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CN106775134A - 柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置 - Google Patents

柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置 Download PDF

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CN106775134A
CN106775134A CN201710207080.1A CN201710207080A CN106775134A CN 106775134 A CN106775134 A CN 106775134A CN 201710207080 A CN201710207080 A CN 201710207080A CN 106775134 A CN106775134 A CN 106775134A
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CN
China
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pressure
flexible substrate
layer
display
sensing
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Application number
CN201710207080.1A
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何建军
陈立强
邓莉
王涛
朴世赫
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BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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Publication date
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Abstract

本发明提供了一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，属于触控显示领域。柔性基板，包括：第一柔性基底；位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。通过本发明的技术方案能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。

Description

柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置
技术领域
本发明涉及触控显示领域，特别是指一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置。
背景技术
Force Touch(压力触控)应用领域越来越广泛，该技术是在原有X/Y二维操作的基础上增加了Z轴(按压)的维度，在应用到智能终端中时，能够让智能终端的操作界面增加许多二级/三级子菜单，可以通过用户手指按压而快速进入。
现有Force Touch方案一般为在显示面板下方贴附压力触控片，再将压力触控片与柔性电路板(FPCB)连接，其中，压力触控片往往需要单独购买，再与显示面板进行贴合、组装及检查等工序，流程繁琐且增加了触控显示产品的厚度。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：
一方面，提供一种柔性基板，包括：
第一柔性基底；
位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；
位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；
覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；
其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。
进一步地，所述柔性基板还包括：
覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。
本发明实施例还提供了一种柔性基板的制作方法，包括：
在刚性载体上形成第一柔性基底；
在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；
在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。
进一步地，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层；
形成所述第二柔性基底具体为：
在所述第二缓冲层上形成所述第二柔性基底。
本发明实施例还提供了一种触控显示基板，包括：
如上所述的柔性基板；
位于所述柔性基板上的显示功能层和/或触控电极层。
进一步地，所述触控显示基板还包括：
能够与所述第一压力感应电极组成压力感应电容的第二压力感应电极。
进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，与所述薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接。
本发明实施例还提供了一种触控显示基板的制作方法，包括：
采用如上所述的制作方法制作柔性基板；
在所述柔性基板上形成显示功能层；和/或
在所述显示功能层上形成触控电极层。
进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，所述制作方法具体包括：
在所述柔性基板上形成第三缓冲层；
在所述第三缓冲层上形成薄膜晶体管的有源层；
形成栅绝缘层；
在所述栅绝缘层上形成薄膜晶体管的栅极；
形成层间绝缘层；
形成暴露出所述第一压力感应电极的引线和/或第一压力感应电极的过孔；
在所述层间绝缘层上形成薄膜晶体管的源极、漏极和显示电压信号传输线，所述显示电压信号传输线通过所述过孔电连接所述第一压力感应电极。
本发明实施例还提供了一种触控显示装置，包括如上所述的触控显示基板，还包括为所述触控显示基板提供显示电压信号的显示驱动电路。
进一步地，在显示功能层包括的薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接时，所述显示驱动电路复用为向所述第一压力感应电极提供压力感应电压信号的压力感应电路。
本发明的实施例具有以下有益效果：
上述方案中，在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，并在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
附图说明
图1为现有技术中在显示面板下方贴附压力触控片，再将压力触控片与柔性电路板连接的示意图；
图2为本发明实施例触控显示基板的结构示意图；
图3为本发明实施例触控显示装置的制作流程示意图。
附图标记
柔性电路板 b连接器 c压力触控片 d显示面板
1第一柔性基底 2第一缓冲层 3第一压力感应电极
4第二缓冲层 5第二柔性基底 6薄膜晶体管阵列层
7有源层 8栅绝缘层 9栅金属层 10层间绝缘层
11源漏金属层 12导电连接线 13有机发光层和触控电极层
具体实施方式
为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
如图1所示，现有技术一般是在显示面板d下方贴附压力触控片c，再将压力触控片c与柔性电路板(FPCB)连接，其中，压力触控片c往往需要单独购买，再与显示面板d进行贴合、组装及检查等工序，流程繁琐且增加了触控显示产品的厚度。
为了解决上述问题，本发明的实施例提供一种柔性基板、触控显示基板及其制作方法、触控显示装置，能够使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的装配步骤。
实施例一
本实施例提供一种柔性基板，包括：
第一柔性基底；
位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；
位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；
覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；
其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。
本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，之后可以在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
其中，第一柔性基底和第二柔性基底可以采用PI(聚酰亚胺)制成，厚度可以为第一缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层，厚度可以为第一压力感应电极可以采用金属制成或透明导电层制成，金属层可以为Mo、Al、Ti或复合层，厚度约为可以通过构图工艺利用金属层形成第一压力电极。
在形成第二柔性基底时，需要暴露出第一压力感应电极的引出线，这样可以在后期制程中将引出线与压力感应电路电连接。
进一步地，所述柔性基板还包括：
覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。
第二缓冲层能够为后续制程提供平坦的表面，便于在第二缓冲层上涂覆柔性基底材料形成第二柔性基底，第二缓冲层可以采用与第一缓冲层同样的材料制成。
实施例二
本实施例提供了一种柔性基板的制作方法，包括：
在刚性载体上形成第一柔性基底；
在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；
在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。
之后，可以从刚性载体上剥离形成的柔性基板。
本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，之后可以在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
其中，第一柔性基底和第二柔性基底可以采用PI(聚酰亚胺)制成，厚度可以为第一缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层，厚度可以为第一压力感应电极可以采用金属制成或透明导电层制成，金属层可以为Mo、Al、Ti或复合层，厚度约为可以通过构图工艺利用金属层形成第一压力电极。
在形成第二柔性基底时，需要暴露出第一压力感应电极的引出线，这样可以在后期制程中将引出线与压力感应电路电连接。
进一步地，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层；
形成所述第二柔性基底具体为：
在所述第二缓冲层上形成所述第二柔性基底。
第二缓冲层能够为后续制程提供平坦的表面，便于在第二缓冲层上涂覆柔性基底材料形成第二柔性基底，第二缓冲层可以采用与第一缓冲层同样的材料制成。
实施例三
本实施例提供了一种触控显示基板，包括：
如上所述的柔性基板；
位于所述柔性基板上的显示功能层和/或触控电极层。
本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，并在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
进一步地，所述触控显示基板还包括：
能够与所述第一压力感应电极组成压力感应电容的第二压力感应电极。第二压力感应电极与第一压力感应电极组成压力感应电容，当用户手指按压触控显示基板时，第二压力感应电极与第一压力感应电极之间的膜层发生形变，第二压力感应电极与第一压力感应电极之间的距离变化，导致压力感应电容的电容值发生变化，从而可以检测出按压力度，实现压力感应。
第二压力感应电极可以复用触控显示基板上已有的电极，比如接地屏蔽电极，这样不需要再专门制作第二压力感应电极，可以减少触控显示基板的制作工艺，简化触控显示基板的结构。
进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，与所述薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接。这样通过显示电压信号传输线可以引出第一压力感应电极，同时可以将压力感应电路集成在显示驱动电路上，这样在后期进行绑定时，通过一次绑定就可以同时完成压力感应电路和显示驱动电路与触控显示基板的电连接。
具体地，显示电压信号传输线可以与第一压力感应电极的引出线连接，也可以与第一压力感应电极直接连接。
当然，第一压力感应电极也可以不与显示电压信号传输线连接，可以在制作薄膜晶体管时，制作专门的信号传输线引出第一压力感应电极。
具体地，如图2所示，本实施例的触控显示基板包括：
第一柔性基底1；
位于第一柔性基板1上的第一缓冲层2；
位于第二缓冲层2上的第一压力电极3；
覆盖第一压力感应电极3的第二缓冲层4；
第二柔性基底5；
位于第二柔性基底5上的薄膜晶体管阵列层6，其中，薄膜晶体管阵列层6包括有源层7，栅绝缘层8，栅金属层9，层间绝缘层10和源漏金属层11，源漏金属层11通过导电连接线12与第一压力感应电极3连接，这样通过源漏金属层11制成的显示电压信号传输线可以引出第一压力感应电极；
位于薄膜晶体管阵列层6上的有机发光层和触控电极层13。
本实施例的触控显示基板可以实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
实施例四
本实施例提供了一种触控显示基板的制作方法，包括：
采用如上所述的制作方法制作柔性基板；
在所述柔性基板上形成显示功能层；和/或
在所述显示功能层上形成触控电极层。
本实施例在柔性基板的两层柔性基底之间设置压力感应电极，并在柔性基板上形成显示功能层和/或触控电极层，从而实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
进一步地，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，所述制作方法具体包括：
在所述柔性基板上形成第三缓冲层；
在所述第三缓冲层上形成薄膜晶体管的有源层；
形成栅绝缘层；
在所述栅绝缘层上形成薄膜晶体管的栅极；
形成层间绝缘层；
形成暴露出所述第一压力感应电极的引线和/或第一压力感应电极的过孔；
在所述层间绝缘层上形成薄膜晶体管的源极、漏极和显示电压信号传输线，所述显示电压信号传输线通过所述过孔电连接所述第一压力感应电极。
本实施例中，与所述薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接。这样通过显示电压信号传输线可以引出第一压力感应电极，同时可以将压力感应电路集成在显示驱动电路上，这样在后期进行绑定时，通过一次绑定就可以同时完成压力感应电路和显示驱动电路与触控显示基板的电连接。
具体地，显示电压信号传输线可以与第一压力感应电极的引出线连接，也可以与第一压力感应电极直接连接。
当然，第一压力感应电极也可以不与显示电压信号传输线连接，可以在制作薄膜晶体管时，制作专门的信号传输线引出第一压力感应电极。
具体地，如图3所示，本实施例的触控显示基板的制作方法具体包括：
步骤1：提供一刚性载体，在刚性载体上形成第一柔性基底1；
具体地，刚性载体可以为玻璃基板或石英基板。在刚性载体上涂覆PI形成第一柔性基底1，第一柔性基底1的厚度可以为
步骤2：在第一柔性基底1上形成第一缓冲层2；
具体地，可以采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在第一柔性基底1上沉积厚度为的第一缓冲层，第一缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层。
步骤3：在第一缓冲层2上形成第一压力感应电极3；
具体地，可以采用溅射或热蒸发的方法在第一缓冲层2上沉积厚度约为的金属层，金属层可以是Cu，Al，Mo，Cr，Nd，Ni，Mn，Ti，W等金属以及这些金属的合金，金属层可以为单层结构或者多层结构，多层结构比如Cu\Mo,Ti\Cu\Ti，Mo\Al\Mo等。在金属层上涂覆一层光刻胶，采用掩膜板对光刻胶进行曝光，使光刻胶形成光刻胶未保留区域和光刻胶保留区域，其中，光刻胶保留区域对应于第一压力感应电极的图形所在区域，光刻胶未保留区域对应于上述图形以外的区域；进行显影处理，光刻胶未保留区域的光刻胶被完全去除，光刻胶保留区域的光刻胶厚度保持不变；通过刻蚀工艺完全刻蚀掉光刻胶未保留区域的金属薄膜，剥离剩余的光刻胶，形成第一压力感应电极的图形。
步骤4：在第一压力感应电极3上形成第二缓冲层4；
具体地，可以采用等离子体增强化学气相沉积方法在第一压力感应电极3上沉积厚度为的第二缓冲层，第二缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层。
步骤5：在第二缓冲层4上形成第二柔性基底5；
可以在第二缓冲层4上涂覆PI形成第二柔性基底5，第二柔性基底5的厚度可以为
步骤6：在第二柔性基底5上制备薄膜晶体管阵列层6；
具体地，可以采用等离子体增强化学气相沉积方法在第二柔性基底5上沉积厚度为的第三缓冲层，第三缓冲层可以采用SiNx层、SiOx层或其组合膜层。之后可以在第三缓冲层上制备薄膜晶体管阵列层6。
薄膜晶体管阵列层6包括有源层7，栅绝缘层8，栅金属层9，层间绝缘层10和源漏金属层11，其中，在制备层间绝缘层10后，需要形成能够暴露出第一压力感应电极引出线或第一压力感应电极的过孔，之后在形成源漏金属层11时，源漏金属层11除用于形成薄膜晶体管的源极、漏极和数据线之外，沉积在过孔中的源漏金属层11还能够形成与第一压力感应电极3电连接的导电连接线12。
步骤7：在薄膜晶体管阵列层6上制备有机发光层和触控电极层13。
其中，制备有机发光层和触控电极层13的技术与现有技术一致，在此不再赘述。
经过上述步骤1-7即可得到本实施例的触控显示基板。另外，在形成触控显示基板后，还可以将触控显示基板从刚性载体上分离下来。本实施例的触控显示基板可以实现触控功能、压力感应功能和显示功能的一体化，使触控显示基板集成压力感应功能，简化触控显示产品的生产和装配步骤。
实施例五
本实施例提供了一种触控显示装置，包括如上所述的触控显示基板，还包括为所述触控显示基板提供显示电压信号的显示驱动电路。所述触控显示装置可以为：液晶电视、液晶显示器、数码相框、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或部件，其中，所述触控显示装置还包括柔性电路板、印刷电路板和背板。
进一步地，在显示功能层包括的薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接时，所述显示驱动电路复用为向所述第一压力感应电极提供压力感应电压信号的压力感应电路，这样通过显示电压信号传输线可以引出第一压力感应电极，同时可以将压力感应电路集成在显示驱动电路上，这样在后期进行绑定时，通过一次绑定就可以同时完成压力感应电路和显示驱动电路与触控显示基板的电连接。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
可以理解，当诸如层、膜、区域或基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种柔性基板，其特征在于，包括：
第一柔性基底；
位于所述第一柔性基底上的第一缓冲层；
位于所述第一缓冲层上的第一压力感应电极；
覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底；
其中，所述第一压力感应电极能够与位于所述第二柔性基底背向所述第一压力感应电极一侧的第二压力感应电极组成压力感应电容。
2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括：
覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层，所述第二柔性基底位于所述第二缓冲层上。
3.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，包括：
在刚性载体上形成第一柔性基底；
在所述第一柔性基底上形成第一缓冲层；
在所述第一缓冲层上形成第一压力感应电极；
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二柔性基底。
4.根据权利要求3所述的柔性基板的制作方法，其特征在于，形成所述第二柔性基底的步骤之前，所述方法还包括：
形成覆盖所述第一压力感应电极的第二缓冲层；
形成所述第二柔性基底具体为：
在所述第二缓冲层上形成所述第二柔性基底。
5.一种触控显示基板，其特征在于，包括：
如权利要求1或2所述的柔性基板；
位于所述柔性基板上的显示功能层和/或触控电极层。
6.根据权利要求5所述的触控显示基板，其特征在于，所述触控显示基板还包括：
能够与所述第一压力感应电极组成压力感应电容的第二压力感应电极。
7.根据权利要求5所述的触控显示基板，其特征在于，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，与所述薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接。
8.一种触控显示基板的制作方法，其特征在于，包括：
采用如权利要求3或4所述的制作方法制作柔性基板；
在所述柔性基板上形成显示功能层；和/或
在所述显示功能层上形成触控电极层。
9.根据权利要求8所述的触控显示基板的制作方法，其特征在于，所述显示功能层包括薄膜晶体管和有机发光层，所述制作方法具体包括：
在所述柔性基板上形成第三缓冲层；
在所述第三缓冲层上形成薄膜晶体管的有源层；
形成栅绝缘层；
在所述栅绝缘层上形成薄膜晶体管的栅极；
形成层间绝缘层；
形成暴露出所述第一压力感应电极的引线和/或第一压力感应电极的过孔；
在所述层间绝缘层上形成薄膜晶体管的源极、漏极和显示电压信号传输线，所述显示电压信号传输线通过所述过孔电连接所述第一压力感应电极。
10.一种触控显示装置，其特征在于，包括如权利要求5-7中任一项所述的触控显示基板，还包括为所述触控显示基板提供显示电压信号的显示驱动电路。
11.根据权利要求10所述的触控显示装置，其特征在于，在显示功能层包括的薄膜晶体管连接的显示电压信号传输线通过过孔与所述第一压力感应电极电连接时，所述显示驱动电路复用为向所述第一压力感应电极提供压力感应电压信号的压力感应电路。
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