CN101396897A - 加热装置 - Google Patents

Abstract

本发明的加热装置(45)包括：搬运机构(74)，其用于搬运所述基板(24)；以及第一及第二加热机构(76、78)，其沿所述搬运机构(74)的搬运方向配置。第二加热机构(78)包括：主体部(78a)；移送机构(92)，其设于主体部(78a)，延伸到所述层压装置(46)的附近，用于将所述玻璃基板(24)交接到所述层压装置(46)；以及退避机构(94)，其可使所述主体部(78a)相对于所述层压装置(46)移动。

Description

加热装置

技术领域

本发明涉及一种将利用层压装置粘贴感光性薄板(web)的基板在粘贴处理前预先加热到规定温度的加热装置。

背景技术

例如，在液晶面板用基板、印刷配线用基板、PDP面板用基板中使用感光性层叠体，该感光性层叠体为将具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性薄板)粘贴到基板表面而构成。该感光性片体在可挠性塑料支承体上顺次层叠感光材料层和保护膜。

在制造该感光性层叠体之际，通常将玻璃基板或树脂基板等基板预先加热到规定温度。并且，通过将保护膜被部分或整体剥离了的感光性薄板和加热了的基板在构成层压装置的一对层压辊之间夹持并加热，使感光材料层热压接到所述基板上。然后，通过从基板剥离可挠性塑料支承体，由此制造感光性层叠体。

例如，在日本特开平8-183146号公报公开的干抗蚀剂膜(dry resistfilm)的层压方法中，如图8所示，基板预热部1、层压部2、基板冷却部3、基板上膜切断部4及膜除去部5沿搬运部6搬运基板7的搬运方向配置。

在基板预热部1中，在通过预热加热器1a将基板7加热到规定的温度之后，将该基板7送出到层压部2。在层压部2配置有一对层压辊2a、2b，基板7和干抗蚀剂膜8被送到所述层压辊2a、2b之间。从而，干抗蚀剂膜8被热压接到基板7上。

但是，在上述现有技术中，由于需要使基板7在基板预热部1和层压辊2a、2b的基板插入侧之间顺利交接。因此，通常在层压部2上设有向基板预热部1侧突出的传送带(未图示)。

但是，在层压部2中，在进行层压辊2a、2b的清扫和更换等维护作业时，传送带会给该作业带来障碍。从而，每次维护都需要有拆卸传送带的作业，由于这种作业相当繁杂，因此存在不能有效进行整体维护的问题。

发明内容

本发明为解决上述问题而提出，其目的在于提供一种可使层压装置的维护等作业有效且容易完成的加热装置。

本发明涉及一种将利用层压装置粘贴感光性薄板的基板在粘贴处理前预先加热到规定温度的加热装置。加热装置包括：用于搬运基板的搬运机构以及沿基于所述搬运机构的搬运方向配置的多个加热机构。

并且，与层压装置相邻接的配置在搬运方向的最下游侧的加热机构包括：主体部，其收容搬运机构及加热源；移送机构，其设于所述主体部，并延伸到所述层压装置的附近，用于将基板交接到所述层压装置；以及退避机构，其可使所述主体部相对于所述层压装置移动。

在本发明中，在构成加热机构的主体部设有用于将基板交接到层压装置的移送机构，该主体部能够与所述移送机构一体地通过退避机构从所述层压装置离开。因此，当维护层压装置时，仅通过使主体部向规定方向移动，即能够确保维护用空间。由此，能有效且容易完成层压装置的各种维护作业。

附图说明

从结合附图的优选实施例的下面说明中，对上述目的及其他目的、特征及优点会更加明确。

图1是装入本发明的第一实施方式的加热装置的制造系统的概略结构图。

图2是使用于所述制造系统的长条状感光性薄板的剖视图。

图3是将粘接标签粘接到所述长条状感光性薄板的状态的说明图。

图4是所述加热装置的概略结构说明图。

图5是所述加热装置的俯视说明图。

图6是本发明的第二实施方式的加热装置的概略结构说明图。

图7是本发明的第三实施方式的加热装置的概略结构说明图。

图8是在日本特开平8-183146号公报中公开的干抗蚀剂膜的层压方法的说明图。

具体实施方式

图1是装入本发明的第一实施方式的加热装置的感光性层叠体的制造系统20的概略结构图。在制造液晶或有机EL用滤色片(color filter)的工序中，该制造系统20进行将长条状感光性薄板22的感光性树脂层28(后述)热转印到玻璃基板24上的作业。

该感光性薄板22通过层叠可挠性基膜(支承体)26、感光性树脂层(感光材料层)28和保护膜30而构成。

如图1所示，制造系统20包括：薄板送出机构32，其收容将感光性薄板22卷绕成辊状的感光性薄板辊22a，并从该感光性薄板辊22a送出所述感光性薄板22；加工机构36，其在被送出的所述感光性薄板22的保护膜30上形成可在宽度方向切断的半切割部位34(参照图2)；以及标签粘接机构40，其将一部分具有非粘接部38a的粘接标签38(参照图3)粘接到保护膜30上。

在标签粘接机构40的下游配置有：存储机构42，其用于将感光性薄板22由间歇(tact)进给变更为连续进给；剥离机构44，其从所述感光性薄板22将保护膜30以规定的长度间隔剥离；第一实施方式的加热装置45，其在将玻璃基板24加热到规定温度的状态下将其搬运到粘贴位置；以及层压装置46，其将因所述保护膜30被剥离而露出的感光性树脂层28粘贴到所述玻璃基板24上。还有，以下将利用层压装置46在玻璃基板24上粘贴了感光性薄板22的被处理物简称为粘贴基板24a。

在层压装置46的粘贴位置的上游附近配置有直接检测作为感光性薄板22边界位置的半切割部位34的检测机构47，并且在所述层压装置46的下游配置有切断各玻璃基板24之间的所述感光性薄板22的基板间薄板切断机构48。在该基板间薄板切断机构48的上游设置有在运转开始时及运转结束时使用的薄板切断机构48a。

在薄板送出机构32的下游附近配置有接合台49，其使大致使用结束的感光性薄板22的后端与新使用的感光性薄板22的前端接合。在该接合台49的下游配置有薄膜端位置检测器51，其用于控制感光性薄板辊22a的卷起错位(まきずれ)引起的宽度方向上的错位。

加工机构36配置于辊对50的下游，该辊对50用于算出在薄板送出机构32收容卷绕的感光性薄板辊22a的辊直径。该加工机构36具备单一的圆刀52，该圆刀52在感光性薄板22的宽度方向上进刀，在所述感光性薄板22的规定位置形成半切割部位34。

如图2所示，半切割部位34需要至少切断保护膜30，实际上，为可靠地切断该保护膜30而以切入到感光性树脂层28乃至基膜26的程度来设定圆刀52的切入深度。

半切割部位34设定玻璃基板24的间隔，例如，设定为从两侧的所述玻璃基板24各向内侧进入10mm的位置。玻璃基板24之间由半切割部位34夹着的部分在后述的层压装置46中，在将感光性树脂层28以画框状粘贴到所述玻璃基板24上时发挥掩模的作用。

为对应于玻璃基板24之间而保留保护膜30的残存部分30b，标签粘接机构40供给连结剥离侧前方的剥离部分30aa和剥离侧后方的剥离部分30ab的粘接标签38。如图2所示，隔着残存部分30b，将保护膜30上的先剥离的部分设为前方的剥离部分30aa，此外，将后剥离的部分设为后方的剥离部分30ab。

如图3所示，粘接标签38构成为薄长方形，且例如由与保护薄膜30相同的树脂材料形成。粘接标签38具有不在中央部涂敷粘接剂的非粘接部(包括稍微粘接)38a，并且，在该非粘接部38a的两侧，即所述粘接标签38的长度方向两端部，具有粘接到前方的剥离部分30aa的第一粘接部38b和粘接到后方的剥离部分30ab的第二粘接部38c。

如图1所示，标签粘接机构40具备可将最多七张的粘接标签38以规定间隔分开并粘贴的吸附垫54a～54g，并在基于所述吸附垫54a～54g的所述粘接标签38的粘贴位置上配置有升降自如的支承台56，支承台56用于从下方保持感光性薄板22。

存储机构42吸收上游侧感光性薄板22的间歇搬运与下游侧的所述感光性薄板22的连续搬运之间的速度差，进而存储机构42为防止张力变动还包括由摆动自如的两根辊60构成的浮动辊61。并且，辊60可以根据存储量采用一根或三根以上。

配置于该存储机构42下游的剥离机构44具备吸入筒(suction drum)62，该吸入筒62用于使层压时的张力稳定，并减少感光性薄板22的送出侧的张力变动。在吸入筒62的附近配置有剥离辊63，并且通过该剥离辊63以锐角的剥离角从感光性薄板22上被剥离的保护膜30除了残存部分30b以外被卷取到保护膜卷取部64。

在剥离机构44的下游侧配置有能对感光性薄板22赋予张力的张力控制机构66。张力控制机构66具备气缸68，在该气缸68的驱动作用下，张力浮动辊70摆动变位，由此可调整与该张力浮动辊70滑动接触的感光性薄板22的张力。并且，可根据需要使用张力控制机构66，也可以删除。

检测机构47具备激光传感器或光传感器等光电传感器72，所述光电传感器72直接检测半切割部位34的楔状的槽形状部、保护膜30的厚度引起的台阶差或由它们的组合引起的变化，并将该检测信号作为边界位置信号。光电传感器72与备用辊(backup drum)73对置配置。并且，可以取代光电传感器72，使用非接触变位计或CCD相机等图像检查装置等。

如图4所示，加热装置45包括：用于沿箭头C方向搬运玻璃基板24的搬运机构74；以及沿基于所述搬运机构74的搬运方向配置的多个、至少第一加热机构76及第二加热机构78。

搬运机构74具备沿箭头C方向排列配置的多个树脂制圆盘状搬运辊80，所述搬运辊80配置于构成第一加热机构76的主体部76a内及构成第二加热机构78的主体部78a内。

第一加热机构76配置于比第二加热机构78更靠向箭头C方向的上游侧，并设置有载置于基台82上的固定台84。如图4及图5所示，在固定台84上设有互相平行且在箭头C方向上延伸的一对第一导轨86，在该导轨86上配置有主体部76a，该主体部76a沿箭头C方向可进退规定距离L1。

主体部76a在箭头C方向前端部及箭头C方向后端部分别设有互锁装置(未图示)，所述主体部76a被保持在进退位置。在主体部76a的后退位置即玻璃基板24的入口侧设有机械人防护(robot fence)88。在主体部76a内设有第一红外线加热器90a，第一红外线加热器90a位于搬运辊80的上方。

第二加热机构78包括：主体部78a；移送机构92，其设置在所述主体部78a上，延伸到层压装置46的附近并用于将玻璃基板24交接到所述层压装置46上；以及退避机构94，其能使所述主体部78a相对于所述层压装置46移动。

移送机构92具备在玻璃基板24的宽度方向(图5中，箭头D方向)上延伸的框体96，所述框体96设置于主体部78a的箭头C方向前端侧的侧面。在框体96内沿箭头C配置有构成搬运机构74的多个树脂制圆盘状搬运辊80a。在主体部78a形成与框体96内连通的开口98，并在该主体部78a内设置有在箭头C方向延伸的第二红外线加热器90b，第二红外线加热器90b位于多个搬运辊80的上方。

退避机构94具备在基台82上互相平行并在箭头D方向延伸的一对第二导轨100，在该第二导轨100上配置有可在箭头D方向进退的可动台102。在可动台102的箭头D方向的进退位置上设有未图示的互锁装置，可将所述可动台102保持在两个位置上。

在可动台102上设有互相平行并在箭头C方向延伸的一对第三导轨104，在箭头C方向可进退的主体部78a配置在所述第三导轨104上。主体部78a在箭头C方向前端位置靠近层压装置46被固定，另一方面，主体部78a也可在箭头C方向后端位置固定。

主体部78a在相对于箭头C1方向移动规定的距离L1之后，可沿导轨100向箭头D方向移动。向箭头C1方向的移动距离L1的尺寸被设定为在移送机构92向箭头D方向移动时不与层压装置46发生干涉的尺寸，并且，向箭头D方向的移动距离L2的尺寸被设定为当操作者对所述层压装置46进行各种维护作业时不会与主体部78a发生干涉的尺寸。

并且，搬运机构74还可以采用配置未图示的气浮板，使玻璃基板24浮起并向箭头C方向搬运的结构。

如图1所示，在加热装置45的上游设置有收容多个玻璃基板24的基板储藏库110。在基板储藏库110的投入及取出口以外的三个侧面上附设有除尘用风扇单元(或管道单元)112。风扇单元112向基板储藏库110内吹出防静电清洗气。收容于基板储藏库110的各玻璃基板24被设于机械人114的手部114a上的吸附垫116吸附而被取出，并被搬入加热装置45。

层压装置46具备上下配置并被加热到规定温度的层压用橡胶辊120a、120b。在橡胶辊120a、120b上滑动接触有备用辊122a、122b，并且隔着辊夹紧部124将所述备用辊122b压向橡胶辊120b侧。

在橡胶辊120a的附近配置有可移动的接触防止辊126，接触防止辊126用于防止感光性薄板22与所述橡胶辊120a接触。在层压装置46的上游附近配置有用于将感光性薄板22预加热到预先规定温度的预加热部127。该预加热部127例如具备红外线加热棒等加热装置。

在层压装置46与基板间薄板切断机构48之间配置有膜搬运辊128a和基板搬运辊128b。在基板间薄板切断机构48的下游侧配置有冷却机构130，并且在该冷却机构130的下游侧配置有基础剥离机构132。冷却机构130在通过基板间薄板切断机构48切断了粘贴基板24a间的感光性薄板22之后，向该粘贴基板24a供给冷风，实施冷却处理。具体地说设定为冷风温度为10℃，风量为1.0～2.0m³/min。并且，也可以不使用冷却机构130，在后述的感光性层叠体储藏库146中自然冷却。另外，也可以代替冷风，用室内风来吹风。

配置于冷却机构130的下游的基础剥离机构132具备从下方吸附粘贴基板24a的多个吸附垫134，在该吸附垫134上吸附保持有所述粘贴基板24a的状态下，通过机械手136剥离基膜26及残存部分30b。在吸附垫134的上游、下游及两侧配置有防静电吹风机(未图示)，其从四个方向的侧面向粘贴基板24a的层压部分整体喷射防静电气体。并且，为除尘可以将工作台垂直、或倾斜、或者翻过来进行剥离。

在基础剥离机构132的下游设置有收容多个感光性层叠体140的感光性层叠体储藏库146。利用基础剥离机构132从粘贴基板24a剥离了基膜26及残存部分30b的感光性层叠体140被设于机械人142的手部142a上的吸附垫114吸附并被取出，并被收容于感光性层叠体储藏库146。并且，手部142a也可以不使用吸附方式，例如采用摩擦所实现的保持方式。

在感光性层叠体储藏库146的投入及取出口以外的三个侧面上附设有除尘用风扇单元(或管道单元)112。风扇单元112向感光性层叠体储藏库146内吹出防静电清洗气。

在制造系统20中，薄板送出机构32、加工机构36、标签粘接机构40、存储机构42、剥离机构44、张力控制机构66及检测机构47被配置于层压装置46的上方，但也可以与之相反，将从所述薄板送出机构32到所述检测机构47配置于所述层压装置46的下方，感光性薄板22的上下颠倒，将感光性树脂层28粘贴于玻璃基板24的下侧，另外，也可以将所述制造系统20整体构成在一直线上。

制造系统20通过层压工序控制部150被整体控制，在该制造系统20的每个功能部上例如设置有层压控制部152、基板加热控制部154及基础剥离控制部156等，利用工序内网络将它们连接起来。

层压工序控制部150与工厂网络连接，对来自未图示的工厂CPU的指示信息(条件设定、生产信息)的生产管理、工作管理等，进行用于生产的信息处理。

层压控制部152作为工序整体的主导装置来进行各功能部的控制，基于由检测机构47检测出的感光性薄板22的半切割部位34的位置信息，例如构成控制加热装置45的控制机构。

基础剥离控制部156进行从由层压装置46供给的粘贴基板24a上剥离基膜26，进而向下游工序排出感光性层叠体140的动作的控制，并且操纵控制所述粘贴基板24a及所述感光性层叠体140的信息。

制造系统20内通过分隔壁160被分隔为第一净化间162a和第二净化间162b。在第一净化间162a收容薄板送出机构32到张力控制机构66，并且在第二净化间162b收容检测机构47以后的机构。第一净化间162a和第二净化间162b通过贯通部164连通。

以下对该制造系统20的动作进行说明。

首先，如图1所示，在加工机构36中，圆刀52在感光性薄板22的宽度方向上移动，将该感光性薄板22从保护膜30切入到感光性树脂层28乃至基膜26，形成半切割部位34(参照图2)。进而，如图1所示，感光性薄板22对应于保护膜30的残存部分30b的尺寸而被向箭头A方向搬运之后，停止，在圆刀52的进刀作用下形成半切割部位34。由此，在感光性薄板22上，隔着残存部分30b设置有前方的剥离部分30aa和后方的剥离部分30ab(参照图2)。

下面，感光性薄板22被搬运到标签粘接机构40，保护膜30的规定粘贴部位被配置于支承台56上。在标签粘接机构40中，规定张数的粘接标签38被吸附垫54a～54g吸附保持，且各粘接标签38跨过保护膜30的残存部分30b，一体地粘接到前方的剥离部分30aa和后方的剥离部分30ab上(参照图3)。

如图1所示，例如，粘接了七根粘接标签38的感光性薄板22通过存储机构42来防止送出侧的拉力变动，然后被连续地搬运到剥离机构44。在剥离机构44中，感光性薄板22的基膜26被吸附保持于吸入筒62，并且，除了保留残存部分30b以外，保护膜30被从所述感光性薄板22上剥离。该保护膜30通过剥离辊63被以锐角的剥离角剥离并卷取到保护膜卷取部64。

在剥离机构44的作用下，保护膜30除保留残存部分30b以外被从基膜26剥离之后，通过张力控制机构66对感光性薄板22进行张力调整，进而在检测机构47利用光电传感器72进行半切割部位34的检测。

感光性薄板22基于半切割部位34的检测信息，在膜搬运辊128a的旋转作用下，被定量搬运向层压装置46。此时，接触防止辊126在上方待机，并且橡胶辊120b配置于下方。

另一方面，在加热装置45中，对应于层压装置46的层压温度来设定第一及第二加热机构76、78内的加热温度。例如，当层压温度为110℃时，通过第一及第二红外线加热器90a、90b将第一及第二加热机构76、78内的加热温度设定为120℃前后。

因此，机械人114把持收容于基板储藏库110的玻璃基板24，并将该玻璃基板24搬入第一加热机构76。如图4所示，在第一加热机构76内，在第一红外线加热器90a的加热作用下玻璃基板24升温，之后，通过搬运机构74将所述玻璃基板24送到第二加热机构78。

在第二加热机构78内，通过第二红外线加热器90b加热玻璃基板24，在维持在规定温度的状态下，通过搬运机构92被送到层压装置46。在层压装置46中，玻璃基板24与感光性薄板22的感光性树脂层28的粘贴部分相对应，被暂时配置于橡胶辊120a、120b之间。

在该状态下，通过辊夹紧部124使备用辊122b及橡胶辊120b上升，由此，以规定的挤压压力将玻璃基板24夹入橡胶辊120a、120b之间。进而，在橡胶辊120a的旋转作用下，在该玻璃基板24上利用加热熔融转印(层压)感光性树脂层28。

这里，作为层压条件，速度为1.0m/min～10.0m/min，橡胶辊120a、120b的温度为80℃～150℃，所述橡胶辊120a、120b的橡胶硬度为40度～90度，该橡胶辊120a、120b的挤压力(线压力)为50N/cm～400N/cm。

在通过橡胶辊120a、120b完成向玻璃基板24层压一张感光性薄板22时，所述橡胶辊120a的旋转停止，另一方面，被层压了所述感光性薄板22的所述玻璃基板24即粘贴基板24a被基板搬运辊128b夹紧。

然后，橡胶辊120b向从橡胶辊120a离开的方向退避，解除夹紧，同时基板搬运辊128b开始旋转，粘贴基板24a被定量搬运向箭头C方向，感光性薄板22的基板间位置移动到橡胶辊120a的下方附近的规定位置。另一方面，通过加热装置45将下一个玻璃基板24搬运向粘贴位置。

当下一个玻璃基板24的前端配置在橡胶辊120a、120b之间时，所述橡胶辊120b上升，并用所述橡胶辊120a、120b夹紧所述下一个玻璃基板24与感光性薄板22。并且，在橡胶辊120a、120b及基板搬运辊128b的旋转作用下开始层压，并将粘贴基板24a搬运向箭头C方向。

粘贴基板24a被定量搬运向箭头C方向，在通过基板间薄板切断机构48切断玻璃基板24之间的感光性薄板22之后，通过冷却机构130冷却，进而被移送到基础剥离机构132。在该基础剥离机构132中，在吸附垫134上吸附保持有粘贴基板24a的状态下，通过机械手136剥离基膜26及残存部分30b，从而获得感光性层叠体140。

此时，在吸附垫134的上游、下游及两侧，向粘贴基板24a的层压部分整体从四个方向的侧面喷射防静电气体。并且，感光性层叠体140被保持在机械人142的手部142a上，仅在感光性层叠体储藏库146收容规定数量的感光性层叠体140。

这时，如图4所示，在第一实施方式中，在构成第二加热机构78的主体部78a的箭头C方向前端面上设有移送机构92，所述移送机构92靠近层压装置46配置。

因此，尤其在使用壁薄且大型的玻璃基板24之际，也能够可靠地保持该玻璃基板24的搬运方向前端侧，在构成层压装置46的橡胶辊120a、120b之间，能够顺利且可靠地搬运所述玻璃基板24。

另外，当进行层压装置46的维护作业等之际，如下所述，使第一加热机构76及第二加热机构78后退。即，在第一加热机构76中，主体部76a沿第一导轨86向箭头C1方向移动规定的距离L1，同时构成第二加热机构78的主体部78a同样沿第三导轨104向箭头C1方向移动规定距离L1。这里，第一加热机构76及第二加热机构78设置有用于阻止向箭头C方向移动的互锁装置。

接着，在第二加热机构78中，主体部78a与可动台102一体地沿第二导轨100向箭头D方向(参照图5)移动规定距离L2，并施加互锁。

因此，在层压装置46中，在加热装置45侧形成有维护作业用的空间，利用该空间，操作者能够进行构成层压装置46的橡胶辊120a、120b的清扫、更换等维护作业。

如上所述，在第二加热机构78的主体部78a设置有用于从加热装置45向层压装置46交接玻璃基板24的移送机构92。并且，当进行层压装置46的维护作业等之际，在将第二加热机构78暂时向箭头C1方向移动规定距离L1，即在使主体部78a向箭头D方向移动之际，暂时使移送机构92移动到不与所述层压装置46干涉的位置，然后使所述主体部78a向箭头D方向移动。

因此，仅通过使第二加热机构78的主体部78a向箭头C1方向及箭头D方向移动，能够使移送机构92与所述主体部78a一体地从层压装置46退避。由此，能够用简单的操作确保维护用空间，层压装置46的各种维护作业能够有效且容易完成。

并且，在第一实施方式中，玻璃基板24进行间歇进给即所谓的分批搬运，但并不限定于此，也能够适用于连续搬运所述玻璃基板24的结构。

图6是本发明的第二实施方式的加热装置170的概略结构说明图。并且，对和第一实施方式的加热装置45相同的结构要素标以相同符号，并省略其详细说明。

加热装置170沿基于搬运机构74的搬运方向设置，至少具备第一加热机构172及第二加热机构174。构成第一加热机构172的主体部172a通过固定台176固定于基台82上。

第二加热机构174包括：主体部174a；移送机构178，其设置于所述主体部174a，并延伸到层压装置46的附近，将玻璃基板24交接到所述层压装置46；以及退避机构180，其能使所述主体部174a相对于所述层压装置46向与箭头C方向交叉的方向(图5中箭头D方向)移动。

移送机构178构成为可相对于第二加热机构174的主体部174a从水平姿势摆动到铅直向下姿势。该移送机构178具备配置多个搬运辊80a的摆动台182，通过固定于主体部174a内的支承轴184，摆动自如地支承该摆动台182的一端部。在主体部174a内配置有摆动自如的气缸186，从该气缸186向外延伸的杆186a与摆动台182的摆动前端侧连接。

退避机构180具备在摆动台182上向与箭头C方向交叉的方向延伸的一对导轨188。在该导轨188上配置有可进退的主体部174a。

如图6所示，在第二实施方式中，构成移送机构178的摆动台182在被支承朝向水平方向的状态下，靠近层压装置46。因此，利用第一加热机构172及第二加热机构174加热到规定温度的玻璃基板24能够通过构成移送机构178的搬运辊80a顺利且可靠地交接到层压装置46上。

下面，当进行层压装置46的维护作业时，首先，驱动构成移送机构178的气缸186，杆186a向内侧移动。由此，与杆186a连接的摆动台182以支承轴184为支承点向铅直向下方向摆动(参照图6中双点划线)。

因此，主体部184a沿构成退避机构180的导轨188向与箭头C方向正交的方向移动。因此，在加热装置170中能够对应于第二加热机构174的作业用配置空间来确保维护用空间。

这样，在第二实施方式中，构成移送机构178并设有搬运辊80a的摆动台182构成为可将姿势变换成水平姿势与铅直姿势。由此，在交接玻璃基板24时，摆动台182被配置为水平姿势，由此，尤其能够将尺寸大且壁薄的玻璃基板24可靠地送入构成层压装置46的橡胶辊120a、120b之间。

另一方面，在维护层压装置46时，只要使摆动台182从水平姿势变换姿势为铅直姿势之后，使主体部174a沿导轨188移动即可。从而，移送机构178并不与层压装置46干涉，能够确保所需的维护用空间，实现作业性的提高。

并且，在第二实施方式中，摆动台182构成为可通过气缸186自动地摆动，但取代这种方式，例如，也可以构成为通过手动操作使摆动台182变换姿势成水平姿势与铅直姿势。

图7是本发明的第三实施方式的加热装置190的概略结构说明图。并且，对与第二实施方式的加热装置170相同的结构要素标以相同符号，并省略其详细说明。

加热装置190沿基于搬运机构74的搬运方向设置，至少具备第一加热机构172及第二加热机构192。第二加热机构192具有相对于主体部192a能够收容的移送机构194。

移送机构194包括：滑座196，其设有多个搬运辊80a；以及滑轨198，其设于主体部192a内，并可使所述滑座196在所述主体部192a的内部和所述主体部192a的外部移动。在滑座196的端部设有由形成于滑轨198上的导向槽198a引导的导向销200。

在导向销200被配置于导向槽198a的外侧端部时，滑座196靠近层压装置46，且在与多个搬运辊80同一面上配置多个搬运辊80a，并由支承台202支承为水平姿势。在导向销200被配置于导向槽198a的内侧端部之际，滑座196退避到搬运辊80的下方，并由支承台204支承其前端部侧。

在该第三实施方式中，滑座196被从主体部192a拉出，并被支承台202支承，由此搬运辊80a被配置在与构成搬运机构74的其他搬运辊80同一面上，且靠近层压装置46被定位。从而，能够使玻璃基板24从第二加热机构192顺利地交接到层压装置46上。

另一方面，当维护层压装置46时，滑座196在导向销200与滑轨198的引导作用下，在被收容于主体部192a内之后(参照图7中双点划线)，所述主体部192a沿导轨188退避。

由此，能够用简单且快速的操作确保维护用空间，并能获得有效提高作业性等、与第一及第二实施方式同样的效果。

Claims (7)

1.一种加热装置，其是将利用层压装置(46)粘贴感光性薄板(22)的基板(24)在粘贴处理前预先加热到规定温度的加热装置(45)，

所述加热装置的特征在于，

其包括：搬运机构(74)，其用于搬运所述基板(24)；以及多个加热机构(76、78)，其沿基于所述搬运机构(74)的搬运方向配置，

并且与所述层压装置(46)相邻接的配置在搬运方向的最下游的所述加热机构(78)包括：

主体部(78a)，其收容所述搬运机构(74)及加热源(90b)；

移送机构(92)，其设于所述主体部(78a)，延伸到所述层压装置(46)的附近，用于将所述基板(24)交接到所述层压装置(46)；

退避机构(94)，其使所述主体部(78a)可相对于所述层压装置(46)移动。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述移送机构(92)相对于所述主体部(78a)被固定。

3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述退避机构(94)构成为使所述主体部(78a)可在所述搬运方向及与所述搬运方向交叉的方向上进退。

4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述搬运机构(178)构成为可相对于所述主体部(174a)摆动。

5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，

所述移送机构(178)具备摆动用气缸(186)。

6.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，

所述移送机构(194)构成为可收容于所述主体部(192a)。

7.根据权利要求4或6所述的加热装置，其特征在于，

所述退避机构(180)构成为使所述主体部(174a、192a)可至少在与所述搬运方向交叉的方向上进退。

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