CN106007400A - 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 - Google Patents
阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106007400A CN106007400A CN201610322203.1A CN201610322203A CN106007400A CN 106007400 A CN106007400 A CN 106007400A CN 201610322203 A CN201610322203 A CN 201610322203A CN 106007400 A CN106007400 A CN 106007400A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- argon
- flow
- oxygen
- process gas
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 53
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 title abstract description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 59
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 49
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 6
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 192
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 96
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 83
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 69
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 51
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 48
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 48
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 40
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 31
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 30
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 21
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 claims description 21
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);titanium(4+) Chemical class [O-2].[O-2].[Ti+4] SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 15
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000012788 optical film Substances 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- -1 niobium oxide transition metal Chemical class 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 abstract 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 8
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 6
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 4
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000019635 sulfation Effects 0.000 description 1
- 238000005670 sulfation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3417—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials all coatings being oxide coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/74—UV-absorbing coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
- C03C2218/156—Deposition methods from the vapour phase by sputtering by magnetron sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；薄膜连续溅射沉淀过程精确高效节能，不同膜系匹配和薄膜厚度相互组合，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，耐候性、膜层致密性和稳定性好，可见光透过率高，可见光的视觉舒适度显著提高，工艺简单，节能环保，适于大型平板玻璃镀膜生产。
Description
技术领域
本发明涉及C03C玻璃与玻璃或与其他材料的接合技术，属于车、船等各种交通工具的节能窗用领域，尤其是阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺。
背景技术
目前，每年新增建筑约20亿平方米，只有5％达到节能建筑要求，其中大部分仍为高能耗建筑。在建筑能耗之中，采暖和空调能耗占比最大，约占60％～70％，采暖和空调能耗主要通过建筑外围结构与室外环境的热交换消耗。我国北方寒冷地区冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎热的南方地区及夏季全国的空调制冷需用大量电能。而据统计，窗户能耗量占建筑外围结构能耗的50％，而在传热损耗中,窗框占15％，玻璃占约85％。由此可见，玻璃节能性能的高低，直接影响建筑能耗。
传统的Low-E玻璃为了达到其主要的节能低辐射的功能，在薄膜结构上不得不需要沉积贵重金属银及其他种类的金属的薄膜，相应的增加了整个节能膜系的生产成本，同时，贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在紫外线及空气中的酸气和水气等的作用下，极易发生氧化或硫化现象，从而其原有的低辐射节能受到抑制甚至丧失，长期使用效率显著降低。贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在可见光谱区域内存在一定的反射率和吸收率，而过厚的贵重金属银及其他种类的金属的薄膜会造成可见光光谱区域内的频谱特性发生变化，降低可见光的视觉舒适度，会形成由于贵重金属银及其他种类的金属的薄膜在可见光谱区域内的色差，导致城市中的光污染。
另一方面，传统的Low-E玻璃包含贵重金属银及其他种类的金属的薄膜，由于对太阳光不具有进行选择性的过滤透过的功能，而无法满足不同的地区纬度和气候条件下适应室内温度人体舒适度的要求，这样只能主要用于高纬度的寒冷地区，且只是在冬季，其低辐射的性能才能得到发挥；在炎热的夏季全国及南方地区，其不能对阳光进行可选择性的透过，并且由于较低的透过率的原因，不仅不能降低能耗，使得建筑室内和交通工具内的热量过多的聚集，反而更加加大了空调制冷需用的大量电能，同时，Low-E玻璃过厚的金属膜层在可见光光谱范围内的整体透过性不高，增加了可见光的反射，容易造成光污染，且室外反射颜色不满足建筑设计外观的设计要求。
中国专利申请201510627043.7公开了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，在玻璃的表面依次沉积阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系。
即使少量上述改进技术方案也仍未能根本的，至少是较好的解决前述问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，可见光透过率高，耐候性、舒适度和稳定性良好。
本发明的目的将通过以下技术措施来实现：在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。
尤其是，每一种不同的功能膜系都由不同的光学介质材料根据总体的功能要求匹配组合而成。
尤其是，表面覆盖膜系是由高硬度的各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
色彩调制膜系是由各种氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
红外透过选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
可见光透过减反膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
功能连接转换膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
紫外阳光选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物或二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
可见光透过扩展膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成。
尤其是，在沉积可见光透过扩展膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流可以在100～120A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％。
在沉积紫外阳光选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％。
在沉积功能连接转换膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％。
在沉积可见光透过减反膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％。
在沉积红外透过选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～60kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～120A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～12％。
在沉积色彩调制膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％。
在沉积表面覆盖膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％之间变化。
本发明的优点和效果：薄膜连续溅射沉淀过程精确高效节能，不同膜系匹配和薄膜厚度相互组合，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积，制得玻璃膜层体系完善耐磨牢固整体厚度有限，耐候性、膜层致密性和稳定性好，可见光透过率高，可见光的视觉舒适度显著提高，工艺简单，节能环保，适于大型平板玻璃镀膜生产。
具体实施方式
本发明原理在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度在5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％之间变化。
在薄膜正常生产溅射过程中，在薄膜正常生产溅射过程中，根据膜层匹配组合和材料以及相应的生产工艺，应该严格依照所有膜系的功能要求和整体薄膜的综合性能指标，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积。
前述中，尤其是，每一种不同的功能膜系都由不同的光学介质材料根据总体的功能要求匹配组合而成。
尤其是，表面覆盖膜系是由高硬度的各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
色彩调制膜系是由各种氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
红外透过选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
可见光透过减反膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
功能连接转换膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
紫外阳光选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物或二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
可见光透过扩展膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成。
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
实施例1：在沉积可见光透过扩展膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～60kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～120A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为330sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％。
在沉积紫外阳光选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％之间变化。
在沉积功能连接转换膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％之间变化。
在沉积可见光透过减反膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％之间变化。
在沉积红外透过选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～60kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～120A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～12％之间变化。
在沉积色彩调制膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在100～110A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为330sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％之间变化。
在沉积表面覆盖膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间变化，施加在靶材上的电流可以在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体主要为氩气，其中氩气的流量为350sccm左右，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％之间变化。
本发明在应用时，在南方低纬度高炎热地区，选择房子的南北窗户全都安装本发明工艺制得的镀有阳光选择全介质膜系的节能玻璃的中空玻璃，室外气温全年变化为2℃～40.5℃，实测得室内温度全年变化为20℃～28.3℃；中纬度高湿热地区，室外气温全年变化为-8℃～39.8℃，房子的南北窗户及所有的全封闭阳台全都安装镀有阳光选择全介质膜系的节能玻璃的中空玻璃，实测得室内温度全年变化为17℃～26.5℃；高纬度寒冷室外气温全年变化为-30℃～36.5℃，房子的南北窗户及所有的全封闭阳台全都安装镀有阳光选择全介质膜系的节能玻璃的中空玻璃，实测得室内温度全年变化为14℃～22.1℃。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，本发明不限于以上所述典型的实施方案，本领域普通技术人员在阅读本发明后受到启发，可能对此进行相应各种改动和变形，只要在本发明权利要求范围内的部分所做的其他修改或者等同替换，仍应隶属于本发明保护范围之内。
Claims (4)
1.阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺,其特征在于，在玻璃的表面依次沉积可见光透过扩展膜系、紫外阳光选择滤过膜系、功能连接转换膜系、可见光透过减反膜系、红外透过选择滤过膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和沉积厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置相应的靶材，进行工业化连续生产；在薄膜正常生产溅射过程中，可调节玻璃的传送速度为5～10m/min；每对阴极上所施加的功率为40～75kw，施加在靶材上的电流在100～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，并有可调节范围，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～15％。
2.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，每一种不同的功能膜系都由不同的光学介质材料根据总体的功能要求匹配组合而成。
3.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，表面覆盖膜系是由高硬度的各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
色彩调制膜系是由各种氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
红外透过选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
可见光透过减反膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物光学薄膜材料沉积构成；
功能连接转换膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
紫外阳光选择滤过膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物或二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成；
可见光透过扩展膜系是由各种透明的氧化钛、氧化锆和氧化铌过度金属氧化物薄膜及二氧化硅薄膜非金属氧化物相互沉积构成。
4.如权利要求1所述的阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺，其特征在于，在沉积可见光透过扩展膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流在100～120A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％；
在沉积紫外阳光选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间，施加在靶材上的电流在100～110A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％；
在沉积功能连接转换膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw之间，施加在靶材上的电流在110～150A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％；
在沉积可见光透过减反膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw，施加在靶材上的电流在100～110A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～10％；
在沉积红外透过选择滤过膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～60kw，施加在靶材上的电流在110～120A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～12％；
在沉积色彩调制膜系时，每对阴极上所施加的功率为40～50kw之间变化，施加在靶材上的电流在100～110A之间；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的5～8％；
在沉积表面覆盖膜系时，每对阴极上所施加的功率为50～75kw，施加在靶材上的电流在110～150A之间变化；气相沉积时通入的工艺气体包括氩气，其中氩气的流量为350sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合气体时，此时所加入的氧气的流量为相应氩气流量的8～15％之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610322203.1A CN106007400A (zh) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610322203.1A CN106007400A (zh) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106007400A true CN106007400A (zh) | 2016-10-12 |
Family
ID=57097720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610322203.1A Pending CN106007400A (zh) | 2016-05-16 | 2016-05-16 | 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106007400A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050178652A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-08-18 | Guardian Industries Corp | Scratch resistant coated glass article including carbide layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s) |
| CN101233087A (zh) * | 2005-07-26 | 2008-07-30 | 皮尔金顿北美公司 | 无银低辐射系数太阳能控制涂层 |
| CN103753895A (zh) * | 2014-01-06 | 2014-04-30 | 天津南玻节能玻璃有限公司 | 一种新型低辐射镀膜玻璃及其制备方法 |
| CN105271814A (zh) * | 2015-09-28 | 2016-01-27 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法 |
-
2016
- 2016-05-16 CN CN201610322203.1A patent/CN106007400A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050178652A1 (en) * | 2003-12-15 | 2005-08-18 | Guardian Industries Corp | Scratch resistant coated glass article including carbide layer(s) resistant to fluoride-based etchant(s) |
| CN101233087A (zh) * | 2005-07-26 | 2008-07-30 | 皮尔金顿北美公司 | 无银低辐射系数太阳能控制涂层 |
| CN103753895A (zh) * | 2014-01-06 | 2014-04-30 | 天津南玻节能玻璃有限公司 | 一种新型低辐射镀膜玻璃及其制备方法 |
| CN105271814A (zh) * | 2015-09-28 | 2016-01-27 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 俞善庆: "《太阳能利用基础材料》", 30 September 1981 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108328942A (zh) | 高透低反双银低辐射镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN201864665U (zh) | 一种特殊膜系的可钢化双银low-e玻璃 | |
| CN105084781B (zh) | 一种金色低辐射镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN208250167U (zh) | 高透低反双银低辐射镀膜玻璃 | |
| CN105084780B (zh) | 一种遮阳型双银低辐射镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN102126832A (zh) | 一种高耐候性多功能热色玻璃 | |
| CN105271814A (zh) | 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法 | |
| CN201864664U (zh) | 一种双银low-e玻璃 | |
| CN101182128A (zh) | 具有自洁净和低辐射功能的镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN102079629A (zh) | 镀有复合电介质层和复合减反层的高透射镀膜玻璃及生产工艺 | |
| CN108002711A (zh) | 一种高透过中性色双银低辐射镀膜玻璃及制备方法 | |
| CN2188587Y (zh) | 具有三种膜层的彩色镀膜玻璃 | |
| CN106007400A (zh) | 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 | |
| CN207845496U (zh) | 一种高透过中性色双银低辐射镀膜玻璃 | |
| CN105236765B (zh) | 一种阳光选择滤光膜系的双银节能玻璃沉积方法 | |
| CN110282882A (zh) | 一种低辐射阳光控制镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN106007402A (zh) | 阳光选择全介质非银膜系节能建筑玻璃 | |
| CN102010139A (zh) | 可钢化双银low-e玻璃 | |
| CN201864663U (zh) | 单银low-e玻璃 | |
| CN205185439U (zh) | 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃 | |
| CN105082670B (zh) | 一种绿色遮阳型镀膜玻璃及其制备方法 | |
| CN109665723A (zh) | 一种特清中性色双银低辐射镀膜玻璃及制备方法 | |
| CN203472227U (zh) | 低遮阳系数的单银低辐射镀膜玻璃 | |
| CN209602380U (zh) | 一种特清中性色双银低辐射镀膜玻璃 | |
| CN203230075U (zh) | 双夹层中空低碳节能建筑玻璃 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20161012 |