CN106128989A - 一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器 - Google Patents

Abstract

一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，包括基座和工作架，工作架上设置有倒片通道，倒片通道的两侧分别设置有左片盒固定台和右片盒升降台，倒片通道的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ设置有上挡片和下挡片，以通过两组等距位置调节器Ⅱ调整上挡片和下挡片遮挡倒片通道的位置，进而调节右片盒升降台上片盒内硅片允许通过倒片通道倒入左片盒固定台上片盒内的序号范围。本发明可以将一片盒中内任意序号位置的硅片，错位倒入另一片盒内的任意序号位置，解决了手动倒硅片时产生擦伤、划伤的风险。

Description

一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器

技术领域

本发明涉及到单晶硅片生产领域，具体的说是一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器。

背景技术

单晶硅抛光片是IC行业的基础材料，在单晶硅抛光片及其后续的生产过程中，要求硅片抛光面不能产生任何擦伤、划伤，甚至要求背面也不能产生任何擦伤、划伤。而在实际生产过程中，经常需要将一片盒内的一片或一部分硅片取出，放入另一片盒中，且取出位置与放入位置在片盒内的序号不一致，这就需要手动将硅片一片片从片盒内取出，再一片片放入另一片盒中。因片盒内硅片间距很近，两片硅片的间距不足5mm，手动取放硅片时稍有晃动，将导致正取放的硅片碰到相邻的硅片，产生正面或背面划伤、擦伤，使硅片报废。特别是随着硅片直径的增大，从100mm增加至150mm、200mm乃至300mm，硅片重量及取放行程增加，取放硅片时碰到相邻硅片的风险程几何倍增加，即使熟练的员工，也无法避免的会出现失误，导致产生擦伤、划伤而使硅片报废。

发明内容

为解决现有技术中取放硅片时容易因为碰到相邻硅片导致产生擦伤、划伤而使硅片报废的问题，本发明提供了一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，可以将一片盒中内任意序号位置的硅片，错位倒入另一片盒内的任意序号位置，解决了手动倒硅片时产生擦伤、划伤的风险。

本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，包括基座和工作架，工作架一侧面的中部设置有左片盒固定台，且左片盒固定台远离工作架的一端通过合页与基座的一侧连接，以使工作架能够相对于基座转动倾斜，左片盒固定台与工作架连接处设置有固定片盒的凸棱Ⅰ，在板状件上与左片盒固定台对应的位置开设有方形通孔以形成供硅片通过的倒片通道，倒片通道的两侧对称设置有一个等距位置调节器以形成一组等距位置调节器Ⅰ，且两个等距位置调节器的下滑块分别与一右片盒升降台的两侧固定，右片盒升降台上设置有固定片盒的凸棱Ⅱ，两个等距位置调节器的上推动块分别与推拉杆连接，以通过推拉杆带动等距位置调节器的下滑块滑动，进而调整右片盒升降台的位置；所述工作架上倒片通道的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ设置有上挡片和下挡片，以通过两组等距位置调节器Ⅱ调整上挡片和下挡片遮挡倒片通道的位置，进而调节右片盒升降台上片盒内硅片允许通过倒片通道倒入左片盒固定台上片盒内的序号范围；

所述的等距位置调节器Ⅰ和等距位置调节器Ⅱ均为两个对称设置的等距位置调节器构成，等距位置调节器包括具有条状滑槽的底板和滑动设置在滑槽内的调节块，在滑槽的两侧壁对称设置有多个卡口，且相邻两个卡口之间的间距等于硅片片盒槽距，所述调节块包括滑动设置在滑槽内的下滑块、锁定弹簧片和上推动块，其中，下滑块为一板状件，其两侧的上部和下部分别设置有窄侧棱和宽侧棱，且窄侧棱和宽侧棱之间形成卡住滑槽侧壁的滑道，下滑块的上表面设置有条状的矩形凹槽，矩形凹槽的两侧对称设置有缺口，以使紧贴矩形凹槽内壁设置的锁定弹簧片穿过缺口后形成两个突出于滑道并卡入卡口内的卡头；所述上推动块的底部设置位于矩形凹槽内的条状卡条，且上推动块两侧的底部通过连接侧板设置有向其中部延伸水平卡板，水平卡板滑动卡设在滑道内，在上推动块的两侧对称设置有锥形开口，锥形开口的两侧壁为倾斜的坡面，且两侧壁的间距从外向内逐渐扩大，以形成容纳并挤压卡头使其脱离卡口的空腔。

所述卡口为矩形槽，且槽底为凹陷的弧形。

所述底板上条状滑槽的两侧还对称设置有刻度线。

所述工作架为一板状件，且工作架的上端和下部分别设置有倒片扶手Ⅰ和倒片扶手Ⅱ，其中，倒片扶手Ⅰ沿工作架的延长线方向设置，倒片扶手Ⅱ垂直于工作架的侧面，且与右片盒升降台同侧设置。

所述基座包括凸台和设置在凸台一侧底部的水平底板，工作架的底部设置有水平板，且左片盒固定台远离工作架的一端与凸台远离水平底板的一侧通过合页铰接，以使工作架竖直时，左片盒固定台和水平板分别位于凸台和水平底板上。

所述右片盒升降台的两侧设置有两根立杆，凸棱Ⅱ设置在两根立杆的上下部。

本发明中，左片盒固定台、右片盒升降台均通过上、下的两根凸棱Ⅰ和凸棱Ⅱ放置、固定片盒，使在工作架倾斜时片盒不会滑落。

本发明中，用于安装右片盒升降台的两个等距位置调节器，其下滑块有沿长部分，以连接固定右片盒升降台的侧边，且上推动块连接在同一拉手的两边，推、拉拉手，可实现两个等距位置调节器调节块的同步升降，进而带动右片盒升降台的升降。各等距位置调节器的滑槽上卡口间距为硅片片盒槽距，通过调整各等距位置调节器的长度及安装在工作架上的位置，可使右片盒相对左片盒每次升降错位后均为片盒槽准确相对，可使上、下挡板每次移动后，挡板的边缘恰好挡在两相邻片盒槽中间的位置。

实际倒片时，以将右片盒内第5至9片倒入左片盒内第20至24片为例，升降右片盒升降台，使其上的右片盒第5槽对准左片盒固定台上左片盒的第20槽，然后升降上挡板，将左片盒24槽以上部分遮挡（即对应遮挡右片盒第10至25槽），升降下挡板，将左片盒第20槽以下遮挡（即对应遮挡右片盒第1至4槽），然后使工作架向左倾斜，硅片将在重力作用下自动从右片盒滑入左片盒，完成错位倒片的工作。

有益效果：本发明通过在工作架上设置倒片通道，然后在倒片通道一侧设置固定的左片盒固定台，用于固定待倒入硅片片盒，倒片通道另一侧设置可升降的右片盒升降台，而且在倒片通道的上方和下方设置可上下调节的上挡片和下挡片，通过调节上挡片和下挡片遮挡倒片通道的位置，从而调节右片盒升降台上硅片片盒内的硅片通过倒片通道倒入左片盒固定台上的片盒内，因可将右片盒任意一槽或连续多槽内的硅片，倒入左片盒一槽或连续多槽内，期间不需用手一片片取放硅片，可有效避免硅片划伤、擦伤。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1的正视图；

图3为图1的爆炸图；

图4为等距位置调节器的俯视图；

图5为等距位置调节器中调节块的结构示意图；

图6为等距位置调节器中上推动块的结构示意图；

附图标记：1、基座，101、凸台，102、水平底板，2、工作架，201、上挡片，202、下挡片，203、倒片扶手Ⅰ，204、倒片扶手Ⅱ，205、水平板，3、左片盒固定台，301、凸棱Ⅰ，4、倒片通道，401、等距位置调节器Ⅰ，402、等距位置调节器Ⅱ，5、右片盒升降台，501、凸棱Ⅱ，502、推拉杆，503、立杆，6、滑槽，601、卡口，602、刻度线，7、下滑块，701、窄侧棱，702、宽侧棱，703、滑道，704、矩形凹槽，8、锁定弹簧片，801、卡头，9、上推动块，901、条状卡条，902、连接侧板，903、水平卡板，904、锥形开口，905、坡面。

具体实施方式

如图所示，一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，包括基座1和工作架2，工作架2一侧面的中部设置有左片盒固定台3，且左片盒固定台3远离工作架2的一端通过合页与基座1的一侧连接，以使工作架2能够相对于基座1转动倾斜，左片盒固定台3与工作架2连接处设置有固定片盒的凸棱Ⅰ301，在板状件上与左片盒固定台3对应的位置开设有方形通孔以形成供硅片通过的倒片通道4，倒片通道4的两侧对称设置有一个等距位置调节器以形成一组等距位置调节器Ⅰ401，且两个等距位置调节器的下滑块分别与一右片盒升降台5的两侧固定，右片盒升降台5上设置有固定片盒的凸棱Ⅱ501，两个等距位置调节器的上推动块分别与推拉杆502连接，以通过推拉杆502带动等距位置调节器的下滑块滑动，进而调整右片盒升降台5的位置；所述工作架2上倒片通道4的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ402设置有上挡片201和下挡片202，以通过两组等距位置调节器Ⅱ402调整上挡片201和下挡片202遮挡倒片通道4的位置，进而调节右片盒升降台5上片盒内硅片允许通过倒片通道4倒入左片盒固定台3上片盒内的序号范围；

所述的等距位置调节器Ⅰ401和等距位置调节器Ⅱ402均为两个对称设置的等距位置调节器构成，等距位置调节器包括具有条状滑槽6的底板和滑动设置在滑槽6内的调节块，在滑槽6的两侧壁对称设置有多个卡口601，且相邻两个卡口601之间的间距等于硅片片盒槽距，所述调节块包括滑动设置在滑槽6内的下滑块7、锁定弹簧片8和上推动块9，其中，下滑块7为一板状件，其两侧的上部和下部分别设置有窄侧棱701和宽侧棱702，且窄侧棱701和宽侧棱702之间形成卡住滑槽6侧壁的滑道703，下滑块7的上表面设置有条状的矩形凹槽704，矩形凹槽704的两侧对称设置有缺口，以使紧贴矩形凹槽704内壁设置的锁定弹簧片8穿过缺口后形成两个突出于滑道703并卡入卡口601内的卡头801；所述上推动块9的底部设置位于矩形凹槽704内的条状卡条901，且上推动块9两侧的底部通过连接侧板902设置有向其中部延伸水平卡板903，水平卡板903滑动卡设在滑道703内，在上推动块9的两侧对称设置有锥形开口904，锥形开口904的两侧壁为倾斜的坡面905，且两侧壁的间距从外向内逐渐扩大，以形成容纳并挤压卡头801使其脱离卡口601的空腔。

以上为本发明的基本实施方式，可在以上基础上作进一步的改进、优化和限定：

如，所述卡口601为矩形槽，且槽底为凹陷的弧形；

又如，所述底板上条状滑槽6的两侧还对称设置有刻度线602，从而清楚看到滑动的距离；

再如，所述工作架2为一板状件，且工作架2的上端和下部分别设置有倒片扶手Ⅰ203和倒片扶手Ⅱ204，其中，倒片扶手Ⅰ203沿工作架2的延长线方向设置，倒片扶手Ⅱ204垂直于工作架2的侧面，且与右片盒升降台5同侧设置，通过拉动这两个倒片扶手，可使工作架2倾斜，使右片盒内硅片依靠重力倒入左片盒；

再如，所述基座1包括凸台101和设置在凸台101一侧底部的水平底板102，工作架2的底部设置有水平板205，且左片盒固定台3远离工作架2的一端与凸台101远离水平底板102的一侧通过合页铰接，以使工作架2竖直时，左片盒固定台3和水平板205分别位于凸台101和水平底板102上；

最后，所述右片盒升降台5的两侧设置有两根立杆504，凸棱Ⅱ501设置在两根立杆504的上下部。

本发明所列举的技术方案和实施方式并非是限制，与本发明所列举的技术方案和实施方式等同或者效果相同方案都在本发明所保护的范围内。

Claims (6)

1.一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：包括基座（1）和工作架（2），工作架（2）一侧面的中部设置有左片盒固定台（3），且左片盒固定台（3）远离工作架（2）的一端通过合页与基座（1）的一侧连接，以使工作架（2）能够相对于基座（1）转动倾斜，左片盒固定台（3）与工作架（2）连接处设置有固定片盒的凸棱Ⅰ（301），在板状件上与左片盒固定台（3）对应的位置开设有方形通孔以形成供硅片通过的倒片通道（4），倒片通道（4）的两侧对称设置有一个等距位置调节器以形成一组等距位置调节器Ⅰ（401），且两个等距位置调节器的下滑块分别与一右片盒升降台（5）的两侧固定，右片盒升降台（5）上设置有固定片盒的凸棱Ⅱ（501），两个等距位置调节器的上推动块分别与推拉杆（502）连接，以通过推拉杆（502）带动等距位置调节器的下滑块滑动，进而调整右片盒升降台（5）的位置；所述工作架（2）上倒片通道（4）的上方和下方分别通过两组等距位置调节器Ⅱ（402）设置有上挡片（201）和下挡片（202），以通过两组等距位置调节器Ⅱ（402）调整上挡片（201）和下挡片（202）遮挡倒片通道（4）的位置，进而调节右片盒升降台（5）上片盒内硅片允许通过倒片通道（4）倒入左片盒固定台（3）上片盒内的序号范围；

所述的等距位置调节器Ⅰ（401）和等距位置调节器Ⅱ（402）均为两个对称设置的等距位置调节器构成，等距位置调节器包括具有条状滑槽（6）的底板和滑动设置在滑槽（6）内的调节块，在滑槽（6）的两侧壁对称设置有多个卡口（601），且相邻两个卡口（601）之间的间距等于硅片片盒槽距，所述调节块包括滑动设置在滑槽（6）内的下滑块（7）、锁定弹簧片（8）和上推动块（9），其中，下滑块（7）为一板状件，其两侧的上部和下部分别设置有窄侧棱（701）和宽侧棱（702），且窄侧棱（701）和宽侧棱（702）之间形成卡住滑槽（6）侧壁的滑道（703），下滑块（7）的上表面设置有条状的矩形凹槽（704），矩形凹槽（704）的两侧对称设置有缺口，以使紧贴矩形凹槽（704）内壁设置的锁定弹簧片（8）穿过缺口后形成两个突出于滑道（703）并卡入卡口（601）内的卡头（801）；所述上推动块（9）的底部设置位于矩形凹槽（704）内的条状卡条（901），且上推动块（9）两侧的底部通过连接侧板（902）设置有向其中部延伸水平卡板（903），水平卡板（903）滑动卡设在滑道（703）内，在上推动块（9）的两侧对称设置有锥形开口（904），锥形开口（904）的两侧壁为倾斜的坡面（905），且两侧壁的间距从外向内逐渐扩大，以形成容纳并挤压卡头（801）使其脱离卡口（601）的空腔。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：所述卡口（601）为矩形槽，且槽底为凹陷的弧形。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：所述底板上条状滑槽（6）的两侧还对称设置有刻度线（602）。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：所述工作架（2）为一板状件，且工作架（2）的上端和下部分别设置有倒片扶手Ⅰ（203）和倒片扶手Ⅱ（204），其中，倒片扶手Ⅰ（203）沿工作架（2）的延长线方向设置，倒片扶手Ⅱ（204）垂直于工作架（2）的侧面，且与右片盒升降台（5）同侧设置。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：所述基座（1）包括凸台（101）和设置在凸台（101）一侧底部的水平底板（102），工作架（2）的底部设置有水平板（205），且左片盒固定台（3）远离工作架（2）的一端与凸台（101）远离水平底板（102）的一侧通过合页铰接，以使工作架（2）竖直时，左片盒固定台（3）和水平板（205）分别位于凸台（101）和水平底板（102）上。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片片盒间错位倒片的倒片器，其特征在于：所述右片盒升降台（5）的两侧设置有两根立杆（503），凸棱Ⅱ（501）设置在两根立杆（503）的上下部。