[go: up one dir, main page]

CN116177899B - 玻璃减薄装置 - Google Patents

玻璃减薄装置 Download PDF

Info

Publication number
CN116177899B
CN116177899B CN202310265921.XA CN202310265921A CN116177899B CN 116177899 B CN116177899 B CN 116177899B CN 202310265921 A CN202310265921 A CN 202310265921A CN 116177899 B CN116177899 B CN 116177899B
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass
processed
spraying pipe
pipe
support frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202310265921.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN116177899A (zh
Inventor
李青
李赫然
王世岚
郝艺
李瑞佼
王丽红
胡恒广
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hengshui Hengyin Enterprise Management Co.,Ltd.
Original Assignee
Tunghsu Technology Group Co Ltd
Hebei Guangxing Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tunghsu Technology Group Co Ltd, Hebei Guangxing Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Tunghsu Technology Group Co Ltd
Priority to CN202310265921.XA priority Critical patent/CN116177899B/zh
Publication of CN116177899A publication Critical patent/CN116177899A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN116177899B publication Critical patent/CN116177899B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

本公开涉及一种玻璃减薄装置,包括:放置架,用于放置或可拆卸地安装待加工玻璃;和喷洒机构,包括驱动件、喷洒管以及设置在喷洒管上的的多个喷嘴,喷洒管绕自身中心轴线可转动地连接在放置架上,驱动件与喷洒管驱动连接,以驱动喷洒管转动,多个喷嘴随喷洒管绕喷洒管的中心轴线同步转动,以用于向待加工玻璃的表面喷射蚀刻液。如此,通过驱动件使得喷洒管可以绕自身中心轴线转动,进而使得安装在喷洒管上的喷嘴同步转动,喷嘴在转动时喷出的蚀刻液可以均匀地对安装在放置架上的待加工玻璃进行蚀刻,以达到制造较薄的玻璃基板的目的,同时均匀喷洒在待加工玻璃上的蚀刻液还可以提高加工后的玻璃基板的整体厚度的均匀性,提高玻璃表面的品质。

Description

玻璃减薄装置
技术领域
本公开涉及玻璃制备领域,具体地,涉及一种玻璃减薄装置。
背景技术
随着便携式电子器件的发展,手机、平板等便携式电子器件越来越纤细化及薄型化,因此需要制造较薄的玻璃基板,为了制造较薄的玻璃基板,目前采用的方法包括物理式减薄法和化学式减薄法,而化学式减薄法中又细分为多片直立式浸泡法、单片直立式喷洒法和瀑布流法,其中单片直立式喷洒法在对玻璃基板进行蚀刻时,蚀刻液首先与玻璃基板的上半部分接触并反应,然后再与玻璃基板的下半部分接触并反应,从反应时长来看,玻璃基板的上半部分的反应时长明显要大于下半部分,所以会造成蚀刻后的玻璃基板的上下厚度不均匀,导致玻璃表面品质低下,例如,中国专利(公开号CN102161570B)公开了一种上部向下喷射式基板蚀刻装置,包括:层叠部件,具备垂直层叠有至少一个基板的盒子;喷射部件,在上述层叠部件上部喷射蚀刻液,具备沿与上述基板并列的方向形成的至少一个单位喷嘴部。由此该专利在对玻璃基板进行蚀刻时,玻璃基板的上端会首先接触蚀刻液,蚀刻后的玻璃基板的上下厚度存在有不均匀的可能性。
发明内容
本公开的目的是提供一种玻璃减薄装置,该玻璃减薄装置可以通过转动喷洒蚀刻液的方式对待加工玻璃进行蚀刻,以制造较薄的玻璃基板,以至少部分地解决上述技术问题。
为了实现上述目的,本公开提供一种玻璃减薄装置,包括:
放置架,用于放置或可拆卸地安装待加工玻璃;和
喷洒机构,包括驱动件、喷洒管以及设置在所述喷洒管上的多个喷嘴,所述喷洒管绕自身中心轴线可转动地连接在所述放置架上,以用于布置在所述待加工玻璃的待加工表面的一侧,所述驱动件与所述喷洒管驱动连接,以驱动所述喷洒管转动,所述多个喷嘴随所述喷洒管绕所述喷洒管的中心轴线同步转动,以用于向所述待加工玻璃的表面喷射蚀刻液。
可选地,所述放置架包括沿纵向延伸的第一支撑架,所述第一支撑架的相对两侧各自通过夹持件可拆卸地连接所述待加工玻璃,所述喷洒管可绕自身中心轴线转动地设置在所述第一支撑架上,以使得所述喷洒管位于两个所述待加工玻璃之间。
可选地,所述放置架包括沿横向延伸的第二支撑架,所述第一支撑架垂直连接在所述第二支撑架上,所述第二支撑架包括分别位于所述第一支撑架的沿所述横向相对的两侧的两支撑部,所述支撑部用于支撑所述待加工玻璃的底边。
可选地,所述第一支撑架包括两排纵梁,两排所述纵梁沿所述横向间隔地布置,每排纵梁包括两根纵梁,每根所述纵梁各自通过所述夹持件可拆卸地连接于所述待加工玻璃,所述夹持件包括U形板和顶紧螺钉,所述U形板的U形开口用于套接在所述纵梁上且供所述待加工玻璃的边缘插入,所述顶紧螺钉螺纹连接于所述U形板的U形开口的一侧,以将所述待加工玻璃抵紧于所述纵梁。
可选地,沿横向相邻的两个所述纵梁之间设置有安装平台,所述喷洒管可绕自身中心轴线转动地设置在两所述安装平台上,两所述安装平台上设置有与各个所述纵梁一一对应的多个延展梁,所述延展梁通过所述夹持件可拆卸地连接于所述待加工玻璃。
可选地,所述多个喷嘴包括沿所述喷洒管的轴向间隔布置的多组喷嘴,每组喷嘴包括沿所述喷洒管的周向间隔布置的至少两个喷嘴。
可选地,所述玻璃减薄装置还包括柜体,所述放置架以及所述喷洒管的设置有所述喷嘴的管体部分位于所述柜体内,所述驱动件为电机且设置在所述柜体的外部,所述喷洒管的第一端延伸至所述柜体之外且与所述电机的输出轴同轴连接,所述喷洒管的第二端连接于通过所述喷洒管的内部与所述喷嘴连通的进液管。
可选地,所述柜体内的底端形成用于储存蚀刻液的蚀刻槽,所述进液管的背离所述喷洒管的一端通过泵与所述蚀刻槽连通。
可选地,所述进液管与所述喷洒管通过旋转接头连通。
可选地,所述柜体上设置有柜门。
通过上述技术方案,通过驱动件使得安装在放置架上的喷洒管可以绕自身中心轴线转动,进而使得安装在喷洒管上的喷嘴同步转动,喷嘴在转动时喷出的蚀刻液可以均匀地对安装在放置架上的待加工玻璃进行蚀刻,以达到制造较薄的玻璃基板的目的,同时均匀喷洒在待加工玻璃上的蚀刻液还可以提高加工后的玻璃基板的整体厚度的均匀性,提高玻璃表面的品质。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:
图1是本公开示例性实施方式中提供的玻璃减薄装置整体的结构示意图;
图2是本公开示例性实施方式中提供的安装有待加工玻璃的放置架的结构示意图;
图3是本公开示例性实施方式中提供的放置架的结构示意图,其中,一侧的安装平台上未安装有延展梁;
图4是本公开示例性实施方式中提供的柜体的结构示意图;
图5是本公开示例性实施方式中提供的喷洒管的结构示意图;
图6是图5中A-A位置的剖视结构示意图;
图7是本公开示例性实施方式中提供的夹持件的结构示意图。
附图标记说明
1-放置架;101-第一支撑架;1011-纵梁;102-第二支撑架;1021-支撑部;103-待加工玻璃;2-喷洒机构;201-驱动件;202-喷洒管;203-喷嘴;3-夹持件;301-U形板;302-顶紧螺钉;4-安装平台;401-轴承座;5-延展梁;6-柜体;601-蚀刻槽;602-柜门;7-进液管;8-出液管;9-旋转接头。
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。
在本公开中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“上、下”通常是指相应部件处于使用状态时在重力方向上相对的“上、下”,可参考图1至图2中图面的上、下。“内、外”是指相对于部件或结构本身轮廓的内、外。此外,需要说明的是,本公开中使用的术语“第一”、“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素,不具有顺序性和重要性。下面的描述涉及附图时,除非另有表示,不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。
在本公开提供的具体实施方式中,提供一种玻璃减薄装置,参考图2至图3所示,该玻璃减薄装置包括:
放置架1,用于放置或可拆卸地安装待加工玻璃103;和
喷洒机构2,包括驱动件201、喷洒管202以及设置在喷洒管202上的多个喷嘴203,喷洒管202绕自身中心轴线可转动地连接在放置架1上,以用于布置在所述待加工玻璃103的待加工表面的一侧,驱动件201与喷洒管202驱动连接,以驱动喷洒管202转动,多个喷嘴203随所述喷洒管202绕喷洒管202的中心轴线同步转动,以用于向待加工玻璃103的表面喷射蚀刻液。
在本公开中,通过驱动件201使得安装在放置架1上的喷洒管202可以绕自身中心轴线转动,进而使得安装在喷洒管202上的喷嘴203同步转动,喷嘴203在转动时喷出的蚀刻液可以均匀地对安装在放置架1上的待加工玻璃103进行蚀刻,以达到制造较薄的玻璃基板的目的,同时均匀喷洒在待加工玻璃103上的蚀刻液还可以提高加工后的玻璃基板的整体厚度的均匀性,提高玻璃表面的品质。
在一些实施方式中,为了使得喷嘴203喷出的蚀刻液均匀喷洒至待加工玻璃103的待加工表面上,可以参考图2和图3所示,将喷洒管202设置在待加工玻璃103的中间部位。
本公开中的纵向可以参考图3中的X向,横向可以参考图3中的Y向。
在一些实施方式中,参考图2和图3所示,放置架1包括沿纵向延伸的第一支撑架101,第一支撑架101的相对两侧各自通过夹持件3可拆卸地连接待加工玻璃103,喷洒管202可绕自身中心轴线转动地设置在第一支撑架101上,以使得喷洒管202位于两个待加工玻璃103之间。
在本公开中,放置架1包括沿纵向延伸的第一支撑架101,参考图2和图3所示,该第一支撑架101的相对两侧均可以通过夹持件3将待加工玻璃103安装在第一支撑架101上,并且为了实现对安装在第一支撑架101上的两块待加工玻璃103同时喷洒蚀刻液,可以将喷洒管202安装在第一支撑架101上并且位于两块待加工玻璃103之间。
在本公开中,放置架1包括沿横向延伸的第二支撑架102,参考图2和图3所示,第一支撑架101垂直连接在第二支撑架102上,并且第二支撑架102包括分别位于第一支撑架101的沿横向相对的两侧的两支撑部1021,当待加工玻璃103通过夹持件3安装在第一支撑架101上时,支撑部1021起到支撑待加工玻璃103的底边的作用。
在一些实施方式中,参考图4所示,第一支撑架101包括两排纵梁1011,两排纵梁1011沿横向间隔地布置,每排纵梁1011包括两根纵梁1011,每根纵梁1011各自通过夹持件3可拆卸地连接于待加工玻璃103,夹持件3包括U形板301和顶紧螺钉302,U形板301的U形开口用于套接在纵梁1011上且供待加工玻璃103的边缘插入,顶紧螺钉302螺纹连接于U形板301的U形开口的一侧,以将待加工玻璃103抵紧于纵梁1011。
本公开中的第一支撑架101包括两排纵梁1011,并且两排纵梁1011沿横向间隔地布置,每排纵梁1011包括两根纵梁1011,参考图2和图7所示,当待加工玻璃103通过夹持件3安装在第一支撑架101上时, 待加工玻璃103的边缘部位贴合在纵梁1011上,此时可以将U形板301的U形开口对准贴合有待加工玻璃103的纵梁1011,并插入使得贴合有待加工玻璃103的纵梁1011位于U形板301的内侧,之后拧进螺纹连接在U形板301上的顶紧螺钉302,达到将待加工玻璃103抵紧在纵梁1011上的目的。
在一些实施方式中,参考图3所示,沿横向相邻的两个纵梁1011之间设置有安装平台4,喷洒管202可绕自身中心轴线转动地设置在两安装平台4上,两安装平台4上设置有与各个纵梁1011一一对应的多个延展梁5,延展梁5通过夹持件3可拆卸地连接于待加工玻璃103。
本公开中,可以在两个安装平台4上均设置有轴承座401,通过轴承座401将喷洒管202安装在安装平台4上,并且两个轴承座401分别位于喷洒管202的两端,用以支撑喷洒管202。
本公开中在安装平台4上还安装有延展梁5,参考图2和图3所示,当在第一支撑架101上安装较大的待加工玻璃103时,为了将待加工玻璃103固定牢固,可以将夹持件3安装在延展梁5上,对待加工玻璃103的上半部分进行固定,配合安装在纵梁1011上的夹持件3,一同对待加工玻璃103进行固定。
在一些实施方式中,参考图5和图6所示,本公开中的喷嘴203沿喷洒管202的轴向间隔布置有多组,并且每组喷嘴203包括沿喷洒管202的周向间隔布置的至少两个喷嘴203,在喷洒管202上设有多个喷嘴203的好处在于,增大喷洒出蚀刻液的面积,有助于均匀地在待加工玻璃103表面喷洒蚀刻液。
在一些实施方式中,参考图1至图6所示,玻璃减薄装置还包括柜体6,放置架1以及喷洒管202的设置有喷嘴203的管体部分位于柜体6内,驱动件201为电机且设置在柜体6的外部,喷洒管202的第一端延伸至柜体6之外且与电机的输出轴同轴连接,喷洒管202的第二端连接于通过喷洒管202的内部与喷嘴203连通的进液管7。
在本公开中,喷洒管202的第一端延伸出柜体6与设置在柜体6外的驱动件201连接,参考图4所示,柜体6外壁上可以设有用于放置电机的支架,电机的输出轴可以通过联轴器与喷洒管202的第一端连接。
本公开中的喷洒管202可以具有用于储存蚀刻液的内腔,参考图6所示,内腔与喷嘴203内部连通,喷洒管202的第二端可以连接有用于供给蚀刻液的进液管7,蚀刻液通过进液管7进入内腔并通过喷嘴203喷出。
在一些实施方式中,本公开中的柜体6内的底端形成用于储存蚀刻液的蚀刻槽601,参考图4所示,可以在柜体6外壁上设有出液管8,出液管8与蚀刻槽601连通,通过泵将进液管7与出液管8连通,泵的抽取端通过管路连接出液管8,泵的排放端通过管路连接进液管7,蚀刻槽601内的蚀刻液经出液管8和进液管7后,流进喷洒管202内,最终自喷嘴203喷出。
在一些实施方式中,参考3所示,为了满足喷洒管202既可以绕自身中心轴线转动的同时,又可以不影响喷洒管202与进液管7连接的稳定性,本公开中的进液管7与喷洒管202需要通过旋转接头9连通。其中,旋转接头9可采用现有的旋转接头,该旋转接头可以用于连接两根管路,并且相连的两根管路可以相对旋转,本公开对其具体构造不再赘述。
在一些实施方式中,参考图1所示,在喷嘴203喷洒蚀刻液时,为了避免蚀刻液飞溅,可以在柜体6上安装柜门602。并且通过该柜门602可以检修或更换柜体内的零部件,也可以向蚀刻槽601内补充蚀刻液。
另外,柜体6的底部可以设置与蚀刻槽连通的排放口等,用于排放蚀刻液。
玻璃减薄装置运转流程说明:人员可借助玻璃吸盘将待加工玻璃103搬运至放置架1上,并通过夹持件3将待加工玻璃103进行固定,为了确保牢固固定待加工玻璃103,可以参考图2所示,在纵梁1011与延展梁5上均安装有夹持件3,待加工玻璃103固定完毕后,可以关闭柜门602,避免蚀刻液飞溅出柜体6,之后启动电机和泵,喷洒管202开始绕自身中心轴线转动并且安装在喷洒管202上的喷嘴203同步旋转并喷出蚀刻液,进而对玻璃基板进行减薄。
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (9)

1.一种玻璃减薄装置,其特征在于,包括:
放置架,用于放置或可拆卸地安装待加工玻璃;和
喷洒机构,包括驱动件、喷洒管以及设置在所述喷洒管上的多个喷嘴,所述喷洒管绕自身中心轴线可转动地连接在所述放置架上,以用于布置在所述待加工玻璃的待加工表面的一侧,所述驱动件与所述喷洒管驱动连接,以驱动所述喷洒管转动,所述多个喷嘴随所述喷洒管绕所述喷洒管的中心轴线同步转动,以用于向所述待加工玻璃的表面喷射蚀刻液;
所述玻璃减薄装置还包括柜体,所述放置架以及所述喷洒管的设置有所述喷嘴的管体部分位于所述柜体内,所述驱动件为电机且设置在所述柜体的外部,所述喷洒管的第一端延伸至所述柜体之外且与所述电机的输出轴同轴连接,所述喷洒管的第二端连接于通过所述喷洒管的内部与所述喷嘴连通的进液管。
2.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述放置架包括沿纵向延伸的第一支撑架,所述第一支撑架的相对两侧各自通过夹持件可拆卸地连接所述待加工玻璃,所述喷洒管可绕自身中心轴线转动地设置在所述第一支撑架上,以使得所述喷洒管位于两个所述待加工玻璃之间。
3.根据权利要求2所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述放置架包括沿横向延伸的第二支撑架,所述第一支撑架垂直连接在所述第二支撑架上,所述第二支撑架包括分别位于所述第一支撑架的沿所述横向相对的两侧的两支撑部,所述支撑部用于支撑所述待加工玻璃的底边。
4.根据权利要求3所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述第一支撑架包括两排纵梁,两排所述纵梁沿所述横向间隔地布置,每排纵梁包括两根纵梁,每根所述纵梁各自通过所述夹持件可拆卸地连接于所述待加工玻璃,所述夹持件包括U形板和顶紧螺钉,所述U形板的U形开口用于套接在所述纵梁上且供所述待加工玻璃的边缘插入,所述顶紧螺钉螺纹连接于所述U形板的U形开口的一侧,以将所述待加工玻璃抵紧于所述纵梁。
5.根据权利要求4所述的玻璃减薄装置,其特征在于,沿横向相邻的两个所述纵梁之间设置有安装平台,所述喷洒管可绕自身中心轴线转动地设置在两所述安装平台上,两所述安装平台上设置有与各个所述纵梁一一对应的多个延展梁,所述延展梁通过所述夹持件可拆卸地连接于所述待加工玻璃。
6.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述多个喷嘴包括沿所述喷洒管的轴向间隔布置的多组喷嘴,每组喷嘴包括沿所述喷洒管的周向间隔布置的至少两个喷嘴。
7.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述柜体内的底端形成用于储存蚀刻液的蚀刻槽,所述进液管的背离所述喷洒管的一端通过泵与所述蚀刻槽连通。
8.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述进液管与所述喷洒管通过旋转接头连通。
9.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于,所述柜体上设置有柜门。
CN202310265921.XA 2023-03-17 2023-03-17 玻璃减薄装置 Active CN116177899B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310265921.XA CN116177899B (zh) 2023-03-17 2023-03-17 玻璃减薄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310265921.XA CN116177899B (zh) 2023-03-17 2023-03-17 玻璃减薄装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN116177899A CN116177899A (zh) 2023-05-30
CN116177899B true CN116177899B (zh) 2025-02-14

Family

ID=86448875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310265921.XA Active CN116177899B (zh) 2023-03-17 2023-03-17 玻璃减薄装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116177899B (zh)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101229954A (zh) * 2007-01-25 2008-07-30 蔡孟廷 玻璃面板削减方法、玻璃面板削减装置及平板显示器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060131276A1 (en) * 2004-12-17 2006-06-22 Johnston Steven W Uniformity in batch spray processing using independent cassette rotation
KR101063452B1 (ko) * 2009-07-15 2011-09-08 삼성전기주식회사 에칭장치
CN102923936B (zh) * 2011-08-11 2014-12-10 富泰华工业(深圳)有限公司 蚀刻装置
CN207266390U (zh) * 2017-08-07 2018-04-20 新昌县达科机电产品设计有限公司 一种电路板蚀刻装置
CN218175112U (zh) * 2022-09-30 2022-12-30 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司 一种管内微纳结构加工装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101229954A (zh) * 2007-01-25 2008-07-30 蔡孟廷 玻璃面板削减方法、玻璃面板削减装置及平板显示器

Also Published As

Publication number Publication date
CN116177899A (zh) 2023-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1572911B (zh) 用于镀敷基片的装置和方法
TWI531418B (zh) 在流體處理系統中使工件表面潤濕的方法及裝置
CN100537258C (zh) 在大工件表面进行水转印的方法及设备
JP7604088B2 (ja) 電気メッキのための幅広リップシール
CN101481217A (zh) 用来蚀刻玻璃薄片的装置和利用该装置制成的玻璃板材
WO2010053280A2 (ko) 대상물의 습식 처리 장치 및 방법과 이에 사용되는 유체 확산판 및 배럴
CN100490990C (zh) 具有预涂敷单元的狭缝涂布机以及使用其的涂布方法
CN116177899B (zh) 玻璃减薄装置
KR100466297B1 (ko) 반도체 제조 장치
KR20010049878A (ko) 습식처리장치
CN101325148A (zh) 基材蚀刻设备
KR101133538B1 (ko) 에칭공정용 유리기판 지지구조 및 이를 이용한 유리기판 에칭방법
JP3877910B2 (ja) めっき装置
CN218996690U (zh) 一种半导体芯片清洗装置用处理槽
CN117226705A (zh) 一种晶圆暂存装置及晶圆生产线
JP2002294495A (ja) 液処理装置
CN217484700U (zh) 一种可实现基板稳定显影的喷淋设备
JP2003136024A (ja) 基板処理装置
KR100717866B1 (ko) 평판 디스플레이용 기판 전달장치
TWI802242B (zh) 晶圓載台
US20060254625A1 (en) Sprayer and cleaning apparatus using the same
CN219068516U (zh) 一种喷淋摇摆机构及蚀刻设备
CN218730821U (zh) 一种伞状式晶圆镀膜治具
CN214234568U (zh) 一种集成电路表面涂覆装置
KR20120013133A (ko) 기판 도금 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20250410

Address after: Room 606, 6th Floor, Building D and E, Commercial Center, Renmin Road Central Street, Taocheng District, Hengshui City, Hebei Province 053099

Patentee after: Hengshui Hengyin Enterprise Management Co.,Ltd.

Country or region after: China

Address before: No.931, Zhongshan East Road, High tech Zone, Shijiazhuang City, Hebei Province 050035

Patentee before: Hebei Guangxing Semiconductor Technology Co.,Ltd.

Country or region before: China

Patentee before: TUNGHSU TECHNOLOGY GROUP Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right