CN101805884A - 一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 - Google Patents
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- 238000005269 aluminizing Methods 0.000 title abstract description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 130
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 129
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims abstract description 110
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 10
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 3
- 239000005030 aluminium foil Substances 0.000 description 14
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 238000012938 design process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 4
- 230000003245 working effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 3
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 3
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007630 basic procedure Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 235000019504 cigarettes Nutrition 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical class [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
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- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，包括：导电棒主体，所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的铝棒用导电压板及下部导电导向棒、与所述下部导电导向棒套接的铝棒，在所述导电棒主体下端设置有限位板，所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构，所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔，用于将铝棒悬挂并固定在限位板上。根据本发明，安装便捷，电流电压稳定，设计合理，生产过程不易发生打火故障。
Description
技术领域
本发明涉及真空蒸镀设备，具体地是涉及用于真空镀铝设备的电极装置，更具体地，本发明涉及一种用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理，生产过程不易发生打火故障。
背景技术
真空镀铝技术是采用在容器里的金属铝在真空条件下加热呈熔融状态时，其飞散的原子凝结在冷却的非导体表面，形成多晶薄膜的工艺方法。我国真空镀铝的研制工作起步于七十年代，当时的镀铝产品是镀铝纸，主要用于香烟的内衬包装。随着真空镀铝技术的发展。镀铝基材已由单一的纸基发展到聚酯(PET)、聚丙烯(BfiPP)、聚乙烯(PE)，聚氯乙烯(PVC)、纤维布料等多种材料，镀铝产品也广泛应用于食品、医药、印刷、化工、电子等产品的包装。
真空镀铝机是在被镀工件表面生成铝膜的镀膜机设备.主要由真空室，真空排气系统，旋转机构，铝蒸发源，电控系统等构成。目前常用的真空镀铝机(包括光学和金属)包括卧式镀铝机和立式镀铝机，卧式镀铝机的运用已经比较成熟，故生产相对稳定。立式镀铝机的生产和研发起步慢，在设备等方面尚存在改进之处。
立式真空镀铝机具有操作简便，成膜速度快，效率高，2个真空室门都带有6轴自公转夹具及铝灯丝电极，在一个真空室门内进行镀铝处理的同时，在另外一个真空室门也可以进行装卸工件以及安装铝材料等作业.故在镀铝业优先采用立式镀铝机。
汽车制造业的真空镀铝技术为一真空镀铝镀膜技术，车灯制造业中的该真空镀铝镀膜工序是车灯制造业中较关键的工序，它是将毛坯映光经此工序加工后镀上一层铝膜，使毛坯映光达到具有一定反射率的发射镜。同时，该真空镀铝镀膜工序对于车灯的装饰件也进行装饰镀膜。
如图1所示，一般真空电阻加热蒸发镀铝的基本流程是：
1.辉光放电(离子轰击)，高压电场下气体分子与电子撞击产生离子，离子轰击工件表面，去除工件表面氧化物，增加受镀面与铝层的结合力。
2.电极通电后产生电阻热使固态金属铝熔融成液体金属铝，为下一部镀铝工序作必要的准备。
3.电极加大电流，使得电阻热温度升高从而把液体金属铝升华为气态的金属铝分子，在真空状态下铝分子基本是直射的，遇到工件表面由于温差的原因沉积下来，形成一层薄薄的铝层。
4.保护膜是防止铝层氧化而在铝层上喷涂一层均匀透明的有机硅油，硅油(六甲基二硅烷)在低真空加高压电场下分解为氧化硅化合物，沉积在铝层上形成保护膜。
汽车制造业的真空镀铝镀膜技术通常采用辉光放电导电棒，辉光放电导电棒主要是用纯金属铝制作的，其主要原因是铝棒比较轻便而且导电性能也很好，每炉产品加工结束以后由于铝棒上有保护膜影响导电性，因此必须每炉都更换铝棒表面的铝箔纸(铝箔纸主要是包裹在铝棒表面上一层薄薄的导电且放污染的作用)。
辉光放电导电棒要求如下：
操作方便，操作人员拆装铝棒时非常便捷，不需要繁琐的步序.
悬挂时电流导电性稳定，基本保证垂直方向，确保与电极保持一定距离。
包装后的铝箔纸不易滑落。防止短路后产生打火。
避免由于铝分子的污染容易使绝缘部分导电。
然而，原有的立式镀铝机的辉光放电装置由于设计不合理，每炉产品加工结束以后由于铝棒上有保护膜影响导电性，因此必须每炉都更换铝棒表面的铝箔纸。又，当铝箔纸包装好后，铝箔纸容易下滑，由于铝箔纸的下滑产生导电短路。导致生产工程经常发生打火故障，经常击坏整个辉光放电装置，严重影响产品质量和生产效率。
另外，以往，由于所述铝棒顶端部分与所述限位板以钩挂方式进行配合，使得操作人员鼻必须将铝棒在导电棒主体的垂直下方进行安装。安装不便。
另外，以往，由于在钩挂式导电棒场合，铝棒因安装、重力等出现晃动，导致电接触不稳定，或在电极加大电流时发生过热效应。由此使得导电棒的使用寿命及使用效果降低。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种便于安装调整接触良好，强度高，使用寿命长的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理，生产过程不易发生打火故障。
为实现上述目的，本发明采用如下的技术方案：
一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，包括导电棒主体、所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的铝棒用导电压板及导电导向棒、与所述导电导向棒套接的铝棒，其特征在于，
在所述导电棒主体下端设置有限位板，所述限位板用于将铝棒限位、连接固定于导电棒主体下端，
所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构，所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔，
所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在小于0.5mm的间隙，
所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔，将铝棒悬挂并固定在限位板上。
由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在便于灵活通过的间隙，例如，0.2-0.5mm的间隙，使得操作人员容易将铝棒悬挂并固定在限位板上，即将铝棒作倾斜状悬挂并固定在限位板上，而不必如以往的钩挂式导电棒那样，必须在导电棒主体的垂直下方进行安装。
另外，由于所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构，贯穿限位板上对应的蝶形通孔后，可以稳定地与限位板上部表面进行面接触配合，由此，可使得该连接处的电连接稳定、可靠，而不会如以往的钩挂式导电棒那样，铝棒因安装、重力等出现晃动，导致电接触不稳定，或在电极加大电流时发生过热效应。由此可增加导电棒的使用寿命及使用效果。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述蝶形结构为8字形蝶形结构，所述铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构为二端具有较大半径的弧状凸出部分。
由此，改进后的8字形铝棒顶部安装便捷，电流电压稳定。
另外，悬挂时电流导电性稳定，基本保证垂直方向，确保与电极保持一定距离。且可避免由于铝分子的污染容易使绝缘部分导电。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述空孔二边缘形成有限定铝棒的限位卡止部。
由此，使得铝棒安装稳定，可靠。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述铝棒接近底端的外周表面上设有环形防滑凹槽。
由此，铝棒底部改进成凹形，铝棒底部铝箔纸镶嵌处，当铝箔纸包装好就用力捏紧铝箔纸，使其表面形成凹槽，铝箔纸下滑时产生阻力，防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述限位板位于下部导电导向棒上端、固定安装在导电压板下端面。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，
在导电底座内设置贯穿至导电压板的上部导电导向棒。由此，在导电压板的上部加了一根上部导电导向棒，从而增加了导电导向的稳定性。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述导电棒主体的空腔内设置有弹簧，所述弹簧将导电压板压紧在限位板上，所述限位板是导电材质。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述限位板是导电材质，所述限位卡止部为凸起或卡扣。
由此，使得铝棒安装稳定，可靠。
根据本发明所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述安装空腔外侧设置有绝缘套，所述绝缘套外侧形成凹槽形结构。
由此，可以避免铝层的射入，从而减少绝缘套外部导电概率，保证与真空室简体的绝缘。
根据本发明所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述安装空腔及其内铝棒用导电压板花瓣形。
由此，使得铝棒安装稳定，可靠。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，铝棒底部改进成凹形，防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。另外，在电极加大电流时，由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板对应的蝶形通孔之间以小于0.5mm的间隙配合，使得铝棒安装容易，且该连接处的导电不至导致过度增热效应，可增加导电棒的使用寿命及效果。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理，生产过程不易发生打火故障。
附图说明
图1是原有的用于立式真空镀铝设备的电极装置的示意图；
图2是本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒的安装爆炸图。
图3是本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒的剖视图.
图4a，b为限位板的主视图和侧视图。
图5为铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构图。
图6为铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构安装、卡止于限位板上的示意图。
图7a，b分别为导电棒主体底端及对应的导电压板示意图。
图中，1为导电棒主体，2，3分别为用于将导电棒主体悬挂于真空室内的固定板及安装块，4为形成于导电棒主体底端、用于固定铝棒的安装空腔，5为配置于安装空腔内的导电压板，6为导电导向棒，7为铝棒，8为限位板，9为限位卡止部，10为铝棒接近底端的外周表面的环形防滑凹槽，11为弹簧，12为绝缘套，13为上部导电导向棒。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒作进一步说明。
实施例1
如图2-6所示，一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，包括：导电棒主体1，将导电棒主体1悬挂于真空室内的顶盖、固定板2、安装块3，所述导电棒主体1包括导电底座及其下用于固定铝棒的安装空腔4、配置于安装空腔4内的铝棒用导电压板5及导电导向棒(内腔导电条)6、与所述导电导向棒套接的铝棒7，外套于所述辉光放电导电棒外周侧的绝缘套12、铝棒插入安装于所述限位板蝶形孔内。
所述铝棒顶端部分的截面呈8字形蝶形结构。所述8字形花瓣结构，具体地说，是二端具有较大半径的弧状凸出部分，可起到固定作用。铝棒接近底端的外周表面上设有环形凹槽10。其作用为增加铝棒与其表面包裹锡纸的摩擦力，防止锡纸下滑。所述铝棒的直径为9-11mm。
导电压板5上侧，即靠近安装空腔一侧形成有压块，所述导电压板及其压块分别为圆形及圆柱形，其中心分别具有圆柱形通孔，可嵌入或插入内腔导电条。
所述导电棒主体底端的安装空腔(插槽)与所述导电压板及其上压块形状配合，以分别嵌入或插入导电压板及其压块。导电棒主体的插槽式安装空腔内与压块之间设有弹簧，弹簧可将所述压块压紧在限位板8上。
所述限位板是导电材质，固定安装在导电棒主体下端面，限制导电压板及压块的位置。
安装方法如下：
首先，操作人员使用安装块及顶盖，将导电棒主体悬挂于真空室内的固定板上，然后，在形成于所述导电棒主体底端的用于固定铝棒的安装空腔内设置弹簧及的铝棒用导电压板，插入导电导向棒，螺接限位板于所述导电棒主体底端。手持铝棒，以略带倾斜的角度，由于所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔，所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔，通过限位板对应的蝶形通孔后，旋转铝棒一定角度，铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板上的限位卡止部9抵接，卡住。即可将铝棒悬挂并固定在限位板上。整个铝棒的安装就完成。
实施例2
如图7所示，除了以下不同之处外，其他如同实施例1。
所述导电压板及其内腔压块分别为四方块状花瓣形及圆柱形，其中心分别具有圆柱形通孔，可嵌入或插入内腔导电条。
与所述导电压板形状配合的所述导电棒主体底端的安装空腔(插槽)也为四方块状花瓣形，可以分别嵌入导电压板及其上压块。
根据本发明所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，铝棒底部改进成凹形，防止由于铝箔纸的下滑产生导电短路。另外，在电极加大电流时，由于所述铝棒顶端部分的蝶形结构与限位板对应的蝶形通孔之间以小于0.5mm的间隙配合，使得铝棒安装容易，且该连接处的导电不至导致过度增热效应，可增加导电棒的使用寿命及效果。所述用于立式镀铝机真空镀铝的辉光放电导电棒设计合理，生产过程不易发生打火故障。
Claims (10)
1.一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，包括：导电棒主体，所述导电棒主体底端形成有用于固定铝棒的安装空腔、配置于安装空腔内的导电压板及导电导向棒、与所述导电导向棒套接的铝棒，其特征在于，
在所述导电棒主体下端设置有限位板，所述限位板用于将铝棒限位、固定连接于导电棒主体下端，
所述铝棒顶端部分的截面呈蝶形结构，所述限位板上形成有与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔，
所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在便于灵活通过的间隙，
所述铝棒顶端部分的蝶形结构可贯穿所述限位板上形成的蝶形通孔，将铝棒悬挂并固定在限位板上。
2.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述蝶形结构为8字形蝶形结构，所述铝棒顶端部分的截面8字形蝶形结构二端具有较大半径的弧状凸出部分。
3.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述蝶形结构侧缘形成有限定铝棒的限位卡止部。
4.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述铝棒接近底端的外周表面上设有环形防滑凹槽。
5.如权利要求1所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，在导电底座内设置贯穿至导电压板的上部导电导向棒。
6.据权利要求2所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述导电棒主体的空腔内设置有弹簧，所述弹簧将导电压板压紧在限位板上，所述限位板是导电材质。
7.据权利要求2所述的用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述限位卡止部为凸起或卡扣状。
8.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述安装空腔外侧设置有绝缘套，所述绝缘套外侧形成凹槽形结构。
9.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述安装空腔及与其配合的铝棒用导电压板为花瓣形。
10.据权利要求1所述的一种用于立式真空镀铝设备的辉光放电导电棒，其特征在于，所述铝棒顶端部分的蝶形结构与所述限位板上形成的与所述铝棒顶端部分的蝶形结构对应的蝶形通孔之间存在小于0.5mm的间隙。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010128354 CN101805884B (zh) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | 一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010128354 CN101805884B (zh) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | 一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101805884A true CN101805884A (zh) | 2010-08-18 |
| CN101805884B CN101805884B (zh) | 2012-01-04 |
Family
ID=42607839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201010128354 Expired - Fee Related CN101805884B (zh) | 2010-03-18 | 2010-03-18 | 一种用于真空镀铝的辉光放电导电棒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877037A (zh) * | 2012-09-18 | 2013-01-16 | 铜陵其利电子材料有限公司 | 金属化薄膜镀膜机用固定卡键 |
| CN105755436A (zh) * | 2014-12-16 | 2016-07-13 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 薄膜沉积方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002004063A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Toyota Industries Corp | 金属皮膜形成方法 |
| CN101104919A (zh) * | 2007-08-20 | 2008-01-16 | 上海小糸车灯有限公司 | 用于真空镀铝设备的电极装置 |
| TW200813241A (en) * | 2006-09-07 | 2008-03-16 | Metal Ind Res & Dev Ct | Vacuum sliding-type electricity introduction apparatus |
| CN201201967Y (zh) * | 2008-04-30 | 2009-03-04 | 上海小糸车灯有限公司 | 立式镀铝机用转架装置 |
| CN101570848A (zh) * | 2008-04-30 | 2009-11-04 | 上海小糸车灯有限公司 | 立式镀铝机用转架 |
-
2010
- 2010-03-18 CN CN 201010128354 patent/CN101805884B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002004063A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-09 | Toyota Industries Corp | 金属皮膜形成方法 |
| TW200813241A (en) * | 2006-09-07 | 2008-03-16 | Metal Ind Res & Dev Ct | Vacuum sliding-type electricity introduction apparatus |
| CN101104919A (zh) * | 2007-08-20 | 2008-01-16 | 上海小糸车灯有限公司 | 用于真空镀铝设备的电极装置 |
| CN201201967Y (zh) * | 2008-04-30 | 2009-03-04 | 上海小糸车灯有限公司 | 立式镀铝机用转架装置 |
| CN101570848A (zh) * | 2008-04-30 | 2009-11-04 | 上海小糸车灯有限公司 | 立式镀铝机用转架 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102877037A (zh) * | 2012-09-18 | 2013-01-16 | 铜陵其利电子材料有限公司 | 金属化薄膜镀膜机用固定卡键 |
| CN105755436A (zh) * | 2014-12-16 | 2016-07-13 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 薄膜沉积方法 |
| CN105755436B (zh) * | 2014-12-16 | 2018-08-24 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 薄膜沉积方法 |
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| Publication number | Publication date |
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