CN106286831B - 一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 - Google Patents
一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106286831B CN106286831B CN201610862026.6A CN201610862026A CN106286831B CN 106286831 B CN106286831 B CN 106286831B CN 201610862026 A CN201610862026 A CN 201610862026A CN 106286831 B CN106286831 B CN 106286831B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sealing
- rectangular
- elastic metal
- sealed
- sealing ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/06—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
- F16J15/08—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
- F16J15/0887—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing the sealing effect being obtained by elastic deformation of the packing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Abstract
本发明公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置及其密封方法，该装置包括矩形上法兰、矩形下法兰、矩形密封盒体、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩形密封盒体，并采用待密封系统安装螺钉固定，矩形上法兰和矩形下法兰经由矩形整体轮廓的密封结构相配合、由压紧螺钉压紧，实现密封。本发明采用弹性金属完成密封，所需预紧力小，在同等压力下相对实心金属密封圈所需压紧螺栓数量少，安装方便，适用于密封截面较大的矩形真空装置密封，并且密封圈可以重复使用。
Description
技术领域
本发明涉及真空环境中的密封技术，尤其适用于需要提供预紧力较小且多次重复使用的矩形密封结构的密封装置和密封方法。
背景技术
真空环境加工、制造或者在太空环境中运行的航天载荷中存在各种需要在真空环境中正常运行的系统，例如运动机构控制器，信息采集、处理、传输器等。一方面，这些系统可能在极端的真空环境下由于失效、放电等问题无法正常运行，另一方面，系统在真空环境中运行过程中放气产生的物质不利于真空环境清洁，或由质量损失均加速系统老化，因此需要为这些系统进行有效密封，将其与真空系统隔离，以下均将该类系统统称为待密封系统。例如半导体加工过程的真空环境中，控制器所包含的各种电子学系统和电子元器件在10‐2Pa～102Pa的低真空范围内工作存在放电安全隐患；同时，暴露在真空环境中的电子学系统和电子元器件放气产生的气体及颗粒物质会污染加工环境，影响半导体加工正常运行。因此，为保证这些待密封系统在真空环境中的正常运行，需要设计适当的真空密封结构，将待密封系统与真空工作环境有效隔离。
真空下的待密封系统例如电子学系统多数为矩形结构，先前实施例中采用传统的圆柱形密封装置，如图1(a)所示，当待密封系统为矩形截面时，例如前面提到的电子学系统，其配合结构俯视图如图1(b)所示，由图中可以看出矩形截面的待密封系统22安装在圆形截面的密封装置111中时，密封装置111内的空间利用率较低，并且待密封系统22的形状受限于密封装置截面直径。例如对截面150mm*120mm的矩形系统采用圆形截面容器密封时，密封容器截面直径必须大于190.2mm，截面利用率小于62％。因此传统的圆柱形密封装置不适用于矩形截面的待密封系统22的密封。
为提高密封装置内部空间利用率，并且保证密封效果，先前实施例2采用图2所示方形盒体配合圆形法兰构成密封装置，密封结构仍为便于加工的圆形轮廓对称结构，以提供可靠的密封效果。该结构的问题在于方形盒体和圆形法兰配合时，法兰面的利用率更差，法兰面的密封槽内边缘直径至少大于方形盒体截面对角线，留出密封槽及螺栓安装空间后法兰面直径远大于方形盒体边长。例如对截面150mm*120mm的方形盒体，留出密封槽及螺栓安装孔余量后至少需要直径210mm的圆截面密封法兰，截面利用率52％。同时，密封法兰厚度大于方形盒体壁厚，法兰较重的密封装置头重脚轻稳定性较差，且重量较大，不便于安置；最后，为提高方形盒体内空间利用率，待密封系统外轮廓也受到方形盒体约束。
先前矩形密封的实施例采用密封面挤压实心丝圈或实心垫圈变形实现密封。这种方法若采用非金属材料作为密封圈时漏率较大，且非金属材料在真空环境中放气量较大，影响真空系统清洁度；若采用金属材料作为密封圈则需要较大的预紧力，且金属密封圈不能重复使用，灵活性较差。
发明内容
基于上述现有技术的问题，本发明提出一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构相配合、由压紧螺钉压紧，实现密封，矩形整体轮廓的密封结构采用弹性金属压紧密封结构，通过平面将弹性金属密封圈在密封槽(5)内挤压变形。
优选地，矩形整体轮廓的密封结构的拐角处，采用过渡圆弧结构。
优选地，过渡圆弧半径大于20mm。
优选地，弹性金属密封圈表面镀软金属层。
优选地，弹性金属密封圈采用O型弹性金属矩形密封结构，O型弹性金属密封圈(4)横截面为环形中空结构，对压力方向没有选择性，密封槽(5)底面两边进行圆角处理。
优选地，弹性金属密封圈采用C型弹性金属矩形密封结构，采用一层C型弹性金属密封圈(6)密封，C型弹性金属密封圈(6)开口面向真空端。
优选地，弹性金属密封圈采用C型弹性金属矩形密封结构，采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，双层密封槽分为内密封槽(8)和外密封槽(10)，分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反。
一种采用前述弹性金属矩形密封装置进行密封的方法，包括：
S1，将矩形截面待密封系统放入矩形密封盒体(3)中；
S2采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定。
优选地，S2包括：
将O型弹性金属密封圈(4)放置于密封槽(5)，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将O型弹性金属密封圈(4)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；或者，在仅面对内部真空外部压力或外部真空内部压力其中的一种工况下，仅采用一层密封即可满足密封要求，将C型弹性金属矩形密封结构放置于密封槽(5)，C型弹性金属密封圈(6)开口面向真空端，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(6)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；或者，在需要面对内部真空外部压力或外部真空内部压力两种工况下，采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在内密封槽(8)和外密封槽(10)内分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反，以满足内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况的转换需求，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)分别在内密封槽(8)和外密封槽(10)内挤压变形，达到密封。
优选地，S2包括：采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将O型弹性金属密封圈(4)放置于密封槽(5)，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将O型弹性金属密封圈(4)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；或者，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，在仅面对内部真空外部压力或外部真空内部压力其中的一种工况下，仅采用一层密封即可满足密封要求，将C型弹性金属矩形密封结构放置于密封槽(5)，C型弹性金属密封圈(6)开口面向真空端，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(6)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；或者，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，在需要面对内部真空外部压力或外部真空内部压力两种工况下，采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在内密封槽(8)和外密封槽(10)内分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反，以满足内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况的转换需求，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)分别在内密封槽(8)和外密封槽(10)内挤压变形，达到密封。
本发明提出了一种应用于真空环境中的弹性金属矩形密封装置，主要用于解决以下技术问题：(1)完成矩形密封装置的有效密封，实验验证其氦气漏率优于5×10‐11Pam3/s；(2)实验验证弹性金属密封装置在内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况下均满足5×10‐11Pam3/s的漏率要求；(3)解决常规金属密封圈密封所需预紧力大，且密封圈无法重复使用的问题。
采用本发明的矩形密封结构，提高了密封装置内的有效利用空间；本发明针对矩形密封结构密封中存在的直角拐角处应力分布不均容易导致泄漏，加工难度大成品率低等问题对密封面进行设计调整，提出过渡圆弧结构，解决了直角拐角处的泄露问题；本发明采用弹性金属完成了矩形密封装置的密封，实验测试所述弹性金属密封装置在内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况下均能提供5×10‐11Pam3/s的漏率；本发明采用弹性金属完成密封，所需预紧力小，在同等压力下相对实心金属密封圈所需压紧螺栓数量少，安装方便，适用于密封截面较大的矩形真空装置密封，并且密封圈可以重复使用。
附图说明
图1为：现有技术的一种密封装置示意图；
图2为：现有技术的另一种密封装置示意图；
图3为：本发明所述弹性金属矩形密封装置的外观图；
图4(a)、图4(b)为：本发明所述弹性金属矩形密封装置的弹性金属矩形密封结构示意图；
图5为：本发明所示矩形密封装置采用O型弹性金属密封圈的密封结构示意图；
图6为：本发明所示矩形密封装置采用一层C型弹性金属密封圈的密封结构示意图；
图7为：本发明所示矩形密封装置采用双层C型弹性金属密封圈的密封结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本发明作以详细的描述：
本发明提出了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包含矩形截面的密封盒体、矩形截面的密封法兰，以及矩形法兰上的弹性金属矩形密封结构，用于矩形真空密封装置的密封，所设计弹性金属密封装置实验验证其氦气漏率优于5×10‐11Pam3/s，所需预紧力小，能重复使用。所述矩形弹性金属密封圈横截面为中空的C型和中空的O型两种。为实现密封装置在内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况下均能提供5×10‐11Pam3/s的漏率，C型弹性金属密封采用双层密封结构，密封面上加工相邻的两道密封槽，两道密封槽内C型密封圈开口相对安装，以满足在内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况下的漏率要求。O型弹性金属密封圈对压力方向敏感度相对C型弹性金属密封圈较小，实验验证本发明通过单层密封也实现了良好的密封效果。
在优选实施例中，本发明提出一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包含矩形截面的密封盒体、矩形截面的密封法兰，以及矩形法兰上的弹性金属矩形密封结构。如图3所示，图3为本发明所述弹性金属矩形密封装置的外观图，主要由矩形上法兰1、矩形下法兰2、矩形密封盒体3组成。弹性金属矩形密封结构通过上法兰1、下法兰2之间的密封结构配合，螺栓压紧实现。
针对矩形密封结构密封中存在的应力分布不均容易导致泄漏，加工难度大成品率低等问题，本发明对密封结构进行谨慎设计。首先，矩形密封结构的漏点容易在直角拐角处产生，本发明采用过渡圆弧结构代替了矩形结构的直角拐角，一方面分散应力集中度，另一方面降低加工难度，提高密封可靠性。如图4(a)所示密封槽5的拐角采用圆弧过渡，过渡圆弧半径视具体密封结构尺寸而定，考虑到弹性金属密封圈在过渡圆弧处的加工可靠性，建议过渡半径大于20mm。其次，针对弹性金属密封本发明对密封槽底面两边进行圆角处理，如图4(b)所示。最后，对于密封性能要求较高的密封装置，建议在弹性金属密封圈表面镀软金属层，例如银，以克服密封面表面光滑度低造成的微量泄漏。
本发明所述O型弹性金属矩形密封结构如图4(b)所示，O型弹性金属密封圈4横截面为环形中空结构，对压力方向没有选择性，既可以用于内部真空外部压力工况，又可用于外部真空内部压力工况，因此单层O型弹性金属密封圈即可完成密封。密封槽5底面两边进行圆角处理。
本发明所述C型弹性金属矩形密封结构如图5所示，若密封装置仅工作在内部真空外部压力或外部真空内部压力其中一种工况下时，仅采用一层密封即可满足密封要求，密封时使C型弹性金属密封圈开口面向真空端，图5所示实施例适用于内部真空的密封容器。相对O型弹性金属密封圈，C型弹性金属密封圈需要的预紧力更小，方便拆卸及重复使用。
若密封装置需同时满足内部真空外部压力或外部真空内部压力两种工况，则建议采用图7所示的双层密封结构。双层密封槽分为内密封槽8和外密封槽10，内部分别安装内C型弹性金属密封圈7和外C型弹性金属密封圈9，两只密封圈开口方向相反，以满足内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况的转换需求。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩形密封盒体(3)，并采用待密封系统安装螺钉固定，矩形上法兰(1)和矩形下法兰(2)经由矩形整体轮廓的密封结构相配合、由压紧螺钉压紧，实现密封，所述矩形整体轮廓的密封结构采用弹性金属压紧密封结构，并通过平面将弹性金属密封圈在密封槽(5)内挤压变形，其特征在于，
矩形整体轮廓的密封结构(4)的拐角处，采用过渡圆弧结构，过渡圆弧半径大于20mm，弹性金属密封圈表面镀软金属层，弹性金属密封圈采用O型弹性金属矩形密封结构，O型弹性金属密封圈(4)横截面为环形中空结构，对压力方向没有选择性，密封槽(5)底面两边进行圆角处理，或者弹性金属密封圈采用一层C型弹性金属矩形密封结构，或者采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在采用双层C型弹性金属密封圈密封结构时，双层密封槽分为内密封槽(8)和外密封槽(10)，分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反；所述弹性金属密封装置的氦气漏率优于5×10-11Pam3/s，所需预紧力小，能重复使用。
2.一种采用权利要求1所述的弹性金属矩形密封装置进行密封的方法，包括：S1，将矩形截面待密封系统放入矩形密封盒体(3)中；S2，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，其特征在于，所述S2包括：
将O型弹性金属密封圈(4)放置于密封槽(5)，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将O型弹性金属密封圈(4)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；
或者，在仅面对内部真空外部压力或外部真空内部压力其中的一种工况下，仅采用一层密封即可满足密封要求，将C型弹性金属矩形密封结构放置于密封槽(5)，C型弹性金属密封圈(6)开口面向真空端，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(6)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；
或者，在需要面对内部真空外部压力或外部真空内部压力两种工况下，采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在内密封槽(8)和外密封槽(10)内分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反，以满足内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况的转换需求，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)分别在内密封槽(8)和外密封槽(10)内挤压变形，达到密封。
3.一种采用权利要求1所述的弹性金属矩形密封装置进行密封的方法，包括：S1，将矩形截面待密封系统放入矩形密封盒体(3)中；S2，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，其特征在于，所述S2包括：
采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，将O型弹性金属密封圈(4)放置于密封槽(5)，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将O型弹性金属密封圈(4)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；
或者，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，在仅面对内部真空外部压力或外部真空内部压力其中的一种工况下，仅采用一层密封即可满足密封要求，将C型弹性金属矩形密封结构放置于密封槽(5)，C型弹性金属密封圈(6)开口面向真空端，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(6)在密封槽(5)内挤压变形，达到密封；
或者，采用待密封系统安装螺钉将待密封系统固定，在需要面对内部真空外部压力或外部真空内部压力两种工况下，采用双层C型弹性金属密封圈密封结构，在内密封槽(8)和外密封槽(10)内分别安装内C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)，两只密封圈开口方向相反，以满足内部真空外部压力及外部真空内部压力两种工况的转换需求，将矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)通过压紧螺钉固定，由此通过平面将C型弹性金属密封圈(7)和外C型弹性金属密封圈(9)分别在内密封槽(8)和外密封槽(10)内挤压变形，达到密封。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610862026.6A CN106286831B (zh) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610862026.6A CN106286831B (zh) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106286831A CN106286831A (zh) | 2017-01-04 |
| CN106286831B true CN106286831B (zh) | 2018-07-03 |
Family
ID=57715640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610862026.6A Active CN106286831B (zh) | 2016-09-28 | 2016-09-28 | 一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106286831B (zh) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11085420B2 (en) * | 2017-07-06 | 2021-08-10 | Amber Kinetics, Inc. | Grease channel for reducing gas permeation into vacuum chambers |
| CN108253139A (zh) * | 2017-12-20 | 2018-07-06 | 北京控制工程研究所 | 一种高可靠平面密封组件结构 |
| CN112255005B (zh) * | 2020-09-27 | 2021-09-14 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 径向屈曲金属密封深空采样封装装置及漏率监测封装系统 |
| CN112145686A (zh) * | 2020-09-30 | 2020-12-29 | 上海高鹰科技有限公司 | 一种真空辐照盒回形密封钛膜的安装结构及其安装方法 |
| CN112503278A (zh) * | 2020-12-23 | 2021-03-16 | 中国科学技术大学 | 一种超高真空铜法兰密封型组件 |
| CN116771916A (zh) * | 2022-03-07 | 2023-09-19 | 核工业理化工程研究院 | 一种提高强腐蚀工质分离专用设备高真空密封性能的结构及方法 |
| CN116006687B (zh) * | 2022-12-29 | 2025-12-12 | 北京空间机电研究所 | 一种自锁紧式激光器腔体密封结构 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2856602Y (zh) * | 2005-12-22 | 2007-01-10 | 宝胜集团有限公司 | 用于气体密封的一种新型密封结构 |
| CN202851945U (zh) * | 2012-07-16 | 2013-04-03 | 成都凯天电子股份有限公司 | 自紧式金属c形密封圈 |
| CN103775791A (zh) * | 2014-02-24 | 2014-05-07 | 马要武 | 高气密性机电装置壳体 |
| CN105578849A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-05-11 | 中国科学院光电研究院 | 一种密封式散热装置及其制造方法 |
| CN105636389A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-06-01 | 中国科学院光电研究院 | 真空密封结构及其制造方法 |
| CN206221654U (zh) * | 2016-09-28 | 2017-06-06 | 中国科学院光电研究院 | 一种弹性金属矩形密封装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8066258B2 (en) * | 2009-05-26 | 2011-11-29 | Fisher Controls International, Llc | Valve seat apparatus for use with fluid valves |
-
2016
- 2016-09-28 CN CN201610862026.6A patent/CN106286831B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2856602Y (zh) * | 2005-12-22 | 2007-01-10 | 宝胜集团有限公司 | 用于气体密封的一种新型密封结构 |
| CN202851945U (zh) * | 2012-07-16 | 2013-04-03 | 成都凯天电子股份有限公司 | 自紧式金属c形密封圈 |
| CN103775791A (zh) * | 2014-02-24 | 2014-05-07 | 马要武 | 高气密性机电装置壳体 |
| CN105578849A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-05-11 | 中国科学院光电研究院 | 一种密封式散热装置及其制造方法 |
| CN105636389A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-06-01 | 中国科学院光电研究院 | 真空密封结构及其制造方法 |
| CN206221654U (zh) * | 2016-09-28 | 2017-06-06 | 中国科学院光电研究院 | 一种弹性金属矩形密封装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106286831A (zh) | 2017-01-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106286831B (zh) | 一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置和密封方法 | |
| CN104061278B (zh) | 一种适合航天器在轨应用的防碎屑泄漏金属橡胶阻尼器 | |
| CN206221654U (zh) | 一种弹性金属矩形密封装置 | |
| EP3813083A1 (en) | Flange, insulator and insulating pillar | |
| CN206175653U (zh) | 一种矩形密封装置 | |
| CN106439020B (zh) | 一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法 | |
| CN102734376A (zh) | 一种适合航天器在轨应用的密封型三向粘弹性阻尼器 | |
| CN204312700U (zh) | 密封垫片和包括该密封垫片的设备 | |
| CN207315837U (zh) | 一种带有多个环形凸起的金属密封垫片 | |
| CN110518521A (zh) | 一种电缆封堵头 | |
| CN218925183U (zh) | 一种抑爆系统用网孔型分散器 | |
| CN210686618U (zh) | 防松动螺母及螺栓螺母组件 | |
| CN209322466U (zh) | 一种油气回收跟进式密封帽 | |
| CN103972812A (zh) | 气室观察机构 | |
| CN209278473U (zh) | 一种消除真空室变形影响的柔性密封刚性连接装置 | |
| CN218267917U (zh) | 一种选矿机喷吹装置密封结构 | |
| CN105443895A (zh) | 复合法兰结构 | |
| CN107620801A (zh) | 截止阀 | |
| CN111520473B (zh) | 一种复合材料飞机油箱口盖密封结构及密封方法 | |
| CN104482208A (zh) | 可拆装的超高压防水密封环 | |
| CN210860267U (zh) | 一种压力管道的堵盲板 | |
| CN210739359U (zh) | 一种高真空方法兰金属密封结构 | |
| CN202433243U (zh) | 油管外压密封实验装置 | |
| CN210106620U (zh) | 一种低能耗低开启扭矩三偏心蝶阀阀板 | |
| CN116006687B (zh) | 一种自锁紧式激光器腔体密封结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Zhang Luosha Inventor after: Wu Xiaobin Inventor after: Wang Kuibo Inventor after: Chen Jinxin Inventor after: Xie Wanlu Inventor after: Luo Yan Inventor after: Zhou Yi Inventor after: Wang Yu Inventor after: Cui Huirong Inventor before: Wu Xiaobin Inventor before: Zhang Luosha Inventor before: Wang Kuibo Inventor before: Chen Jinxin Inventor before: Xie Wanlu Inventor before: Luo Yan Inventor before: Zhou Yi Inventor before: Wang Yu Inventor before: Cui Huirong |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200803 Address after: 100029 Beijing city Chaoyang District Beitucheng West Road No. 3 Patentee after: Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences Address before: 100190, No. 19 West Fourth Ring Road, Beijing, Haidian District Patentee before: Aerospace Information Research Institute,Chinese Academy of Sciences Effective date of registration: 20200803 Address after: 100190, No. 19 West Fourth Ring Road, Beijing, Haidian District Patentee after: Aerospace Information Research Institute,Chinese Academy of Sciences Address before: 9 Dengzhuang South Road, Haidian District, Beijing 100094 Patentee before: Academy of Opto-Electronics, Chinese Academy of Sciences |
|
| TR01 | Transfer of patent right |