CN109212901A - 一种彩色滤光片用新型光刻胶及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：1~20%的含有羧基官能团的黏性树脂，0.5~10%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，0.5~10%的具有C=C双键的不饱和化合物，50~90%的有机溶剂及5~20%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料。同时，本发明还公开了上述彩色滤光片用新型光刻胶的制备方法。本发明能改善重复曝光CD减小提高产品的良率，确保矩阵图案的分辨率得到极大的提高；解决了黑色矩阵在scan曝光过程中，出现的线宽CD大小不一所造成的，由lenz引起的重复曝光CD减小。

Description

一种彩色滤光片用新型光刻胶及其制备方法

技术领域

本发明属于光敏性材料化工技术领域，具体涉及一种彩色滤光片用新型光刻胶及其制备方法。

背景技术

目前，薄膜晶体管液晶显示技术（简称LCD-TFT）的彩色显示是通过彩色滤光片（简称CF）来完成的，彩色滤光片是一种能够表现出光学特性的一种膜片,可以选择不同波段的光通过｡一般选用红、绿、蓝（简称RGB）三种颜色作为三原色，而过滤掉其他不需要的光，由RGB组成像素点组成七种不同颜色的光，而使人眼收到饱和的某个光线｡黑色矩阵作为一条窄线框在玻璃基板的表面把其他三原色隔离开，防止混色，而使人在观看时不会混色｡作为彩色滤光片中一个组成部分，黑色矩阵对显色起到了重要作用｡其中在制作黑色矩阵时，目前较为流行的曝光工艺为接近式的曝光，其原理为光源通过掩模板将图案印在玻璃基板上，掩模板与玻璃基板有一定的间距为100~300um，曝光过程中要对掩模板进行对位并调整曝光间距，耗费了一定的时间影响了工作效率，同时若曝光间距过小，虽然可以得到与掩模板最接近的图案，但是掩模板极容易碰到下方的玻璃基板而污染掩模板，如果曝光间距过大，则掩模板上的图案无法较为准确的投射下来。随着产能和产线的扩大，使用的玻璃基板会越来越大，对曝光工艺的要求越来越高，接近式曝光方法已经不太适用于高精度高分辨率的黑色矩阵的生产。所以CF厂家会逐渐的采用能够连续化生产的扫描式曝光方法（scan曝光机），scan曝光时光源直接投射到掩模板上，而掩模板下方是棱镜（lenz），可以将掩模板上的图案以最真实的方法投射到玻璃基板的表面，这时的掩模板与玻璃基板之间是不存在曝光间距这个问题，scan的方式具有更高的生产效率和更好的保持掩模板上的图案。但是采用了scan曝光机，光线通过lenz以后会在lenz工作组与组之间交叉位置对同一线条进行两次扫描，由于lenz自身的原因，两次扫描的结果是同一条线相比其他矩阵图案CD减小，但是CD的精度已经比接近式曝光有了进步，对于由于lenz产生的重复曝光CD减小，会对产品良率造成一定的影响。

使用光刻法制成黑色矩阵光阻材料，其一般过程为：清洗素玻璃→在素玻璃上涂布新型光刻胶→真空干燥（VCD）→去除边缘光阻→对涂膜素玻璃进行预烘烤→使用scan曝光机对涂膜玻璃进行曝光，使涂膜固化在素玻璃表面→使用显影液对涂膜进行显影，去除未曝光固化部分→将涂膜玻璃放在烘箱中烘烤，设定烘烤温度为230℃，烘烤时间为30min，得到坚膜矩阵图案。特别是在scan曝光过程中，需求高敏感度的光致引发剂，并具有均匀的CD线宽，属于要尝试解决的问题，由于一般光刻胶自身的特点，在scan曝光过程中容易引起CD的不良，影响后续工序的进行，如其他的颜色RGB相互之间渗透，造成颜色混乱，为了节约生产成本及能源耗费，提高LCD的显示颜色性能，因此需要开发具有高光感性，CD均匀的黑色矩阵材料。

发明内容

发明目的：本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种彩色滤光片用新型光刻胶。

本发明的另一目的在于提供上述彩色滤光片用新型光刻胶的制备方法。

技术方案：为了达到上述发明目的，本发明具体是这样来实现的：一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下质量百分比的组分：1~20%的含有羧基官能团的黏性树脂，0.5~10%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，0.5~10%的具有C=C双键的不饱和化合物，50~90%的有机溶剂及5~20%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，还可以包括其他组分为非必要成分，如表面活性剂，可改善光阻成分的涂布性能，使得颜料的分散状态得到稳定，制成的涂膜表面光滑，粗糙度均匀，为产品的稳定性能提供保障，表面活性剂从如下中选出：阴离子表面活性剂，阳离子表面活性剂，两性离子表面活性剂，非离子表面活性剂。这些表面活性剂或是直链、支链、芳香链、含氟长链等；此外，对其他组分为非必要成分进行使用前要进行溶剂的稀释，溶剂可从如下中选出：丙二醇甲醚醋酸酯，乙二醇单甲醚，乙二醇单丁醚，二乙二醇甲乙醚，丙二醇单乙醚乙酸酯，丙二醇单甲醚醋酸酯，丙二醇单乙醚，环己酮，乙二醇单乙醚醋酸酯。其中炭黑颜料用量过少，涂膜玻璃容易漏光，遮挡性降低，三色RGB容易混色；用量过多则其他成膜物质部分减少，则涂膜与玻璃基板之间的附着能力下降，涂膜容易从素玻璃表面脱落；优选的炭黑颜料为碳黑分散液：由sakatainxIndustries，Ltd，提供的BR1011产品，其固含量为35.5%内容物。

其中，所述含有羧基官能团的黏性树脂为具有C=C双键的不饱和结构，且属于丙烯酸类的聚合物，由含有-COOH基团，可与含有-OH碱性基团发生化学反应而成，为碱可溶性树脂；所述含有-COOH基团的化合物选自丙烯酸、1，2，4，5-环己四羧酸二酐、丁烷四羧酸二酐、三环[6，4，0，0(2，7)]十二烷-1，2，7，8-四甲酸二酐、聚（3，3’，4，4'-联苯四羧酸二酐-CO-1，4-苯二胺）、4，9-二溴异色稀并（6，5，4-DEF）异色烯-1，3，6，8-四酮、1，2，3，4-四甲基-1，2，3，4-环丁烷四羧酸二酐、N，N'-二(2-癸基十四烷基)-1，7-二溴-3，4，9，10-苝四羧酸二酐、内消旋-丁烷-1，2，3，4-四羧酸二酐、双环[2.2.2]辛-7-烯-2，3，5，6-四羧酸二酐、3，3'，4，4'-联苯四羧酸二酐、1，7-二溴-3，4，9，10-苝四羧基双酐、1、2、3、4-环戊四羧酸二酐、3，3'，4，4'-二苯甲酮四甲酸二酐、1，2，3，4-丁烷四羧酸二酐、3，4，9，10-四羧酸酐、环丁烷四甲酸二酐、2，3，3'，4'-联苯四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐、1，4，5，8-萘四甲酸酐中的一种；所述含有-OH碱性基团的化合物选自双酚Z、双酚芴、双酚B、4，4'-（1-甲基亚乙基）双（2-甲基苯酚）、A，A，A'-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-乙丙苯、4，4'-（1，3-二甲基丁基）二苯酚、双酚AP、9，9-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴中的一种。

其中，所述含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚Z、双酚芴、双酚B、4，4’-（1-甲基亚乙基）双（2-甲基苯酚）、A，A，A'-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-乙丙苯、4，4’-（1，3-二甲基丁基）二苯酚、双酚AP、9，9-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴中的一种。

其中，所述含有羧基官能团的黏性树脂的分子量在3000~10000，重均分子量在4800~5000。

其中，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂在光谱大于300nm以上对光有吸收，而分裂产生缺少自由电子的自由基，具有较高的反应活性，其包括发色基团与自由基，其结构简式如下所示：PI(UV)→R·+R1，其中R·代表自由基，R1代表发色基团，光致引发剂裂解后不具有自由基基团的功能；所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂包括至少一种带甲基自由基的引发剂，至少一种带苯环结构的引发剂和至少一种带助色基团、可使对光谱线的吸收实现红移的引发剂如如氯原子、NO₂基团、苯环结构、S原子、N原子、-OH基团或=O基团。

其中，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自如下P1~P17的化合物：

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、、

、、

、

、、

、、

、、

、、

或。

其中，所述具有C=C双键的不饱和化合物，为烯醇式化合物，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂可使C=C双键打开，成为交联聚合的组成物，形成固化坚膜；所述C=C双键的不饱和化合物选自二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、邻苯二甲酸二甘醇二丙烯烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、甲基丙烯酸异冰片酯、季戊四醇四丙烯酸酯中的一种或多种。其中，新戊二醇二丙烯酸酯作为功能单体，具有耐磨性好，耐刻划的特点，丙氧基化（2）新戊二醇二丙烯酸酯具有较低的皮肤刺激性，对附着力的改善有一定的作用。黏性树脂与具有C=C双键的不饱和化合物的比例可控制在15：85（质量比）到85：15（质量比）之间，从中选出80：20（质量比），若不饱和化合物的比例过多，会造成涂膜强度下降。

其中，所述有机溶剂对含有羧基官能团的黏性树脂具有良好的溶解性，选自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚醋酸酯、丙二醇单乙醚、环己酮、乙二醇单乙醚醋酸酯中的一种或多种。

一种制备彩色滤光片用新型光刻胶的方法，包括以下步骤：

（1）按配方量取各成分混合，清洁玻璃基板，将混合物涂布在玻璃基板表面，制作成1.0um厚度的黑色薄膜；

（2）使用VCD抽出有机溶剂总质量的80~95%，并将涂膜玻璃基板放在100℃的加热板上预烘烤100s，使得混合物中的有机溶剂挥发完全；

（3）将玻璃基板放于scan曝光机中进行曝光，在掩模板的作用下，光源通过lenz将光投射到黑色薄膜表面，使用波长为350~450nm的光完成曝光；

（4）将曝光后的玻璃基板放于显影机中进行显影，显影方式为喷淋显影，显影温度为23℃，显影液为碱性显影液，通过与光阻组合物中的酸性成分反应，而将未曝光部分洗去，留下曝光部分而成为预制矩阵图案；

（5）将预制矩阵图案的涂膜玻璃基板放于230℃的烘箱中烘烤30m，使得矩阵图案最终固化成坚膜。

其中，步骤（2）使用VCD抽出部分有机溶剂是本发明的一个关键点，是将溶剂抽出增加光刻胶的粘度，阻止光刻胶的流动状态，使其成型在玻璃基板的表面。

对矩阵图案进行CD值的检测，根据CD值大小评估重复曝光CD减小的严重程度，以CD bias来表示两次曝光的CD值减去一次曝光的CD值，CD bias值越接近于0，则mura越轻微。公式为CD bias=2次shot CD-1次shot CD；2次shot CD：曝光机扫描两次得到的CD值大小，两次扫描曝光量相加等于1次扫描的曝光量；1次shot CD：曝光机扫描一次得到的CD值大小；分辨率的测量：相同的显影时间下，在显微镜（Keyence，型号VHX-5000）下被观察到的掩模板下最小的CD线被定义为分辨率/um；CD值的测量：使用显微镜（Keyence，型号VHX-5000）对目标掩模板下的线条进行自动CD线宽量测；光感度的确认，得到掩模板下对应CD线宽合适的曝光量，单位为mJ/cm²。

重复曝光CD减小的严重程度根据CD bias的大小来判定，CD bias值小于0时则mura较严重，CD bias过大的话，则影响掩模板投射到玻璃上的真实性，所以应为接近于0的地方，本发明的光刻胶可以解决重复曝光CD减小带来的问题，可在光敏感性方面保持图案的线宽（CD）不变，具有比较优异的显影性。对提高产品的良率有很好的效果。

有益效果：本发明与传统技术相比，能改善重复曝光CD减小提高产品的良率，确保矩阵图案的分辨率得到极大的提高；解决了黑色矩阵在scan曝光过程中，出现的线宽CD大小不一所造成的，由lenz引起的重复曝光CD减小。

具体实施方式

实施例1：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：20%的含有羧基官能团的黏性树脂，5%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂5%的具有C=C双键的不饱和化合物，50%的有机溶剂及20%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料；其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚Z；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自二缩三丙二醇二丙烯酸酯；所述有机溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯。

实施例2：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：20%的含有羧基官能团的黏性树脂，9.5%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，0.5%的具有C=C双键的不饱和化合物，55%的有机溶剂及15%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚芴；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自二季戊四醇六丙烯酸酯；所述有机溶剂选自乙二醇单甲醚。

实施例3：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：10%的含有羧基官能团的黏性树脂，0.5%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，9.5%的具有C=C双键的不饱和化合物，60%的有机溶剂及20%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚B；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自己二醇二丙烯酸酯；所述有机溶剂选自乙二醇单丁醚。

实施例4：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：10%的含有羧基官能团的黏性树脂，10%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，10%的具有C=C双键的不饱和化合物，65%的有机溶剂及5%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自4，4'-（1-甲基亚乙基）双（2-甲基苯酚）；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自邻苯二甲酸二甘醇二丙烯烯酸酯；所述有机溶剂选自二乙二醇甲乙醚；

实施例5：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：1%的含有羧基官能团的黏性树脂，10%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，10%的具有C=C双键的不饱和化合物，70%的有机溶剂及9%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自A，A，A'-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-乙丙苯；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自新戊二醇二丙烯酸酯；所述有机溶剂选自丙二醇单乙醚乙酸酯。

实施例6：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：15%的含有羧基官能团的黏性树脂，1%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，1%的具有C=C双键的不饱和化合物，75%的有机溶剂及8%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自4，4'-（1，3-二甲基丁基）二苯酚；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自

；具有C=C双键的不饱和化合物选自季戊四醇三丙烯酸酯；所述有机溶剂选自丙二醇单甲醚醋酸酯。

实施例7：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：5%的含有羧基官能团的黏性树脂，3%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂2%的具有C=C双键的不饱和化合物，80%的有机溶剂及10%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚AP；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自三羟甲基丙烷三丙烯酸酯；所述有机溶剂选自丙二醇单乙醚。

实施例8：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：2%的含有羧基官能团的黏性树脂，0.5%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂2.5%的具有C=C双键的不饱和化合物，85%的有机溶剂及10%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双9，9-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自；具有C=C双键的不饱和化合物选自乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯和甲基丙烯酸异冰片酯；所述有机溶剂选自环己酮和乙二醇单乙醚醋酸酯。

实施例9：

一种彩色滤光片用新型光刻胶，包括以下重量百分比的组分：3%的含有羧基官能团的黏性树脂，1%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，1%的具有C=C双键的不饱和化合物，90%的有机溶剂及5%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料｡其中，含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚Z；可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自、；具有C=C双键的不饱和化合物选自己二醇二丙烯酸酯和季戊四醇四丙烯酸酯；所述有机溶剂选自二乙二醇甲乙醚和丙二醇单乙醚。

实施例10：

制备彩色滤光片用新型光刻胶的方法：按配方量取各成分混合，清洁玻璃基板，将混合物涂布在玻璃基板表面，制作成1.0um厚度的黑色薄膜；使用VCD抽出有机溶剂总质量的80~95%，并将涂膜玻璃基板放在100℃的加热板上预烘烤100s，使得混合物中的有机溶剂挥发完全；将玻璃基板放于scan曝光机中进行曝光，在掩模板的作用下，光源通过lenz将光投射到黑色薄膜表面，使用波长为350~450nm的光完成曝光；将曝光后的玻璃基板放于显影机中进行显影，显影方式为喷淋显影，显影温度为23℃，显影液为碱性显影液，通过与光阻组合物中的酸性成分反应，而将未曝光部分洗去，留下曝光部分而成为预制矩阵图案；将预制矩阵图案的涂膜玻璃基板放于230℃的烘箱中烘烤30m，使得矩阵图案最终固化成坚膜。

Claims (9)

1.一种彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，包括以下质量百分比的组分：1~20%的含有羧基官能团的黏性树脂，0.5~10%的可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂，0.5~10%的具有C=C双键的不饱和化合物，50~90%的有机溶剂及5~20%的组成黑色矩阵所用的炭黑颜料。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述含有羧基官能团的黏性树脂为具有C=C双键的不饱和结构，且属于丙烯酸类的聚合物，由含有-COOH基团，可与含有-OH碱性基团发生化学反应而成，为碱可溶性树脂；所述含有-COOH基团的化合物选自丙烯酸、1，2，4，5-环己四羧酸二酐、丁烷四羧酸二酐、三环[6，4，0，0(2，7)]十二烷-1，2，7，8-四甲酸二酐、聚（3，3’，4，4’-联苯四羧酸二酐-CO-1，4-苯二胺）、4，9-二溴异色稀并（6，5，4-DEF）异色烯-1，3，6，8-四酮、1，2，3，4-四甲基-1，2，3，4-环丁烷四羧酸二酐、N，N'-二(2-癸基十四烷基)-1，7-二溴-3，4，9，10-苝四羧酸二酐、内消旋-丁烷-1，2，3，4-四羧酸二酐、双环[2.2.2]辛-7-烯-2，3，5，6-四羧酸二酐、3，3'，4，4'-联苯四羧酸二酐、1，7-二溴-3，4，9，10-苝四羧基双酐、1、2、3、4-环戊四羧酸二酐、3，3'，4，4'-二苯甲酮四甲酸二酐、1，2，3，4-丁烷四羧酸二酐、3，4，9，10-四羧酸酐、环丁烷四甲酸二酐、2，3，3'，4'-联苯四甲酸二酐、均苯四甲酸二酐、1，4，5，8-萘四甲酸酐中的一种；所述含有-OH碱性基团的化合物选自双酚Z、双酚芴、双酚B、4，4’-（1-甲基亚乙基）双（2-甲基苯酚）、A，A，A’-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-乙丙苯、4，4’-（1，3-二甲基丁基）二苯酚、双酚AP、9，9-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴中的一种。

3.根据权利要求2所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述含有羧基官能团的黏性树脂化学式为

，其中R选自双酚Z、双酚芴、双酚B、4，4'-（1-甲基亚乙基）双（2-甲基苯酚）、A，A，A'-三（4-羟苯基）-1-乙基-4-乙丙苯、4，4'-（1，3-二甲基丁基）二苯酚、双酚AP、9，9-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴中的一种。

4.根据权利要求2或3所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述含有羧基官能团的黏性树脂的分子量在3000~10000，重均分子量在4800~5000。

5.根据权利要求1所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂在光谱大于300nm以上对光有吸收，而分裂产生缺少自由电子的自由基，具有较高的反应活性，其包括发色基团与自由基，其结构简式如下所示：PI(UV)→R·+R1，其中R·代表自由基，R1代表发色基团，光致引发剂裂解后不具有自由基基团的功能；所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂包括至少一种带甲基自由基的引发剂，至少一种带苯环结构的引发剂和至少一种带助色基团、可使对光谱线的吸收实现红移的引发剂如如氯原子、NO₂基团、苯环结构、S原子、N原子、-OH基团或=O基团。

6.根据权利要求5所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂选自如下P1~P17的化合物：

、、、、、、、、、、、、、、、

或。

7.根据权利要求1所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述具有C=C双键的不饱和化合物，为烯醇式化合物，所述可在紫外光下吸收光能量的光致引发剂可使C=C双键打开，成为交联聚合的组成物，形成固化坚膜；所述C=C双键的不饱和化合物选自二缩三丙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、邻苯二甲酸二甘醇二丙烯烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、甲基丙烯酸异冰片酯、季戊四醇四丙烯酸酯中的一种或多种。

8.根据权利要求1所述的彩色滤光片用新型光刻胶，其特征在于，所述有机溶剂对含有羧基官能团的黏性树脂具有良好的溶解性，选自丙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇单甲醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇甲乙醚、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚醋酸酯、丙二醇单乙醚、环己酮、乙二醇单乙醚醋酸酯中的一种或多种。

9.一种制备权利要求1~8任一所述彩色滤光片用新型光刻胶的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）按配方量取各成分混合，清洁玻璃基板，将混合物涂布在玻璃基板表面，制作成1.0um厚度的黑色薄膜；

（2）使用VCD抽出有机溶剂总质量的80~95%，并将涂膜玻璃基板放在100℃的加热板上预烘烤100s，使得混合物中的有机溶剂挥发完全；

（3）将玻璃基板放于scan曝光机中进行曝光，在掩模板的作用下，光源通过lenz将光投射到黑色薄膜表面，使用波长为350~450nm的光完成曝光；

（4）将曝光后的玻璃基板放于显影机中进行显影，显影方式为喷淋显影，显影温度为23℃，显影液为碱性显影液，通过与光阻组合物中的酸性成分反应，而将未曝光部分洗去，留下曝光部分而成为预制矩阵图案；

（5）将预制矩阵图案的涂膜玻璃基板放于230℃的烘箱中烘烤30m，使得矩阵图案最终固化成坚膜。