[go: up one dir, main page]

CN101989005B - 结构基板、传送装置和对盒装置 - Google Patents

结构基板、传送装置和对盒装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101989005B
CN101989005B CN 200910089984 CN200910089984A CN101989005B CN 101989005 B CN101989005 B CN 101989005B CN 200910089984 CN200910089984 CN 200910089984 CN 200910089984 A CN200910089984 A CN 200910089984A CN 101989005 B CN101989005 B CN 101989005B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
base station
layer
mechanical arm
magnetized
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN 200910089984
Other languages
English (en)
Other versions
CN101989005A (zh
Inventor
周伟峰
郭建
明星
赵承潭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Original Assignee
Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN 200910089984 priority Critical patent/CN101989005B/zh
Publication of CN101989005A publication Critical patent/CN101989005A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101989005B publication Critical patent/CN101989005B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种结构基板、传送装置和对盒装置。结构基板包括形成在基板一侧表面上的结构层,基板上还形成有在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层。传送装置包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置,施磁装置与消磁装置之间设置有通过电磁吸附方式吸附并传送基板的机械手臂。对盒装置包括第一基台和第二基台,第一基台与第二基台相对设置,还包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置,第一基台和/或第二基台为通过电磁吸附方式吸附结构基板的电磁吸附基台。本发明通过设置磁化层,使结构基板可在真空环境中安全可靠地传送和对盒,降低了生产中的破损。

Description

结构基板、传送装置和对盒装置
技术领域
本发明涉及一种制造液晶显示面板的设备,特别是一种结构基板、传送装置和对盒装置。
背景技术
液晶显示器(简称LCD)技术在近十年有了飞速地发展,从屏幕尺寸到显示质量都取得了很大进步,就生产制造领域而言,提高产品性能和降低生产成本是提高市场竞争力的重要因素。
液晶显示器的主要部件包括液晶显示面板、背光源和驱动电路,而液晶显示面板的主要部件包括对盒的阵列基板和彩膜基板。目前,轻薄化已经成为液晶显示面板(尤其是笔记本用液晶显示面板)的发展趋势。液晶显示面板轻薄化就要求采用厚度更薄、重量更轻的玻璃基板制备阵列基板和彩膜基板。液晶显示面板的制造工艺主要包括:阵列基板制作、彩膜基板制作、液晶盒对盒制作和模块制作。
在液晶显示面板生产中,每个制作工艺均涉及结构基板(玻璃基板、阵列基板或彩膜基板)的传送,且一些传送过程是在真空环境中进行的。由于在真空环境中无法采用吸真空方法将结构基板固定在机械手臂上,因此现有技术传送结构基板时通常采用增加摩擦力的方法将结构基板与机械手臂固定。由于玻璃基板的厚度越来越薄(如厚度为0.5mm),重量越来越轻,且机械手臂上垫片的摩擦系数在增加到一定程度后就很难再增加了,因此靠结构基板自重在结构基板与机械手臂之间产生的摩擦力越来越小。结构基板与机械手臂之间摩擦力的下降经常导致结构基板从机械手臂上滑落的事故,不仅造成液晶显示面板生产成本、设备清理和维护时间增加,而且对生产线中的员工也造成极大的安全隐患。
此外,现有技术对盒制作工艺中,首先通过机械手臂将结构基板放置在对盒设备的两个基台上,然后两个基台通过静电吸附方法吸附住两个结构基板,之后形成真空环境,在真空环境中两个结构基板对位、接合,完成对盒工艺。但实际生产中发现,现有技术在两个基台通过静电吸附方法吸附住两个结构基板过程中,如果静电吸附力弱,会发生结构基板掉落现象,如果静电吸附力强,则需要很强的电流强度和电压,又会发生因灰尘导致电板击穿现象。当结构基板变形时,由于静电吸附方法可调节静电力的范围很小,因此静电吸附方法难以满足对盒精度要求。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构基板、传送装置和对盒装置,有效解决现有生产工艺中基板滑落或电板击穿等缺陷。
为了实现上述目的,本发明提供了一种结构基板,包括形成在基板一侧表面上的结构层,所述基板上还形成有在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层。
所述结构层可以为包括栅线和数据线的阵列结构层,所述磁化层为设置在所述栅线上方或下方的镍金属层,或所述磁化层为设置在所述数据线上方或下方的镍金属层。
所述结构层也可以为包括黑矩阵的彩膜结构层,所述磁化层为设置在所述黑矩阵上方或下方的镍金属层。
所述结构层还可以为形成在显示区域的阵列结构层或彩膜结构层,所述磁化层为形成在显示区域以外空白区域的镍金属层。
所述磁化层还可以为形成在基板另一侧表面的镍金属层。
为了实现上述目的,本发明还提供了一种传送装置,包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和对结构基板中的磁化层进行消磁处理的消磁装置,所述施磁装置与消磁装置之间设置有通过电磁吸附方式吸附并传送结构基板的机械手臂。
所述机械手臂包括用于产生电磁场的数个电磁铁和控制所述电磁场的第一电磁控制器,所述数个电磁铁与所述第一电磁控制器电连接。
所述第一电磁控制器包括用于向所述数个电磁铁施加第一电流的第一开关和用于向所述数个电磁铁施加第二电流的第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
为了实现上述目的,本发明还提供了一种对盒装置,包括第一基台和第二基台,所述第一基台与第二基台相对设置,还包括对所述结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置,所述第一基台和/或第二基台为通过电磁吸附方式吸附结构基板的电磁吸附基台。
所述电磁吸附基台包括用于产生电磁场的电磁铁板和控制所述电磁场的第二电磁控制器,所述第二电磁控制器与电磁铁板电连接,所述第二电磁控制器包括用于向电磁铁板施加第一电流的第一开关和用于向电磁铁板施加第二电流的第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
还包括传送所述结构基板的机械手臂,所述机械手臂包括用于产生电磁场的数个电磁铁和控制所述电磁场的第一电磁控制器,所述数个电磁铁与所述第一电磁控制器电连接,所述第一电磁控制器包括用于向所述数个电磁铁施加第一电流的第一开关和用于向所述数个电磁铁施加第二电流的第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
所述施磁装置设置在机械手臂将结构基板放置在第一基台或第二基台上之前的路径上,或所述施磁装置设置在机械手臂从传送带上取下结构基板之前的路径上。
所述消磁装置设置在机械手臂从第一基台或第二基台上取走液晶显示面板之后的路径上,或所述消磁装置设置在机械手臂将液晶显示面板放在传送带上之后的路径上。
本发明提供了一种结构基板,通过在阵列基板或彩膜基板上设置在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层,使阵列基板或彩膜基板具备了通过电磁吸附方式被吸附的功能,可以在真空环境中安全可靠地传送和对盒,降低了生产中的破损,减低了生产成本。此外,本发明通过设置磁化层还可以增强对盒工艺中调整对盒精度的调控余度。本发明还提出了一种传送装置,利用电磁吸附原理,在机械手臂上设置电磁吸附结构,可以在真空环境中安全可靠地传送基板,有效避免了结构基板从机械手臂上滑落的事故,降低了生产线中员工的安全隐患,大大降低了基板的破损率,减少了设备维护次数,提高了生产效率,为制备轻薄液晶显示面板提供了技术保证。由于液晶显示面板生产中众多制作工艺(如沉积、刻蚀等)均涉及结构基板的传送,因此本发明传送装置具有广泛的应用前景。同时,本发明还提供了一种对盒装置,利用电磁吸附原理,通过在基台上设置电磁吸附结构,不仅实现了安全可靠地吸附结构基板,而且避免了静电吸附方法存在的电板击穿现象。由于调节电磁吸附力的范围很大,在结构基板变形时,可以通过调节电磁吸附力提高对盒精度。
附图说明
图1为本发明结构基板第一实施例的结构示意图;
图2为本发明结构基板第二实施例的结构示意图;
图3为本发明结构基板第三实施例的结构示意图;
图4为本发明结构基板第四实施例的结构示意图;
图5为本发明结构基板第五实施例的结构示意图;
图6为本发明传送装置的结构示意图;
图7为本发明传送装置中机械手臂的结构示意图;
图8为本发明传送装置工作过程示意图;
图9为本发明对盒装置第一实施例的结构示意图;
图10为本发明对盒装置第一实施例中第一基台的结构示意图;
图11为本发明对盒装置第二实施例的结构示意图。
附图标记说明:
1-施磁装置;         2-机械手臂;       3-消磁装置;
4-第一基台;         5-第二基台;       10-结构基板;
20-加工设备入口基台;21-金属板;        22-电磁铁;
23-绝缘垫片;        24-第一电磁控制器;30-加工设备基台;
40-加工设备出口基台;41-电磁铁板;      42-绝缘垫片;
43-第二电磁控制器;  100-基板;         101-栅电极;
102-栅绝缘层;       103-半导体层;     104-掺杂半导体层;
105-源电极;         106-漏电极;       107-钝化层;
108-像素电极;       111-黑矩阵;       112-彩色树脂层;
113-公共电极;       200-镍金属层;     300-结构层。
具体实施方式
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
图1为本发明结构基板第一实施例的结构示意图,所反映的是一种阵列基板的剖面图。如图1所示,本实施例作为结构基板的阵列基板包括阵列结构层和磁化层,阵列结构层包括形成在基板100上的栅电极101、栅绝缘层102、有源层(包括半导体层103和掺杂半导体层104)、源电极105、漏电极106、钝化层107和像素电极108,以及栅线和数据线(未示出),磁化层为位于栅线和栅电极101上方的镍金属层200,本实施例镍金属层200起两个方面的作用,其一可以作为栅线和栅电极的保护层,其二可以通过施磁装置的磁化处理转变为磁化状态,可以通过消磁装置的消磁处理成为普通状态,在镍金属层200处于磁化状态下结构基板可被电磁吸附,从而完成传送和对盒等工艺。由于本实施例镍金属层200位于栅线和栅电极101上方,因此阵列结构层的其它结构层可以采用现有结构形式,这里不再赘述。本实施例阵列基板的制备过程也与采用现有工艺流程基本相同,只是在形成栅线和栅电极图形时有所区别,具体为:首先在基板(如玻璃基板或石英基板)上依次沉积栅金属薄膜和镍金属薄膜,然后采用掩模板通过构图工艺形成包括栅线和栅电极的图形,同时形成镍金属层,镍金属层分别位于栅线和栅电极的上方,形状与栅线和栅电极相同。实际应用中,本实施例镍金属层也可以设置在栅线和栅电极的下方,同样能实现本实施例磁化层的作用。
图2为本发明结构基板第二实施例的结构示意图,所反映的是一种阵列基板的剖面图。如图2所示,本实施例作为结构基板的阵列基板包括阵列结构层和磁化层,阵列结构层包括形成在基板100上的栅电极101、栅绝缘层102、有源层(包括半导体层103和掺杂半导体层104)、源电极105、漏电极106、钝化层107和像素电极108,以及栅线和数据线(未示出),磁化层为位于数据线、源电极105和漏电极106上方的镍金属层200,本实施例镍金属层200起两个方面的作用,其一可以作为数据线、源电极和漏电极的保护层,其二可以通过施磁装置的磁化处理转变为磁化状态,可以通过消磁装置的消磁处理成为普通状态,在镍金属层200处于磁化状态下结构基板可被电磁吸附,从而完成传送和对盒等工艺。由于本实施例镍金属层200位于数据线、源电极和漏电极上方,因此阵列结构层的其它结构层可以采用现有结构形式,这里不再赘述。本实施例阵列基板的制备过程也与采用现有工艺流程基本相同,只是在形成数据线、源电极和漏电极时有所区别,具体为:依次沉积源漏金属薄膜和镍金属薄膜,然后采用掩模板通过构图工艺形成包括数据线、源电极和漏电极的图形,同时形成镍金属层,镍金属层分别位于数据线、源电极和漏电极的上方,形状与数据线、源电极和漏电极相同。同样,本实施例镍金属层也可以设置在数据线、源电极和漏电极的下方,同样能实现本实施例磁化层的作用。
图3为本发明结构基板第三实施例的结构示意图,所反映的是一种彩膜基板的剖面图。如图3所示,本实施例作为结构基板的彩膜基板包括彩膜结构层和磁化层,彩膜结构层包括形成在基板100上的黑矩阵111、彩色树脂层112和公共电极113,磁化层为位于黑矩阵111下方的镍金属层200,本实施例镍金属层200可以通过施磁装置的磁化处理转变为磁化状态,可以通过消磁装置的消磁处理成为普通状态,在镍金属层200处于磁化状态下结构基板可被电磁吸附,从而完成传送和对盒等工艺。由于本实施例镍金属层200位于黑矩阵111下方,因此彩膜结构层的其它结构层可以采用现有结构形式,这里不再赘述。本实施例彩膜基板的制备过程也与采用现有工艺流程基本相同,只是在形成黑矩阵图形之前形成镍金属层图形,镍金属层位于黑矩阵的下方,且平面形状与黑矩阵图形相同。实际上,本实施例镍金属层可以根据实际需要设置在其它位置。例如,镍金属层既可以形成在黑矩阵的上方,也可以形成在彩色树脂层与公共电极之间,甚至形成在公共电极的上方,同样能实现本实施例磁化层的作用。
图4为本发明结构基板第四实施例的结构示意图,所反映的是一种阵列基板或彩膜基板的平面图。如图4所示,本实施例结构基板可以是阵列基板,也可以是彩膜基板。当是阵列基板时,结构层300即为阵列结构层,当是彩膜基板时,结构层300即为彩膜结构层。本实施例中,结构层300形成在显示区域内,磁化层为形成在显示区域以外的空白区域(Dummy)内的镍金属层200,本实施例镍金属层200可以通过施磁装置的磁化处理转变为磁化状态,可以通过消磁装置的消磁处理成为普通状态,在镍金属层200处于磁化状态下结构基板可被电磁吸附,从而完成传送和对盒等工艺。本实施例结构层300可以采用现有结构形式,这里不再赘述,形成在空白区域的镍金属层200可以根据需要设置在任一层,也可以根据需要设置成任意形状。例如,镍金属层200可以制备成网格状或散点状分布,一方面可以提高电磁吸附结构基板的效果,另一方面可以减少由于基板与镍金属在杨氏弹性模量上的差异导致的应力影响。又如,镍金属层200可以制备成波浪状或锯齿状,使吸附力不均匀分布,以提高结构基板与机械手臂的摩擦力。本实施例磁化层形成在空白区域可以增强对盒工艺中调整对盒精度的调控余度。
图5为本发明结构基板第五实施例的结构示意图。如图5所示,本实施例结构基板可以是阵列基板,也可以是彩膜基板。当是阵列基板时,结构层300即为阵列结构层,当是彩膜基板时,结构层300即为彩膜结构层。本实施例中,结构层300形成在基板100的一侧表面上,镍金属层200形成在基板100的另一侧表面上,本实施例镍金属层200可以通过施磁装置的磁化处理转变为磁化状态,可以通过消磁装置的消磁处理成为普通状态,在镍金属层200处于磁化状态下结构基板可被电磁吸附,从而完成传送和对盒等工艺。由于镍金属层和结构层分别位于基板不同的表面上,因此本实施例阵列结构层或彩膜结构层可以采用现有结构,并采用现有工艺制备,制备本实施例镍金属层可以采用化学镀的方法,在基板的另一侧表面上镀上一层金属镍。
本发明上述实施例提供了一种结构基板,通过在阵列基板或彩膜基板上设置在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层,使阵列基板或彩膜基板具备了通过电磁吸附方式被吸附的功能,可以在真空环境中安全可靠地传送和对盒,降低了生产中的破损,减低了生产成本。此外,本发明通过设置磁化层还可以增强对盒工艺中调整对盒精度的调控余度。
图6为本发明传送装置的结构示意图。如图6所示,本发明传送装置的主体结构包括依次设置的施磁装置1、机械手臂2和消磁装置3,机械手臂2用于通过电磁吸附方式吸附并传送结构基板10,将结构基板10从前一工序传送到后一工序;施磁装置1设置在输入路径上,用于对结构基板10中的磁化层进行磁化处理,本发明输入路径是指机械手臂2传送结构基板10之前的路径,如加工设备入口基台;消磁装置3设置在输出路径上,用于对结构基板10中的磁化层进行消磁处理,本发明输出路径是指机械手臂2传送结构基板10之后的路径,如加工设备出口基台。其中结构基板10可以采用本发明图1~图5所示结构。
图7为本发明传送装置中机械手臂的结构示意图。如图7所示,本发明机械手臂的主体结构包括金属板21、电磁铁22、绝缘垫片23和第一电磁控制器24,数个电磁铁22固定在作为承载体的金属板21上,用于产生电磁场,绝缘垫片23形成在金属板21上,提供较高的摩擦系数,确保机械手臂传送基板过程中基板不会产生滑移;第一电磁控制器24与数个电磁铁22电连接,用于控制数个电磁铁22产生电磁场及其电磁场的磁性。第一电磁控制器包括第一开关和第二开关,第一开关用于向数个电磁铁施加第一电流,第二开关用于向数个电磁铁施加第二电流,且第一电流与第二电流的方向相反。
图8为本发明传送装置工作过程示意图,下面通过机械手臂传送阵列基板的工作过程进一步说明本发明的技术方案。如图8所示,首先,当结构基板10在传送过程中经过加工设备入口基台20(作为输入路径)时,设置在加工设备入口基台20上的施磁装置1对结构基板10中的磁化层进行磁化处理,使该磁化层具有第一磁性。然后机械手臂2伸到加工设备入口基台20上方,机械手臂2的第一电磁控制器向数个电磁铁通入第一电流,使数个电磁铁具有第二磁性,且第二磁性与第一磁性的极性相反。由于机械手臂2上磁性与结构基板10上磁性的极性相反,因此机械手臂2可以牢固地吸附住结构基板10并进行传送(机械手臂顺时针旋转180度),且具有较高摩擦系数的绝缘垫片23也确保了在传送过程中结构基板10相对于机械手臂2没有横向滑移。当将结构基板10传送到加工设备基台30上方时,机械手臂2的第一电磁控制器向数个电磁铁通入第二电流,且第二电流与第一电流的方向相反,因此使电磁铁具有第一磁性,由于机械手臂2与结构基板10的磁极性相同,两者相排斥,因此在电磁斥力作用下使机械手臂2与结构基板10分开,将结构基板10放置在加工设备基台上30上。当基板在加工设备基台上完成加工后,机械手臂2采用同样的电磁吸附方式从加工设备基台30上取走结构基板10,经过传送(机械手臂顺时针再旋转90度),并采用同样的电磁分离方式将结构基板10放置在加工设备出口基台40(作为输出路径)。当机械手臂2撤走后,设置在加工设备出口基台40上的消磁装置3对结构基板10中的磁化层进行去磁处理。
上述技术方案中,加工设备基台上30也可以同样采用电磁吸附方式处理结构基板10。例如,当机械手臂2将结构基板10放置在加工设备基台上30上并完全撤走后,可以设置加工设备基台上30具有第二磁性,由于加工设备基台上30上磁性与结构基板10上磁性的极性相反,因此加工设备基台上30可以牢固地吸附住结构基板10,并且通过在加工设备基台30的表面上设置绝缘垫片,可以确保在加工过程结构基板10没有横向滑移。实际应用中,施磁装置可以采用电磁铁磁化方法,消磁装置既可以采用电磁铁去磁化方法,也可以采用将磁化层加热到其居里点温度以上进行去磁化处理的方法。
本发明提供了一种传送装置,利用电磁吸附原理,在机械手臂上设置电磁吸附结构,可以在真空环境中安全可靠地传送基板,有效避免了基板从机械手臂上滑落的事故,降低了生产线中员工的安全隐患,大大降低了基板的破损率,减少了设备维护次数,提高了生产效率,为制备轻薄液晶显示面板提供了技术保证。
图9为本发明对盒装置第一实施例的结构示意图。如图9所示,本实施例对盒装置包括施磁装置1、机械手臂2、消磁装置3、第一基台4和第二基台5,第一基台4与第二基台5相对设置,第一基台4用于吸附待对盒的第一基板(如阵列基板),第二基台5用于吸附待对盒的第二基板(如彩膜基板);机械手臂2用于传送第一基板或第二基板,将第一基板和第二基板分别放置在第一基台4和第二基台5上,或分别从第一基台4和第二基台5上取走第一基板和第二基板;施磁装置1设置在第一路径上,用于对第一基板或第二基板中的磁化层进行磁化处理,本实施例第一路径是指机械手臂2将第一基板放置在第一基台4上之前的路径,或是指机械手臂2将第二基板放置在第二基台5上之前的路径;消磁装置3设置在第二路径上,用于对第一基板或第二基板中的磁化层进行消磁处理,本实施例第二路径是指机械手臂2从第一基台4或第二基台5上取走液晶显示面板(第一基板和第二基板对盒后构成液晶显示面板)之后的路径。具体地,本实施例作为上基台的第一基台4为通过电磁吸附方式吸附第一基板的电磁吸附基台,第一基台4采用电磁吸附方法将第一基板牢固地吸附在第一基台4的下表面;第二基台5为下基台,第二基板位于第二基台5的上表面,使第一基板与第二基板相对设置,以便实施对盒工艺。其中第一基板和第二基板可以采用本发明图1~图5所示结构。
图10为本发明对盒装置第一实施例中第一基台的结构示意图。如图10所示,本实施例第一基台的主体结构包括电磁铁板41、绝缘垫片42和第二电磁控制器43,电磁铁板41用于产生电磁场,该电磁场产生电磁吸附力吸附第一基板,绝缘垫片42形成在电磁铁板41的表面,且具有较高摩擦系数,用于工作时与被吸附的第一基板紧密接触,保证第一基板不会滑移;第二电磁控制器43与电磁铁板41电连接,用于控制电磁铁板41产生电磁场及其电磁场的磁性。本实施例中,第一电磁控制器包括第一开关和第二开关,第一开关用于向电磁铁板施加第一电流,第二开关用于向电磁铁板施加第二电流,且第一电流与第二电流的方向相反。
下面通过本实施例第一基台的工作过程进一步说明本实施例的技术方案。首先,机械手臂2将第一基板沿第一路径向第一基台4传送,设置在第一路径上的施磁装置1对第一基板中的磁化层进行磁化处理,使该磁化层具有第一磁性。之后机械手臂2将第一基板传送到第一基台4的下方位置,第一基台4的第二电磁控制器43向电磁铁板41通入第一电流,使电磁铁板41具有第二磁性,且第二磁性与第一磁性的极性相反,由于第一基台4与第一基板的极性相反,两者相吸引,因此能够使第一基台4牢固地将第一基板吸附在第一基台4的下表面。之后进行两个基板的对盒封装。对盒封装完成后,第二电磁控制器43向电磁铁板41通入第二电流,且第二电流与第一电流的方向相反,因此使电磁铁板41具有第一磁性,由于第一基台4与第一基板的极性相同,两者相排斥,因此对盒后的液晶显示面板(包括第一基板和第二基板)处于自由状态。之后机械手臂2将液晶显示面板取走并沿第二路径传送,设置在第二路径上的消磁装置3对第一基板中的磁化层进行消磁处理,使该磁化层的磁性消失。期间,具有较高摩擦系数的绝缘垫片42确保了在上述过程中第一基板没有横向滑移。
实际应用中,电磁铁板可以采用多种结构形式,既可以是整体结构,也可以由数个(如8个)电磁铁块拼接结构,还可以采用金属板上设置数个电磁铁装置等结构。由于第二基台为下基台,所以第二基台既可以采用第一基台的电磁吸附结构,也可以采用现有静电吸附结构。此外,消磁装置既可以采用电磁铁去磁化方法,也可以采用将磁化层加热到其居里点温度以上进行去磁化处理的方法。
本实施例提供了一种对盒装置,利用电磁吸附原理,通过在基台上设置电磁吸附结构,不仅实现了安全可靠地吸附基板,而且避免了静电吸附方法存在的电板击穿现象。同时,由于调节电磁吸附力的范围很大,在基板变形时,可以通过调节电磁吸附力提高对盒精度。
图11为本发明对盒装置第二实施例的结构示意图,是前述第一实施例的一种方案扩展。如图11所示,本实施例对盒装置包括施磁装置1、机械手臂2、消磁装置3、第一基台4和第二基台5,其中机械手臂2也采用了电磁吸附结构。具体地,本实施例第一基台4和第二基台5的结构形式、作用和工作过程与前述第一实施例相同,施磁装置1设置在第三路径上,用于对第一基板或第二基板中的磁化层进行磁化处理,本实施例第三路径是指机械手臂从传送带上取下第一基板或第二基板之前的路径;消磁装置3设置在第四路径上,用于对第一基板或第二基板中的磁化层进行消磁处理,本实施例第四路径是指机械手臂2将液晶显示面板放在传送带上之后的路径。机械手臂2用于采用电磁吸附方法牢固吸附第一基板或第二基板,将第一基板或第二基板从传送带传送到第一基台4或第二基台5,或将液晶显示面板从第一基台4或第二基台5传送到传送带。
本实施例对盒装置中的机械手臂可以采用图7所示机械手臂的结构形式,包括金属板21、电磁铁22、绝缘垫片23和第一电磁控制器24,其结构形式、连接关系和作用相同,如图7所示。下面通过本实施例对盒装置的工作过程进一步说明本实施例的技术方案。首先,位于传送带上的第一基板经过施磁装置1时,施磁装置1对第一基板中的磁化层进行磁化处理,使该磁化层具有第一磁性。机械手臂2伸到传送带上方,机械手臂2的第一电磁控制器24向数个电磁铁22通入第一电流,使数个电磁铁22具有第二磁性,且第二磁性与第一磁性的极性相反。机械手臂2将第一基板从传送带上取下,由于机械手臂2上磁性与第一基板上磁性的极性相反,因此机械手臂2可以牢固地吸附住第一基板完成传送过程,并且具有较高摩擦系数的绝缘垫片23也确保了在传送过程中第一基板相对于机械手臂2没有横向滑移。之后,吸附第一基板的机械手臂2移动到第一基台4下方时,第一基台4电磁吸附第一基板,同时机械手臂2的第一电磁控制器24向数个电磁铁22通入第二电流,且第二电流与第一电流的方向相反,因此使数个电磁铁22具有第一磁性,由于机械手臂2与第一基板的磁极性相同,两者相排斥,因此在电磁斥力作用下使机械手臂2与第一基板分开,使第一基台4牢固地将第一基板吸附在第一基台4的下表面。随后进行两个基板对盒封装、第一基台4与第一基板分开等工序,其过程与前述第一实施例相同。之后,另一侧的机械手臂2伸到基台区域,机械手臂2的第一电磁控制器24向数个电磁铁22通入第一电流,使数个电磁铁22具有第二磁性,且第二磁性与第一磁性的极性相反。由于机械手臂2上磁性与对盒完成的液晶显示面板中的第一基板上磁性的极性相反,因此机械手臂2可以牢固地吸附住液晶显示面板向传送带传送。之后,当机械手臂2移动到传送带上方时,机械手臂2的第一电磁控制器24向数个电磁铁22通入第二电流,且第二电流与第一电流的方向相反,因此使数个电磁铁22具有第一磁性,由于机械手臂2与第一基板的极性相同,两者相排斥,因此在电磁斥力作用下使机械手臂2与液晶显示面板分开,使液晶显示面板放置在传送带上。最后,位于传送带上的液晶显示面板经过施磁装置1时,施磁装置1对液晶显示面板第一基板中的磁化层进行消磁处理。
本实施例所提供的对盒装置不仅具有前述第一实施例的技术效果,而且通过在机械手臂上设置电磁吸附结构,进一步避免了基板掉落现象,最大限度地降低了基板的破损率。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种结构基板,包括形成在基板一侧表面上的结构层,其特征在于,所述基板上还形成有在磁化状态下使结构基板被电磁吸附的磁化层;其中,所述结构层为包括栅线和数据线的阵列结构层,或者,所述结构层为包括黑矩阵的彩膜结构层,所述结构层为形成在显示区域的阵列结构层或彩膜结构层;
所述磁化层为设置在所述栅线上方或下方的镍金属层,或所述磁化层为设置在所述数据线上方或下方的镍金属层,或者,所述磁化层为设置在所述黑矩阵上方或下方的镍金属层,或者,所述磁化层为形成在显示区域以外空白区域的镍金属层。
2.根据权利要求1所述的结构基板,其特征在于,所述磁化层为形成在基板另一侧表面的镍金属层。
3.一种用于传送权利要求1或2所述结构基板的传送装置,其特征在于,包括对结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和对结构基板中的磁化层进行消磁处理的消磁装置,所述施磁装置与消磁装置之间设置有通过电磁吸附方式吸附并传送结构基板的机械手臂。
4.根据权利要求3所述的传送装置,其特征在于,所述机械手臂包括用于产生电磁场的数个电磁铁和控制所述电磁场的第一电磁控制器,所述数个电磁铁与所述第一电磁控制器电连接。
5.根据权利要求4所述的传送装置,其特征在于,所述第一电磁控制器包括用于向所述数个电磁铁施加第一电流的第一开关和用于向所述数个电磁铁施加第二电流的第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
6.一种用于对盒权利要求1或2所述结构基板的对盒装置,其特征在于,包括第一基台和第二基台,所述第一基台与第二基台相对设置,还包括对所述结构基板中的磁化层进行磁化处理的施磁装置和进行消磁处理的消磁装置,所述第一基台和/或第二基台为通过电磁吸附方式吸附结构基板的电磁吸附基台。
7.根据权利要求6所述的对盒装置,其特征在于,所述电磁吸附基台包括用于产生电磁场的电磁铁板和控制所述电磁场的第二电磁控制器,所述第二电磁控制器与电磁铁板电连接,所述第二电磁控制器包括用于向电磁铁板施加第一电流的第一开关和用于向电磁铁板施加第二电流第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
8.根据权利要求6所述的对盒装置,其特征在于,还包括传送所述结构基板的机械手臂,所述机械手臂包括用于产生电磁场的数个电磁铁和控制所述电磁场的第一电磁控制器,所述数个电磁铁与所述第一电磁控制器电连接,所述第一电磁控制器包括用于向所述数个电磁铁施加第一电流的第一开关和用于向所述数个电磁铁施加第二电流第二开关,且所述第一电流与第二电流的方向相反。
9.根据权利要求6所述的对盒装置,其特征在于,所述施磁装置设置在机械手臂将结构基板放置在第一基台或第二基台上之前的路径上,或所述施磁装置设置在机械手臂从传送带上取下结构基板之前的路径上。
10.根据权利要求6所述的对盒装置,其特征在于,所述消磁装置设置在机械手臂从第一基台或第二基台上取走液晶显示面板之后的路径上,或所述消磁装置设置在机械手臂将液晶显示面板放在传送带上之后的路径上。
CN 200910089984 2009-07-30 2009-07-30 结构基板、传送装置和对盒装置 Expired - Fee Related CN101989005B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910089984 CN101989005B (zh) 2009-07-30 2009-07-30 结构基板、传送装置和对盒装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 200910089984 CN101989005B (zh) 2009-07-30 2009-07-30 结构基板、传送装置和对盒装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101989005A CN101989005A (zh) 2011-03-23
CN101989005B true CN101989005B (zh) 2013-08-14

Family

ID=43745630

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 200910089984 Expired - Fee Related CN101989005B (zh) 2009-07-30 2009-07-30 结构基板、传送装置和对盒装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101989005B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI512853B (zh) * 2013-09-04 2015-12-11 矽品精密工業股份有限公司 半導體封裝件之製法
CN109605413A (zh) * 2018-12-07 2019-04-12 长兴烨恒机械有限公司 一种吸合磁片分离吸附装置
CN111129420B (zh) * 2020-01-08 2025-05-06 无锡先导智能装备股份有限公司 一种中转变距装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1676445A (zh) * 2004-03-31 2005-10-05 安内华株式会社 基板搬送装置
CN201072478Y (zh) * 2007-05-15 2008-06-11 北京京东方光电科技有限公司 一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001033791A (ja) * 1999-07-26 2001-02-09 Rohm Co Ltd フィルム状の液晶表示パネルの製造方法
US7224419B2 (en) * 2003-08-13 2007-05-29 Tpo Displays Corp. Liquid crystal display device
JP4767641B2 (ja) * 2005-09-27 2011-09-07 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置および基板搬送方法
KR101288599B1 (ko) * 2007-05-29 2013-07-22 엘지디스플레이 주식회사 기판 이송 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1676445A (zh) * 2004-03-31 2005-10-05 安内华株式会社 基板搬送装置
CN201072478Y (zh) * 2007-05-15 2008-06-11 北京京东方光电科技有限公司 一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN101989005A (zh) 2011-03-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101669199B (zh) 基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置
CN109216148A (zh) 等离子体处理装置
TW201222076A (en) Apparatus for fabricating flexible liquid crystal display
US7637799B2 (en) Substrate production apparatus for producing a substrate for a display device
CN101989005B (zh) 结构基板、传送装置和对盒装置
US20090304931A1 (en) Mask, deposition apparatus using mask, deposition method using mask, and device manufacturing method using deposition apparatus
US20160248049A1 (en) Deposition apparatus
CN105313413A (zh) 电子器件的制造方法、玻璃层叠体的制造方法
CN105236767B (zh) 一种显示屏盖板玻璃的钢化设备和钢化方法
CN103901652A (zh) 分离装置和利用该装置制造轻薄液晶显示装置的方法
JP2019117922A (ja) 成膜装置、成膜方法及びこれを用いる有機el表示装置の製造方法
CN104979223B (zh) 一种晶圆键合工艺
CN209481783U (zh) 用于固定石英晶片的镀膜夹具
CN201072478Y (zh) 一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备
CN108022829A (zh) 一种基板及其制备方法、系统以及显示面板
KR101850151B1 (ko) 평판표시패널의 절단장치 및 절단방법
CN102994982B (zh) 等离子体增强化学气相沉积电极板装置、沉积方法及沉积装置
CN102212785A (zh) 蒸镀设备
CN103838038A (zh) 液晶面板、显示装置以及在基板上制备隔垫物的方法
CN203007417U (zh) 等离子体增强化学气相沉积电极板装置及沉积装置
CN202259225U (zh) 一种基板搬送机械手臂
TW200535526A (en) Apparatus and method for manufacturing laminated substrate
CN203738808U (zh) 一种机械手吸附装置
CN100378520C (zh) 用于在基板上形成薄膜的装置和方法
KR102818376B1 (ko) 대면적 디스플레이 제조용 기판 처리 장치 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: BEIJING BOE PHOTOELECTRICITY SCIENCE + TECHNOLOGY

Effective date: 20150626

Owner name: JINGDONGFANG SCIENCE AND TECHNOLOGY GROUP CO., LTD

Free format text: FORMER OWNER: BEIJING BOE PHOTOELECTRICITY SCIENCE + TECHNOLOGY CO., LTD.

Effective date: 20150626

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150626

Address after: 100015 Jiuxianqiao Road, Beijing, No. 10, No.

Patentee after: BOE TECHNOLOGY GROUP Co.,Ltd.

Patentee after: BEIJING BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: 100176 Beijing economic and Technological Development Zone, West Central Road, No. 8

Patentee before: BEIJING BOE OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd.

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130814

Termination date: 20210730