柱13,转动支撑板14至限位板2下方,再次调节气缸7使得限位板2位于该储料箱3周围,调节液压杆5带动限位板2对该储料箱3进行固定,固定完成后,将箱盖盖在储料箱3上,调节气缸7将储料箱3下降至清洗箱15中,完成更换操作。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种硅片清洗用换料装置,包括底板(1)、升降组件和固定组件,其特征在于,所述底板(1)的顶部外壁设有连接轴(11),且连接轴(11)的外壁通过键固定有两个限位环(12),连接轴(11)位于两个限位环(12)之间的外壁套接有支撑板(14),支撑板(14)的顶部外壁固定连接有固定柱(13),所述底板(1)位于固定组件下方的顶部外壁设有清洗箱(15),且清洗箱(15)的一侧外壁固定连接有排水管(17),排水管(17)的外壁通过法兰连接有排水阀(16);
所述底板(1)的一侧外壁设有连接架(22),且连接架(22)的一侧外壁设有液压缸(23),液压缸(23)的另一端设有调节板(24),调节板(24)的顶部外壁固定连接有二号固定柱(25)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用换料装置,其特征在于,所述升降组件包括固定架(4),且固定架(4)的顶部外壁设有气缸(7),气缸(7)的底部外壁固定连接有吊杆(20)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗用换料装置,其特征在于,所述吊杆(20)的底部外壁设有上固定板(8),且上固定板(8)的底部外壁等距离设有连接杆(6),多个连接杆(6)的底部外壁设有同一个下固定板(9)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗用换料装置,其特征在于,所述下固定板(9)的顶部外壁设有电机(19),且电机(19)的输出轴通过联轴器固定有转轴(18),转轴(18)的底部外壁固定连接有固定环(21)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗用换料装置,其特征在于,所述固定组件包括多个固定杆(10),且多个固定杆(10)均固定连接于固定环(21)的外壁,多个固定杆(10)的相对一侧外壁均设有液压杆(5),每个液压杆(5)的另一端均固定连接有限位板(2),多个限位板(2)之间固定有同一个储料箱(3),多个液压杆(5)连接有同步液压系统。
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