CN119001189A - 悬臂式探针卡装置及微机电探针 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种悬臂式探针卡装置及微机电探针。所述微机电探针包含一力臂段及相连于所述力臂段两端的一主体段与一针测段。所述主体段位于所述力臂段的一侧，所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于所述布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部。所述针测段沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧。所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔，并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％。所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个所述穿孔的内径。据此，所述微机电探针通过在所述布局区域有多个所述穿孔，使得在制造过程能提供药液流过而更全面地去除光刻胶层。

Description

悬臂式探针卡装置及微机电探针

技术领域

本发明涉及一种悬臂式探针卡，尤其涉及一种悬臂式探针卡装置及微机电探针。

背景技术

现有悬臂式探针卡包含有一基板与安装于所述基板的多个悬臂探针，并且多个所述悬臂探针的外型大致相同。其中，所述悬臂探针能选择以微机电(Micro ElectroMechanical Systems，MEMS)方式所制成，但其一侧在制造过程中涂布有光刻胶层，所以需以药液去除所述光刻胶层。然而，上述药液较难以去除所述悬臂探针较大区块上的所述光刻胶层，因而降低生产良率。

于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种悬臂式探针卡装置及微机电探针，其能有效地改善现有悬臂式探针卡所可能产生的缺陷。

本发明实施例公开一种悬臂式探针卡装置，其包括：一基板，包含有多个焊垫；以及多个微机电探针，固定于基板；其中，每个微机电探针包含有：一力臂段；一主体段，位于力臂段的一侧，主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且主体段具有沿一预设方向分别位于布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部；及一针测段，沿预设方向呈直立状且相连于力臂段的另一侧；其中，于每个微机电探针之中，主体段在布局区域形成有多个穿孔，并且多个穿孔为外轮廓所围绕区域的3％～70％；其中，布局区域与外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个穿孔的内径；其中，多个微机电探针以其主体段的焊接端部固定于基板的多个焊垫。

优选地，于每个微机电探针之中，主体段以其中心为原点划分出相等的四个象限，并且任两个象限内所形成的穿孔的比例的差值不大于5％。

优选地，布局间距介于20微米～100微米，任一个穿孔的内径不大于100微米，并且相邻的任两个穿孔之间相隔有10微米～50微米的间距。

优选地，悬臂式探针卡装置进一步包含有多个焊料，每个微机电探针的焊接端部以一个焊料焊接固定于相对应的焊垫；于每个微机电探针之中，多个穿孔呈矩阵状且排成多列，并且其中一列穿孔邻近于焊接端部并各定义为一容焊料孔，而每个容焊料孔的至少部分能容纳相对应的焊料。

优选地，每个微机电探针包含有多个支撑臂及分别包覆多个支撑臂的多个绝缘有机层；于每个微机电探针之中，多个支撑臂与多个容焊料孔排成一列，并且每个容焊料孔位于相邻两个支撑臂之间。

优选地，多个焊垫包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫，多个第一焊垫沿垂直预设方向的一排列方向排成一第一列，而多个第二焊垫沿排列方向排成平行且间隔于第一列的一第二列；其中，多个微机电探针包含有：多个第一探针，各包含有主体段、力臂段及针测段，并且任一个第一探针的主体段、力臂段及针测段分别定义为一第一主体段、一第一力臂段及一第一针测段；及多个第二探针，各包含有：主体段，其定义为一第二主体段且于预设方向上具有一主体高度；一延伸段，相连于第二主体段，并且延伸段于预设方向上具有一延伸高度，其介于主体高度的50％～80％；力臂段，其定义为一第二力臂段且相连于延伸段；及针测段，其定义为一第二针测段，其沿预设方向呈直立状且相连于第二力臂段；其中，多个第一探针的第一主体段固定于多个第一焊垫，并且多个第二探针的第二主体段固定于多个第二焊垫，而多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段沿排列方向排成一列；其中，当多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段用来抵接于一待测物时，每个第一探针仅于第一力臂段产生形变，而每个第二探针仅于第二力臂段产生形变。

优选地，第一列的多个第一焊垫相对于第二列的多个第二焊垫于垂直排列方向与预设方向的一延伸方向上彼此相隔有一错开距离，任一个第二探针的延伸段于延伸方向上具有一延伸距离，其为错开距离的95％～105％。

优选地，当多个第一探针的第一针测段与多个第二探针的第二针测段用来抵接于一待测物时，任一个第一探针的第一针测段所形成的针压，其为任一个第二探针的第二针测段所形成的针压的95％～105％。

优选地，相邻的任两个第二探针之间设置有一个第一探针，并且任一个第一探针及其相邻的第二探针沿排列方向形成有介于20微米～200微米的一间隔。

本发明实施例也公开一种微机电探针，其包括：一力臂段；一主体段，位于力臂段的一侧，主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且主体段具有沿一预设方向分别位于布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部；及一针测段，沿预设方向呈直立状且相连于力臂段的另一侧；其中，主体段在布局区域形成有多个穿孔，并且多个穿孔为外轮廓所围绕区域的3％～70％；其中，布局区域与外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个穿孔的内径。

综上所述，本发明实施例所公开的悬臂式探针卡装置及微机电探针，其通过在所述布局区域形成有多个所述穿孔，使得在以微机电方式制造的过程中，能够以多个所述穿孔提供药液流过而更全面地去除光刻胶层，进而提升生产良率。

为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。

附图说明

图1为本发明实施例一的悬臂式探针卡装置的立体示意图。

图2为图1的局部侧视示意图。

图3为图1的微机电探针的立体示意图。

图4为图1的微机电探针另一方式的立体示意图。

图5为本发明实施例二的悬臂式探针卡装置的立体示意图。

图6为图5的俯视示意图。

图7为图6沿剖线VII-VII的剖视示意图。

图8为图7的悬臂式探针卡装置抵顶于待测物的剖视示意图。

图9为本发明实施例三的悬臂式探针卡装置的立体示意图。

图10为本发明实施例四的悬臂式探针卡装置的立体示意图。

具体实施方式

以下是通过特定的具体实施例来说明本发明所公开有关“悬臂式探针卡装置及微机电探针”的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容了解本发明的优点与效果。本发明可通过其他不同的具体实施例加以施行或应用，本说明书中的各项细节也可基于不同观点与应用，在不悖离本发明的构思下进行各种修改与变更。另外，本发明的附图仅为简单示意说明，并非依实际尺寸的描绘，事先声明。以下的实施方式将进一步详细说明本发明的相关技术内容，但所公开的内容并非用以限制本发明的保护范围。

应当可以理解的是，虽然本文中可能会使用到“第一”、“第二”、“第三”等术语来描述各种组件或者信号，但这些组件或者信号不应受这些术语的限制。这些术语主要是用以区分一组件与另一组件，或者一信号与另一信号。另外，本文中所使用的术语“或”，应视实际情况可能包括相关联的列出项目中的任一个或者多个的组合。

[实施例一]

请参阅图1至图4所示，其为本发明的实施例一。本实施例公开一种悬臂式探针卡装置100，其包含有一基板2、多个焊料3及(通过多个所述焊料3来)固定于所述基板2的多个微机电(MEMS)探针1，但本发明不受限于此。需额外说明的是，非为悬臂式且非以微机电方式制成的任何探针都不同于本实施例所公开的所述微机电探针1。

需说明的是，多个所述微机电探针1的数量于本实施例中排成为两列，其分别配置在所述基板2的相反两侧，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，多个所述微机电探针1也可以是排成四列，其呈环状配置在所述基板2的四周；或者，多个所述微机电探针1可以是仅排成单列。但为便于说明，下述主要是以一列所述微机电探针1及其搭配构造的角度来介绍本实施例。

此外，多个所述微机电探针1于本实施例中是以搭配于所述基板2与多个所述焊料3来说明，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述微机电探针1也可以单独地被应用(如：贩卖)或搭配其他构件使用。

为便于说明，所述基板2于本实施例中是以一平坦板材来说明，所述基板2定义有与其垂直的一预设方向D1、垂直于所述预设方向D1的一排列方向D2及垂直所述排列方向D2与所述预设方向D1的一延伸方向D3，但本发明不受限于此。更详细地说，所述基板2包含有多个焊垫21，并且多个所述焊垫21沿所述排列方向D2排成一列。

需先说明的是，每个所述微机电探针1为一体成型的单件式构造，并且多个所述微机电探针1的构造大致相同(如：多个所述微机电探针1的轮廓于所述排列方向D2上彼此切齐)，所以为便于理解，以下仅介绍单个所述微机电探针1的构造，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，多个所述微机电探针1的构造也可以略有差异。

如图1至图3所示，所述微机电探针1包含有一主体段11、相连于所述主体段11的一力臂段12及相连于所述力臂段12的一针测段13。也就是说，所述主体段11、所述力臂段12及所述针测段13沿所述延伸方向D3依序相连。进一步地说，所述主体段11与所述针测段13是分别相连于所述力臂段12的两端、并分别位于所述力臂段12的斜对向两侧位置。

于本实施例中，所述主体段11大致呈片状(如：矩形片体)，并且所述主体段11具有沿所述预设方向D1分别位于相反侧的一焊接端部111与一延伸端部112。所述力臂段12为沿着所述延伸方向D3的长条状构造，并且所述力臂段12的一端相连于所述主体段11的所述延伸端部112。所述针测段13沿所述预设方向D1呈直立状且相连于所述力臂段12的另一端。

换个角度来看，所述焊接端部111的边缘切齐于所述力臂段12的边缘(而共同呈直线状)、并大致垂直于所述针测段13的边缘。再者，于所述预设方向D1上，所述力臂段12的高度H12为所述主体段11的高度H11的5％～50％，并且所述力臂段12能产生弹性形变，而所述主体段11则是不产生形变。

进一步地说，所述主体段11在其外轮廓的内侧定义有一布局区域113，并且所述焊接端部111与所述延伸端部112沿所述预设方向D1分别位于所述布局区域113的相反两侧，所述布局区域113形成有多个穿孔1131，并且多个所述穿孔1131限定为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％。

于本实施例中，多个所述穿孔1131呈矩阵状且排成多列，并且多个所述穿孔1131较佳是均匀分布于所述主体段11；也就是说，所述主体段11以其中心为原点划分出相等的四个象限Q1、Q2、Q3、Q4，并且任两个所述象限Q1、Q2、Q3、Q4内所形成的所述穿孔1131的比例的差值不大于5％，但本发明不以此为限。

更详细地说，所述布局区域113与所述外轮廓相隔有一布局间距S113，其不小于任一个所述穿孔1131的内径L1131。于本实施例中，所述布局间距S113较佳是介于20微米(μm)～100微米，任一个所述穿孔1131的所述内径L1131不大于100微米，并且相邻的任两个所述穿孔1131之间相隔有10微米～50微米的间距S1131，据以有效地避免影响所述主体段11的结构强度，但本发明不受限于此。

依上所述，本发明实施例所公开的所述悬臂式探针卡装置100及所述微机电探针1，其通过在所述布局区域113形成有多个所述穿孔1131，使得在以微机电方式制造的过程中，能够以多个所述穿孔1131提供药液流过而更全面地去除光刻胶层，进而提升生产良率。

以上为单个所述微机电探针1的构造说明，以下接着介绍多个所述微机电探针1与其他构件之间的连接关系。其中，多个所述微机电探针1以其所述主体段11的所述焊接端部111固定于所述基板2的多个所述焊垫21；也就是说，每个所述微机电探针1的所述焊接端部111以一个所述焊料3焊接固定于相对应的所述焊垫21，而多个所述微机电探针1的所述针测段13沿所述排列方向D2排成一列。

于本实施例中，所述焊接端部111与所述焊垫21之间的焊接方式可以依据设计需求而加以调整变化，例如：表面贴焊技术(surface mount technology，SMT)、引脚浸锡膏(pin-in-paste，PIP)形式、或是其他焊接形式，本发明在此不加以限制。

再者，其中一列所述穿孔1131邻近于所述焊接端部111并各定义为一容焊料孔11311，并且每个所述容焊料孔11311的至少部分能容纳相对应的所述焊料3，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，任一个所述穿孔1131也可以未容纳任何所述焊料3。

此外，如图4所示，于本实施例之中，所述微机电探针1包含有形成于所述主体段11的多个支撑臂114及分别包覆多个所述支撑臂114的多个绝缘有机层14，并且多个所述支撑臂114与多个所述容焊料孔11311排成一列，并且每个所述容焊料孔11311位于相邻两个所述支撑臂114之间。也就是说，每个所述支撑臂114较佳是埋置于一个所述绝缘有机层14内，据以避免相对应所述焊料3(如：图3)沿着所述支撑臂114攀爬，并能精准地控制每个所述微机电探针1上的所述焊料3攀爬高度，进而有效地维持每个所述微机电探针1的焊接过程稳定性。

[实施例二]

请参阅图5至图8所示，其为本发明的实施例二。由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，多个所述焊垫21包含有多个第一焊垫21a与多个第二焊垫21b，多个所述第一焊垫21a沿所述排列方向D2排成一第一列，而多个所述第二焊垫21b沿所述排列方向D2排成平行且间隔于所述第一列的一第二列。其中，所述第一列的多个所述第一焊垫21a相对于所述第二列的多个所述第二焊垫21b于所述延伸方向D3上彼此相隔有一错开距离D3-1。

多个所述微机电探针1包含有多个第一探针1a及多个第二探针1b，并且多个所述第一探针1a与多个所述第二探针1b(于所述排列方向D2上)交错排列地固定于所述基板2。于本实施例中，相邻的任两个所述第二探针1b之间设置有一个所述第一探针1a，并且任一个所述第一探针1a及其相邻的所述第二探针1b沿所述排列方向D2形成有介于20微米(μm)～200微米的一间隔D2-1。

每个所述第一探针1a包含有所述主体段11、所述力臂段12及所述针测段13，并且任一个所述第一探针1a的所述主体段11、所述力臂段12及所述针测段13分别定义为一第一主体段11a、一第一力臂段12a及一第一针测段13a。也就是说，所述第一探针1a于本实施例中的构型如同上述实施例一所载的所述微机电探针1，在此不加以赘述。

需先说明的是，多个所述第二探针1b的构造于本实施例中大致相同(如：多个所述第二探针1b的轮廓于所述排列方向D2上彼此切齐)，所以为便于理解，以下仅介绍单个所述第二探针1b的构造，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，多个所述第二探针1b的构造也可以略有差异。

所述第二探针1b包含有一第二主体段11b、相连于所述第二主体段11b的一延伸段14b、相连于所述延伸段14b的一第二力臂段12b及相连于所述第二力臂段12b的一第二针测段13b。也就是说，所述第二主体段11b、所述延伸段14b、所述第二力臂段12b及所述第二针测段13b沿所述延伸方向D3依序相连。进一步地说，所述延伸段14b与所述第二针测段13b是分别相连于所述第二力臂段12b的两端、并分别位于所述第二力臂段12b的斜对向两侧位置。

换个角度来看，所述第一探针1a的所述第一主体段11a、所述第一力臂段12a及所述第一针测段13a的外型于本实施例中分别等同于所述第二探针1b的所述第二主体段11b、所述第二力臂段12b及所述第二针测段13b的外型，但本发明不以此为限。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一探针1a的所述第一主体段11a、所述第一力臂段12a及所述第一针测段13a的外型相较于任一个所述第二探针1b的所述第二主体段11b、所述第二力臂段12b及所述第二针测段13b的外型也可以略有差异。

于本实施例中，所述第二主体段11b大致呈片状(如：矩形片体)，并且所述第二主体段11b具有沿所述预设方向D1分别位于相反侧的一第二焊接端部111b与一第二延伸端部112b。所述延伸段14b也大致呈片状且其一端相连于所述第二主体段11b，所述第二力臂段12b为沿着所述延伸方向D3的长条状构造，并且所述第二力臂段12b的一端相连于所述延伸段14b的另一端。所述第二针测段13b则是沿所述预设方向D1呈直立状且相连于所述第二力臂段12b的另一端。

换个角度来看，所述第二延伸端部112b的边缘切齐于所述延伸段14b的边缘与所述第二力臂段12b的边缘(而共同呈直线状)、并大致垂直于所述第二针测段13b的边缘。再者，于所述预设方向D1上，所述第二主体段11b具有一主体高度H11b，并且所述延伸段14b具有介于所述主体高度H11b的5％～80％的一延伸高度H14b，所述第二力臂段12b具有介于所述延伸高度H14b的5％～50％的一力臂高度H12b。

也就是说，于所述预设方向D1上，相连于所述第二主体段11b的所述延伸段14b尺寸为所述延伸高度H14b，而相连于所述第二力臂段12b的所述延伸段14b尺寸为所述力臂高度H12b，并且所述第二力臂段12b能产生弹性形变，而所述第二主体段11b与所述延伸段14b皆不产生形变。

进一步地说，所述延伸段14b于所述延伸方向D3上具有一延伸距离D3-2，其为所述错开距离D3-1的95％～105％(如：较佳为98％～102％)，据以使所述第二探针1b能够通过所述延伸段14b来根据所述错开距离D3-1，并且有效地使所述第二探针1b的所述第二力臂段12b能够维持与所述第一探针1a的所述第一力臂段12a大致相同的功效。

以下接着介绍多个所述第一探针1a与多个所述第二探针1b相较于其他构件之间的连接关系。其中，多个所述第一探针1a的所述第一主体段11a(通过一个所述焊料3而焊接)固定于多个所述第一焊垫21a，并且多个所述第二探针1b的所述第二主体段11b(通过一个所述焊料3而焊接)固定于多个所述第二焊垫21b，而多个所述第一探针1a的所述第一针测段13a与多个所述第二探针1b的所述第二针测段13b沿所述排列方向D2排成一列。

当多个所述第一探针1a的所述第一针测段13a与多个所述第二探针1b的所述第二针测段13b用来抵接于一待测物200时，任一个所述第一探针1a的所述第一针测段13a所形成的针压，其为任一个所述第二探针1b的所述第二针测段13b所形成的针压的95％～105％(如：较佳为98％～102％)，并且每个所述第一探针1a较佳是仅于所述第一力臂段12a产生形变，而每个所述第二探针1b较佳是仅于所述第二力臂段12b产生形变，但不以此为限。

依上所述，本发明实施例所公开的所述悬臂式探针卡装置100，其每个所述第二探针1b能够通过在所述第二主体段11b与所述第二力臂段12b之间形成有具备特定结构条件(如：所述延伸高度H14b介于所述主体高度H11b的5％～50％)的所述延伸段14b，据以使多个所述第二探针1b能够搭配多个所述第一探针1a而固定在分别排成两列的多个所述第一焊垫21a与多个所述第二焊垫21b、并利于保有大致彼此相同的针压。

[实施例三]

请参阅图9所示，其为本发明的实施例三。由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述微机电探针1的所述针测段13包含有一针尖部131及连接所述针尖部131与所述力臂段12的一直立部132，并且所述微机电探针1进一步包含有一吸光涂层15。其中，所述吸光涂层15包覆所述直立部132及所述力臂段12于其内(或是说，所述吸光涂层15包覆于所述直立部132、并自所述直立部132延伸，以包覆所述力臂段12于其内)，并且所述吸光涂层15突出于所述针尖部131的外表面。

据此，所述微机电探针1的所述针测段13及所述力臂段12能于一检测设备300的观测作业之中，仅以所述针尖部131形成有一观测点，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述吸光涂层15可以仅包覆所述直立部132于其内，并于所述检测设备300的所述观测作业之中，仅以所述针尖部131形成有所述观测点。

更详细地说，本实施例的所述检测设备300于所述观测作业之中采用一光线，其照射于所述微机电探针1，以取得对应于所述针尖部131的所述观测点位。再者，所述吸光涂层15对应于所述光线的吸光率不低于60％，并且所述吸光涂层15的材质较佳是包含有高分子涂层、有机涂料、纳米涂层、或复合性吸光涂料，但本发明不以此为限。

依上所述，本发明实施例所公开的所述悬臂式探针卡装置100，其通过在邻近所述针尖部131的区块形成有所述吸光涂层15，以使得所述检测设备300能够较为准确地得知所述针尖部131，进而利于所述悬臂式探针卡装置100的运作。

[实施例四]

请参阅图10所示，其为本发明的实施例四。由于本实施例类似于上述实施例一，所以两个实施例的相同处不再加以赘述，而本实施例相较于上述实施例一的差异大致说明如下：

于本实施例中，所述微机电探针1的所述针测段13包含有一针尖部131及连接所述针尖部131与所述力臂段12的一直立部132，并且所述直立部132的整个外表面形成一粗糙化表面16，其具有介于0.1微米～1微米的一中心线平均粗糙度(Ra)。于本实施例中，所述粗糙化表面16自所述直立部132延伸至所述力臂段12的整个外表面。

据此，所述微机电探针1的所述针测段13及所述力臂段12能于一检测设备300的观测作业之中，仅以所述针尖部131形成有一观测点，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述粗糙化表面16可以仅形成于所述直立部132，并于所述检测设备300的所述观测作业之中，仅以所述针尖部131形成有所述观测点。

更详细地说，本实施例的所述检测设备300于所述观测作业之中采用一光线，其照射于所述微机电探针1，以取得对应于所述针尖部131的所述观测点位。再者，所述粗糙化表面16能散射(scatter)照射于其上的所述光线，但本发明不以此为限。

依上所述，本发明实施例所公开的悬臂式探针卡装置100，其通过在邻近所述针尖部131的区块形成有所述粗糙化表面16，以使得所述检测设备300能够较为准确地得知所述针尖部131，进而利于所述悬臂式探针卡装置100的运作。

以上所公开的内容仅为本发明的优选可行实施例，并非因此局限本发明的专利范围，所以凡是运用本发明说明书及附图内容所做的等效技术变化，均包含于本发明的专利范围内。

Claims (10)

1.一种悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置包括：

一基板，包含有多个焊垫；以及

多个微机电探针，固定于所述基板；其中，每个所述微机电探针包含有：

一力臂段；

一主体段，位于所述力臂段的一侧，所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于所述布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部；及

一针测段，沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧；

其中，于每个所述微机电探针之中，所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔，并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％；其中，所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个所述穿孔的内径；

其中，多个所述微机电探针以其所述主体段的所述焊接端部固定于所述基板的多个所述焊垫。

2.根据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，于每个所述微机电探针之中，所述主体段以其中心为原点划分出相等的四个象限，并且任两个所述象限内所形成的所述穿孔的比例的差值不大于5％。

3.根据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述布局间距介于20微米～100微米，任一个所述穿孔的所述内径不大于100微米，并且相邻的任两个所述穿孔之间相隔有10微米～50微米的间距。

4.根据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述悬臂式探针卡装置进一步包含有多个焊料，每个所述微机电探针的所述焊接端部以一个所述焊料焊接固定于相对应的所述焊垫；于每个所述微机电探针之中，多个所述穿孔呈矩阵状且排成多列，并且其中一列所述穿孔邻近于所述焊接端部并各定义为一容焊料孔，而每个所述容焊料孔的至少部分能容纳相对应的所述焊料。

5.根据权利要求4所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，每个所述微机电探针包含有多个支撑臂及分别包覆多个所述支撑臂的多个绝缘有机层；于每个所述微机电探针之中，多个所述支撑臂与多个所述容焊料孔排成一列，并且每个所述容焊料孔位于相邻两个所述支撑臂之间。

6.根据权利要求1所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，多个所述焊垫包含有多个第一焊垫与多个第二焊垫，多个所述第一焊垫沿垂直所述预设方向的一排列方向排成一第一列，而多个所述第二焊垫沿所述排列方向排成平行且间隔于所述第一列的一第二列；其中，多个所述微机电探针包含有：

多个第一探针，各包含有所述主体段、所述力臂段及所述针测段，并且任一个所述第一探针的所述主体段、所述力臂段及所述针测段分别定义为一第一主体段、一第一力臂段及一第一针测段；及

多个第二探针，各包含有：

所述主体段，其定义为一第二主体段且于所述预设方向上具有一主体高度；

一延伸段，相连于所述第二主体段，并且所述延伸段于所述预设方向上具有一延伸高度，其介于所述主体高度的50％～80％；

所述力臂段，其定义为一第二力臂段且相连于所述延伸段；及

所述针测段，其定义为一第二针测段，其沿所述预设方向呈直立状且相连于所述第二力臂段；

其中，多个所述第一探针的所述第一主体段固定于多个所述第一焊垫，并且多个所述第二探针的所述第二主体段固定于多个所述第二焊垫，而多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段沿所述排列方向排成一列；

其中，当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段用来抵接于一待测物时，每个所述第一探针仅于所述第一力臂段产生形变，而每个所述第二探针仅于所述第二力臂段产生形变。

7.根据权利要求6所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，所述第一列的多个所述第一焊垫相对于所述第二列的多个所述第二焊垫于垂直所述排列方向与所述预设方向的一延伸方向上彼此相隔有一错开距离，任一个所述第二探针的所述延伸段于所述延伸方向上具有一延伸距离，其为所述错开距离的95％～105％。

8.根据权利要求7所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，当多个所述第一探针的所述第一针测段与多个所述第二探针的所述第二针测段用来抵接于一待测物时，任一个所述第一探针的所述第一针测段所形成的针压，其为任一个所述第二探针的所述第二针测段所形成的针压的95％～105％。

9.根据权利要求6所述的悬臂式探针卡装置，其特征在于，相邻的任两个所述第二探针之间设置有一个所述第一探针，并且任一个所述第一探针及其相邻的所述第二探针沿所述排列方向形成有介于20微米～200微米的一间隔。

10.一种微机电探针，其特征在于，所述微机电探针包括：

一力臂段；

一主体段，位于所述力臂段的一侧，所述主体段在其外轮廓的内侧定义有一布局区域，并且所述主体段具有沿一预设方向分别位于所述布局区域相反侧的一焊接端部与一延伸端部；及

一针测段，沿所述预设方向呈直立状且相连于所述力臂段的另一侧；

其中，所述主体段在所述布局区域形成有多个穿孔，并且多个所述穿孔为所述外轮廓所围绕区域的3％～70％；其中，所述布局区域与所述外轮廓相隔有一布局间距，其不小于任一个所述穿孔的内径。