CN102013407A - 镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 - Google Patents
镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102013407A CN102013407A CN2010101981618A CN201010198161A CN102013407A CN 102013407 A CN102013407 A CN 102013407A CN 2010101981618 A CN2010101981618 A CN 2010101981618A CN 201010198161 A CN201010198161 A CN 201010198161A CN 102013407 A CN102013407 A CN 102013407A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hook
- silicon wafer
- silicon chip
- coating
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 47
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 47
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 239000007888 film coating Substances 0.000 title description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 title description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 12
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 9
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及太阳能光伏产业镀膜工艺设备技术领域,尤其涉及镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器。该镀膜用挂钩,包括钩体,在钩体的侧部具有带有一定向下倾斜角度的硅片支撑体,硅片支撑体与硅片的边缘接触。硅片载片器,包括石墨框和挂钩,石墨框具有多个用于放置硅片的框格,每个框格的四周设置多个挂钩。本挂钩装配到载片器上,挂钩与硅片的边缘接触,起到支撑硅片的作用,硅片需要镀膜的面不与挂钩接触,从而将挂钩印迹降低到最低程度甚至不会产生挂钩印。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能光伏产业镀膜工艺设备技术领域,尤其涉及镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器。
背景技术
晶体硅太阳能电池工艺中都需要在电池表面镀一层起减反射和钝化双重作用的膜,由于背面镀膜的众多优越性,现行电池工艺都具有背面镀膜步骤。如图1所示,现用工艺中载片器钩体都是采用U或类似U型挂钩支撑硅片,由于其钩体表面粗糙度,很容易在150-200um电池片上刮出应力和微裂纹,产生碎片。钩尖由于因其覆盖部位分子无法或较难沉积,用此挂钩镀膜形成的挂钩印不仅影响电池片的外观,形成彩片,而且会影响电池片的Rsh,进而影响电池片的良品率。公开号CN101634017A的发明专利中公开了一种改进挂钩,将其钩尖改为圆锥体,虽然减少了挂钩支撑部位覆盖电池片的面积,但该工艺还是无法避免挂钩与电池片受光面的接触,无法避免挂钩印的产生。而且支撑硅片部分更加尖锐,容易刺伤PN结,并产生破片。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:提供一种新型挂钩,减少或避免挂钩印、彩色片的产生,提高电池的Rsh,进而提高电池的良品率,降低成本。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种镀膜用挂钩,包括钩体,在钩体的侧部具有带有一定向下倾斜角度的硅片支撑体,硅片支撑体与硅片的边缘接触。
硅片支撑体有两个,分别位于钩体的两侧。
钩体两侧为两个向下延伸的支臂,硅片支撑体设置在支臂上。
硅片支撑体的支撑面与水平面的夹角α为0~90度。
一种硅片载片器,包括石墨框和挂钩,石墨框具有多个用于放置硅片的框格,每个框格的四周设置多个挂钩。
本发明的有益效果是:1)本挂钩装配到载片器上,挂钩与硅片的边缘接触,起到支撑硅片的作用,硅片需要镀膜的面不与挂钩接触,从而将挂钩印迹降低到最低程度甚至不会产生挂钩印;2)因在现有工艺中,丝网印刷步骤过程中金属栅线可能与挂钩印重合或部分重合从而影响电池的Rsh,影响电性能良率,实施本发明后电池的平均Rsh值至少可以提高10,电性能良率提高0.1%,从而改善了电池片外观,降低了生产成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为现工艺中的挂钩示意图;
图2为本发明的第一种挂钩示意图;
图3为本发明的第二种挂钩示意图;
图4为本发明的第三种挂钩示意图;
图5为本发明中挂钩在载片器上的位置设计示意图;
图中:1.钩体,1-1.支臂,2.硅片支撑体,3.硅片,4.石墨框,4-1.框格,5.挂钩。
具体实施方式
本发明包括镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器。该镀膜用挂钩,包括钩体1,在钩体1的侧部具有带有一定向下倾斜角度的硅片支撑体2,硅片支撑体2与硅片1的边缘接触。硅片支撑体2有两个,分别位于钩体1的两侧。钩体1两侧为两个向下延伸的支臂1-1,硅片支撑体2设置在支臂1-1上。硅片支撑体2的支撑面与水平面的夹角α为0~90度。支臂1-1与硅片支撑体2的连接位置可以从支臂1-1的底部至顶部的任一位置,如图2、图3和图4所示。整个挂钩的形状特征可以为圆形,椭圆形或多边形。挂钩5在载片器上的位置设计的特征在于,中心对称或轴对称的多个挂钩5固定在载片器上,使硅片能稳稳的支撑在挂钩5上。
石墨框4的结构如图5所示,他为一个板状的框格结构,在板状框架上等距离的设有25或36个框格4-1,框格4-1与框格4-1之间由筋条隔开。框格4-1用于放置硅片,在每个框格4-1的四侧设有具有中心对称或轴对称的多个挂钩5,用于放置硅片1。具有中心对称的多个固定在石墨框4上的挂钩5,可以保证硅片3不倾斜,不掉片。而且在镀膜过程中,只有硅片3边缘接触挂钩5,从而将挂钩印迹降低到最低程度甚至不会产生挂钩印、彩色片。实施本发明后电池的平均Rsh值至少可以提高10,电性能良率提高至少0.1%,因受光面全部能镀上符合要求的膜,电池效率也有0.01%左右的提升,从而改善了电池片外观,降低了生产成本。
Claims (5)
1.一种镀膜用挂钩,包括钩体(1),其特征是:在所述的钩体(1)的侧部具有带有一定向下倾斜角度的硅片支撑体(2),硅片支撑体(2)与硅片(3)的边缘接触。
2.根据权利要求1所述的镀膜用挂钩,其特征是:所述的硅片支撑体(2)有两个,分别位于钩体(1)的两侧。
3.根据权利要求2所述的镀膜用挂钩,其特征是:所述的钩体(1)两侧为两个向下延伸的支臂(1-1),硅片支撑体(2)设置在支臂(1-1)上。
4.根据权利要求3所述的镀膜用挂钩,其特征是:所述的硅片支撑体(2)的支撑面与水平面的夹角α为0~90度。
5.一种采用权利要求1、2、3或4所述的挂钩的硅片载片器,其特征是:包括石墨框(4)和挂钩(5),石墨框(4)具有多个用于放置硅片的框格(4-1),每个框格(4-1)的四周设置多个挂钩(5)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010101981618A CN102013407A (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010101981618A CN102013407A (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102013407A true CN102013407A (zh) | 2011-04-13 |
Family
ID=43843517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010101981618A Pending CN102013407A (zh) | 2010-06-10 | 2010-06-10 | 镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102013407A (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102709400A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-03 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 防掉片下镀膜挂钩 |
| CN102703876A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-03 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 防掉片下镀膜挡片 |
| CN106756874A (zh) * | 2015-11-24 | 2017-05-31 | 上海神舟新能源发展有限公司 | 一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681929A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-04 | Hitachi Ltd | Plasma processing device |
| CN201032628Y (zh) * | 2007-01-29 | 2008-03-05 | 刘卓 | 硅片生产中的载片器 |
| CN201132851Y (zh) * | 2007-11-13 | 2008-10-15 | 常州天合光能有限公司 | 化学气相沉积镀膜机的钩子 |
-
2010
- 2010-06-10 CN CN2010101981618A patent/CN102013407A/zh active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5681929A (en) * | 1979-12-10 | 1981-07-04 | Hitachi Ltd | Plasma processing device |
| CN201032628Y (zh) * | 2007-01-29 | 2008-03-05 | 刘卓 | 硅片生产中的载片器 |
| CN201132851Y (zh) * | 2007-11-13 | 2008-10-15 | 常州天合光能有限公司 | 化学气相沉积镀膜机的钩子 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102709400A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-03 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 防掉片下镀膜挂钩 |
| CN102703876A (zh) * | 2012-06-28 | 2012-10-03 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 防掉片下镀膜挡片 |
| CN102709400B (zh) * | 2012-06-28 | 2015-02-04 | 无锡绿波新能源设备有限公司 | 防掉片下镀膜挂钩 |
| CN106756874A (zh) * | 2015-11-24 | 2017-05-31 | 上海神舟新能源发展有限公司 | 一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法 |
| CN106756874B (zh) * | 2015-11-24 | 2018-12-18 | 上海神舟新能源发展有限公司 | 一种解决双面太阳能电池氮化硅镀膜绕镀的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101339966A (zh) | 太阳能电池的后制绒生产工艺 | |
| CN202037984U (zh) | 丝网印刷刮刀装置 | |
| CN204834574U (zh) | 一种制备hit太阳能电池的载板和加热装置 | |
| CN102013407A (zh) | 镀膜用挂钩及采用该挂钩的硅片载片器 | |
| CN104681665A (zh) | 一种新型背钝化太阳能电池的制备方法 | |
| CN104425651A (zh) | 一种低温制备正面无栅极的异质结太阳电池的工艺 | |
| CN210560743U (zh) | 一种perc电池的石墨框 | |
| CN204834657U (zh) | 一种制备太阳能电池的挂具 | |
| CN105633195A (zh) | 一种太阳电池光诱导电镀方法 | |
| CN203270027U (zh) | 石墨框 | |
| CN105449046A (zh) | 太阳能电池片镀膜机石墨柜 | |
| CN203491268U (zh) | 一种新型双面受光太阳电池 | |
| CN103928538B (zh) | 单晶硅太阳能电池片 | |
| CN206134663U (zh) | 斜承载面碳纤维载板 | |
| CN110223950A (zh) | 一种用于化学气相沉积硅基薄膜钝化层的托盘结构及其制作方法 | |
| CN104201215A (zh) | 一种背钝化太阳能电池及其制备方法 | |
| CN210156387U (zh) | 一种大尺寸太阳能电池 | |
| CN203270026U (zh) | 一种石墨框 | |
| CN204011387U (zh) | 一种硅片镀膜用的石墨舟以及舟钩 | |
| CN102637770A (zh) | 一种小花篮放置结构及方法 | |
| CN202616272U (zh) | 一种小花篮放置结构 | |
| CN202076296U (zh) | 基于n型硅片的背接触式hit太阳能电池结构 | |
| CN114188437A (zh) | 一种用于非晶硅沉积的板式支撑型载板结构 | |
| CN203325873U (zh) | 用于太阳能电池板式pecvd钝化的基板 | |
| CN215266223U (zh) | 太阳能电池成膜用托盘 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20110413 |