CN106972030A - 一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法,该柔性显示面板包括:柔性衬底基板,位于柔性衬底基板显示区的导电层,位于柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线,以及位于导电层和多条走线与柔性衬底基板之间的无机绝缘层;还包括:至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线与无机绝缘层之间的第一有机绝缘层;且第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶。由于材料为固化后的光刻胶的第一有机绝缘层可防止无机绝缘层产生的裂纹扩展到多条走线,因此,避免了显示失效现象。且在具体实施时,该光刻胶可以为制作无机绝缘层的过程中涂覆的光刻胶,因此,本发明可省去两道Mask工艺,节省了生产成本,提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法。
背景技术
显示市场目前正在蓬勃发展,并且随着消费者对笔记本电脑、智能手机、电视、平板电脑、智能手表和健身腕带等各类显示产品的需求的持续提升,将来会涌现出更多的新显示产品。
全屏无边框的显示产品,可以使用户获得更好的观看体验,必将引爆新的消费市场。Pad弯折(Pad Bending)是全屏无边框的显示产品的核心技术。但是,如图1a和图1b所示,由于无机绝缘层101的脆性较大,Pad Bending会使得显示产品弯折区的无机绝缘层101发生裂纹S,该裂纹S会进一步扩展到信号线层102,从而导致显示失效。为了避免弯折区的无机绝缘层101产生裂纹S,如图2所示,现有技术中通过增加一道掩膜(Mask)工艺,以去除弯折区的无机绝缘层101;之后再通过增加另一道Mask工艺,在弯折区形成一有机绝缘层201;之后在有机绝缘层201上形成信号线层102。如此,由于在弯折区不存在无机绝缘层101,因此,在实现Pad Bending的时候,裂纹不易发生,更不会扩展到信号线层102,从而有效防止了显示失效。
由上述描述可知,为了解决弯折区的无机绝缘层产生裂纹导致显示失效的问题,现有技术中新增加了两道Mask工艺,导致生产成本增加,不利于提高生产效率。
因此,如何在较低的生产成本条件下,避免弯折区的无机绝缘层产生裂纹导致的显示失效现象,是目前亟需解决的技术问题。
发明内容
本发明实施例提供一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法,用以解决现有技术中存在的如何在较低的生产成本条件下,避免弯折区的无机绝缘层产生裂纹导致的显示失效现象的问题。
本发明实施例提供的一种柔性显示面板,包括:柔性衬底基板,设置于所述柔性衬底基板显示区的导电层,设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线,以及设置于所述导电层和所述多条走线与所述柔性衬底基板之间的无机绝缘层;所述导电层与所述多条走线电连接且同层设置;还包括:
至少设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层;所述第一有机绝缘层位于所述多条走线与所述无机绝缘层之间且所述第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述第一有机绝缘层的材料为光敏聚酰亚胺。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述第一有机绝缘层还设置于所述柔性衬底基板显示区;且所述第一有机绝缘层位于所述导电层与所述无机绝缘层之间。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述导电层为源漏极金属层;
所述无机绝缘层包括:栅绝缘层和层间绝缘层。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述第一有机绝缘层用于对所述栅绝缘层和所述层间绝缘层进行构图。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述第一有机绝缘层具有的过孔图案所占面积大于所述层间绝缘层具有的过孔图案所占面积。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,还包括:至少设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的第二有机绝缘层;且所述第二有机绝缘层位于所述多条走线之上。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,所述第二有机绝缘层与设置于所述柔性衬底基板显示区的平坦层、隔垫物层或像素定义层同层设置。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述柔性显示面板中,还包括:设置于所述柔性衬底基板显示区的导电层之上的有机电致发光二极管或者量子点发光二极管。
本发明实施例还提供了一种显示装置,包括:上述柔性显示面板。
本发明实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法,包括:
提供一柔性衬底基板;
在所述柔性衬底基板显示区和边缘弯折区依次形成无机绝缘膜层和光刻胶膜层;
采用所述光刻胶膜层对所述无机绝缘膜层进行构图形成无机绝缘层的图案;
至少对所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述光刻胶层进行固化处理,形成第一有机绝缘层;
在所述柔性衬底基板显示区的所述无机绝缘层上形成导电层,同时在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述第一有机绝缘层上形成多条走线。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述制作方法中,所述至少对所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层,具体包括:
同时对所述柔性衬底基板边缘弯折区和所述柔性衬底基板显示区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述制作方法中,在同时对所述柔性衬底基板边缘弯折区和所述柔性衬底基板显示区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层之后,还包括:
对所述光刻胶膜层具有的过孔图案进行灰化处理,使所述第一有机绝缘层具有的过孔图案所占面积大于所述无机绝缘层具有的过孔图案所占面积。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述制作方法中,在所述柔性衬底基板显示区的所述无机绝缘层上形成导电层,同时在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述第一有机绝缘层上形成多条走线之后,还包括:
在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述多条走线上形成第二有机绝缘层。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述制作方法中,在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述多条走线上形成第二有机绝缘层的同时,还包括:
在所述柔性衬底基板显示区形成平坦层、隔垫物层或像素定义层。
本发明有益效果如下:
本发明实施例提供的一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法,该柔性显示面板包括:柔性衬底基板,设置于柔性衬底基板显示区的导电层,设置于柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线,以及设置于导电层和多条走线与柔性衬底基板之间的无机绝缘层;导电层与多条走线电连接且同层设置;还包括:至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层;第一有机绝缘层位于多条走线与无机绝缘层之间且第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶。由于在柔性衬底基板边缘弯折区设置了第一有机绝缘层,且该第一有机绝缘层位于多条走线与无机绝缘层之间;因此,当位于柔性衬底基板边缘弯折区的无机绝缘层发生裂纹时,位于多条走线与无机绝缘层之间第一有机绝缘层可以起到屏蔽作用,从而有效防止了裂纹扩展到多条走线所在膜层,进而避免了显示失效现象。进一步地,由于第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶,在具体实施时,该光刻胶可以为制作无机绝缘层的过程中涂覆的光刻胶,因此,相对于现有技术中增加两道Mask工艺的技术方案,本发明可以省去两道Mask工艺,从而节省了生产成本,提高了生产效率。
附图说明
图1a为现有技术中柔性显示面板的结构示意图之一;
图1b为图1a中虚线部分放大后的结构示意图;
图2为现有技术中柔性显示面板的结构示意图之二;
图3为本发明实施例一提供的柔性显示面板的结构示意图;
图4为本发明实施例二提供的柔性显示面板的结构示意图;
图5为本发明实施例三提供的柔性显示面板的结构示意图;
图6为本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法的流程图;
图7a至图7e分别为实施本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法中的各步骤后对应的柔性显示面板的结构示意图;
图8为本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法的流程图;
图9为本发明实施例六提供的柔性显示面板的制作方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图,对本发明实施例提供的一种柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法进行详细的说明。
附图中各膜层的厚度和形状大小不反映柔性显示面板的真实比例,目的只是示意说明本发明内容。
实施例一
本发明实施例一提供的一种柔性显示面板,如图3所示,包括:柔性衬底基板301,设置于柔性衬底基板显示区A的导电层302,设置于柔性衬底基板边缘弯折区B的多条走线303,以及设置于导电层302和多条走线303与柔性衬底基板301之间的无机绝缘层304;导电层302与多条走线303电连接且同层设置;特别的,该柔性显示面板还包括:
至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区B的第一有机绝缘层305;第一有机绝缘层305位于多条走线303与无机绝缘层304之间且第一有机绝缘层305的材料为固化后的光刻胶。较佳地,该光刻胶具有良好的弯折特性和热稳定性,例如该光刻胶可以为光敏聚酰亚胺,在此不做限定。
在本发明实施例一提供的上述柔性显示面板中,由于在柔性衬底基板边缘弯折区B设置了第一有机绝缘层305,且该第一有机绝缘层305位于多条走线303与无机绝缘层304之间;因此,当位于柔性衬底基板边缘弯折区B的无机绝缘层304发生裂纹时,位于多条走线303与无机绝缘层304之间第一有机绝缘层305可以起到屏蔽作用,从而有效防止了裂纹扩展到多条走线303所在膜层,进而避免了显示失效现象。进一步地,由于第一有机绝缘层305的材料为固化后的光刻胶,在具体实施时,该光刻胶可以为制作无机绝缘层304的过程中涂覆的光刻胶,因此,相对于现有技术中增加两道Mask工艺的技术方案,本发明可以省去两道Mask工艺,从而节省了生产成本,提高了生产效率。此外,导电层302与多条走线303同层设置,这样可以使用一次构图工艺同时制作出导电层302和多条走线303,简化了制作工艺,节省了生产成本。
在具体实施时,在本发明实施例一提供的上述柔性显示面板中,如图3所示,导电层302为源漏极金属层和信号线;无机绝缘层304包括:栅绝缘层3041和层间绝缘层3042,并且层间绝缘层3042位于栅绝缘层3041背离柔性衬底基板301的一侧。第一有机绝缘层305用于形成对栅绝缘层3041和层间绝缘层3042的过孔图案。其中,导电层302和多条走线303的材料可以是钼、铝,钨、钛、铜其中之一或合金组合,在此不做限定。无机绝缘层304的材料可以为氧化硅、氮化硅其中之一或组合,在此不做限定。一般地,无机绝缘层304具有过孔图案,且无机绝缘层304的过孔图案位于柔性衬底基板显示区A。
具体地,在本发明实施例一提供的上述柔性显示面板中,如图3所示,还可以包括:位于柔性衬底基板301与栅绝缘层3041之间的有源层306,以及位于栅绝缘层3041和层间绝缘层3042之间的栅极金属层307和栅扫描线(图中未示出)。具体地,有源层306的材料可以为多晶硅半导体材料、非晶硅半导体材料、氧化物半导体材料或有机半导体材料,在此不做限定。栅极金属层307和栅扫描线的材料可以是钼、铝,钨、钛、铜其中之一或合金组合,在此不做限定。
具体地,在本发明实施例一提供的上述柔性显示面板中,如图3所示,还可以包括:依次设置于柔性衬底基板显示区A的导电层302之上的平坦层308有机电致发光二极管或者量子点发光二极管(Quantum Dot Light Emitting Diodes,QLED)309。其中,平坦层308的材料可以为聚丙烯酸树脂、聚环氧丙烯酸树脂、感光性聚酰亚胺树脂、聚酯丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯树脂、酚醛环氧压克力树脂等有机绝缘材料,在此不做限定。
实施例二
由于本发明实施例二提供的柔性显示面板与本发明实施例一提供的柔性显示面板的结构相似,这里仅对本发明实施例二提供的柔性显示面板与本发明实施例一提供的柔性显示面板的不同之处进行介绍,重复之处不再赘述。
根据上述描述可知,在本发明实施例一提供的柔性显示面板中,无机绝缘层304具有过孔图案。在实际应用中,位于过孔图案处的导电层302可能会发生断裂,影响柔性显示面板的显示效果。
具体地,为了防止导电层302在过孔图案处发生断裂,在本发明实施例二提供的上述柔性显示面板中,如图4所示,第一有机绝缘层305具有的过孔图案所占面积大于层间绝缘层3042具有的过孔图案所占面积。这样设置,可以改善导电层302的坡度角,从而有效防止导电层302在过孔图案处发生断裂。
此外,本发明实施例二提供的上述柔性显示面板中各膜层的材料与本发明实施例一提供的柔性显示面板中各膜层的材料相同,在此不做赘述。
实施例三
由于本发明实施例三提供的柔性显示面板与本发明实施例二提供的柔性显示面板的结构相似,这里仅对本发明实施例三提供的柔性显示面板与本发明实施例二提供的柔性显示面板的不同之处进行介绍,重复之处不再赘述。
具体地,在本发明实施例二提供的柔性显示面板的基础上,为了防止柔性衬底基板边缘弯折区B的的多条走线303被划伤,在本发明实施例三提供的上述柔性显示面板中,如图5所示,增加了至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区B的第二有机绝缘层310;且第二有机绝缘层310位于多条走线303之上,即第二有机绝缘层310位于多条走线303背离柔性衬底基板301的一侧。这样,第二有机绝缘层310可以保护多条走线303,使其免受划伤,进而可以提高显示画面品质。
具体地,在本发明实施例三提供的上述柔性显示面板中,第二有机绝缘层310可以为单独设置的一个膜层,还可以为与柔性衬底基板显示区A的平坦层308同层设置的一个膜层,在此不做限定。当第二有机绝缘层310与平坦层308同层设置时,可以使用一次构图工艺同时制备出第二有机绝缘层310和平坦层308,简化了制备工艺,节省了生产成本。并且,由于柔性衬底基板显示区A的像素有机层一般包括平坦层、隔垫物层(Photo Spacer,PS)和像素定义层,因此,在具体实施时,第二有机绝缘层310还可以与隔垫物层或像素定义层同层设置,在此不做限定。
此外,本发明实施例三提供的上述柔性显示面板中各膜层的材料与本发明实施例二提供的柔性显示面板中各膜层的材料相同,在此不做赘述。
需要说明的是,在具体实施时,在本发明实施例三提供的上述柔性显示面板中,还可以本发明实施例一提供的柔性显示面板为基础进行改进,即仅增加至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区B的多条走线303之上的第二有机绝缘层310,而不限定第一有机绝缘层305具有的过孔图案与层间绝缘层3042具有的过孔图案的大小。
实施例四
相应地,针对本发明实施例一提供的上述柔性显示面板,本发明实施例四提供了一种柔性显示面板的制作方法,如图6所示,具体可以包括以下步骤:
S601、提供一柔性衬底基板;
S602、在柔性衬底基板显示区和边缘弯折区依次形成无机绝缘膜层和光刻胶膜层;
S603、采用光刻胶膜层对无机绝缘膜层进行构图形成无机绝缘层的图案;
S604、至少对柔性衬底基板边缘弯折区的光刻胶层进行固化处理,形成第一有机绝缘层;
S605、在柔性衬底基板显示区的无机绝缘层上形成导电层,同时在柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层上形成多条走线。
具体地,在本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法中,导电层为源漏极金属层和信号线,步骤S603采用光刻胶膜层对无机绝缘膜层进行构图形成无机绝缘层的图案,具体可以通过以下方式实现:
采用光刻胶膜层对无机绝缘膜层进行构图,形成栅绝缘层和层间绝缘层。
在具体实施时,在本发明实施例四提供的上述制作方法中,步骤S603的具体实现方式中采用光刻胶膜层对无机绝缘膜层进行构图,形成层间绝缘层之前,还可以包括:在柔性衬底基板显示区依次形成有源层,栅绝缘层,以及栅极金属层和栅扫描线。
具体地,在本发明实施例提供的上述制作方法中,步骤S604至少对柔性衬底基板边缘弯折区的光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层,具体可以通过以下方式实现:
同时对柔性衬底基板边缘弯折区和柔性衬底基板显示区的光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层。
在具体实施时,在本发明实施例四提供的上述制作方法中的步骤S605在柔性衬底基板显示区的无机绝缘层上形成导电层,同时在柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层上形成多条走线之后,还可以包括:在柔性衬底基板显示区的导电层上依次形成平坦层和有机电致发光二极管或者量子点发光二极管。
具体地,为了更好的理解本发明实施例四提供的上述制作方法,如图7a至图7e所示,为本发明实施例四提供的上述制作方法中实施各步骤后所得柔性显示面板的结构示意图:
提供一柔性衬底基板301,并在该柔性衬底基板301上依次形成有源层306、栅绝缘层3041、栅极金属层307和栅扫描线(图中未示出),如图7a所示;
在栅极金属层307和栅扫描线所在膜层上沉积层间绝缘膜层和光刻胶膜层;采用掩膜板对光刻胶膜层依次进行曝光之后进行显影工艺,形成的柔性显示面板,如图7b所示;
采用曝光、显影后的光刻胶膜层的图案对柔性衬底基板显示区A的层间绝缘膜层进行刻蚀工艺,形成具有过孔图案的层间绝缘层3042;之后同时对柔性衬底基板边缘弯折区和柔性衬底基板显示区的光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层305,如图7c所示;
在柔性衬底基板显示区A的层间绝缘层3042上形成导电层302,同时在柔性衬底基板边缘弯折区B的第一有机绝缘层305上形成多条走线303,如图7d所示;
在柔性衬底基板显示区A的导电层302上依次形成平坦层308和有机电致发光二极管或者量子点发光二极管309,如图7e所示。
需要说明的是,在本发明实施例四提供的上述制作方法中,形成各层结构涉及到的构图工艺,不仅可以包括光刻胶涂覆、掩模板掩模、曝光、显影、刻蚀、光刻胶剥离等部分或全部的工艺过程,还可以包括其他工艺过程,具体以实际制作过程中形成所需构图的图形为准,在此不做限定。例如,在显影之后和刻蚀之前还可以包括后烘工艺。其中,刻蚀可以为干法刻蚀或者湿法刻蚀,在此不做限定。
另外,在本发明实施例四提供的上述制作方法中关于柔性显示面板的各膜层的材料方面的内容可以援引本发明实施例一提供的柔性显示面板的相关内容,在此不做赘述。
实施例五
相应地,针对本发明实施例二提供的上述柔性显示面板,本发明实施例五提供了一种柔性显示面板的制作方法。由于本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法与本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法相似,这里仅对本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法与本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法的不同之处进行介绍,重复之处不再赘述。
具体地,与本发明实施例四提供的柔性显示面板的制作方法中的步骤S604至少对柔性衬底基板边缘弯折区的光刻胶层进行固化处理,形成第一有机绝缘层不同,在本发明实施例五提供的上述制作方法中,如图8所示,步骤S604’、同时对柔性衬底基板边缘弯折区和柔性衬底基板显示区的光刻胶膜层进行固化处理之后,对光刻胶膜层具有的过孔图案进行灰化处理,形成第一有机绝缘层,以使第一有机绝缘层具有的过孔图案所占面积大于无机绝缘层具有的过孔图案所占面积,为后续形成导电层建立基础。
另外,在本发明实施例五提供的上述制作方法中关于柔性显示面板的各膜层的材料方面的内容可以援引本发明实施例二提供的柔性显示面板的相关内容,在此不做赘述。
实施例六
相应地,针对本发明实施例三提供的上述柔性显示面板,本发明实施例六提供了一种柔性显示面板的制作方法。由于本发明实施例六提供的柔性显示面板的制作方法与本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法相似,这里仅对本发明实施例六提供的柔性显示面板的制作方法与本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法的不同之处进行介绍,重复之处不再赘述。
具体地,在本发明实施例五提供的柔性显示面板的制作方法中的步骤S605在柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层上形成多条走线之后,在本发明实施例六提供的柔性显示面板的制作方法中,如图9所示,还可以包括:
S606、在柔性衬底基板弯折区的多条走线上形成第二有机绝缘层。
这样,第二有机绝缘层可以保护多条走线,使其免受划伤,进而可以提高显示画面品质。
具体地,在本发明实施例六提供的上述制作方法中,步骤S606在柔性衬底基板弯折区的多条走线上形成第二有机绝缘层,具体可以通过以下方式实现:
在柔性衬底基板显示区的导电层上形成平坦层的同时,在柔性衬底基板弯折区的多条走线上形成第二有机绝缘层。
具体地,由于柔性衬底基板显示区A的像素有机层一般包括平坦层、隔垫物层和像素定义层,因此,在本发明实施例六提供的柔性显示面板的制作方法中,步骤S606在柔性衬底基板弯折区的多条走线上形成第二有机绝缘层,具体还可以通过以下方式实现:
在柔性衬底基板显示区的导电层上形成隔垫物层或像素定义层的同时,在柔性衬底基板弯折区的多条走线上形成第二有机绝缘层,在此不做限定。
另外,在本发明实施例六提供的上述制作方法中关于柔性显示面板的各膜层的材料方面的内容可以援引本发明实施例三提供的柔性显示面板的相关内容,在此不做赘述。
基于同一发明构思,本发明实施例还提供了一种显示装置,包括本发明实施例提供的上述柔性显示面板,该显示装置可以为:手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置的实施可以参见上述柔性显示面板的实施例,重复之处不再赘述。
本发明实施例提供的上述柔性显示面板、显示装置及柔性显示面板的制作方法,该柔性显示面板包括:柔性衬底基板,设置于柔性衬底基板显示区的导电层,设置于柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线,以及设置于导电层和多条走线与柔性衬底基板之间的无机绝缘层;导电层与多条走线电连接且同层设置;还包括:至少设置于柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层;第一有机绝缘层位于多条走线与无机绝缘层之间且第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶。由于在柔性衬底基板边缘弯折区设置了第一有机绝缘层,且该第一有机绝缘层位于多条走线与无机绝缘层之间;因此,当位于柔性衬底基板边缘弯折区的无机绝缘层发生裂纹时,位于多条走线与无机绝缘层之间第一有机绝缘层可以起到屏蔽作用,从而有效防止了裂纹扩展到多条走线所在膜层,进而避免了显示失效现象。进一步地,由于第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶,在具体实施时,该光刻胶可以为制作无机绝缘层的过程中涂覆的光刻胶,因此,相对于现有技术中增加两道Mask工艺的技术方案,本发明可以省去两道Mask工艺,从而节省了生产成本,提高了生产效率。此外,导电层与多条走线同层设置,这样可以使用一次构图工艺同时制作出导电层和多条走线,简化了制作工艺,节省了生产成本。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (15)
1.一种柔性显示面板,包括:柔性衬底基板,设置于所述柔性衬底基板显示区的导电层,设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的多条走线,以及设置于所述导电层和所述多条走线与所述柔性衬底基板之间的无机绝缘层;所述导电层与所述多条走线电连接且同层设置;其特征在于,还包括:
至少设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的第一有机绝缘层;所述第一有机绝缘层位于所述多条走线与所述无机绝缘层之间且所述第一有机绝缘层的材料为固化后的光刻胶。
2.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第一有机绝缘层的材料为光敏聚酰亚胺。
3.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第一有机绝缘层还设置于所述柔性衬底基板显示区;且所述第一有机绝缘层位于所述导电层与所述无机绝缘层之间。
4.如权利要求3所述的柔性显示面板,其特征在于,所述导电层为源漏极金属层;
所述无机绝缘层包括:栅绝缘层和层间绝缘层。
5.如权利要求4所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第一有机绝缘层用于对所述栅绝缘层和所述层间绝缘层进行构图。
6.如权利要求5所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第一有机绝缘层具有的过孔图案所占面积大于所述层间绝缘层具有的过孔图案所占面积。
7.如权利要求1所述的柔性显示面板,其特征在于,还包括:至少设置于所述柔性衬底基板边缘弯折区的第二有机绝缘层;且所述第二有机绝缘层位于所述多条走线之上。
8.如权利要求7所述的柔性显示面板,其特征在于,所述第二有机绝缘层与设置于所述柔性衬底基板显示区的平坦层、隔垫物层或像素定义层同层设置。
9.如权利要求1-8任一项所述的柔性显示面板,其特征在于,还包括:设置于所述柔性衬底基板显示区的导电层之上的有机电致发光二极管或者量子点发光二极管。
10.一种显示装置,其特征在于,包括:如权利要求1-9任一项所述的柔性显示面板。
11.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一柔性衬底基板;
在所述柔性衬底基板显示区和边缘弯折区依次形成无机绝缘膜层和光刻胶膜层;
采用所述光刻胶膜层对所述无机绝缘膜层进行构图形成无机绝缘层的图案;
至少对所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述光刻胶层进行固化处理,形成第一有机绝缘层;
在所述柔性衬底基板显示区的所述无机绝缘层上形成导电层,同时在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述第一有机绝缘层上形成多条走线。
12.如权利要求11所述的制作方法,其特征在于,所述至少对所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层,具体包括:
同时对所述柔性衬底基板边缘弯折区和所述柔性衬底基板显示区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层。
13.如权利要求12所述的制作方法,其特征在于,在同时对所述柔性衬底基板边缘弯折区和所述柔性衬底基板显示区的所述光刻胶膜层进行固化处理,形成第一有机绝缘层之后,还包括:
对所述光刻胶膜层具有的过孔图案进行灰化处理,使所述第一有机绝缘层具有的过孔图案所占面积大于所述无机绝缘层具有的过孔图案所占面积。
14.如权利要求11所述的制作方法,其特征在于,在所述柔性衬底基板显示区的所述无机绝缘层上形成导电层,同时在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述第一有机绝缘层上形成多条走线之后,还包括:
在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述多条走线上形成第二有机绝缘层。
15.如权利要求14所述的制作方法,其特征在于,在所述柔性衬底基板边缘弯折区的所述多条走线上形成第二有机绝缘层的同时,还包括:
在所述柔性衬底基板显示区形成平坦层、隔垫物层或像素定义层。
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