CN103201134A

CN103201134A - 往复移动装置

Info

Publication number: CN103201134A
Application number: CN2011800542936A
Authority: CN
Inventors: 神藤高广; 铃木淳
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2010-11-17
Filing date: 2011-10-04
Publication date: 2013-07-10
Anticipated expiration: 2031-10-04
Also published as: US9120383B2; JP2014239643A; CN103201134B; US20130220756A1; JP2012110118A; DE112011103792B4; WO2012066862A1; JP5579581B2; JP5897072B2; DE112011103792T5

Abstract

在往复移动装置中，以夹持设于能够沿着轨道（1）移动的移动体（2）的受电部（8、9）的方式，将第一输电部（6）及第二输电部（7）设于轨道（1）的一端侧及另一端侧。因此，在移动体（2）向轨道（1）的一端侧或另一端侧移动而使受电部（8、9）远离另一端侧的第二输电部（7）或一端侧的第一输电部（6）时，能够使受电部（8、9）从所接近的一端侧的第一输电部（6）或另一端侧的第二输电部（7）以非接触方式高效率地接收电力，能够以简单的结构使移动体（2）在轨道（1）的两端之间往复移动。

Description

往复移动装置

技术领域

本发明涉及一种往复移动装置，接收通过非接触供电而输送的电力，并通过该电力使移动体沿着轨道往复移动。

背景技术

例如，在专利文献1中公开了如下的往复移动装置（行驶车系统）：接收通过非接触供电而输送的电力，并通过该电力使移动体（行驶车）沿着轨道（行驶轨道）往复移动。该往复移动装置以如下方式构成：将电力从沿着轨道配置的一对供电线（输电部）以非接触方式供给到设于移动体的受电部（受电传感器），从而使移动体沿着轨道往复移动。

而且，在专利文献2中公开了如下的无线电力发送装置：接收通过基于共振现象的非接触供电而输送的电力，并将该电力向移动体（电气汽车）的电池充电。该无线电力发送装置以如下方式构成：使共振线圈的共振频率和交流电的频率一致，提高电力的传输效率。

专利文献1：日本特开2010-13009号公报（第0006段，图5）

专利文献2：日本特开2010-68657号公报（第0007段，图1）

发明内容

在上述的专利文献1所记载的往复移动装置中，为了不对供电产生影响，需要沿着轨道配置作为输电部的一对供电线，因而存在构造复杂、耗费工时、高成本的倾向。而且，在专利文献2所记载的无线电力发送装置中，虽然能够向静止状态的移动体的电池供给电力而进行充电，但不能边向未进行充电的状态的电池供给电力边使移动体移动。

本发明鉴于上述情况而作出，其目的在于提供一种往复移动装置，接收通过简单结构的非接触供电而输送的电力，并通过该电力使移动体沿着轨道往复移动。

为了解决上述问题，技术方案1所涉及的发明具备：轨道；移动体，以能够往复移动的方式设于该轨道；移动单元，使该移动体进行移动；移动控制单元，对该移动单元进行驱动控制；电力控制单元，对用于使上述移动体移动的电力进行输出控制；第一输电部，与上述电力控制单元连接、且设于上述轨道的一端侧；第二输电部，与上述电力控制单元连接、且设于上述轨道的另一端侧；及受电部，与上述移动控制单元连接、且设于上述移动体；上述往复移动装置将从上述电力控制单元供给至上述第一输电部及上述第二输电部中的至少一方的电力以非接触方式输送至上述受电部并使该受电部接收该电力，并且将所接收到的电力供给至上述移动控制单元而对上述移动单元进行驱动控制，从而使上述移动体沿着上述轨道往复移动。

技术方案2所涉及的发明在技术方案1的基础上，上述受电部由能够接收从上述第一输电部输送的上述电力的第一受电部和能够接收从上述第二输电部输送的上述电力的第二受电部构成。

技术方案3所涉及的发明在技术方案2的基础上，上述第一受电部以与上述第一输电部相向的方式设于上述移动体，上述第二受电部以与上述第二输电部相向的方式设于上述移动体。

技术方案4所涉及的发明在技术方案1～3中任一项的基础上，上述电力的输送与接收是通过磁场共振或电场共振而进行的。

技术方案5所涉及的发明在技术方案1～3中任一项的基础上，上述电力的输送与接收是通过电磁感应而进行的。

技术方案6所涉及的发明在技术方案1～5中任一项的基础上，上述移动体是在被搬运并定位的基板上安装元件的元件安装机的元件安装头及以能够移动的方式架装该元件安装头并使该元件安装头移动的滑动件中的至少一方，上述轨道是对上述元件安装头及上述滑动件中的至少一方的移动进行引导的导轨。

技术方案7所涉及的发明在技术方案1～6中任一项的基础上，上述电力控制单元如下进行控制：即使上述第一输电部与上述受电部之间的距离及上述第二输电部与上述受电部之间的距离发生变化，被从上述第一输电部输送并接收的电力和被从上述第二输电部输送并接收的电力的电力和也保持恒定。

技术方案8所涉及的发明在技术方案7的基础上，上述电力控制单元在上述第一输电部及上述第二输电部的一方与上述受电部之间的距离在规定值以下时切断向上述第一输电部及上述第二输电部中的另一方的电力供给。

发明效果

根据技术方案1所涉及的发明，以夹持设于能够沿着轨道移动的移动体的受电部的方式，将第一输电部及第二输电部设于轨道的一端侧及另一端侧。因此，在移动体向轨道的一端侧或另一端侧移动而使受电部远离另一端侧的第二输电部或一端侧的第一输电部时，受电部能够从所接近的一端侧的第一输电部或另一端侧的第二输电部以非接触方式高效率地接收电力，能够以简单的结构使移动体在轨道的两端之间往复移动。

根据技术方案2所涉及的发明，作为受电部设置两个第一受电部及第二受电部，在第一受电部接收从第一输电部输送的电力，在第二受电部接收从第二输电部输送的电力。因此，根据轨道的两端之间的移动体的移动来控制从第一输电部及第二输电部输送的电力比率，由此能够使移动体以省电的方式进行移动。

根据技术方案3所涉及的发明，由于第一受电部及第二受电部以分别与第一输电部及第二输电部相向的方式设置，因此能够使从第一输电部及第二输电部输送的电力分别由第一受电部及第二受电部高效率地接收。

根据技术方案4所涉及的发明，由于通过基于磁场共振或电场共振的非接触供电而使移动体移动，因此即使输电部与受电部之间的距离比较远也能够以高效率输送与接收电力。

根据技术方案5所涉及的发明，由于通过基于电磁感应的非接触供电而使移动体移动，因此与基于磁场共振或电场共振的非接触供电相比能够形成简单的结构，实现成本降低。

根据技术方案6所涉及的发明，由于将往复移动装置适用于元件安装机的元件安装头、滑动件及导轨，因此不需要以往所需的用于向元件安装头等的移动单元进行电力供给的线缆及线缆托架等。以往，存在元件安装头等的高速移动时线缆断线的情况，而且，由于线缆托架的自重、弯曲应力的负荷而产生能量损失，但根据本发明，由于不需要线缆及线缆托架，因此能够消除这些问题。而且，以往，当提高元件安装头等的移动速度时，由于线缆托架晃动而使元件安装头的定位精度降低等而导致动作出错，因此元件安装头等的高速化存在限制，但根据本发明，由于不需要线缆托架，因此与以往相比能够实现元件安装头等的高速化。而且，由于不需要线缆及线缆托架等，因此能够实现节省元件安装机的空间。

根据技术方案7所涉及的发明，电力控制单元进行如下控制，即使移动体在轨道的两端之间位于任一位置，从第一输电部输送并接收的电力和从第二输电部输送并接收的电力的电力和也保持恒定。因此能够使移动体在轨道的两端之间稳定地往复移动。

根据技术方案8所涉及的发明，由于能够控制成在移动体向第一输电部及第二输电部的一方靠近时切断向第一输电部及第二输电部的电力的供给的情况下电力和保持恒定，因此即使不供给多余的电力也能够更好地实现节能化。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的往复移动装置的一实施方式的概略结构图。

图2是表示图1的往复移动装置的输电部和受电部的内部构造的图。

图3是表示使图1的往复移动装置的移动体在轨道上进行往复移动时受电部接收的电力的电力变化的图。

图4是表示具有本发明所涉及的往复移动装置能够适用的元件安装装置的元件安装机的立体图。

图5是表示图4的元件安装装置的详细构造的图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的往复移动装置的实施方式进行说明。如图1所示，往复移动装置具备：轨道1；移动体2，以能够往复移动的方式设于该轨道1；移动单元3，使该移动体2进行移动；移动控制单元4，对该移动单元3进行驱动控制；及电力控制单元5，对用于使移动体2移动的电力进行输出控制。该往复移动装置还具备：第一输电部6，与电力控制单元5连接、且设于轨道1的一端侧（图示左端侧）；第二输电部7，与电力控制单元5连接、且设于轨道1的另一端侧（图示右端侧）；第一受电部8，与移动控制单元4连接、且以与第一输电部6相向的方式设于移动体2；及第二受电部9，与移动控制单元4连接、且以与第二输电部7相向的方式设于移动体2。该往复移动装置是接收通过非接触供电而输送的电力并通过该电力使移动体2沿着轨道1往复移动的装置。

轨道1形成为直线棒形，两端固定支撑于未图示的固定壁。移动体2形成为箱形，以能够沿着轨道1滑动的方式配置。移动单元3具备滚珠丝杠31、滚珠螺母32、齿轮机构33及电动机34。滚珠丝杠31被加工成与轨道1的长度大致相同的长度，与轨道1平行地配置，且两端固定支撑于支撑部31a。滚珠螺母32与滚珠丝杠31螺合，以能够旋转的方式支撑于移动体2内。齿轮机构33通过固定于移动体2的电动机34的驱动而以滚珠螺母32能够旋转的方式将电动机34的转轴和滚珠螺母32旋转连接，齿轮机构33以能够旋转的方式支撑于移动体2内。

移动控制单元4以如下方式构成：与第一受电部8及第二受电部9之间进行布线而能够输入来自第一受电部8及第二受电部9的电力，并且，与电动机34之间进行布线而能够控制电动机34的正反转速。电力控制单元5以如下方式构成：与第一输电部6及第二输电部7之间进行布线而能够通过例如电流对分别供给至第一输电部6及第二输电部7的电力进行输出控制。

第一输电部6固定于轨道1的一端侧的未图示的固定壁，且与电力控制单元5之间进行布线。第一受电部8以与第一输电部6相向的方式固定于移动体2，且与移动控制单元4之间进行布线。第二输电部7固定于轨道1的另一端侧的未图示的固定壁，且与电力控制单元5之间进行布线。第二受电部9以与第二输电部7相向的方式固定于移动体2，且与移动控制单元4之间进行布线。第一受电部8及第二受电部9中，与受电面相反的一侧的面彼此电、磁切断而贴合地固定于移动体2。第一输电部6与第一受电部8及第二输电部7与第二受电部9能够通过例如磁场共振、电场共振或电磁感应而分别进行非接触供电。

在本实施方式中，为了使从第一输电部6及第二输电部8输送的电力由第一受电部7及第二受电部9高效率地接收，设成相向地配置第一输电部6和第一受电部8、且相向地配置第二输电部7和第二受电部9的结构，但即使不相向地配置也能够进行非接触供电。由此，能够提高输电部和受电部的布局的自由度。而且，虽然构成为由第一受电部8及第二受电部9这两个受电部分别接收从第一输电部6及第二输电部7输送的电力，但也可以构成为由一个受电部分别接收从第一输电部6及第二输电部7输送的电力。由此，能够实现低成本化。

第一输电部6和第一受电部8、第二输电部7和第二受电部9是相同的结构，参照图2对该结构适用磁场共振的情况进行说明。在第一输电部6（第二输电部7），设置一次线圈61（71）及与该一次线圈61（71）接近地配置的一次天线62（72），在第一受电部8（第二受电部9），设置二次线圈81（91）及与该二次线圈81（91）接近地配置的二次天线82（92）。而且，在一次线圈61（71）上布线有电力控制单元5，在二次线圈81（91）上布线有移动控制单元4。一次天线62（72）和二次天线82（92）被调整成以相同的共振频率共振。

在这样的结构中，当从电力控制单元5向一次线圈61（71）输出一次电流时，通过电磁感应，感应电流在一次天线62（72）中流动，而且，通过该一次天线62（72）的电感Ls及寄生电容Cs，该一次天线62（72）以共振频率

进行共振。于是，与该一次天线62（72）相向地设置的二次天线81（91）以共振频率ωs进行共振，而且，二次电流在二次天线81（91）中流动。而且，通过电磁感应，二次电流在二次线圈81（91）中流动，该二次电流被供给于移动控制单元4。通过上述动作，能够从第一输电部6（第二输电部7）向第一受电部8（第二受电部9）以非接触方式供给电力。

接着，对往复移动装置的动作进行说明。为了使移动体2沿着轨道1稳定地往复移动，只要电力控制单元5如下进行控制即可，即使第一输电部6与第一受电部8之间的距离及第二输电部7与第二受电部9之间的距离发生变化，被从第一输电部6输送并由第一受电部8接收的电力和被从第二输电部7输送并由第二受电部9接收的电力的电力和也保持恒定。

此处，如图3所示，在移动体2沿着轨道1从一端位置PL朝向另一端位置PR移动时，在从第一输电部6及第二输电部7输送恒定电力W的情况下，从第一输电部6输送并由第一受电部8接收的电力W1随着第一输电部6与第一受电部8远离而递减，从第二输电部7输送并由第二受电部9接收的电力W2随着第二输电部7与第二受电部9接近而递增。另一方面，在移动体2沿着轨道1从另一端位置PR朝向一端位置PL移动时，在从第一输电部6及第二输电部7输送恒定电力W的情况下，从第二输电部7输送并由第二受电部9接收的电力W2随着第二输电部7与第二受电部9远离而递减，从第一输电部6输送并由第一受电部8接收的电力W1随着第一输电部6与第一受电部8接近而递增。

即，由第一受电部8接收的电力W1的变化及由第二受电部9接收的电力W2的变化以轨道1的中央位置PC为中心形成对称形状。因此，将移动体2（第一受电部8与第二受电部9之间的贴合面）位于轨道1的中央位置PC时的由第一受电部8接收的电力Wc/2与由第二受电部9接收的电力Wc/2之和的电力Wc设定为电力控制单元5所控制的恒定值的控制电力。由此，移动控制单元4能够使移动体2沿着轨道1稳定地往复移动。

作为电力控制单元5的具体控制方法，自移动体2（第一受电部8与第二受电部9之间的贴合面）沿着轨道1从左端位置PL朝向右端位置PR开始移动之后直至到达由第一受电部8接收的电力W1变为Wc的位置P1，电力控制单元5进行如下控制：切断向第二输电部7供给的电力，向第一输电部6供给电力，使得由第一受电部8接收的电力W1为Wc。

而且，直到移动体2超过位置P1而到达中央位置PC为止，电力控制单元5进行如下控制：开始向第二输电部7供给电力，向第二输电部7供给电力，使得由第二受电部9接收的电力W2变为控制电力Wc与由第一受电部8接收的电力W1之差的电力。此时，也可以进行如下控制：向第一受电部8供给电力，使得由第一受电部8接收的电力W1变为控制电力Wc与由第二受电部9接收的电力W2之差的电力。

而且，直到移动体2超过中央位置PC而到达由第二受电部9接收的电力W2变为Wc的位置P2为止，电力控制单元5进行如下控制：向第一输电部6供给电力，使得由第一受电部8接收的电力W1变为控制电力Wc与由第二受电部9接收的电力W2之差的电力。此时，也可以进行如下的控制：向第二受电部9供给电力，使得由第二受电部9接收的电力W2变为控制电力Wc与由第一受电部8接收的电力W1之差的电力。

而且，直到移动体2超过位置P2而到达右端位置PR为止，电力控制单元5进行如下控制：切断向第一输电部6供给的电力，向第二输电部7供给电力，使得由第二受电部9接收的电力W2变为Wc。如上所述，电力控制单元5能够如下高效率地进行控制：在第一输电部6与第一受电部8之间的距离变为规定值以下时，即在移动体2移动到比位置P1靠左端位置PL的位置时，在切断向第二输电部7的电力供给的基础上，控制向第一输电部的电力供给，从而使由第二受电部9接收的电力W2变为恒定的控制电力Wc。同样地，能够如下高效率地进行控制：在第二输电部7与第二受电部9之间的距离变为规定值以下时，即移动体2移动至比位置P2靠右端位置PR的位置时，在切断向第一输电部6的电力供给的基础上，控制向第二输电部的电力供给，从而使由第一受电部8接收的电力W1变为恒定的控制电力Wc。因此，能够使移动体2在轨道1的两端之间稳定地往复移动，并且可以不供给多余的电力，能够实现节能化。

根据上述的往复移动装置的实施方式，以夹持设于能够沿着轨道1移动的移动体2的第一受电部8及第二受电部9的方式，将第一输电部6及第二输电部7设于轨道1的一端侧及另一端侧，因此在移动体2向轨道1的一端侧或另一端侧移动而使第二受电部9或第一受电部8从另一端侧的第二输电部7或一端侧的第一输电部6离开时，能够使第一受电部8或第二受电部9从所接近的一端侧的第一输电部6或另一端侧的第二输电部7高效率地接收电力，能够以简单的结构使移动体2在轨道1的两端之间往复移动。

特别是，作为受电部设置两个第一受电部8及第二受电部9，由第一受电部8接收从第一输电部6输送的电力，由第二受电部9接收从第二输电部7输送的电力，因此根据轨道1的两端之间的移动体2的移动来控制从第一输电部6及第二输电部7输送的电力比率，能够使移动体2以省电的方式移动。而且，第一受电部8及第二受电部9设置成分别与第一输电部6及第二输电部7相向，因此能够使从第一输电部6及第二输电部7输送的电力分别由第一受电部8及第二受电部9高效率地接收。而且，移动体2通过基于磁场共振或电场共振的非接触供电进行移动，因此即使输电部和受电部之间的距离比较远，也能够高效率地供给接收电力。而且，在通过基于电磁感应的非接触供电而使移动体2移动的情况下，与基于磁场共振或电场共振的非接触供电相比，能够形成简单的结构，能够实现成本降低。

本实施方式的往复移动装置能够适用于在被搬运而定位的基板上安装元件的元件安装机的元件安装装置。另外，在以下的说明中，将基板的搬运方向称为X轴方向，将在水平面内与X轴方向垂直的方向称为Y轴方向，将与X轴方向和Y轴方向垂直的方向称为Z轴方向。如图4所示，元件安装机100具有基于供料器21的元件供给装置20、元件安装装置40及控制装置70，并沿X轴方向直列式配置有多台（在图4中表示两台），且配置有并列设置两台搬运装置11、12的双输送机型的基板搬运装置10。

如图4及图5所示，元件安装装置40由XY机械手构成，XY机械手架装于基台41上，配置于基板搬运装置10及元件供给装置20的上方。XY机械手具备Y轴滑动件43（相当于本发明的“移动体”、“滑动件”），该Y轴滑动件43能够沿着导轨42（相当于本发明的“轨道”、“导轨”）在Y轴方向上移动，该导轨42以沿Y轴方向延伸的方式两端固定支撑于固定壁41a、41b。Y轴滑动件43的顶板43a配置成能够沿着导轨42滑动，Y轴滑动件43通过移动装置44（相当于本发明的“移动单元”）而沿着导轨42在Y轴方向上移动。

该移动装置44具备滚珠丝杠51、滚珠螺母52、齿轮机构53及Y轴伺服电动机54。滚珠丝杠51被加工成与导轨42的长度大致相同的长度，与导轨42平行配置，且两端固定支撑于支撑部51a。滚珠螺母52与滚珠丝杠51螺合，以能够旋转的方式支撑于在Y轴滑动件43的顶板43a上固定的外壳43b。齿轮机构53通过固定于外壳43b的Y轴伺服电动机54的驱动而以滚珠螺母52能够旋转的方式将Y轴伺服电动机54的转轴和滚珠螺母52旋转连接，齿轮机构53以能够旋转的方式支撑于外壳43b。而且，对移动装置44进行驱动控制的移动控制装置55（相当于本发明的“移动控制单元”）配置于外壳43b内。

移动装置44构成为通过非接触供电经由移动控制装置55进行驱动控制，配置有用于进行上述驱动控制的第一输电部56、第二输电部57、第一受电部58、第二受电部59及内置于控制装置70的电力控制装置60（相当于本发明的“电力控制单元”）。第一输电部56固定于固定支撑导轨42的一端侧（图5的左端侧）的固定壁41a，且与电力控制装置60之间进行布线。第一受电部58以与第一输电部56相向的方式固定于Y轴滑动件43的顶板43a的下表面，且与移动控制装置55之间进行布线。第二输电部57固定于固定支撑导轨42的另一端侧（图5的右端侧）的固定壁41b，且与电力控制装置60之间进行布线。第二受电部59以与第二输电部57相向的方式固定于Y轴滑动件43的顶板43a的下表面，且与移动控制装置55之间进行布线。

在Y轴滑动件43上，作为元件安装头48的一部分的X轴滑动件45以能够沿与Y轴方向正交的X轴方向移动的方式被引导。在Y轴滑动件43上设置X轴伺服电动机46，与该X轴伺服电动机46的输出轴旋转连接并以能够旋转的方式轴支承于Y轴滑动件43的未图示的滚珠丝杠与固定于X轴滑动件45的滚珠螺母螺合，从而使X轴滑动件45沿X轴方向移动。X轴滑动件45构成保持有吸附元件的能够沿Z轴方向移动的吸嘴47的元件安装头48（相当于本发明的“移动体”）的一部分。而且，在X轴滑动件45上设有基板识别用相机49。

元件安装头48的X轴滑动件45的移动行程较短，线缆托架不易晃动，因此，在本实施方式中，将元件安装头48的往复移动装置设为以往的由通过线缆托架进行电力供给的伺服电动机驱动的滚珠丝杠机构，并未适用本实施方式所涉及的往复移动装置。但是，与本实施方式所涉及的往复移动装置适用于Y轴滑动件43的情况同样地，本实施方式所涉及的往复移动装置也可以适用于使能够沿X轴方向移动的元件安装头48进行移动的往复移动装置。

第一输电部56、第二输电部57、第一受电部58及第二受电部59形成为图2所示的结构，电力控制装置60能够通过执行参照图3所说明的控制而如下进行控制：即使第一输电部56与第一受电部58之间的距离及第二输电部57与第二受电部59之间的距离发生变化，电力和也保持恒定。因此，移动控制装置55能够使Y轴滑动件43及元件安装头48沿着导轨42稳定地往复移动。

特别是，在本实施方式的元件安装装置40中，不需要在以往的元件安装装置中所需的用于向元件安装头等的移动装置进行电力供给的线缆及线缆托架等。在以往的元件安装装置中，存在元件安装头等的高速移动时线缆断线的情况，而且，由于线缆托架的自重、弯曲应力的负荷发生能量损失，但根据本实施方式的元件安装装置40，由于不需要线缆及线缆托架，因而能够消除这些问题。而且，以往的元件安装装置中，当提高元件安装头等的移动速度时，由于线缆托架晃动而使元件安装头的定位精度降低等导致发生动作错误，因而元件安装头等的高速化存在限制，但根据本实施方式的元件安装装置40，由于不需要线缆托架，因而与以往相比能够实现元件安装头48等的高速化。而且，由于不需要线缆及线缆托架等，因而能够实现节省元件安装机100的空间。

另外，作为上述的实施方式的往复移动装置的移动单元3及元件安装装置40的移动装置44，以具备由电动机34、54驱动旋转的滚珠丝杠31、51等的机构为例进行了说明，但只要能够沿着轨道1往复移动的移动体2及能够沿着导轨42往复移动的Y轴滑动件43（元件安装头48）能够移动，则不特别限定，例如，也可以构成为通过线性电动机使移动体2及Y轴滑动件43（元件安装头48）往复移动。

工业实用性

往复移动装置能够适用于例如基板制造装置的印刷装置、检查装置等。而且，也能够适用于机床等。

附图标记说明

1···轨道

2···移动体

3···移动单元

4···移动控制单元

5···电力控制单元

6、56···第一输电部

7、57···第二输电部

8、58···第一受电部

9、59···第二受电部

40···元件安装装置

42···导轨（轨道、导轨）

43···Y轴滑动件（移动体、滑动件）

44···移动装置（移动单元）

48···元件安装头（移动体）

55···移动控制装置（移动控制单元）

60···电力控制装置（电力控制单元）

61、71···一次线圈

62、72···一次天线

81、91···二次线圈

82、92···二次天线

100···元件安装机

Claims

1.一种往复移动装置，其特征在于，具备：

轨道；

移动体，以能够往复移动的方式设于所述轨道；

移动单元，使所述移动体进行移动；

移动控制单元，对所述移动单元进行驱动控制；

电力控制单元，对用于使所述移动体移动的电力进行输出控制；

第一输电部，与所述电力控制单元连接、且设于所述轨道的一端侧；

第二输电部，与所述电力控制单元连接、且设于所述轨道的另一端侧；及

受电部，与所述移动控制单元连接、且设于所述移动体；

所述往复移动装置将从所述电力控制单元供给至所述第一输电部及所述第二输电部中的至少一方的电力以非接触方式输送至所述受电部并使所述受电部接收该电力，并且将所接收到的电力供给至所述移动控制单元而对所述移动单元进行驱动控制，从而使所述移动体沿着所述轨道往复移动。

2.根据权利要求1所述的往复移动装置，其中，

所述受电部由能够接收从所述第一输电部输送的所述电力的第一受电部和能够接收从所述第二输电部输送的所述电力的第二受电部构成。

3.根据权利要求2所述的往复移动装置，其中，

所述第一受电部以与所述第一输电部相向的方式设于所述移动体，所述第二受电部以与所述第二输电部相向的方式设于所述移动体。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的往复移动装置，其中，

所述电力的输送与接收是通过磁场共振或电场共振而进行的。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的往复移动装置，其中，

所述电力的输送与接收是通过电磁感应而进行的。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的往复移动装置，其中，

所述移动体是在被搬运并定位的基板上安装元件的元件安装机的元件安装头及以能够移动的方式架装所述元件安装头并使所述元件安装头移动的滑动件中的至少一方，

所述轨道是对所述元件安装头及所述滑动件中的至少一方的移动进行引导的导轨。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的往复移动装置，其中，

所述电力控制单元如下进行控制：

即使所述第一输电部与所述受电部之间的距离及所述第二输电部与所述受电部之间的距离发生变化，被从所述第一输电部输送并接收的电力和被从所述第二输电部输送并接收的电力的电力和也保持恒定。

8.根据权利要求7所述的往复移动装置，其中，

所述电力控制单元在所述第一输电部及所述第二输电部中的一方与所述受电部之间的距离在规定值以下时切断向所述第一输电部及所述第二输电部中的另一方的电力供给。