CN119535879A - 压印光罩制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种压印光罩制造方法，其包含：提供一基材；于所述基材形成有彼此间隔设置的多个光罩对位标记；及于所述基材的多个所述光罩对位标记内侧形成有一压印层。其中，所述压印层于远离所述基材的表面具有一第一图案与一第二图案，所述第一图案具有分别位于相反两侧的一第一内边缘与一第一外边缘，所述第二图案具有分别位于相反两侧的一第二内边缘与一第二外边缘。所述第一内边缘与所述第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的一长形组版缝隙，并且所述第一内边缘与所述第二内边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。由此，所述压印光罩制造方法能以所述长形组版缝隙来组合出所需的图案，以有效地降低所述压印光罩的制造难度。

Description

压印光罩制造方法

技术领域

本发明涉及一种制造方法，尤其涉及一种压印光罩制造方法。

背景技术

现有压印光罩制造方法所制造的压印光罩所具备的压印图案常会需要由多个子图案所构成；但现有压印光罩在用来压印于一光学膜时，多个所述子图案的间隙常会被转印至所述光学膜所压印成形的图案，从而产生肉眼可见的缝隙或缺陷，因而影响其后续应用。于是，本发明人认为上述缺陷可改善，特意潜心研究并配合科学原理的运用提出了一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例在于提供一种压印光罩制造方法，其能有效地改善现有压印光罩制造方法所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种压印光罩制造方法，其包括：一前置步骤：提供一基材，其具有一穿透区块、呈环形且围绕穿透区块的一对位区块、及呈环形且围绕对位区块的一非穿透区块；其中，基材仅使穿透区块提供的一固化光线穿过，并且对位区块能供一对位光线穿过，固化光线的波长不同于对位光线的波长；一标记成形步骤：于基材的对位区块形成有彼此间隔设置的多个光罩对位标记；以及一图案成形步骤：于穿透区块形成有一压印层，并且压印层能供固化光线穿过且于远离基材的表面具有：一第一图案，具有分别位于相反两侧的一第一内边缘与一第一外边缘；及一第二图案，具有分别位于相反两侧的一第二内边缘与一第二外边缘；其中，第一内边缘与第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的一长形组版缝隙，并且第一内边缘与第二内边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

可选地，于前置步骤之中，固化光线为一紫外线，并且对位光线为一红外线。

可选地，对位区块呈方环状；于标记成形步骤之中，多个光罩对位标记分别形成于对位区块的多个角落。

可选地，于图案成形步骤之中，第一外边缘与第二外边缘则分别位于压印层的相反两侧，并且第一外边缘与第二外边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

可选地，于图案成形步骤之中，第一图案具有分别位于另外的相反两侧的一第一上侧边缘与一第一下侧边缘，其皆呈不规则状且形状彼此互补；第二图案具有分别位于另外的相反两侧的一第二上侧边缘与一第二下侧边缘，其皆呈不规则状且形状彼此互补。

可选地，第一上侧边缘的一端与第一下侧边缘的一端分别相连于第一内边缘的两端，并且第一上侧边缘的另一端与第一下侧边缘的另一端分别相连于第一外边缘的两端；第二上侧边缘的一端与第二下侧边缘的一端分别相连于第二内边缘的两端，并且第二上侧边缘的另一端与第二下侧边缘的另一端分别相连于第二外边缘的两端。

可选地，于图案成形步骤之中，第一图案与第二图案各自包含有不规则配置的多个反光压印部，这些反光压印部具有相同的外型。

可选地，于图案成形步骤之中，于第一图案与第二图案的任一个中，每个反光压印部具有呈矩阵状排列的多个反光压印区，这些反光压印部沿相同方向进行反光，并且多个反光压印部的反光方向为不规则配置的。

可选地，于图案成形步骤之中，第一外边缘的两端与第二外边缘的两端分别邻近于多个光罩对位标记。

可选地，于图案成形步骤之中，压印层是通过一曝光紫外线经由光罩或干涉而照射在一光阻层而构成，并且曝光紫外线的预设曝光波长是落在固化光线的预设光固化波段之外，并且长形组版缝隙不大于30微米。

综上所述，本发明实施例所公开的压印光罩制造方法能够以所述长形组版缝隙来组合出所需的图案，由此有效地降低所述压印光罩的制造难度，并能用来转印以形成无法以肉眼观察到组版缝隙的单位膜层。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是这些说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的组版式光学膜制造方法的准备步骤(或压印光罩制造方法)的立体示意图。

图2为图1的区域II的放大示意图。

图3为本发明实施例一的组版式压印设备的立体示意图。

图4至图6为本发明实施例一的组版式光学膜制造方法的压印固化步骤的平面示意图。

图7为本发明实施例一的组版式光学膜的局部俯视示意图。

图8为图7的区域VIII的放大示意图。

图9为本发明实施例二的组版式光学膜制造方法的准备步骤(或压印光罩制造方法)的立体示意图。

图10为本发明实施例二的组版式光学膜的局部俯视示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“压印光罩制造方法”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不背离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，需事先说明的是，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图8所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种组版式光学膜制造方法，其包含有一准备步骤S100及一压印固化步骤S300，为便于理解本实施例，以下将分别说明所述准备步骤S100及所述压印固化步骤S300的各自内容。

所述准备步骤S100：如图1和图2所示，提供一压印光罩1。其中，所述准备步骤S100于本实施例中也可以视为一种压印光罩制造方法，其包含一前置步骤、一标记成形步骤、及一图案成形步骤。

所述前置步骤：提供一基材11，其于本实施例中是以平板状构造来说明，但本发明不以此为限。其中，所述基材11具有一穿透区块111、呈环形且围绕所述穿透区块111的一对位区块112及呈环形且围绕所述对位区块112的一非穿透区块113。

进一步地说，所述基材11仅使所述穿透区块111提供的一固化光线L(如：图5所示的紫外线)穿过；也就是说，所述固化光线L无法穿过所述对位区块112与所述非穿透区块113。再者，所述对位区块112于本实施例中呈方环状并能供一对位光线IR(如：图4所示的红外线)穿过，所述对位光线IR优选无法穿过所述非穿透区块113，并且所述固化光线L的波长不同于所述对位光线IR的波长。

所述标记成形步骤：于所述基材11的所述对位区块112形成有彼此间隔设置的多个光罩对位标记12，并且多个所述光罩对位标记12于本实施例中是以分别形成于所述对位区块112的多个角落来说明。其中，每个所述光罩对位标记12可以是呈十字状，以利于在相互垂直的两个方向上进行对位，但不以此为限。

所述图案成形步骤：于所述穿透区块111形成有一压印层13，并且所述压印层13能供所述固化光线L穿过且于远离所述基材11的表面具有一单位图案130。于本实施例中，所述压印层13是通过一曝光紫外线UV经由光罩M或干涉而照射在一光阻层而构成，并且所述曝光紫外线UV的预设曝光波长是落在所述固化光线L(如：图5)的预设光固化波段之外。举例来说，所述预设曝光波长可以是190纳米(nm)～250纳米，而所述预设光固化波段则与上述预设曝光波长相差至少100纳米(如：所述预设光固化波段为350纳米～410纳米)。

更详细地说，所述单位图案130的轮廓大致呈方形(如：长方形或正方形)，但所述单位图案130的边缘为不规则状。其中，所述单位图案130具有分别位于相反两侧的一第一外边缘131与一第二外边缘132、及分别位于另外的相反两侧的一上侧边缘133与一下侧边缘134。再者，所述第一外边缘131的两端与所述第二外边缘132的两端分别邻近于多个所述光罩对位标记12。也就是说，所述压印光罩1于所述压印层13的外侧形成有多个所述光罩对位标记12。

其中，所述第一外边缘131与所述第二外边缘132沿一第一方向D1分别间隔地位于所述压印层13的相反两外侧，并且所述第一外边缘131与所述第二外边缘132皆呈不规则状且形状彼此互补。再者，所述上侧边缘133与所述下侧边缘134则是沿垂直所述第一方向D1的一第二方向D2间隔地位于所述压印层13的相反另两外侧，并且所述上侧边缘133与所述下侧边缘134皆呈不规则状且形状彼此互补，但不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述单位图案130也可以依据需求而采用规则状的所述上侧边缘133与所述下侧边缘134。

需额外说明的是，所述单位图案130于本实施例中是包含有不规则配置的多个反光压印部135，其具有相同的外型。其中，每个所述反光压印部135具有呈矩阵状排列的多个反光压印区1351，其能沿相同方向进行反光，并且多个所述反光压印部135的反光方向为不规则配置。也就是说，当多个所述反光压印部135被可见光照射时，其能反射形成多种颜色。

进一步地说，每个所述反光压印部135呈圆形，并且所述单位图案130的多个所述反光压印部135彼此交叠配置，以使所述第一外边缘131、所述第二外边缘132、所述上侧边缘133、及所述下侧边缘134各由多个所述反光压印部135的圆弧边所共同组成。

以上为所述准备步骤S100(或所述压印光罩制造方法)于本实施例中的技术内容说明；也就是说，本实施例于上述说明之中也相当于公开了一种压印光罩1，其具有不同于以往的不规则结构。以下接着介绍所述压印固化步骤S300的技术内容。

所述压印固化步骤S300：如图3至图6所示，于一载体2形成有彼此间隔配置且厚度均匀的多个胶层3a，并以所述压印光罩1的所述压印层13按顺序对多个所述胶层3a进行压印固化作业，从而分别构成多个单位膜层3。其中，多个所述胶层3a于本实施例中是以涂布或喷涂方式形成的多个光固化胶层来说明，其能被所述固化光线L所照射而固化；多个所述单位膜层3则是彼此间隔形成于所述载体2并共同构成一组版式光学膜200。

更详细地说，所述载体2于本实施例中是以平坦片状构造来说明，并且所述载体2具有间隔设置的多个载体对位标记21，但本发明不以此为限。于所述压印固化步骤S300中，每个所述胶层3a大致形成在四个所述载体对位标记21所包围的区域之内(也就是说，任一个所述单位膜层3设置于四个所述载体对位标记21所围绕的区域之内)，并且多个所述载体对位标记21未被多个所述胶层3a所遮蔽。

进一步地说，所述压印光罩1于所述压印固化步骤S300之中是以多个所述光罩对位标记12沿垂直所述第一方向D1与所述第二方向D2的一高度方向H对位于任一个所述胶层3a旁的至少两个所述载体对位标记21，而后以所述压印层13沿所述高度方向H进行所述压印固化作业，由此使多个所述单位膜层3能够被精准地成形在默认位置而保有默认的间隔并具有大致相同的外型。

此外，如图1、图7、和图8所示，以下接着介绍本实施例的所述组版式光学膜制造方法于实施之后所形成的所述组版式光学膜200；也就是说，本实施例于下述说明之中相当于公开了一种组版式光学膜200，其具有不同于以往的不规则结构。其中，所述组版式光学膜200的多个所述单位膜层3是以矩阵状排列来说明，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，多个所述单位膜层3也可以是沿所述第一方向D1排成一列。

于本实施例中，每个所述单位膜层3包含有分别位于相反两侧的一第一外缘31与一第二外缘32，其分别由所述单位图案130的所述第一外边缘131与所述第二外边缘132所压印成形，由此使所述第一外缘31与所述第二外缘32皆呈不规则状且形状彼此互补。再者，每个所述单位膜层3也具有分别位于另外的相反两侧的一上侧缘33与一下侧缘34，其分别由所述单位图案130的所述上侧边缘133与所述下侧边缘134所压印成形，由此使所述上侧缘33与所述下侧缘34皆呈不规则状且形状彼此互补。

进一步地说，每个所述单位膜层3包含有不规则配置的多个反光部35，其由所述压印层13的所述单位图案130所压印成形且具有相同的外型。也就是说，于本实施例的每个所述单位膜层3之中，每个所述反光部35具有呈矩阵状排列的多个反光区351，其沿相同方向进行反光，并且多个所述反光部35的反光方向为不规则配置。也就是说，当多个所述反光部35被可见光照射时，其能反射形成多种颜色。

再者，每个所述反光部35于本实施例中呈圆形，并且每个所述单位膜层3的多个所述反光部35彼此交叠配置，以使每个所述单位膜层3的所述第一外缘31、所述第二外缘32、所述上侧缘33及所述下侧缘34各由多个所述反光部35的圆弧边所共同组成。

换个角度来看，沿所述第一方向D1彼此相邻的两个所述单位膜层3之中，其中一个所述单位膜层3的所述第一外缘31是与其中另一个所述单位膜层3的所述第二外缘32相邻(并具有彼此互补的不规则形状)且间隔有不大于50微米的一第一间隙G1。再者，沿所述第二方向D2彼此相邻的两个所述单位膜层3之中，其中一个所述单位膜层3的所述上侧缘33是与其中另一个所述单位膜层3的所述下侧缘34沿所述第二方向D2相邻(并具有彼此互补的不规则形状)且间隔有不大于50微米的一第二间隙G2。

也就是说，多个所述载体对位标记21裸露于多个所述单位膜层3之间的多个所述第一间隙G1与多个所述第二间隙G2。于本实施例中，多个所述第一间隙G1与多个所述第二间隙G2彼此相互连通且大致共同呈现棋盘状，并且所述第一间隙G1与所述第二间隙G2中的任一个优选不大于30微米，但不受限于此。

此外，如图1、图3至图6所示，本实施例中还公开一种组版式压印设备100，并且所述组版式光学膜制造方法能通过所述组版式压印设备100来实施，但本发明不受限于此。也就是说，所述组版式光学膜制造方法也可以是通过其他设备来实施。此外，所述组版式压印设备100于本实施例中是用来制造形成如同上述的组版式光学膜200，所以有关于所述组版式光学膜200的具体结构于下述说明之中不再加以赘述。

所述组版式压印设备100于本实施例中包含一工作台4、设置于所述工作台的一位移机构5、对应于所述工作台4设置的一涂布机构6、连接于所述位移机构5的所述压印光罩1与一摄像机构7及连接于所述位移机构5并对应于所述压印光罩1配置的一固化光源8。于本实施例中，所述压印光罩1的具体构造如同上述组版式光学膜制造方法的内容所载，所以下述说明之中不再加以赘述。

需额外说明的是，所述组版式压印设备100于本实施例中是以上述多个构件的搭配来说明，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述摄像机构7及/或所述固化光源8也可以被省略或是以其他构件取代。

所述工作台4用以供所述载体2设置，而所述载体2的具体构造大致如同上述组版式光学膜制造方法的内容所载，所以下述说明之中不再加以赘述。

所述位移机构5能相对于所述工作台4沿相互正交的所述高度方向H、所述第一方向D1及所述第二方向D2移动。再者，所述涂布机构6于本实施例中是安装于所述位移机构5，由此能够被所述位移机构5驱使而用来按顺序于所述载体2形成有彼此间隔配置且厚度均匀的多个所述胶层3a，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述涂布机构6的运作也可以是独立于所述位移机构5。

需说明的是，所述涂布机构6是以有别于点胶的涂布或喷涂方式来精准地形成多个所述胶层3a，以使每个所述胶层3a具有均匀厚度且形成在四个所述载体对位标记21所包围的区域之内、并且未覆盖在任一个所述载体对位标记21。

此外，所述压印光罩1、所述摄像机构7及所述固化光源8能够通过所述位移机构5而同步移动。其中，所述压印光罩1也能够相对于所述摄像机构7与所述固化光源8沿所述高度方向H进行相对移动，但本发明不以此为限。

由此，所述组版式压印设备100能通过所述摄像机构7，以使所述压印光罩1的多个所述光罩对位标记12沿所高度方向H对位于任一个所述胶层3a旁的至少两个所述载体对位标记21，而后通过所述位移机构5来驱使所述压印光罩1沿所高度方向H进行压印，以使多个所述胶层3a被按顺序压印而各形成为一个所述单位膜层3。其中，所述固化光源8能用来朝向被所述压印光罩1的所述基材11发出所述固化光线L，以穿过所述穿透区块111与所述压印层13，进而固化所述单位膜层3。

依上所述，所述组版式光学膜制造方法或所述组版式压印设备100于本实施例中能通过所述压印光罩1的构造(如：具有呈不规则状且形状互补的所述第一外边缘131与所述第二外边缘132)及其所搭配的其他构件或步骤而制造形成所述组版式光学膜200，由此使所述组版式光学膜200的相邻任两个所述单位膜层3之间是由不规则状且外型彼此互补的所述第一外缘31与所述第二外缘32以特定尺寸(如：不大于50微米)形成所述第一间隙G1，进而令使用者无法以肉眼观察到所述第一间隙G1。反过来说，如果间隙是由规则状的两个边缘所定义时，则该间隙的尺寸至少需要小于5微米，才较能够使肉眼不易直接观察。

也就是说，如图1、图7和图8所示，本实施例所提供的所述组版式光学膜200是具有不同于以往的构造，由此更利于生产制造、并能有效地提升其应用范围。换个角度来说，本实施例所提供的所述压印光罩1或其制造方法能够以较低制造难度形成无法以肉眼观察到所述第一间隙G1(及所述第二间隙G2)的所述组版式光学膜200。

[实施例二]

请参阅图9和图10所示，其为本发明的实施例二。由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异主要在于：所述压印光罩1的所述单位图案130于本实施例中(如：于所述图案成形步骤之中)形成有彼此间隔配置的一第一图案130-1与一第二图案130-2，以使每个所述单位膜层3也对应形成有间隔配置的两个子区块30。

更详细地说，所述第一图案130-1具有(沿所述第一方向D1)分别位于相反两侧的所述第一外边缘131及一第一内边缘136，所述第二图案130-2具有(沿所述第一方向D1)分别位于相反两侧的所述第二外边缘132及一第二内边缘137。所述第一内边缘136与所述第二内边缘137皆呈不规则状且形状彼此互补，并且所述第一内边缘136与所述第二内边缘136彼此相邻且沿所述第一方向D1间隔有不大于50微米的一长形组版缝隙S13。其中，所述长形组版缝隙S13优选不大于30微米且其长轴方向不平行于(如：大致垂直)所述第一方向D1。

所述第一图案130-1具有分别位于另外的相反两侧的一第一上侧边缘133-1与一第一下侧边缘134-1，其皆呈不规则状且形状彼此互补。所述第一上侧边缘133-1的一端与所述第一下侧边缘134-1的一端分别相连于所述第一内边缘136的两端，并且所述第一上侧边缘133-1的另一端与所述第一下侧边缘134-1的另一端分别相连于所述第一外边缘131的两端。

所述第二图案130-2具有分别位于另外的相反两侧的一第二上侧边缘133-2与一第二下侧边缘134-2，其皆呈不规则状且形状彼此互补。所述第二上侧边缘133-2的一端与所述第二下侧边缘134-2的一端分别相连于所述第二内边缘137的两端，并且所述第二上侧边缘133-2的另一端与所述第二下侧边缘134-2的另一端分别相连于所述第二外边缘132的两端。

也就是说，所述上侧边缘133于本实施例中是由所述长形组版缝隙S13而被拆分为所述第一上侧边缘133-1与所述第二上侧边缘133-2，而所述下侧边缘134则是由所述长形组版缝隙S13而被拆分为所述第一上侧边缘133-1与所述第二上侧边缘133-2。此外，在本发明未示出的其他实施例中，所述单位图案130也可依据需求而被拆分为超过三个以上的图案。

进一步地说，所述第一图案130-1与所述第二图案130-2于本实施例中各自包含有不规则配置且具有相同外型的多个反光压印部135，其各具有呈矩阵状排列且沿相同方向进行反光的多个反光压印区(图中未示出)，并且多个所述反光压印部135的反光方向为不规则配置。

以上为本实施例的所述压印层13相较于实施例一的差异说明，而由本实施例的所述压印层13(通过所述压印固化步骤S300)所压印成形的所述组版式光学膜200相较于实施例一的差异将接着说明如下。

具体来说，每个所述单位膜层3具有彼此相邻配置的一第一内缘36与一第二内缘37、(沿所述第一方向D1)分别位于相反两侧的所述第一外缘31与所述第二外缘32及(沿所述第二方向D2)分别位于另外的相反两侧的一上侧缘33与一下侧缘34。其中，所述第一内缘36与所述第二内缘37皆呈不规则状且形状彼此互补，并且所述第一外缘31与所述第二外缘32皆呈不规则状且形状彼此互补，而所述上侧缘33与所述下侧缘34皆呈不规则状且形状彼此互补。

于每个所述单位膜层3之中，所述第一内缘36与所述第二内缘37是分别由所述单位图案130的所述第一内边缘136与所述第二内边缘137所压印成形、且彼此间隔有不大于50微米的一组版缝隙S3。其中，所述组版缝隙S3优选不大于30微米且其长轴方向不平行于(如：大致垂直)所述第一方向D1。

也就是说，所述上侧缘33与所述下侧缘34于本实施例中各是由所述组版缝隙S3而被拆分为彼此分离的两段，其分别位于两个所述子区块30，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述单位膜层3也可依据需求而被拆分为超过三个以上的所述子区块30。

此外，每个所述单位膜层3的具体构造(如：所述反光部35或其所包含的多个所述反光区)、及相邻的任两个所述单位膜层3沿所述第一方向D1或所述第二方向D2所形成的所述第一间隙G1或所述第二间隙G2皆如同实施例一所载，在此不加以赘述。需说明的是，任一个所述组版缝隙S3是连通于两个所述第二间隙G2。

依上所述，所述组版式光学膜制造方法或所述组版式压印设备100于本实施例中能通过所述压印光罩1的构造(如：具有呈不规则状且形状互补的所述第一内边缘136与所述第二内边缘137)及其所搭配的其他构件或步骤而制造形成所述组版式光学膜200，由此使所述组版式光学膜200的任一个所述单位膜层3形成有令使用者无法以肉眼观察到所述组版缝隙S3，进而利于所述压印光罩1的生产制造。

换个角度来说，本实施例所提供的所述组版式光学膜200具有不同于以往的构造，其更利于所述压印光罩1的生产制造、进而有助于其推广与量产。再者，本实施例所提供的所述压印光罩1或其制造方法能够以所述长形组版缝隙S13来组合出所述单位图案130，由此有效地降低所述压印光罩1的制造难度，并能用来形成无法以肉眼观察到所述组版缝隙S3的所述单位膜层3。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及图式内容所做的等效技术变化均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种压印光罩制造方法，其特征在于，所述压印光罩制造方法包括：

一前置步骤：提供一基材，所述基材具有一穿透区块、呈环形且围绕所述穿透区块的一对位区块及呈环形且围绕所述对位区块的一非穿透区块；其中，所述基材仅使所述穿透区块提供的一固化光线穿过，并且所述对位区块能供一对位光线穿过，所述固化光线的波长不同于所述对位光线的波长；

一标记成形步骤：于所述基材的所述对位区块形成有彼此间隔设置的多个光罩对位标记；以及

一图案成形步骤：于所述穿透区块形成有一压印层，并且所述压印层能供所述固化光线穿过且于远离所述基材的表面具有：一第一图案，具有分别位于相反两侧的一第一内边缘与一第一外边缘；及

一第二图案，具有分别位于相反两侧的一第二内边缘与一第二外边缘；其中，所述第一内边缘与所述第二内边缘彼此间隔有不大于50微米的一长形组版缝隙，并且所述第一内边缘与所述第二内边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

2.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述前置步骤之中，所述固化光线为一紫外线，并且所述对位光线为一红外线。

3.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，所述对位区块呈方环状；于所述标记成形步骤之中，多个所述光罩对位标记分别形成于所述对位区块的多个角落。

4.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，所述第一外边缘与所述第二外边缘则分别位于所述压印层的相反两侧，并且所述第一外边缘与所述第二外边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

5.根据权利要求4所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，所述第一图案具有分别位于另外的相反两侧的一第一上侧边缘与一第一下侧边缘，所述第一上侧边缘与所述第一下侧边缘皆呈不规则状且形状彼此互补；所述第二图案具有分别位于另外的相反两侧的一第二上侧边缘与一第二下侧边缘，所述第二上侧边缘与所述第二下侧边缘皆呈不规则状且形状彼此互补。

6.根据权利要求5所述的压印光罩制造方法，其特征在于，所述第一上侧边缘的一端与所述第一下侧边缘的一端分别相连于所述第一内边缘的两端，并且所述第一上侧边缘的另一端与所述第一下侧边缘的另一端分别相连于所述第一外边缘的两端；所述第二上侧边缘的一端与所述第二下侧边缘的一端分别相连于所述第二内边缘的两端，并且所述第二上侧边缘的另一端与所述第二下侧边缘的另一端分别相连于所述第二外边缘的两端。

7.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，所述第一图案与所述第二图案各自包含有不规则配置的多个反光压印部，多个所述反光压印部具有相同的外型。

8.根据权利要求7所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，于所述第一图案与所述第二图案的任一个中，每个所述反光压印部具有呈矩阵状排列的多个反光压印区，多个所述反光压印部沿相同方向进行反光，并且多个所述反光压印部的反光方向为不规则配置的。

9.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，所述第一外边缘的两端与所述第二外边缘的两端分别邻近于多个所述光罩对位标记。

10.根据权利要求1所述的压印光罩制造方法，其特征在于，于所述图案成形步骤之中，所述压印层是通过一曝光紫外线经由光罩或干涉而照射在一光阻层而构成的，并且所述曝光紫外线的预设曝光波长落在所述固化光线的预设光固化波段之外，并且所述长形组版缝隙不大于30微米。